CN111880470A - 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法 - Google Patents

压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111880470A
CN111880470A CN202010454454.1A CN202010454454A CN111880470A CN 111880470 A CN111880470 A CN 111880470A CN 202010454454 A CN202010454454 A CN 202010454454A CN 111880470 A CN111880470 A CN 111880470A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sliding mode
disturbance
piezoelectric driving
positioning platform
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010454454.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111880470B (zh
Inventor
周淼磊
潘炜
徐瑞
高巍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jilin University
Original Assignee
Jilin University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jilin University filed Critical Jilin University
Priority to CN202010454454.1A priority Critical patent/CN111880470B/zh
Publication of CN111880470A publication Critical patent/CN111880470A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111880470B publication Critical patent/CN111880470B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/35Nc in input of data, input till input file format
    • G05B2219/35349Display part, programmed locus and tool path, traject, dynamic locus

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)

Abstract

一种压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法,属于精密运动控制领域。本发明的目的是采用基于粒子群的约束广义预测算法实现平台精密定位控制的压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法。本发明的步骤是:建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型,并且根据其系统模型推导出压电驱动微定位平台系统状态关系方程;设计基于扰动估计器的无抖振等效滑模控制器,得到控制信号,并且控制压电驱动微定位平台系统状态关系方程,从而实现对压电驱动微定位平台的高精度定位控制。本发明用粒子群优化算法代替广义预测控制中的滚动优化过程对输入约束与输入变化率约束进行处理,实现压电陶瓷微定位平台的精密定位控制,可扩展到更多优化问题的求解,解决更多领域的问题。

