CN111965512A - 紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明属于数据处理技术领域，公开了一种紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质，输入较高的预设温度或预设电流，采集待测样品的光电特性参数；将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，对所有待测样品提供所设预设电流；实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；控制仪器运行与数据采集，直至将停止或者运行至满足预设停止条件；在检测测试样品环境温度达到环境温度时，再次采集待测样品的光电特性参数；将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性测试时，在设置完成后进行测试。本发明能够快速得待测试发光样品的可靠性数据。

Description

紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质

技术领域

本发明属于数据处理技术领域，尤其涉及一种紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质、装置、发光器件。

背景技术

目前，LED以其节能性、环保性、长寿性以及高可靠性等特点被广泛应用在各大照明领域，人们对其节能、环保的概念已经普遍认可；工业上针对LED的可靠性测试基本上都是针对很多个样品在同一条件下同时进行衰减测试，衰减一定时间(例如500H、1000H)后测试其发光强度的变化，测试时间长，测试条件单一，终止条件单一，不能根据测试的实际情况实时改进实验方案，且不明确测试中，LED的发光强度的具体变化情况。实验室中针对LED或晶圆样品的可靠性测试主流是使用积分球，体积大，每个积分球只能测一个样品，而且在进行衰减测试的前后测试特性曲线的时候，需要在其他装置上进行，多次移动样品很可能导致较大的测量误差，且不同的测试装置的运行环境也会对LED的特性参数造成一定的影响，这些会对样品的物理发光机制分析造成误差，对GaN-LED(尤其是UV-LED)，光功率和波长是主要的性能参数。使用功率探头和光纤探头就可以实现，并且通过程序也可以做到实时监控参数的变化等功能。LED在长时间通电后亮度降低，光功率出现衰减，尤其是GaN基LED，人们对其光功率的衰减过程以及机理尚不明确，因此对LED进行光衰减测试以及可靠性分析一直是研究的热点。

目前，对LED的可靠性分析大都通过可靠性实验系统采用加速老化实验的方法，如高电流加速老化和高温加速老化，恒定应力和步进应力老化等。但是现阶段我国的紫外发光器件的可靠性测试系统测试过程操作复杂，需要测试多个样品的多个参数，测试装置较多，样品需要稳定的测试环境，针对不同的样品或者需求采取不同的终止条件。也没有解决在一个系统中集成各种可操作的加速老化实验方案，并且做到数据的实时采集。LED的可靠性测试对象有未切割的晶圆和已封装的LED，目前所用测试系统大部分针对测试已封装的LED的可靠性，而对未切割的晶圆的可靠性测试并不重视。但是针对未封装的晶圆进行可靠性测试可有效提高成品的合格率，缩短生产周期。

通过上述分析，现有技术存在的问题及缺陷为：目前紫外发光器件的可靠性测试系统测试过程操作复杂。

解决以上问题及缺陷的难度为：将各个检测装置进行集成并调试稳定运行；控制系统集成成本；针对多种类型的LED和晶圆样品均可以测试。

解决以上问题及缺陷的意义为：节约设备成本；减少单次测试时间，加快实验进展，节约时间成本；降低实验的复杂度，提高容错率，节约样品成本。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质、装置、发光器件。

本发明是这样实现的，一种可靠性测试方法，所述可靠性测试方法包括：

第一步，采用恒定高温和高电流可靠性测试时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，采集待测样品的光电特性参数；

第二步，待采集完成后，将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，对所有待测样品提供所设预设电流；

第三步，在温度调节完成以及开始提供测试电流后，实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

第四步，控制仪器运行与数据采集，直至将停止或者运行至满足预设停止条件；在检测测试样品环境温度达到环境温度时，再次采集待测样品的光电特性参数；

第五步，将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性测试时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行测试。

进一步，所述可靠性测试方法的目标温度为对待测试发光器件的环境温度进行调节后稳定的温度，预设的目标温度是温度控制装置能够达到的任一值；目标电流为对待测试发光器件输入的电信号的大小，且对每一个待测试发光器件预设不同的目标电流，预设目标电流是任意值，在实际测试中用户根据测试需求进行设置。

