CN111893448A - 一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体 - Google Patents

一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有多个支撑腿，底部横向板的侧壁固定在多个支撑腿的侧壁上，提升板插套在主箱体中，提升板的底面中部固定有提升螺套，提升螺套插套在主箱体的底板的中部具有的贯穿通孔，提升螺套上螺接有提升螺杆，提升螺杆的底部通过轴承铰接在底部横向板上，提升螺杆的底端伸出底部横向板的底面并固定有传动齿轮。本发明采用可多次使用的上盖体和防护套筒进行局部覆盖，方便待加工件的局部镀膜，其可以重复利用，利用率高，同时，其提升板可以进行高低升降，可以满足不同高度的待加工件的表面镀膜，使用范围广。

Description

一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体
技术领域
本发明涉及真空镀膜设备技术领域，更具体的说涉及一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体。
背景技术
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。
而现有的有些特定的部件其只需要部分进行镀膜，此时，只能通过在其上不镀膜的地方固定覆盖物，而现有的覆盖物一般只具有一次使用效果，无法重复使用，效果有限，同时，现有的部件固定位置高低是固定的，其无法根据不同高度的待加工物进行调节，使用范围受限。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，它采用可多次使用的上盖体和防护套筒进行局部覆盖，方便待加工件的局部镀膜，其可以重复利用，利用率高，同时，其提升板可以进行高低升降，可以满足不同高度的待加工件的表面镀膜，使用范围广。
本发明解决所述技术问题的方案是：
一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，包括主箱体，所述主箱体的底板的底面固定有多个支撑腿，底部横向板的侧壁固定在多个支撑腿的侧壁上，提升板插套在主箱体中，提升板的底面中部固定有提升螺套，提升螺套插套在主箱体的底板的中部具有的贯穿通孔，提升螺套上螺接有提升螺杆，提升螺杆的底部通过轴承铰接在底部横向板上，提升螺杆的底端伸出底部横向板的底面并固定有传动齿轮，底部横向板的正下方设有下连接横向板，下连接横向板的侧壁固定在对应的支撑腿的侧壁上，下连接横向板的底面固定有提升电机，提升电机的输出轴穿过下连接横向板并固定有驱动齿轮，驱动齿轮与传动齿轮相啮合；
所述提升板的侧壁固定有密封环，密封环的外侧壁紧贴主箱体的内侧壁，提升板的顶面通过螺栓固定连接有上盖体，上盖体与提升板的顶面之间具有内腔体，待加工件放置在提升板的顶面上，待加工件处于内腔体中并夹持在上盖体与提升板之间；
所述待加工件的顶面中部凸起部插套在上盖体的顶板的中部具有的中心通孔，待加工件的顶面中部凸起部的顶面中部成型有螺接柱，防护套筒螺接在螺接柱上，防护套筒的底端插套在待加工件的顶面中部凸起部上成型有的环形凹槽中，防护套筒覆盖螺接柱的顶面和侧壁。
所述中心通孔的内侧壁上固定有密封圈，待加工件的顶面中部凸起部的侧壁压靠在密封圈的内侧壁上。
所述上盖体的边部底面具有环形凹槽，下密封圈嵌套在环形凹槽中，下密封圈的底面压靠在提升板的边部顶面上。
所述贯穿通孔的内侧壁上固定有导向自润滑套，提升螺套插套在导向自润滑套中，提升螺套的外侧壁紧贴导向自润滑套的内侧壁。
所述主箱体的顶板的底面固定有若干磁控溅射靶。
所述提升板的底面固定有多个导向杆，导向杆插套在主箱体的底板上成型有的竖直导向通孔中。
所述竖直导向通孔的内侧壁上固定有内导向套，导向杆插套在内导向套中。
所述导向杆的底端固定有下限位板。
所述主箱体的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门。
所述防护套筒的底端固定有密封层，密封层插套环形凹槽中并压靠在环形凹槽的底面上。