Description

压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法
技术领域
本发明属于控制技术领域。
背景技术
由于高精密加工技术的发展,压电驱动微定位平台作为高精密设备的核心部件受到越来越多人的关注。但是由于压电材料本身存在的迟滞非线性,严重损害了压电驱动微定位平台的控制性能。此外,迟滞非线性还存在多值映射、率相关及记忆性等特性,继而导致压电驱动微定位平台比传统的非线性系统控制难度更高。
当前对压电驱动微定位平台的控制主要包括两类:基于逆模型的控制方法和无需逆模型的控制方法。滑模控制方法属于一种无需逆模型的控制方法,该方法的核心思想就是基于提出的滑模面,设计一种鲁棒性强的控制器,使系统的状态与期望的轨迹保持一致。然而,滑模控制属于一种切换控制,存在严重的切换抖振,严重影响了它的控制性能和工程应用。为此,急需一种技术方案在保证滑模控制鲁棒性的同时消除控制器的抖振,这对于滑模控制在压电驱动微定位平台高精密控制性能方面的提高具有重大的意义。
发明内容
本发明的目的是通过建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型推导状态关系方程,设计一种无抖振等效滑模控制器对压电驱动微定位平台进行控制的压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法。
本发明步骤是:
步骤Q1,考虑内部未建模动态、参数不确定性及外部扰动变量等未知扰动部分,建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型,并且根据其系统模型推导出压电驱动微定位平台系统状态关系方程;
建立的基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型为:
Figure BDA0002508833260000011
其中,M、B和K分别代表系统的质量、阻尼系数和刚度;D是压电系数;Pd(t)表示由内部未建模动态、参数不确定性及外部负载在内的扰动变量组成的未知总扰动;u(t)、x(t)和w(t)分别是平台系统的输入、输出和迟滞状态变量;α、f(v(t))和g(v(t))均是Duhem迟滞微分方程的参数;
根据系统模型推导的压电驱动微定位平台系统状态关系方程为:
Figure BDA0002508833260000012
其中,a0=-B/M,b0=KD/M,c0=-K/M;
步骤Q2,设计基于扰动估计器的无抖振等效滑模控制器:首先根据状态跟踪误差模型设计比例积分型滑模面;同时设计扰动估计器对未知总扰动进行估计补偿;然后基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并引入低通滤波器,设计无抖振等效滑模控制器的控制信号;根据等效滑模控制理论,该控制信号包含等效控制项和鲁棒项两部分,其中低通滤波器被引入到鲁棒项的设计中;
状态跟踪误差模型为:e(t)=xd(t)-x(t),根据状态跟踪误差模型设计的比例积分型滑模面为:
Figure BDA0002508833260000021
其中,λ表示控制增益,满足λ>0;
扰动估计器设计为下式,实现对未知总扰动的估计补偿:
Figure BDA0002508833260000022
经过扰动估计器作用后的压电驱动微定位平台系统状态关系方程改写为:
Figure BDA0002508833260000023
其中,
Figure BDA0002508833260000024
是未知总扰动的估计误差;
基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并且引入低通滤波器的无抖振等效滑模控制器的控制信号为:
Figure BDA0002508833260000025
其中,ueq(t)是等效控制项;up(t)是鲁棒项;
Figure BDA0002508833260000026
是鲁棒项中通过低通滤波器设计的扰动估计误差的估计值;κ是正实数;τf是时间常数;
步骤Q3,得到控制信号,并且控制压电驱动微定位平台系统状态关系方程,从而实现对压电驱动微定位平台的高精度定位控制。
本发明鲁棒性强,控制精度更高,响应速度更快,有利于工程实践。本发明通过设计比例积分型滑模面,有效的减小了滑模控制器的稳态误差,并且加快系统响应速度;同时设计扰动估计器对受未知扰动影响的压电驱动微定位平台系统进行估计补偿,大大的减轻了滑模控制器的负担;在此基础上,设计的无抖振等效滑模控制器的突出特点是将低通滤波器引入到等效滑模控制器的鲁棒项设计中,利用低通滤波器的方式对扰动估计误差的估计值进行精确估计,同时提高了控制系统阶次,使得不连续的切换控制转换成一种无抖振的滑模控制,在保证控制信号的平稳性的同时,即使系统存在未知扰动,系统的性能也会始终保持稳定,具有很强的鲁棒性,并且控制精度更高,响应速度更快,便于实际工程应用。
附图说明
图1是本发明的流程图;
图2是本发明滑模控制系统结构框图;
图3是本发明压电驱动微定位平台实验系统图;
图4是本发明正弦波轨迹跟踪控制实验结果图。
具体实施方式
本发明提供了一种压电驱动微定位平台无抖振滑模控制方法,通过建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型推导状态关系方程,设计比例积分型滑模面和扰动估计器,并且基于比例积分型滑模面和扰动估计器,设计一种无抖振等效滑模控制器对压电驱动微定位平台进行控制,该控制方法鲁棒性强,控制精度更高,响应速度更快,有利于工程实践。
本发明无抖振滑模控制器的设计步骤:
步骤Q1,考虑内部未建模动态、参数不确定性及外部扰动变量等未知扰动部分,建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型,并且根据其系统模型推导出压电驱动微定位平台系统状态关系方程;
步骤Q2,设计基于扰动估计器的无抖振等效滑模控制器:首先根据状态跟踪误差模型设计比例积分型滑模面;同时设计扰动估计器对未知总扰动进行估计补偿;然后基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并引入低通滤波器,设计无抖振等效滑模控制器的控制信号。根据等效滑模控制理论,该控制信号包含等效控制项和鲁棒项两部分,其中低通滤波器被引入到鲁棒项的设计中;
步骤Q3,得到控制信号,并且控制压电驱动微定位平台系统状态关系方程,从而实现对压电驱动微定位平台的高精度定位控制。
本发明步骤Q2中的鲁棒项设计中引入低通滤波器的方法不同于传统设计的鲁棒项,传统的鲁棒项采用符号函数等不连续的切换函数进行设计,会造成较大的抖振。设计的等效滑模控制器利用低通滤波器提高控制系统阶次,使不连续的切换控制转换成一种无抖振的滑模控制,能够在保证控制系统鲁棒性的同时消除控制器的抖振。
本发明流程图如图1所示,具体实施步骤如下:
本发明无抖振滑模控制器的设计步骤Q1:考虑内部未建模动态、参数不确定性及外部扰动变量等未知扰动部分,建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型,并且根据其系统模型推导出压电驱动微定位平台系统状态关系方程。
通过Duhem微分方程模型建立带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型如下:
Figure BDA0002508833260000031
其中,M、B和K分别代表系统的质量、阻尼系数和刚度;D是压电系数;Pd(t)表示由内部未建模动态、参数不确定性及外部负载在内的扰动变量组成的未知总扰动;u(t)、x(t)和w(t)分别是平台系统的输入、输出和迟滞状态变量;α、f(v(t))和g(v(t))均是Duhem迟滞微分方程的参数。
根据系统模型推导的压电驱动微定位平台系统状态关系方程为:
Figure BDA0002508833260000032
其中,a0=-B/M,b0=KD/M,c0=-K/M。
本发明无抖振滑模控制器的设计步骤Q2:设计基于扰动估计器的无抖振等效滑模控制器:首先根据状态跟踪误差模型设计比例积分型滑模面;同时设计扰动估计器对未知总扰动进行估计补偿;然后基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并引入低通滤波器,设计无抖振等效滑模控制器的控制信号。根据等效滑模控制理论,该控制信号包含等效控制项和鲁棒项两部分,其中低通滤波器被引入到鲁棒项的设计中。
本发明滑模控制系统结构框图如图2所示,通过A/DC转换模块采集输出反馈信号,推导系统状态跟踪误差模型e(t)=xd(t)-x(t),根据系统状态跟踪误差模型设计比例积分型滑模面如下:
Figure BDA0002508833260000041
其中,λ表示控制增益,满足λ>0。
本发明根据压电驱动微定位平台系统状态关系方程设计扰动估计器,实现对未知扰动的估计补偿:
Figure BDA0002508833260000042
经过扰动估计器作用后的压电驱动微定位平台系统状态关系方程改写为:
Figure BDA0002508833260000043
其中,
Figure BDA0002508833260000044
是未知总扰动的估计误差。
本发明根据等效滑模控制理论,基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并引入低通滤波器的无抖振等效滑模控制器设计分为等效控制项设计和鲁棒项设计两个部分:
本发明等效控制项设计过程如下:
首先不考虑扰动估计误差的影响,根据比例积分型滑模面推导一阶微分:
Figure BDA0002508833260000045
根据等效控制项设计原理,令
Figure BDA0002508833260000046
并结合压电驱动微定位平台系统状态关系方程(4)推导出等效控制项:
Figure BDA0002508833260000047
本发明鲁棒项设计过程如下:
考虑扰动估计误差的影响,比例积分型滑模面的一阶微分表达式为:
Figure BDA0002508833260000048
基于控制器鲁棒性考虑,将鲁棒项设计为:
Figure BDA0002508833260000049
其中,
Figure BDA00025088332600000410
是扰动估计误差的估计值;κ是正实数。
本发明将低通滤波器Gf(s)=1/(1+τfs)引入到鲁棒项的设计中,对扰动估计误差的估计值进行精确估计。
通过将ueq(t)和up(t)的加和代入比例积分型滑模面一阶微分方程得到下式:
Figure BDA00025088332600000411
利用低通滤波器原理,得到下式:
Figure BDA0002508833260000051
其中,gf(t)=L-1{Gf(s)}是低通滤波器的脉冲响应;*是卷积运算。将其改写为:
Figure BDA0002508833260000052
根据拉普拉斯变换和反变换,最终得到:
Figure BDA0002508833260000053
其中,τf是时间常数。将上式代入式(6),得到鲁棒项最终表达式:
Figure BDA0002508833260000054
本发明无抖振滑模控制器的设计步骤Q3:得到最终的滑模控制信号u(t)=ueq(t)+up(t),通过D/AC转换模块控制压电驱动微定位平台系统,从而实现对压电驱动微定位平台的高精度定位控制。
本发明采用如图3所示的压电驱动微定位平台实验系统进行滑模控制实验验证。采用如下参数进行实验:a0=-1550.36,b0=1501.87,c0=-1643.54,τf=0.0006,κ=0.5和λ=2500。图4为正弦波轨迹跟踪实验结果图。
尽管已经描述并展示了本发明的具体实施例子,本领域的普通技术人员可以理解:在不脱离本发明的原理和宗旨下,可以对一些实施例进行多种替换、修改和变型,本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (1)