进一步预设停止条件为模块停止所需满足的条件，其中停止条件可以为运行时间、光输出衰减百分比试验中任一变量，且设置为同时满足多个条件或者满足任一条件，在实际测试中用户根据测试需求进行设置。

进一步，所述可靠性测试方法调节稳定的目标电流为在仪器运行时根据采集目标电流的大小，利用可调电源的输出精度，通过迭代对可调电源的输出进行稳定。

进一步，所述可靠性测试方法的光电特性参数包括电流电压特性、导通电压、发光峰值波长、发光峰值积分、光功率；实时采集数据包括目标温度、目标电流、目标电压、目标光功率、目标发光峰值波长、目标发光峰值积分、目标发光相对强度。

本发明的另一目的在于提供一种接收用户输入程序存储介质，所存储的计算机程序使电子设备执行权利要求任意一项所述包括下列步骤：

第一步，采用恒定高温和高电流可靠性测试时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，采集待测样品的光电特性参数；

第二步，待采集完成后，将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，对所有待测样品提供所设预设电流；

第三步，在温度调节完成以及开始提供测试电流后，实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

第四步，控制仪器运行与数据采集，直至将停止或者运行至满足预设停止条件；在检测测试样品环境温度达到环境温度时，再次采集待测样品的光电特性参数；

第五步，将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性测试时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行测试。

本发明的另一目的在于提供一种实施所述可靠性测试方法的紫外发光器件的可靠性测试系统，所述紫外发光器件的可靠性测试系统包括：

仪器控制和数据采集模块，用于控制光检测模块和可调电源模块采集待测样品的光电特性参数；控制温度检测模块和光检测模块开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

可调电源模块，用于为待测试样品提供测试电流；

温度控制模块，用于改变待测试样品的环境温度；

光检测模块，用于检测每个待测试样品的光参数；

温度检测模块，用于检测待测样品工作时的环境温度；

器件固定装置模块，用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电。

本发明的另一目的在于提供一种搭载所述紫外发光器件的可靠性测试系统的可靠性测试装置，所述可靠性测试装置包括：仪器控制和数据采集装置、可调电源、温度控制装置、光检测装置、温度检测装置、器件固定装置；

温度控制装置，用于改变待测试样品的环境温度；检测待测样品工作时的环境温度；

可调电源，用于为待测试样品提供测试电流，且同时对多个样品提供不同大小的测试电流；

光检测装置，用于检测每个待测试样品的光参数；

器件固定装置，用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电；

仪器控制和数据采集装置，用于控制光检测装置和可调电源采集待测样品的光电特性参数，待采集完成后，温度控制装置将待测样品环境温度调节至所设目标温度时，仪器控制和数据采集装置控制可调电源对所有待测样品提供所设目标电流；在温度调节完成以及开始提供测试电流后，仪器控制和数据采集装置控制温度检测装置和光检测装置开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；仪器控制和数据采集装置控制仪器运行与数据采集，直至将其停止或者运行至满足预设停止条件；仪器控制和数据采集装置在检测测试样品环境温度达到环境温度时，仪器控制和数据采集装置控制光检测装置和可调电源再次采集待测样品的光电特性参数；仪器控制和数据采集装置将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出。