本发明的突出效果是：与现有技术相比，它采用可多次使用的上盖体和防护套筒进行局部覆盖，方便待加工件的局部镀膜，其可以重复利用，利用率高，同时，其提升板可以进行高低升降，可以满足不同高度的待加工件的表面镀膜，使用范围广。
附图说明
图1是本发明的局部结构示意图；
图2是图1的局部放大图。
具体实施方式
实施例，见如图1至图2所示，一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，包括主箱体10，所述主箱体10的底板的底面固定有多个支撑腿11，底部横向板12的侧壁固定在多个支撑腿11的侧壁上，提升板13插套在主箱体10中，提升板13的底面中部固定有提升螺套14，提升螺套14插套在主箱体10的底板的中部具有的贯穿通孔15，提升螺套14上螺接有提升螺杆141，提升螺杆141的底部通过轴承铰接在底部横向板12上，提升螺杆141的底端伸出底部横向板12的底面并固定有传动齿轮142，底部横向板12的正下方设有下连接横向板16，下连接横向板16的侧壁固定在对应的支撑腿11的侧壁上，下连接横向板16的底面固定有提升电机17，提升电机17的输出轴穿过下连接横向板16并固定有驱动齿轮171，驱动齿轮171与传动齿轮142相啮合；
所述提升板13的侧壁固定有密封环131，密封环131的外侧壁紧贴主箱体10的内侧壁，提升板13的顶面通过螺栓固定连接有上盖体18，上盖体18与提升板13的顶面之间具有内腔体1，待加工件100放置在提升板13的顶面上，待加工件100处于内腔体1中并夹持在上盖体18与提升板13之间；
所述待加工件100的顶面中部凸起部插套在上盖体18的顶板的中部具有的中心通孔181，待加工件100的顶面中部凸起部的顶面中部成型有螺接柱101，防护套筒19螺接在螺接柱101上，防护套筒19的底端插套在待加工件100的顶面中部凸起部上成型有的环形凹槽102中，防护套筒19覆盖螺接柱101的顶面和侧壁。
进一步的说，所述中心通孔181的内侧壁上固定有密封圈182，待加工件100的顶面中部凸起部的侧壁压靠在密封圈182的内侧壁上。
进一步的说，所述上盖体18的边部底面具有环形凹槽，下密封圈2嵌套在环形凹槽中，下密封圈2的底面压靠在提升板13的边部顶面上。
进一步的说，所述贯穿通孔15的内侧壁上固定有导向自润滑套151，提升螺套14插套在导向自润滑套151中，提升螺套14的外侧壁紧贴导向自润滑套151的内侧壁。
进一步的说，所述主箱体10的顶板的底面固定有若干磁控溅射靶6。
进一步的说，所述提升板13的底面固定有多个导向杆131，导向杆131插套在主箱体10的底板上成型有的竖直导向通孔3中。
进一步的说，所述竖直导向通孔3的内侧壁上固定有内导向套4，导向杆131插套在内导向套4中。
进一步的说，所述导向杆131的底端固定有下限位板132。
进一步的说，所述主箱体10的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门20。
进一步的说，所述防护套筒19的底端固定有密封层5，密封层5插套环形凹槽102中并压靠在环形凹槽102的底面上。
本实施例中，其使用的磁控溅射靶6为现有常用部件，其原理和结构均采用现有公开的结构，不再详述。
而本实施例中的提升电机17和磁控溅射靶6均通过连接线与控制主机电连接，控制主机为公知常用设备，均可以直接购买得到，不再详述。
本实施例的工作原理：将待加工件100放置在提升板13的顶面上，然后，将上盖体18通过螺栓固定提升板13的顶面上，待加工件100处于内腔体1中并夹持在上盖体18与提升板13之间，再将防护套筒19螺接在螺接柱101上，防护套筒19的底端固定有密封层5，密封层5插套环形凹槽102中并压靠在环形凹槽102的底面上，完成覆盖固定，然后，通过提升电机17运行，使得驱动齿轮171运行，带动传动齿轮142转动，使得提升螺杆141转动，实现提升板13的高低位置调节，保证待加工件100处于适当位置，然后，将箱门19盖合关闭，然后，磁控溅射靶6将其靶料镀膜在待加工件100的未覆盖处，即待加工件100的顶面中部凸起部的顶面未覆盖处进行镀膜，其镀膜效果好，均匀程度高。
最后，以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (10)