1.一种压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法,其特征在于:其步骤是:
步骤Q1,考虑内部未建模动态、参数不确定性及外部扰动变量等未知扰动部分,建立基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型,并且根据其系统模型推导出压电驱动微定位平台系统状态关系方程;
建立的基于Duhem的带有未知扰动的压电驱动微定位平台系统模型为:
Figure FDA0002508833250000011
其中,M、B和K分别代表系统的质量、阻尼系数和刚度;D是压电系数;Pd(t)表示由内部未建模动态、参数不确定性及外部负载在内的扰动变量组成的未知总扰动;u(t)、x(t)和w(t)分别是平台系统的输入、输出和迟滞状态变量;α、f(v(t))和g(v(t))均是Duhem迟滞微分方程的参数;
根据系统模型推导的压电驱动微定位平台系统状态关系方程为:
Figure FDA0002508833250000012
其中,a0=-B/M,b0=KD/M,c0=-K/M;
步骤Q2,设计基于扰动估计器的无抖振等效滑模控制器:首先根据状态跟踪误差模型设计比例积分型滑模面;同时设计扰动估计器对未知总扰动进行估计补偿;然后基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并引入低通滤波器,设计无抖振等效滑模控制器的控制信号;根据等效滑模控制理论,该控制信号包含等效控制项和鲁棒项两部分,其中低通滤波器被引入到鲁棒项的设计中;
状态跟踪误差模型为:e(t)=xd(t)-x(t),根据状态跟踪误差模型设计的比例积分型滑模面为:
Figure FDA0002508833250000013
其中,λ表示控制增益,满足λ>0;
扰动估计器设计为下式,实现对未知总扰动的估计补偿:
Figure FDA0002508833250000014
经过扰动估计器作用后的压电驱动微定位平台系统状态关系方程改写为:
Figure FDA0002508833250000015
其中,
Figure FDA0002508833250000016
是未知总扰动的估计误差;
基于比例积分型滑模面和扰动估计器,并且引入低通滤波器的无抖振等效滑模控制器的控制信号为:
Figure FDA0002508833250000021
其中,ueq(t)是等效控制项;up(t)是鲁棒项;
Figure FDA0002508833250000022
是鲁棒项中通过低通滤波器设计的扰动估计误差的估计值;κ是正实数;τf是时间常数;
步骤Q3,得到控制信号,并且控制压电驱动微定位平台系统状态关系方程,从而实现对压电驱动微定位平台的高精度定位控制。
CN202010454454.1A 2020-05-26 2020-05-26 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法 Active CN111880470B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010454454.1A CN111880470B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010454454.1A CN111880470B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111880470A true CN111880470A (zh) 2020-11-03
CN111880470B CN111880470B (zh) 2023-02-03