进一步，所述可靠性测试装置还包括：壳体、冷却通风装置；

将仪器控制和数据采集装置、可调电源、温度控制装置、光检测装置、温度检测装置、器件固定装置设置于壳体内部；

器件固定装置、光检测装置和温度检测装置的数目均为3个，其中光检测装置和壳体可拆卸连接；光检测装置根据器件的发光位置进行调整。

本发明的另一目的在于提供一种发光器件，所述发光器件安装有所述的可靠性测试装置，同时对多个待测试LED样品或者晶圆样品进行测试。

结合上述的所有技术方案，本发明所具备的优点及积极效果为：本发明的发光器件紫外发光器件的可靠性测试系统包括温度控制装置、可调电源、光检测装置、器件固定装置、温度检测装置、仪器控制和数据采集模块，在仪器控制和数据采集模块中设置实验条件，在室温下采集待测发光样品的初始光电参数；在待测发光样品环境温度到达预设温度后点亮发光器件，并同时采集数据；在达到预设时间或者预设终止条件时，停止老化试验；在待测发光样品环境温度达到室温时，采集待测发光样品老化后的光电参数。本发明的发光器件紫外发光器件的可靠性测试系统，可同时对多个待测试LED样品或者晶圆样品进行测试，测试过程中可以实时采集老化数据，测试过程十分简单方便，能够快速得待测试发光样品的可靠性数据。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图做简单的介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的紫外发光器件的可靠性测试系统的结构示意图。

图2是本发明实施例提供的可靠性测试方法流程图。

图3是本发明实施例提供的紫外发光器件的可靠性测试系统在实施例1中的结构示意图。

图4是本发明实施例提供的紫外发光器件的可靠性测试系统在实施例2中的结构示意图。

图中：1、仪器控制和数据采集装置；2、可调电源；3、温度控制装置；4、光检测装置；5、温度检测装置；6、器件固定装置；7、仪器控制和数据采集模块；8、可调电源模块；9、温度控制模块；10、光检测模块；11、温度检测模块；12、器件固定模块。

图5-图7、图9是本发明实施例提供的老化前后光电参数的变化示意图。

图8是本发明实施例提供的老化过程中器件的光电参数的持续变化示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

针对现有技术存在的问题，本发明提供了一种紫外发光器件的可靠性测试系统、方法、存储介质、装置、发光器件，下面结合附图对本发明作详细的描述。

如图1所示，本发明提供的紫外发光器件的可靠性测试系统包括：仪器控制和数据采集模块7、可调电源模块8、温度控制模块9、光检测模块10、温度检测模块11、器件固定模块12。

仪器控制和数据采集模块7，用于控制光检测模块10和可调电源模块8采集待测样品的光电特性参数；控制温度检测模块11和光检测模块10开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流。

可调电源模块8，用于为待测试样品提供测试电流。

温度控制模块9，用于改变待测试样品的环境温度。

光检测模块10，用于检测每个待测试样品的光参数。

温度检测模块11，用于检测待测样品工作时的环境温度。

器件固定装置模块12，用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆等可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电。

如图2所示，本发明提供的可靠性测试方法包括以下步骤：

S201：采用恒定高温和高电流可靠性研究时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，仪器控制和数据采集装置控制光检测装置和可调电源采集待测样品的光电特性参数；

S202：待采集完成后，温度控制装置将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，仪器控制和数据采集装置控制可调电源对所有待测样品提供所设预设电流；

S203：在温度调节完成以及开始提供测试电流后，仪器控制和数据采集装置控制温度检测装置和光检测装置开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

S204：仪器控制和数据采集装置控制仪器运行与数据采集，直至将其停止或者运行至满足预设停止条件；仪器控制和数据采集装置在检测测试样品环境温度达到环境温度时，仪器控制和数据采集装置控制光检测装置和可调电源再次采集待测样品的光电特性参数；

S205：仪器控制和数据采集装置将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性研究时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行测试。

下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的描述。

如图3所示，本发明提供的紫外发光器件的可靠性测试系统在一个实例中的结构示意图，包括仪器控制和数据采集装置1、可调电源2、温度控制装置3、光检测装置4、温度检测装置5、器件固定装置6；温度控制装置5用于改变待测试样品的环境温度；可调电源2为待测试样品提供测试电流，且可以同时对多个样品提供不同大小的测试电流；光检测装置4用于检测每个待测试样品的光参数；器件固定装置6用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆等可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电；温度检测装置5用于检测待测样品工作时的环境温度；仪器控制和数据采集装置1控制光检测装置4和可调电源2采集待测样品的光电特性参数，待采集完成后，温度控制装置5将待测样品环境温度调节至所设目标温度时，仪器控制和数据采集装置1控制可调电源2对所有待测样品提供所设目标电流；在温度调节完成以及开始提供测试电流后，仪器控制和数据采集装置1控制温度检测装置5和光检测装置4开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；仪器控制和数据采集装置1控制仪器运行与数据采集，直至将其停止或者运行至满足预设停止条件；仪器控制和数据采集装置1在检测测试样品环境温度达到环境温度时，仪器控制和数据采集装置1控制光检测装置4和可调电源2再次采集待测样品的光电特性参数；仪器控制和数据采集装置1将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出。