1.一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，包括主箱体(10)，其特征在于：所述主箱体(10)的底板的底面固定有多个支撑腿(11)，底部横向板(12)的侧壁固定在多个支撑腿(11)的侧壁上，提升板(13)插套在主箱体(10)中，提升板(13)的底面中部固定有提升螺套(14)，提升螺套(14)插套在主箱体(10)的底板的中部具有的贯穿通孔(15)，提升螺套(14)上螺接有提升螺杆(141)，提升螺杆(141)的底部通过轴承铰接在底部横向板(12)上，提升螺杆(141)的底端伸出底部横向板(12)的底面并固定有传动齿轮(142)，底部横向板(12)的正下方设有下连接横向板(16)，下连接横向板(16)的侧壁固定在对应的支撑腿(11)的侧壁上，下连接横向板(16)的底面固定有提升电机(17)，提升电机(17)的输出轴穿过下连接横向板(16)并固定有驱动齿轮(171)，驱动齿轮(171)与传动齿轮(142)相啮合；
所述提升板(13)的侧壁固定有密封环(131)，密封环(131)的外侧壁紧贴主箱体(10)的内侧壁，提升板(13)的顶面通过螺栓固定连接有上盖体(18)，上盖体(18)与提升板(13)的顶面之间具有内腔体(1)，待加工件(100)放置在提升板(13)的顶面上，待加工件(100)处于内腔体(1)中并夹持在上盖体(18)与提升板(13)之间；
所述待加工件(100)的顶面中部凸起部插套在上盖体(18)的顶板的中部具有的中心通孔(181)，待加工件(100)的顶面中部凸起部的顶面中部成型有螺接柱(101)，防护套筒(19)螺接在螺接柱(101)上，防护套筒(19)的底端插套在待加工件(100)的顶面中部凸起部上成型有的环形凹槽(102)中，防护套筒(19)覆盖螺接柱(101)的顶面和侧壁。
2.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述中心通孔(181)的内侧壁上固定有密封圈(182)，待加工件(100)的顶面中部凸起部的侧壁压靠在密封圈(182)的内侧壁上。
3.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述上盖体(18)的边部底面具有环形凹槽，下密封圈(2)嵌套在环形凹槽中，下密封圈(2)的底面压靠在提升板(13)的边部顶面上。
4.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述贯穿通孔(15)的内侧壁上固定有导向自润滑套(151)，提升螺套(14)插套在导向自润滑套(151)中，提升螺套(14)的外侧壁紧贴导向自润滑套(151)的内侧壁。
5.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述主箱体(10)的顶板的底面固定有若干磁控溅射靶(6)。
6.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述提升板(13)的底面固定有多个导向杆(131)，导向杆(131)插套在主箱体(10)的底板上成型有的竖直导向通孔(3)中。
7.根据权利要求6所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述竖直导向通孔(3)的内侧壁上固定有内导向套(4)，导向杆(131)插套在内导向套(4)中。
8.根据权利要求6所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述导向杆(131)的底端固定有下限位板(132)。
9.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述主箱体(10)的前壁面的侧壁通过铰接轴铰接有箱门(20)。
10.根据权利要求1所述的一种板件中部部分镀膜真空镀膜箱体，其特征在于：所述防护套筒(19)的底端固定有密封层(5)，密封层(5)插套环形凹槽(102)中并压靠在环形凹槽(102)的底面上。
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