Family

ID=73154322

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010454454.1A Active CN111880470B (zh) 2020-05-26 2020-05-26 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111880470B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112904901A (zh) * 2021-01-14 2021-06-04 吉林大学 一种基于双目视觉slam与融合算法的路径规划方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09273553A (ja) * 1996-04-04 1997-10-21 Canon Inc 静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ
JP2005346884A (ja) * 2004-06-07 2005-12-15 Ricoh Co Ltd 光ディスク原盤露光装置
CN102064732A (zh) * 2010-11-17 2011-05-18 北京理工大学 一种压电陶瓷驱动电源及其控制方法
CN105068564A (zh) * 2015-08-03 2015-11-18 北京理工大学 一种压电陶瓷作动器的位移控制方法
CN108762088A (zh) * 2018-06-20 2018-11-06 山东科技大学 一种迟滞非线性伺服电机系统滑模控制方法
CN111142404A (zh) * 2019-12-17 2020-05-12 吉林大学 一种基于压电陶瓷驱动的微定位平台及其建模与控制方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09273553A (ja) * 1996-04-04 1997-10-21 Canon Inc 静圧軸受装置およびこれを用いた位置決めステージ
JP2005346884A (ja) * 2004-06-07 2005-12-15 Ricoh Co Ltd 光ディスク原盤露光装置
CN102064732A (zh) * 2010-11-17 2011-05-18 北京理工大学 一种压电陶瓷驱动电源及其控制方法
CN105068564A (zh) * 2015-08-03 2015-11-18 北京理工大学 一种压电陶瓷作动器的位移控制方法
CN108762088A (zh) * 2018-06-20 2018-11-06 山东科技大学 一种迟滞非线性伺服电机系统滑模控制方法
CN111142404A (zh) * 2019-12-17 2020-05-12 吉林大学 一种基于压电陶瓷驱动的微定位平台及其建模与控制方法