目前市场上的可见光LED寿命高达500000-1000000h，即便是寿命较短的UV-LED的寿命也有数千小时，在如此长时间的内实时检测LED的光输出变化会极大的增加研究周期，延缓高性能LED的研发与推广。因此，本发明通常采用高应力条件加快LED的光输出衰减，增大LED的失效机理作用，缩短研究周期。目前，主要采用的LED加速衰减方法有高温可靠性研究与高电流可靠性研究，在相同的温度和电流下的LED的加速衰减又分为恒定应力加速衰减和步进应力加速衰减，其中高温可靠性研究就是在老化器件给予发光器件不同的环境温度；而高电流可靠性研究是基于发光器件较大的工作电流；恒定应力加速衰减指的是在LED的工作期间保持工作条件不变；步进应力加速衰减指的是在保证其他工作条件不变的前提下，规律性的增大或减小某一工作条件。通过在不同的工作条件下发光器件表现出的形状的对比来分析LED的失效机理，并依此提出解决方案以优化LED的性能。在本实施例中，将多种实验方法进行了集成。采用恒定高温和高电流可靠性研究时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，仪器控制和数据采集装置1控制光检测装置4和可调电源2采集待测样品的光电特性参数，待采集完成后，温度控制装置5将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，仪器控制和数据采集装置1控制可调电源2对所有待测样品提供所设预设电流；在温度调节完成以及开始提供测试电流后，仪器控制和数据采集装置1控制温度检测装置5和光检测装置4开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；仪器控制和数据采集装置1控制仪器运行与数据采集，直至将其停止或者运行至满足预设停止条件；仪器控制和数据采集装置1在检测测试样品环境温度达到环境温度时，仪器控制和数据采集装置1控制光检测装置4和可调电源2再次采集待测样品的光电特性参数；仪器控制和数据采集装置1将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出。当采取步进高温和高电流可靠性研究时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行试验。

本发明的目标温度为温度控制装置对待测试发光器件的环境温度进行调节后稳定的温度，预设的目标温度可以是温度控制装置能够达到的任一值，在实际测试中用户可以根据测试需求进行设置；目标电流为对待测试发光器件输入的电信号的大小，且可以对每一个待测试发光器件预设不同的目标电流，预设目标电流可以是任意值，在实际测试中用户可以根据测试需求进行设置；所述预设停止条件为模块停止所需满足的条件，其中停止条件可以为运行时间、光输出衰减百分比等试验中任一变量，且可以设置为同时满足多个条件或者满足任一条件，在实际测试中用户可以根据测试需求进行设置。

本发明的调节稳定的目标电流为仪器控制和数据处理模块在仪器运行时根据采集所述目标电流的大小，利用可调电源的输出精度，通过迭代等程序对可调电源的输出进行稳定；

本发明的光电特性参数包括电流电压特性、导通电压、发光峰值波长、发光峰值积分、光功率等；实时采集数据包括目标温度、目标电流、目标电压、目标光功率、目标发光峰值波长、目标发光峰值积分、目标发光相对强度等。所述仪器控制与数据处理模块可以为C、C++、Java、Labview等程序编写，可在Windows、Linux、Macosx等操作系统下运行，程序为模块化编写，较为简单。

在其中一个实施例中，如图4所示，还包括壳体7、冷却通风装置8、仪器控制和数据采集装置1、可调电源2、温度控制装置3、光检测装置4、温度检测装置5、器件固定装置6。

具体地，发光器件紫外发光器件的可靠性测试系统还包括壳体7，将测试系统的部分装置设置于壳体7内部，有助于增加设备运行环境的稳定性，减少外界环境对测试系统的干扰，也有助于减小输出控制设备受系统的影响，增大输出波动，造成采集数据的不准确。

在其中一个实施例中，器件固定装置6、光检测装置4和温度检测装置5的数目均为3个，其中光检测装置4和壳体7可拆卸连接。光检测装置4可以根据器件的发光位置进行调整，以取得最优检测位置。

具体的，光检测装置4与壳体7可拆卸连接，也便于光检测装置4出现问题时，更换新的光检测装置4或便于对光检测装置4进行维修。另外，可拆卸连接也可以调节角度和长度等，便于测试不同的样品的发光可靠性时寻找最优检测位置。

可靠性分析主要是两方面，一个是老化过程中器件的光电参数的持续变化(图8)，一个是老化前后光电参数的变化(图5-图7，图9)，分析物理机制主要是依靠这些变化，表述内容是该系统在测试器件参数方面拥有的部分功能，另加了电致发光光谱、opticalpower-current两张图。所示数据均可在一次测试中全部获得。若所需其他参数，也可在系统中进一步集成并通过程序控制。

本发明采用较高精度恒压源进行衰减实验，LED的衰减测试需要恒流条件，但是高电流精度的源表价格较高，采用较高精度恒压源，在控制输出时采用迭代程序，通过调节电压对电流进行修正，可以将电流有效的稳定在一定范围。

应当注意，本发明的实施方式可以通过硬件、软件或者软件和硬件的结合来实现。硬件部分可以利用专用逻辑来实现；软件部分可以存储在存储器中，由适当的指令执行系统，例如微处理器或者专用设计硬件来执行。本领域的普通技术人员可以理解上述的设备和方法可以使用计算机可执行指令和/或包含在处理器控制代码中来实现，例如在诸如磁盘、CD或DVD-ROM的载体介质、诸如只读存储器(固件)的可编程的存储器或者诸如光学或电子信号载体的数据载体上提供了这样的代码。本发明的设备及其模块可以由诸如超大规模集成电路或门阵列、诸如逻辑芯片、晶体管等的半导体、或者诸如现场可编程门阵列、可编程逻辑设备等的可编程硬件设备的硬件电路实现，也可以用由各种类型的处理器执行的软件实现，也可以由上述硬件电路和软件的结合例如固件来实现。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种紫外发光器件的可靠性测试方法，其特征在于，所述可靠性测试方法包括：

第一步，采用恒定高温和高电流可靠性测试时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，采集待测样品的光电特性参数；

第二步，待采集完成后，将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，对所有待测样品提供所设预设电流；

第三步，在温度调节完成以及开始提供测试电流后，实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

第四步，控制仪器运行与数据采集，直至将停止或者运行至满足预设停止条件；在检测测试样品环境温度达到环境温度时，再次采集待测样品的光电特性参数；

第五步，将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性测试时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行测试。

2.如权利要求1所述的可靠性测试方法，其特征在于，所述可靠性测试方法的目标温度为对待测试发光器件的环境温度进行调节后稳定的温度，预设的目标温度是温度控制装置能够达到的任一值；目标电流为对待测试发光器件输入的电信号的大小，且对每一个待测试发光器件预设不同的目标电流，预设目标电流是任意值，在实际测试中用户根据测试需求进行设置。

3.如权利要求2所述的可靠性测试方法，其特征在于，预设停止条件为模块停止所需满足的条件，其中停止条件可以为运行时间、光输出衰减百分比试验中任一变量，且设置为同时满足多个条件或者满足任一条件，在实际测试中用户根据测试需求进行设置。

4.如权利要求1所述的可靠性测试方法，其特征在于，所述可靠性测试方法调节稳定的目标电流为在仪器运行时根据采集目标电流的大小，利用可调电源的输出精度，通过迭代对可调电源的输出进行稳定。

5.如权利要求1所述的可靠性测试方法，其特征在于，所述可靠性测试方法的光电特性参数包括电流电压特性、导通电压、发光峰值波长、发光峰值积分、光功率；实时采集数据包括目标温度、目标电流、目标电压、目标光功率、目标发光峰值波长、目标发光峰值积分、目标发光相对强度。

6.一种接收用户输入程序存储介质，所存储的计算机程序使电子设备执行权利要求任意一项所述包括下列步骤：

第一步，采用恒定高温和高电流可靠性测试时，即输入较高的预设温度或预设电流，设置完成后，采集待测样品的光电特性参数；

第二步，待采集完成后，将待测样品环境目标温度调节至所设预设温度时，对所有待测样品提供所设预设电流；

第三步，在温度调节完成以及开始提供测试电流后，实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

第四步，控制仪器运行与数据采集，直至将停止或者运行至满足预设停止条件；在检测测试样品环境温度达到环境温度时，再次采集待测样品的光电特性参数；

第五步，将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出；当采取步进高温和高电流可靠性测试时，即输入初始电流和温度，并设置步进时间和步进大小，在设置完成后进行测试。

7.一种实施权利要求1～5任意一项所述可靠性测试方法的紫外发光器件的可靠性测试系统，其特征在于，所述紫外发光器件的可靠性测试系统包括：

仪器控制和数据采集模块，用于控制光检测模块和可调电源模块采集待测样品的光电特性参数；控制温度检测模块和光检测模块开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；

可调电源模块，用于为待测试样品提供测试电流；

温度控制模块，用于改变待测试样品的环境温度；

光检测模块，用于检测每个待测试样品的光参数；

温度检测模块，用于检测待测样品工作时的环境温度；

器件固定装置模块，用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电。

8.一种搭载权利要求7所述紫外发光器件的可靠性测试系统的可靠性测试装置，其特征在于，所述可靠性测试装置包括：仪器控制和数据采集装置、可调电源、温度控制装置、光检测装置、温度检测装置、器件固定装置；

温度控制装置，用于改变待测试样品的环境温度；检测待测样品工作时的环境温度；

可调电源，用于为待测试样品提供测试电流，且同时对多个样品提供不同大小的测试电流；

光检测装置，用于检测每个待测试样品的光参数；

器件固定装置，用于固定至少三个待测试LED或者未切割的晶圆可通电发光样品，且与待测样品电极接触通电；

仪器控制和数据采集装置，用于控制光检测装置和可调电源采集待测样品的光电特性参数，待采集完成后，温度控制装置将待测样品环境温度调节至所设目标温度时，仪器控制和数据采集装置控制可调电源对所有待测样品提供所设目标电流；在温度调节完成以及开始提供测试电流后，仪器控制和数据采集装置控制温度检测装置和光检测装置开始实时采集每一个待测样品的工作环境温度和光电参数，并根据采集电参数实时调节稳定的输出电流；仪器控制和数据采集装置控制仪器运行与数据采集，直至将其停止或者运行至满足预设停止条件；仪器控制和数据采集装置在检测测试样品环境温度达到环境温度时，仪器控制和数据采集装置控制光检测装置和可调电源再次采集待测样品的光电特性参数；仪器控制和数据采集装置将待测样品的光电特性参数与实时采集数据汇总输出。

9.如权利要求8所述的可靠性测试装置，其特征在于，所述可靠性测试装置还包括：壳体、冷却通风装置；

将仪器控制和数据采集装置、可调电源、温度控制装置、光检测装置、温度检测装置、器件固定装置设置于壳体内部；

器件固定装置、光检测装置和温度检测装置的数目均为3个，其中光检测装置和壳体可拆卸连接；光检测装置根据器件的发光位置进行调整。

10.一种发光器件，其特征在于，所述发光器件安装有权利要求8～9任意一项所述的可靠性测试装置，同时对多个待测试LED样品或者晶圆样品进行测试。

Images