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
ELMALI H: "Implementation of sliding mode control with perturbation", 《TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY》 *
冯阳阳: "压电陶瓷驱动的微定位平台迟滞非线性的建模与控制", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库信息科技辑》 *
徐子睿: "基于 Duhem 前馈逆补偿的压电陶瓷迟滞非线性自适应滑模控制", 《传 感 技 术 学 报》 *
徐瑞: "压电微纳定位平台轨迹跟踪控制方法研究", 《中国博士学位论文全文数据库工程科技Ⅱ辑》 *
王贞艳等: "压电作动器的动态迟滞建模与H_∞鲁棒控制", 《控制理论与应用》 *
赖志林等: "压电陶瓷执行器迟滞的滑模逆补偿控制", 《光学精密工程》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112904901A (zh) * 2021-01-14 2021-06-04 吉林大学 一种基于双目视觉slam与融合算法的路径规划方法
CN112904901B (zh) * 2021-01-14 2022-01-21 吉林大学 一种基于双目视觉slam与融合算法的路径规划方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111880470B (zh) 2023-02-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Huang et al. Intelligent friction modeling and compensation using neural network approximations
Yao et al. RISE-based precision motion control of DC motors with continuous friction compensation
Sun et al. Neural active disturbance rejection output control of multimotor servomechanism
CN109951123B (zh) 针对直线感应电机的速度控制方法
CN111142404A (zh) 一种基于压电陶瓷驱动的微定位平台及其建模与控制方法
CN111506996B (zh) 一种基于辨识误差受限的转台伺服系统自适应辨识方法
CN110649845B (zh) 基于鲁棒广义预测控制的光电转台位置跟踪控制方法
Zhang et al. A robust adaptive dynamic surface control for nonlinear systems with hysteresis input
CN111381501A (zh) 基于事件触发的异步系统的容错控制方法
Zhao et al. Synchronization and tracking control for dual‐motor driving servo systems with friction compensation
CN111880470B (zh) 压电驱动微定位平台的无抖振滑模控制方法
CN112769367A (zh) 永磁直线电机数据驱动离散迭代积分滑模控制方法及系统
CN112422014B (zh) 基于高阶滑模补偿的永磁同步电机转速预测方法
Zou et al. Adaptive sliding mode based position tracking control for PMSM drive system with desired nonlinear friction compensation
CN112068446A (zh) 一种基于离散时间模糊模型的直流电机系统抗干扰控制方法
CN116442223A (zh) 一种机械手系统轨迹跟踪的非线性动态控制器设计方法
CN116638544A (zh) 一种基于超局部模型的关节模组协同控制方法
Jiang et al. Sliding mode control of semi-markovian jump systems
Sha et al. Robust discrete adaptive input-output-based sliding mode controller
Wang et al. A high performance permanent magnet synchronous motor servo system using predictive functional control and Kalman filter
Zhao et al. Design of MRAC and Modified MRAC for the Turntable
Chen Adaptive control for ionic polymer-metal composite actuator based on continuous-time approach
CN114296349B (zh) 一种纳米定位平台的磁滞控制方法和装置
Nie et al. Observer-Based Finite-Time Adaptive Motion Control for Nonlinear Asymmetric Hysteresis Systems in Pure-Feedback Form
Moreno Robust control and observation of nonlinear processes using discontinuities

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant