CN111868295B - 用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体 - Google Patents

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Abstract

本文的各种实施例涉及用于在一个或多个基板通过处理设备时支撑所述基板的载体。在许多情况下，所述基板以竖直方式定向。所述载体可包括框架和将玻璃固定到所述框架的竖直支撑杆。所述载体可不具有水平支撑杆。所述载体可允许所述基板的热膨胀和收缩，而不需要在相邻的基板对之间提供精确的间隙。本文描述的所述载体基本上降低了所述处理设备和基板断裂的风险，从而实现更有效的处理。本文的某些实施例涉及将基板装载到载体上的方法。

Description

用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体
相关申请的交叉引用
本申请要求2018年3月13日提交的并且标题为“《用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体(CARRIER WITH VERTICAL GRID FOR SUPPORTING SUBSTRATES INCOATER)》”的美国临时申请第62/642,525号和2018年6月5日提交的并且标题为“《用于在涂布机中支撑基板的具有竖直网格的载体》”的美国临时申请第62/681,008号的优先权的利益。
背景技术
电致变色器件可以多种方式在基板上形成。通常，基板为基本上透明的和平面的，并且可由玻璃、塑料或类似材料制成。为了形成电致变色器件，基板涂布有各种材料层，如透明导电层、阴极着色的电致变色层和阳极着色的反电极层。额外层可根据需要提供，并且可包括但不限于离子导体层、减轻缺陷的绝缘层、抗反射层、保护性氧化物或氮化物层等。这些层中的一个或多个可在如溅射涂布机的涂布机中形成。在一些情况下，所有这些层都可在涂布机中形成。当在涂布机中处理基板时，载体用于支撑基板。载体可支撑单个基板或多个基板。
发明内容
本文的各种实施例涉及用于在基板通过涂布机时将基板保持在基本上竖直定向的载体。涂布机在基板的至少前表面上提供涂层。在许多情况下，涂层为电致变色器件。
在本文的实施例的一个方面，提供一种用于在至少一个基板通过涂布机时将至少一个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在至少一个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包括：底部抽头杆(tap bar)；顶部抽头杆；多个竖直支撑杆，每个竖直支撑杆具有准许与顶部抽头杆和底部抽头杆两者接合的长度，其中多个竖直支撑杆包括至少最左边和最右边的竖直支撑杆，并且其中多个竖直支撑杆与底部和顶部抽头杆组合限定一个或多个孔；和多个附件，其用于与底部抽头杆和顶部抽头杆接合以准许多个竖直支撑杆中的至少一个沿底部和顶部抽头杆水平移动。
在某些实施例中，载体可另外包括用于将基板的端部紧固到竖直支撑杆的多个紧固件，其中每个竖直支撑杆具有用于在多个竖直位置处附接到多个紧固件的多个紧固件附接位置。在这些或其它实施例中，每个竖直支撑杆可沿竖直支撑杆的平坦表面与基板接合。在一些实施方案中，每个紧固件可包括至少一个销或钉。在一些这类情况下，每个紧固件可包括至少两个销或钉。在这些或其它实施例中，多个紧固件附接位置可包括竖直支撑杆中的多个狭槽、孔洞、凹槽或其它开口。
在一些实施方案中，至少一个孔的水平尺寸可在约50英寸和200英寸之间。在这些或其它实施例中，孔的竖直尺寸可在约50英寸和150英寸之间。
可使用各种材料。在一些情况下，基板可包括玻璃或塑料。在这些或其它实施例中，基板可为待用电致变色器件涂布的窗口。在这些或其它实施例中，多个附件可被配置成移动以适应基板的热膨胀。在这些或其它实施例中，多个附件中的至少一个可包括适应基板的热膨胀的弹簧。在各种实施方案中，底部抽头杆和/或顶部抽头杆可包括金属。在这些或其它实施例中，多个竖直支撑杆可包括金属。
在一些情况下，可提供许多额外特征。举例来说，载体可另外包括用于使载体移动穿过涂布机的传送机构。在这些或其它实施例中，载体可包括被配置成在涂布期间保护载体的至少一部分的护罩。在这些或其它实施例中，载体可被配置成允许将基板以准许具有不同宽度的基板竖直地堆叠于彼此的顶部上的方式堆叠在载体中。在这些或其它实施例中，多个附件可被配置成限制多个竖直支撑杆在与由载体的竖直和水平方向限定的平面正交的方向上的移动。
在本文的实施例的另一个方面，提供一种用于在多个基板通过涂布机时将多个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在多个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包括：框架，其具有孔，所述孔具有水平尺寸和竖直尺寸；底部抽头杆，其附连到框架并且沿孔的底部部分水平延伸；顶部抽头杆，其附连到框架并且沿孔的顶部部分水平延伸；多个竖直支撑杆，每个竖直支撑杆具有(i)准许在跨越孔竖直延伸时与顶部抽头杆和底部抽头杆两者接合的长度，和(ii)用于与底部抽头杆和顶部抽头杆中的至少一个可移动地接合以准许竖直支撑杆在孔内水平移动的可移动附件；和多个紧固件，其用于将基板的边缘紧固到竖直支撑杆，其中每个竖直支撑杆具有用于在多个竖直位置处附接到紧固件的多个紧固件附接位置。
在某些实施方案中，紧固件可为销或钉。在这些或其它实施例中，多个紧固件附接位置可包括竖直支撑杆中的多个狭槽、孔洞、凹槽或其它开口。在这些或其它实施例中，孔的水平尺寸可在约50英寸和200英寸之间。在这些或其它实施例中，孔的竖直尺寸可在约50英寸和150英寸之间。在一些情况下，可移动附件可包括轨道、通道或凹槽。
可使用各种不同材料。在一些实施例中，基板可为玻璃或塑料。在这些或其它实施例中，基板可为用于用电致变色器件涂布的窗口。在这些或其它实施例中，框架可包括金属。在这些或其它实施例中，底部抽头杆和/或顶部抽头杆可包括适应基板的热膨胀特性的材料。在这些或其它实施例中，底部抽头杆和/或顶部抽头杆可包括金属。在这些或其它实施例中，竖直支撑杆可包括金属。
在各种实施方案中，可提供许多额外特征。举例来说，载体可另外包括附接到顶部抽头杆的枢轴钉。在这些或其它实施例中，载体可另外包括用于使载体移动穿过涂布机的传送机构。在这些或其它实施例中，载体可另外包括被配置成在涂布期间保护框架的至少一部分的护罩。
在本文的实施例的另一个方面，提供一种用于在多个基板通过涂布机时将多个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在多个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包括：框架，其具有孔，所述孔具有水平尺寸和竖直尺寸；底部抽头杆，其附连到框架并且沿孔的底部部分水平延伸；顶部抽头杆，其附连到框架并且沿孔的顶部部分水平延伸；多个竖直支撑杆，每个竖直支撑杆(i)具有准许在跨越孔竖直延伸时与顶部抽头杆和底部抽头杆两者接合的长度，并且(ii)在涂布期间定位在基板的后方，使得基板的后表面定位在基板的前表面和竖直支撑杆之间；和多个紧固件，其用于将基板的边缘紧固到竖直支撑杆，其中每个竖直支撑杆具有用于在多个竖直位置处附接到紧固件的多个紧固件附接位置，并且其中基板可以准许具有不同宽度的基板在孔中竖直地堆叠于彼此的顶部上的方式堆叠在载体中。
在一些这类实施例中，紧固件可为销或钉。在这些或其它实施例中，多个紧固件附接位置可包括竖直支撑杆中的多个狭槽、孔洞、凹槽或其它开口。在这些或其它实施例中，孔的水平尺寸可在约50英寸和200英寸之间。在这些或其它实施例中，孔的竖直尺寸可在约50英寸和150英寸之间。在一些情况下，可移动附件可包括轨道、通道或凹槽。
在一些情况下，基板可为玻璃或塑料。在这些或其它实施例中，基板可为用于用电致变色器件涂布的窗口。在这些或其它实施例中，框架可包括金属。在这些或其它实施例中，底部抽头杆和/或顶部抽头杆可包括适应基板的热膨胀特性的材料。在这些或其它情况下，底部抽头杆和/或顶部抽头杆可包括金属。在这些或其它情况下，竖直支撑杆可包括金属。
在某些实施方案中，载体可另外包括附接到顶部抽头杆的枢轴钉。在这些或其它实施例中，载体可另外包括用于使载体移动穿过涂布机的传送机构。在这些或其它实施例中，载体可另外包括被配置成在涂布期间保护框架的至少一部分的护罩。
附图说明
图1A和1B说明用于在基板移动穿过处理设备时支撑基板的载体。
图2A说明根据一个实施例的用于在基板移动穿过处理设备时支撑基板的载体。
图2B-2D说明图2A中所示的实施例的部分的特写后侧视图，其示出沿抽头杆的不同位置处安装在底部抽头杆上的竖直支撑杆。
图2E示出图2A中所示的实施例的一部分的特写后侧视图，其说明将基板的两个相邻列分离的竖直支撑杆。
图2F描绘图2A中所示的实施例的一部分的特写后侧视图，其示出顶部抽头杆。
图2G-2I各自说明沿顶部抽头杆安装并且接合基板的顶部边缘的枢轴钉。
图2J-2O示出根据几个实施例的竖直支撑杆的不同视图。
图2P说明根据某些实施例的可用于将竖直相邻基板分离的夹子的横截面视图。
图2Q和2R说明通过弹簧夹固定到抽头杆的第一竖直支撑杆。
图2S描绘根据一个实施例的弹簧夹的实例。
图2T示出根据某些实施例的可用于将玻璃固定到竖直支撑杆的保持器和销。
图2U说明在一些实施例中可在竖直支撑杆的边缘处使用的安全夹子。
图3为描述将基板装载到关于图2A-2P描述的载体上的方法的流程图。
图4A描绘根据一个实施例的用于在基板移动穿过处理设备时支撑基板的载体。
图4B示出图4A的实施例的一部分的特写后侧视图，其示出安装在底部抽头杆上的竖直支撑杆。
图4C示出图4A的实施例的一部分的特写前侧视图，其示出安装在竖直支撑杆中以将两个竖直相邻基板固定到竖直支撑杆的销。
图4D说明图4A的实施例的一部分的特写前侧视图，其示出通过使用销固定到竖直支撑杆和底部抽头杆上的两个基板。
图4E示出图4D中所示的实施例的横截面视图。
图4F说明图4A的实施例的一部分的特写前侧视图，其示出经由销装载到两个竖直支撑杆上的三个基板。
图4G描绘图4F中所示的实施例的横截面视图。
具体实施方式
在以下描述中，阐述许多具体细节以便提供对所呈现的实施例的透彻理解。可在没有这些具体细节中的一些或全部的情况下实践所公开的实施例。在其它情况下，没有详细描述众所周知的过程操作，以免不必要地模糊所公开的实施例。虽然所公开的实施例将结合具体实施例进行描述，但是应理解，这并不旨在限制所公开的实施例。
在基板上形成电致变色器件的一种技术涉及用各种材料层涂布基板。在许多情况下，使用溅射、物理气相沉积(PVD)或其它方法在涂布机中形成涂层。涂布机可包括多个不同的站，每个站被配置成沉积一层或多层。当基板平移穿过涂布机时，可使用载体来支撑一个或多个基板。尽管本文的某些实施例针对被配置成在一个或多个基板平移穿过溅射设备(例如用于在基板上溅射沉积一个或多个涂层的溅射设备)时保持一个或多个基板的载体，但是实施例不限于此。通常，当基板通过处理设备时，本文描述的实施例可用于固定任何基本上平面的基板。处理设备通常用于沉积一个或多个膜(在一些情况下，膜形成电致变色器件)，但是在一些情况下，处理设备可用于蚀刻、清洁、颗粒去除、抛光、光刻等。这类实施方案在所公开的实施例的范围内。在一些情况下，处理设备形成全固态和无机的电致变色器件。电致变色器件的一些实例可在美国专利第8,300,298号中找到，所述专利以全文引用的方式并入本文中。
为了清楚起见，定义以下术语。如本文所用，术语“基板”是指被装载到载体上并且在处理设备中进行处理的平面或基本上平面的物体。在许多情况下，基板为玻璃，尽管在一些情况下可使用塑料和其它材料。通常，基板的尺寸在每一侧上(例如，宽度和高度)都落在约12英寸和120英寸之间，尽管这并不旨在为限制性的。基板可最终形成电致变色窗或在其上具有电致变色器件的其它产品，或者它可为未被制造成最终产品的填料基板。如本文所用，术语“载体”意指被配置成在基板通过处理设备时支撑一个或多个基板的结构。载体可由可永久地或可释放地彼此附接的各种件构成。在许多情况下，载体包括框架和在框架内的孔。如本文所用，术语“孔”是指载体中装载一个或多个基板以进行处理的区域。在许多情况下，孔基本上为敞开的(例如，它不包括固体背衬)。如本文所用，术语“竖直网格安装件”和“抽头杆”可互换地用于指代连接到框架的水平部分的水平定向的结构，其用于将竖直支撑杆安装在孔内。如本文所用，术语“竖直支撑杆”是指在孔的底部和顶部之间拉伸以支撑孔中的一个或多个基板的竖直杆。通常，竖直支撑杆安装到抽头杆上。
当关于抽头杆使用时，术语“狭槽”是指竖直支撑杆的一部分安装到其中，或者另一件硬件可安装到其中以便将竖直支撑杆固定到抽头杆的抽头杆中的开口、孔洞或凹陷。当关于竖直支撑杆使用时，术语“狭槽”是指销可装配到其中以将一个或多个基板抵靠竖直支撑杆固定的竖直支撑杆中的开口、孔洞或凹陷。当关于竖直支撑杆或狭槽使用时，术语“销”是指装配在狭槽内以将一个或多个基板抵靠竖直支撑杆固定的一件硬件。当关于竖直支撑杆或相邻基板使用时，术语“夹子”是指定位在两个相邻基板之间以维持相邻基板之间的分离和共面的一件硬件。
如本文所用，术语“枢轴钉”是指枢轴结构，其牢固地或可释放地附接到载体的一部分(例如，通常为顶部抽头杆或框架)并且当基板装载在载体中时与基板的顶部边缘接合。在许多情况下，枢轴钉包括附接到顶部抽头杆或框架的第一端部和与基板的顶部边缘接合的第二端部。枢轴钉固定基板的边缘，同时允许由于热膨胀而引起的基板的一些移动。
在本文的许多情况下，当基板装载到载体上并且通过处理设备时，基板被竖直定向。当在本文中相对于基板的尺寸使用时，基板的“宽度”是指基板的水平尺寸。当在本文中相对于基板的尺寸使用时，基板的“高度”是指基板的竖直尺寸。当在本文中相对于基板的尺寸使用时，基板的“厚度”是指基板的两个共面的面之间的距离。通常，基板的厚度约为几毫米。类似地，孔、框架等的“宽度”是指相关元件在水平方向上的尺寸，而孔、框架等的“高度”是指相关元件在竖直方向上的尺寸。
如本文所用，基板的“前”侧是指基板的处理面。这是在处理设备中起作用的基板的一侧。在处理设备为涂布机的情况下，基板的前侧为在其上沉积膜的一侧。基板的“后”侧为基板的与前侧相对的面。
当制造电致变色器件时，载体经常用于在一个或多个基板通过涂布机时固定一个或多个基板。基板以使得每个基板的处理表面基本上暴露以用于涂布的方式固定到载体。通常，基板以竖直定向通过涂布机。然而，也可使用水平处理。
在各种情况下，基板可为玻璃、塑料等。基板可具有已经在其上形成的一个或多个膜。基板通常为平面的，并且它们具有各种大小和形状。最常见地，基板为矩形或正方形，但是也可使用其它形状，如三角形、梯形、其它多边形、圆形、半圆形、椭圆形等。较小的基板大小可为约14英寸乘14英寸，而较大的基板大小可为约72英寸乘120英寸。这些实例之间的任何基板大小也为可以的。尽管在一些情况下可使用较小和/或较大的基板，但所述基板大小适用于许多应用和涂布机。通常，基板的尺寸精确到约1/8英寸内(例如，约3mm或2mm或1mm内)。
在使基板通过涂布机之前，通常将它们装载到载体上。在许多情况下，具有互补形状和大小的多个基板被装载到单个载体上。在某些情况下，载体包括完整或部分框架以及至少部分地由框架限定的孔。孔为当基板被支撑在载体中时基板所在的载体的区域。在许多情况下，孔可基本上为敞开的(例如，载体在孔区中可不具有完整/固体背衬)。可在框架内提供各种水平和/或竖直支撑杆，其全部或部分越过孔。可将基板抵靠这些水平和/或竖直支撑杆固定。
图1A和1B描绘可被配置成包括可调节网格阵列的载体100。图1A说明在将基板装载在其上之前的载体100的各个方面，而图1B示出在已经将多个基板102同时装载在其上之后的载体100。在此实例中，载体100包括竖直框架构件110以及水平框架构件105和115。水平框架构件105和115经由短支柱135焊接或以其它方式附接在一起。竖直框架构件110与水平框架构件105和115配合(例如，与其螺栓连接)以形成载体100的框架。将导板120、导轨125和重叠部分130附接(例如，螺栓连接)到载体100的框架，如图1A中所示。在框架内(例如，竖直框架构件110和水平框架构件105的内部)限定孔101。抽头杆140可沿孔101的顶部和底部内边缘配置。在一些情况下，抽头杆140可被称为顶部抽头杆和底部抽头杆，或者被称为竖直网格安装件。图1A中所示的抽头杆140可包括用于附接图1B中所示的竖直支撑杆155的多个螺柱145。螺柱145可与抽头杆140的主体可滑动地接合，使得当竖直支撑杆155安装到螺柱145时，组件可沿抽头杆140横向移动以适应基板的热膨胀。在一些情况下，可使用夹紧块代替螺柱145。
如图1B中所示，可调节网格阵列包括几个水平支撑杆160以及竖直支撑杆155。围绕某些水平支撑杆160和竖直支撑杆155的箭头指示支撑杆具有可调节的位置，使得各种大小的基板可容纳在载体100内。护罩150可在溅射期间覆盖载体100的部分(例如，前侧和/或后侧部分)。
竖直支撑杆155使用抽头杆安装到水平框架构件上。抽头杆可包括在处理期间膨胀和收缩以接近安装在载体上的基板的热膨胀和收缩的合金。水平支撑杆160可穿过任何可用的机构安装到竖直支撑杆155上。在一些情况下，水平支撑杆160与竖直支撑杆155可滑动地接合。水平支撑杆160可为可伸缩的，使得它们的长度为可调节的。可调节的长度适应热膨胀，并且还允许每个水平支撑杆160用于涉及不同特定基板尺寸的各种制造过程中。在许多情况下，竖直支撑杆155和水平支撑杆160至少部分地定位在基板的前方(例如，在基板的处理面上)。在许多情况下，这意味着竖直支撑杆155和水平支撑杆160的至少一部分定位在基板和用于在基板的处理面上沉积材料的溅射靶之间。在图1B的实例中，每个基板102在其周边由竖直支撑杆155和水平支撑杆160的组合支撑。下面另外描述将基板102装载到载体100上的过程。
与图1A和1B中描述的载体100一致的实例载体另外描述于2015年11月23日提交的并且标题为“《用于溅射系统的玻璃托盘(GLASS PALLET FOR SPUTTERING SYSTEMS)》”的美国专利申请第14/893,502号中，其以全文引用的方式并入本文中。
因为基板具有许多大小和形状，所以通常用不均匀大小和/或形状的基板装载载体，如图1B中所示。在许多情况下，选择基板的大小和形状以满足特定的客户订单，这需要特定的尺寸。由于大小和形状的不匹配，可难以完全填充载体的孔。填料基板(例如，在许多情况下为填料玻璃)通常用于填充孔中未被用于生产的基板占据的额外空间。填料基板为将不另外处理或出售的牺牲性基板(尽管它们可重复使用)。通常仅约60-70％的孔区域被将要制造成电致变色窗的基板占据，其中其余的区域被填料基板占据。
虽然可使用许多不同的技术将基板和填料基板定位在载体的孔内，但是一些技术引入某些生产线问题。例如，在与图1A和1B的载体一致的一种方法中，载体的孔提供有竖直和水平支撑杆的网格，其被适当地定位以将各个基板保持在竖直位置以用于竖直传送穿过涂布机。载体的顶部区包括被称为顶部抽头杆的抽头杆，并且载体的下部区包括被称为底部抽头杆的抽头杆。顶部和底部抽头杆两者均附连到载体结构的其余部分(例如，附连到框架构件)。刚性竖直支撑杆附接到顶部和底部抽头杆，并且可伸缩的水平支撑杆附接到竖直支撑杆。
当准备好一组基板进行处理(例如涂布)时，安装人员将竖直支撑杆布置在孔内，以适应不同基板的宽度。例如，如图1B中所示，将相同宽度的基板竖直地堆叠于彼此的顶部上。竖直支撑杆螺栓连接或以其它方式牢固地附接到顶部和底部抽头杆。然后，将可伸缩的水平支撑杆压缩或延伸到适当的长度(例如，以适应存在的基板的宽度)，并且水平定位在竖直支撑杆之间以及相邻基板之间。竖直和水平支撑杆定位在基板的处理面上。换句话说，竖直和水平支撑杆定位在基板和涂布机的阴极/溅射靶之间。因而，竖直和水平支撑杆在涂布期间遮蔽基板的外围区。在许多情况下，此遮蔽为不期望的，并且将优选的是将膜沉积在基板的整个处理面上。
在某些设计中，水平支撑杆相对较薄并且可弯曲，并且可容易地弯曲成它们期望的形状。例如，热膨胀(其可由通过涂布机引起)可导致水平支撑杆向外远离基板弯曲。此弯曲为不期望的，因为它可导致水平支撑杆抵靠涂布机的边缘绊住或卡住。结果，水平支撑杆可变得移位或断裂，或者它们可导致设备的另一部分(例如护罩)移位或断裂。这些影响可严重干扰生产过程，并且在一些情况下可导致机械中断、电气短路和不必要的停机时间。另外，在一些情况下，变形的水平支撑杆可导致基板断裂，从而损失有价值的生产材料。
由水平支撑杆引入的另一个问题(特别是在水平支撑杆为可伸缩的情况下)为这类支撑杆可生成掉落到基板表面上并且污染基板表面的金属颗粒。当水平支撑杆的移动/可伸缩件在彼此上方移动时，生成金属颗粒。因为金属颗粒为导电的，所以它们可将缺陷引入到在基板上形成的电致变色器件中。
某些载体(如图1A和1B中所示的载体)的另外的问题为竖直地堆叠于彼此顶上的基板必须具有相同的宽度。这是因为竖直支撑杆将整列基板分离，并且每列中的基板都具有相同的宽度。换句话说，如果在载体的一部分中的底部件具有装载在其上的20英寸宽的基板，那么在所述基板上方装载的所有基板也必须为20英寸宽。如果基板具有特定的宽度，并且不存在准备好具有相同宽度的其它基板进行处理，那么所述基板定位在载体的孔内的列必须填充有填料基板。实际上，这意味着使用大量的填料基板，并且浪费大量的膜材料，从而沉积在填料基板上。载体的竖直列中的所有基板都具有相同宽度的要求被称为“z堆叠”。
载体(如图1A和1B中所示的载体)的另一个问题为需要维持水平支撑杆的许多不同件。即使水平支撑杆可为可伸缩的以适应不同的基板宽度，这类可伸缩也可仅适应一定程度的宽度改变。由于基板宽度的范围很广，因此必须维持许多不同的水平支撑杆。需要大量的存储区域和组织来存储所有不同的水平支撑杆。
本文的各种实施例解决上述问题中的一个或多个。图2A-2P说明根据本文某些实施例的载体200的不同方面。在此实施例中，在竖直相邻基板202之间不使用水平支撑杆，并且每个竖直支撑杆的相当大部分定位在基板202的后面的平面的后方。这两个特征都与图1A和1B的实施例相反。
如图2A中所示，载体200包括与图1A和1B的载体100类似的许多特征。举例来说，载体200包括水平框架构件205和215以及竖直框架构件210。水平框架构件205和215通过短支柱235连接在一起(例如，焊接)。水平框架构件205和215可通过任何可用的手段连接到竖直框架构件210，并且在一些情况下，它们被螺栓连接在一起。可在上部水平框架构件215的顶上提供导板220，并且可沿下部水平框架构件215的底部边缘提供(例如，螺栓连接、焊接等)导轨225。
抽头杆240(有时被称为上下抽头杆或竖直网格安装件)安装到水平框架构件205上。抽头杆240可浮动或以其它方式移动以解决抽头杆240和载体200的其余部分(如水平框架构件205)之间的不均匀热膨胀。在一些实施例中，抽头杆240可由具有与基板202或载体200的不同部件匹配的热膨胀系数的材料制成。
在各种情况下，抽头杆240包括突出或允许竖直支撑杆255经由凹槽沿抽头杆240滑动的导引件或轨道。在这些或其它情况下，抽头杆240可包括通道，竖直支撑杆255搁置在所述通道中并且可在不脱离通道的情况下移动/滑动。值得注意的是，抽头杆240中的轨道、凹槽和/或通道允许竖直支撑杆155具有一些左右移动的自由度，以适应在处理期间的热膨胀。换句话说，提供可移动的附件，以使竖直支撑杆255与抽头杆240中的至少一个可移动地接合。这消除在水平相邻基板202之间提供精确的间隙的需要，因为基板202可随着它们的加热和膨胀而浮动和移动。以前，在竖直支撑杆255更牢固地附接到抽头杆240的情况下，必须在水平相邻基板202之间提供精确的间隙，以确保相邻基板在其固定位置加热和膨胀时将不对彼此施加不适当的压力。此过程易于出错，并且导致许多有价值的基板损失/断裂。图2A-2I中所示的配置基本上更柔韧并且不太可能引起基板断裂。
竖直支撑杆255安装到抽头杆240上。多个基板202以竖直定向装载到载体200上。尽管图2A中未示出，但是可提供护罩(例如，类似于图1B的护罩150)以覆盖载体200的顶部和底部部分。图2A包括标记为2B、2C、2D和2E的几个圆圈。这些圆圈中的每一个分别指示设备的哪个部分在图2B、2C、2D和2E中示出。
可使用图3中所示的方法300将基板202装载到载体200上，这在图2A-2E中所示的结构的上下文中描述。方法300从操作301开始，其中接收一组基板202以用于处理。在此操作期间，确定期望的基板布局(例如，确定每个基板202将在载体200上定位的位置)。举例来说，宽度匹配的基板可按列分组在一起。接下来，在操作303，将第一竖直支撑杆255安装到载体200上。竖直支撑杆255被设计成将基板保持在适当位置，并且例如穿过抽头杆240将载体200的其余部分连接到玻璃。在一些情况下，第一竖直支撑杆255可保持安装在载体200上，并且可省略此操作。通常，第一竖直支撑杆255安装在附接到水平框架构件205的抽头杆240之间。在一些情况下，第一竖直支撑杆255(和其余的竖直支撑杆255)可以可滑动地安装到抽头杆240上。例如，竖直支撑杆255可沿抽头杆240水平滑动到适当位置，到达与载体200中的基板202中的一个或多个的竖直边缘有效对准的位置。
图2C说明抵靠竖直框架构件210安装的第一竖直支撑杆255。值得注意的是，图2C(以及图2B和2D-2I)从“后侧”透视图说明这些元件。换句话说，基板的前侧/处理侧面向页面，而基板的后侧面向页面之外。在此实例中，第一竖直支撑杆255抵靠竖直框架构件210齐平安装，尽管在一些情况下，可在第一竖直支撑杆255和竖直框架构件210之间提供间隔件(未示出)。如图2C中所示，可提供支架270或其它连接结构，以将第一竖直支撑杆255固定到抽头杆240上。支架可环绕第一竖直支撑杆255的一部分，并且可包括允许支架连接到抽头杆240的一个或多个开口。支架270提供将第一竖直支撑杆255固定到抽头杆240的一个实例。然而，第一竖直支撑255杆的固定不一定需要由固定在适当位置的支架270来提供。
如图2Q中的前透视图和图2R中的俯视横截面图所表示，在另一个实施例中，第一竖直支撑杆255通过弹簧夹219固定到抽头杆240。弹簧夹219对于在处理过程期间确保基板的边缘保持与竖直支撑杆接触并且由所述竖直支撑杆支撑可为特别适用的。每个弹簧夹219包含附接部分219a，其在第一端部处被配置成通过定位在弹簧夹219的孔内的一个或多个紧固件(未示出)联接到抽头杆240。每个弹簧夹219还包含中空轴219c，其具有一定长度和在其上安装弹簧219d的外表面。弹簧219d包含比轴219c的长度长的非弹簧长度(例如，在未处于压缩或拉伸时的长度)。中空轴219c被配置成接收一个端部安装到紧固件219b的棒219e，所述紧固件219b又被配置成固定到第一竖直支撑杆255的端部。
棒219e被配置成可滑动地插入穿过中空轴219c。如图2Q中所示，在中空轴219c的端部和棒219e的第二端部之间限定距离“D”。当棒219e完全插入穿过中空轴219c使得紧固件219b邻接弹簧夹的第二端部219m时，距离D在最大值处。此最大距离可被称为D1。
在一个实施例中，载体的组装和安装包含将竖直支撑杆255初始定位在抽头杆240上，将棒219e附接到紧固件219b，将棒219e完全穿过中空轴219c插入，使得紧固件219b邻靠着弹簧夹219的第二端部219m，将弹簧219d放置在中空轴219c上，将保持器219f固定到棒219e的第二端部，将紧固件219b定位在竖直支撑杆255上，并且随后将附接部分219a安装到抽头杆240。在安装附接部分219a期间，可将附接部分219a从紧固件219b拉开，从而压缩/预装载弹簧219d。在图2Q和2R的实例中，附接部分219a可向左拉并且附接在使得紧固件219b和弹簧夹219的第二端部219m之间存在间隙的位置处。以此方式，附接部分219a在弹簧219d上施加向左的力，弹簧219d在保持器219f上施加向左的力，保持器219f在棒219e上施加向左的力，棒219e在紧固件219b上施加向左的力，紧固件219b在竖直支撑杆255上施加向左的力。在竖直支撑杆255上的此向左的力确保竖直支撑杆保持接触并且支撑基板202的边缘。当然，在某些情况下，弹簧夹219可被配置成在这些元件上提供向右的力，例如通过将弹簧夹219翻转并且定位到竖直支撑杆255的右边。在许多情况下，紧固件219b和弹簧夹219的第二端部219m之间的间隙的宽度小于上述距离D1。当在安装期间将附接部分219a向左拉时，中空轴219c的端部和棒219e的端部之间的距离D减小到D<D1。此时距离D减小，因为棒219e基于竖直支撑杆255和紧固件219b的位置而保持固定在适当位置，而中空轴219c的端部被向左拉动，更靠近棒219e的端部。
当以此方式安装时，弹簧夹219和距离D适应并且允许竖直支撑杆255的有限量的移动，同时确保竖直支撑杆255保持接合并且继续支撑基板202的边缘。在一些情况下，需要这类移动来解决并且适应不同公差以及可由热不均匀性和热膨胀引起的基板202的膨胀，已知所有这些都能够引起基板在处理期间断裂和/或掉落。
如图2S中所示，在一些实施例中，为了另外使基板的断裂降到最低，当将附接部分219a定位和固定到抽头杆240时，优化弹簧219d被压缩/预装载的量/距离可为有用的。为此，可使用示位夹子233。示位夹子包含：部分233a，其抵靠紧固件219b的表面联接；和部分233b，其通过定位在部分233b内的细长狭槽内的紧固件联接到抽头杆240。使用示位夹子233的实施例包含处理基板202，使得部件的热膨胀将处于或接近于最大值。在实现这类膨胀后不久，部分233a紧靠紧固件219b的表面定位，并且部分233b被紧固到抽头杆240。随后的冷却将导致部件的热收缩，这将导致在紧固件219b和示位夹子的部分233b之间形成间隙。此间隙的宽度可用于确定弹簧219d应被压缩/预装载以实现附接部分219a的期望位置的量/距离。以此方式，即使各种材料在处理过程中热膨胀和收缩，也可确保竖直支撑杆255继续接触并且支撑基板202的边缘。
返回图3，在操作305，通过将基板202抵靠第一竖直支撑杆255放置而将第一列基板202装载到载体200上。这也在图2C中示出。第一竖直支撑杆255(以及其它竖直支撑杆255)包括主体区和凸缘区。凸缘区从竖直支撑杆255的前面稍微水平向外延伸，并且接触基板202的前侧。竖直支撑杆255的主体区定位在基板202的相邻列之间。在图2C中，竖直支撑杆255的凸缘区被示出为在基板202的后方并且在竖直支撑杆255的主体区的后方(然而，应当理解，图2C示出“后侧”透视图，并且因此，当考虑在涂布时通常使用的“前侧”透视图时，凸缘区实际上在基板202的外围区的前方并且遮蔽所述外围区)。
如图2C中所示，第一竖直支撑杆255(以及其它竖直支撑杆255)包括多个狭槽271，每个狭槽271被配置成容纳销275，所述销275将每个基板202抵靠竖直支撑杆255的主体区固定在竖直支撑杆255的凸缘区和销275之间。销275可沿竖直支撑杆255的整个高度安装在狭槽271中。在此实例中，销275具有在平行于基板202的面并且垂直于竖直支撑杆255的高度的方向上延伸的轴。狭槽271提供用于附接销275(或其它紧固件)的紧固件附接位置的一个实例。然而，图2B中所示的多个狭槽271不限于横跨并且穿过支撑杆255的三个面的形状。
如图2T中所示，在另一个实施例中，多个狭槽273包含包围支撑杆255的一个面的形状。在图2T的实施例中，每个狭槽273被配置成接收保持器272的相应销274，以便将保持器联接到竖直支撑杆255。在图2T的实施例中，保持器272包含两个销，然而，在其它实施例中，保持器可包含更少或更多的销。保持器272包含限定平坦的表面的两个延伸的凸缘276，所述平坦的表面被配置成在竖直支撑杆255的凸缘281和保持器272的延伸的凸缘276之间抵靠竖直支撑杆255的主体区282接合和固定每个基板202。销274包含在与基板202的面正交并且垂直于竖直支撑杆255的高度的方向上延伸的轴。在一些情况下，已发现使用狭槽273为支撑杆255提供增加的结构强度，同时已发现使用保持器272减小基板的断裂。在一些情况下，可在特定列中的竖直相邻基板202之间提供一个或多个夹子(参见图2P的元件290)。在其它情况下，可省略这类夹子，并且在竖直相邻基板202之间可不存在定位的物理结构。如图2P中所示，夹子290可具有“H”形横截面，具有前板、后板以及连接前板和后板的轴。当考虑在处理期间使用的透视图时，夹子的前板可定位在基板的前侧/处理面的前方，夹子的后板可定位在基板的后侧的后方，并且夹子的轴可位于基板的边缘处，将竖直相邻基板分离。
接下来，在操作307中，将第二竖直支撑255杆安装到载体上。举例来说，第二竖直支撑杆255在图2D和2E中示出。第二竖直支撑杆255可与抽头杆240可滑动地接合，使得其可定位在任何期望的位置处。通常，第二竖直支撑杆255将直接抵靠先前已安装的基板202安装在第一列中。然后，在操作309中，将第二列基板202装载到载体200上。如图2D和2E中所示，第二组基板202以与第一组基板202相同的方式装载。将第二组基板202装载到载体200上，使得它们各自与第二竖直支撑杆255接触。在装载第二列基板202之后，在操作311中确定载体200是否被基板完全装载。如果否，那么方法继续操作313和315，其中安装额外竖直支撑杆255，并且分别装载基板202的额外列，直到载体200装满为止。一旦载体200被完全装载，方法就继续操作317。在本文，最终的竖直支撑杆安装到载体上，如图2B中所示。可去除的间隔件265可临时地提供在最终的竖直支撑杆255和竖直框架构件210之间，以提供精确的间隙以允许基板202的热膨胀。在某些实施例中，可通过自动视觉处理来验证此间隙。
如图2U中所示，在一些实施例中，一个或多个第二竖直支撑杆255可提供有安全夹子256。在一个实施例中，安全夹子256提供在每个第二竖直支撑杆255的底部端部和顶部端部处。每个安全夹子256包含附接部分256a，其被配置成通过一个或多个紧固件联接到抽头杆240。每个安全夹子256还包含保持部分256b，其中当附接到抽头杆240时，保持部分限定开口256c，通过其可插入或以其它方式安装第二竖直支撑杆255的端部。保持部分被配置成限制第二竖直支撑杆255可远离抽头杆240移动或移位的距离，例如，当在基板的处理期间联接到支撑杆255的基板202断裂时可发生的情况。在将第二竖直支撑杆255安装在开口256c内后，每个安全夹子256继续允许每个竖直支撑杆在由保持部分和抽头杆240限定的空间256d内沿抽头杆240滑动移动。
图2F说明载体200的顶部区。在抽头杆240和基板202的顶部边缘之间提供间隙。此间隙允许基板的热膨胀。图2G-2I说明沿基板202的顶部边缘安装的枢轴钉280。图2G示出处于下部位置的枢轴钉280，其可在基板冷却时使用，如在将基板装载到载体200上时使用。图2H示出处于上部位置的枢轴钉280，其可在基板为热的并且已经热膨胀时使用，如在溅射期间使用。图2I提供固定基板202的枢轴钉280的透视图。在一些情况下，枢轴钉280可为弹簧装载的。在许多情况下，重力足以确保枢轴钉在处理期间充分保持在适当位置。
枢轴钉280包括连接到抽头杆240的第一端部和固定基板202的顶部边缘的第二端部。如图2G-2I中所示，枢轴钉280的第二端部可包括支撑结构，其抵靠基板202的前侧/处理侧固定。在一些情况下，枢轴钉208的第二端部可通过接触基板202的前侧和后侧两者来固定基板202的顶部边缘。枢轴钉280的第一端部以允许枢轴钉280绕此连接枢转的方式连接到抽头杆240。以此方式，枢轴钉可在图2G和2H中所示的位置之间移动，以允许基板和其它材料的热膨胀和收缩。
图2J-2O说明根据三个不同实施例的竖直支撑杆255的特写视图。在每个实施例中，竖直支撑杆255包括凸缘区281、主体区282以及在主体区282中的多个狭槽271。图2J和2K示出根据第一实施例的竖直支撑杆255的替代视图。在这种情况下，竖直支撑杆255的主体区282由形成为期望的“U”形的单个金属件形成。凸缘区281也由单个金属件制成，尽管其基本上为平坦的。这两个部分通过任何可用的手段接合在一起。图2L和2M示出根据第二实施例的竖直支撑杆255的替代视图。第二实施例与第一实施例的不同之处在于，第二实施例包括形成竖直支撑杆255的凸缘区281的金属件中的切口283，以降低竖直支撑杆255的质量。图2N和2O说明根据第三实施例的竖直支撑杆255的替代视图。第三实施例与第二实施例的不同之处在于，第三实施例包括在竖直支撑杆255的主体区282中的额外切口283，以另外降低竖直支撑杆255的质量。此外，在此实施例中，竖直支撑杆仅由扁平件制成(例如，主体区由附接在一起的三个金属件形成，而不是由弯曲成“U”形的单个金属件形成)。通过仅使用扁平件组装竖直支撑杆255，可使用于形成竖直支撑杆255的金属的厚度更薄，从而另外降低竖直支撑杆255的质量。降低竖直支撑杆的质量为有利的，因为这使在加热和冷却期间的热不均匀性减到最小。
图2A-2P中所示的实施例的一个优点为消除在图1A和1B的载体100中使用的水平支撑杆160。这些水平支撑杆在处理期间导致实质问题，并且经常导致载体、涂布机和/或基板的断裂。消除水平支撑杆显著地降低这类断裂的可能性，从而增加生产效率并且降低生产成本。此外，在图2A-2P的实施例中，不需要存储大量的水平支撑杆，所述水平支撑杆通常又大又笨重并且需要相当大的存储空间。减少并且简化将基板装载到载体上所需的硬件(例如，仅需要单一类型的销、仅需要单一类型的竖直支撑杆等)。总体而言，可潜在地断裂的零件更少，并且基本上降低维护成本。
图2A-2P的实施例的另一个优点为由于自动间隙验证，在处理期间基板断裂的可能性降低。这类自动间隙验证更容易实现，因为竖直支撑杆和抽头杆之间的柔性/可滑动连接允许将所有基板和竖直支撑杆彼此物理接触地装载到载体上。仅需要沿载体的水平宽度提供单个间隙，而不是在每对水平相邻的基板之间提供精确的间隙。因为仅需要单个间隙并且可在统一的位置(例如，在载体的边缘)提供间隙，所以自动间隙验证(例如，使用视觉处理方法)为更可行的可能性。
另外，消除水平支撑杆使得能够更快速地装载载体，因为装载基板和验证间隙所涉及的步骤更少并且更容易。在一些实施例中，本文描述的载体和方法可以自动化方式(例如，用机器人臂)完成，因此另外减少误装载基板的机会。消除水平支撑杆也消除基板的潜在污染源。如上所述，在某些情况下，水平支撑杆为可伸缩的。当金属零件彼此移动时，微小的金属颗粒可被刮掉，然后可掉落到基板上并且污染基板。
图2A-2P中所示的实施例的另一个优点为大多数竖直支撑杆被移动到在基板的前侧/处理侧的后方的位置。结果，被竖直支撑杆遮蔽的基板的外围区域(有时被称为“咬合区域”)可较小。较小的咬合区域有利于下游激光处理。
图4A-4G呈现替代实施例的各种视图。在这种情况下，载体400可更容易地容纳具有不同宽度的基板402。因为基板未按列定向，所以无需确保同一列中的基板都具有相同的宽度。实现这种灵活性的一种技术为移动竖直支撑杆455，使得它们靠近但不在基板402的竖直边缘处(当然，也可提供额外竖直支撑杆)。例如，代替在一对基板202水平相邻的位置处提供单个竖直支撑杆255，如图2A中所示，可提供两个竖直支撑杆455，其中每个竖直支撑杆从基板的竖直边缘稍微水平偏移。如图4A中所示，两个竖直支撑杆在相反的方向上偏移，使得每个相邻基板被支撑在其竖直边缘中的每一个附近。在图4A的实例中，将四个基板402装载到载体400上，并且六个竖直支撑杆455用于在基板402的每个竖直边缘附近提供支撑。
在此实例中，竖直支撑杆455完全定位在基板402的后方。这在许多实施例中可为有利的，因为基板402的遮蔽基本上较少，这意味着基板的更大比例的处理面可用于处理。举例来说，这对于将来的激光处理可为有益的。
图4A-4G中的实施例与上述实施例有许多类似之处。例如，载体400包括通过短支柱435连接在一起的水平框架构件405和415。竖直框架构件410连接到水平框架构件405和415以形成框架。如图所示，导板420和导轨425可附接到水平框架构件415。可提供类似于图1B的护罩150的护罩(未示出)。
图4B为从“后侧”透视图示出的，并且提供安装在抽头杆440的狭槽469中的竖直支撑杆455的特写视图。抽头杆440安装在水平框架构件405上。竖直支撑杆455包括前面和两个侧面。在竖直支撑杆455的前面中形成多个狭槽472。狭槽472提供用于附接销476或其它紧固件的紧固件附接位置的一个实例。狭槽472被竖直定向(例如，它们的最长尺寸上下拉伸)，并且被配置成接收销476。销476为可用于将基板固定到竖直支撑杆的紧固件的一个实例。在此实例中，狭槽472包括在狭槽472的顶部附近的开口，并且销476可装配穿过开口。销476可搁置在狭槽472内的任何竖直位置处。在许多情况下，销476搁置在狭槽472的底部，尽管并非总是如此。如在图4D中更清楚看到的，图4B中的销476还将基板402维持在与抽头杆440的前凸缘区共面的位置。
图4C为从“前侧”透视图示出的，并且提供将两个基板402固定到竖直支撑杆455上的销476的特写视图。销476将基板402维持在使得它们共面并且彼此竖直分离的位置。
图4D也为从“前侧”透视图示出的，并且说明将两个基板402固定到两个竖直支撑杆455上的销476。销476还使基板402与竖直支撑安装件440的前凸缘区维持处于共面关系。竖直支撑杆455被提供在两个基板402相遇的竖直边缘附近但略微移开的位置。销476安装在竖直支撑杆的狭槽472内。
图4E示出图4D中所示的配置的横截面视图。具体地说，图4E示出安装在狭槽472中的销476，以将基板402在连接到抽头杆440的竖直支撑杆455的底部处固定到竖直支撑杆455上。如上所述，销476固定基板402并且使其与抽头杆440的前凸缘区维持处于共面关系。在图4E中，基板的前侧/处理面在左边，并且基板的后侧在右边。
销476包括前板、后板、中间板以及连接前板、中间板和后板的轴。板相对较小，但是足够大以固定基板402的边缘。在图4E中，前板示出在销476的左侧部分上(在基板402的前侧/处理面的前方)，后板示出在销476的右侧部分上(在竖直支撑杆455的面的后方)，并且中间板定位在前板和后板之间(并且在基板的后侧和竖直支撑杆455的面之间)。销476的轴在垂直于基板402的面的方向上延伸。
图4F说明被装载到两个竖直支撑杆455上的三个基板402的“前侧”视图。销476装配到狭槽472中，以将基板402固定到竖直支撑杆455。销476定位在竖直相邻基板402的相邻边缘之间。值得注意的是，基板402未按列定向，并且可根据需要将任何宽度的基板匹配在一起。基板按行定向，而不是按列定向，同一行中的基板具有相同的高度。虽然仍可涉及一些基板几何形状匹配，但是在载体布局方面具有基本上更大的灵活性，并且消除与水平支撑杆相关联的问题。
图4G描绘图4F中所示的配置的横截面视图。具体地说，图4G示出固定和分离两个竖直相邻基板402的销476。销476使两个基板402维持处于共面关系。图4G中所示的夹子476与图4E中所示的销476类似或相同。一个不同之处在于，图4E的夹子476定位在单个基板和抽头杆440的前凸缘区之间，而图4G的夹子476定位在两个竖直相邻基板之间。
图4B-4G的销476与图2P的夹子290类似。当夹子290将竖直相邻基板分离时，销476进行相同操作，同时将基板固定到竖直支撑杆455。夹子290仅包括两个板(例如，前板和后板)，而销476包括额外中间板。这两个元件以类似的方式起作用，以共面关系固定相邻基板。在一些实施例中，两者都可使用。
尽管在图4A-4G中未示出，但是可沿基板402的顶部边缘提供枢轴钉，类似于图2G-2I中所示的枢轴钉280。关于图2A-2P的实施例描述的各种其它细节也可适用于图4A-4G的实施例。可根据特定应用的需要组合各种硬件部件。
图4A-4G中所示的实施例提供以上关于图2A-2P的实施例描述的许多相同的益处。一个显著的益处为消除水平支撑杆，所述水平支撑杆以前带来许多处理挑战。另一个重要的优点为，基板能够在处理期间(水平和竖直地)热膨胀，其中断裂的可能性基本上降低。在图2A-2P的实施例中，由于竖直支撑杆可沿抽头杆滑动或以其它方式水平移动以适应这类膨胀和收缩，因此基板可在不断裂的情况下水平和竖直地膨胀，而不需要在每对水平相邻基板之间提供精确的间隙。在图4A-4G的实施例中，由于基板可水平移动同时仍由销476固定，因此基板可在不断裂的情况下水平地膨胀和收缩，而不需要在每对相邻基板之间提供精确的间隙。因而，基本上简化了将基板装载到载体上的过程。代替在每对水平和/或竖直相邻基板之间提供精确的间隙，基板可相对紧密地抵靠彼此和/或抵靠竖直支撑杆装载。仅需要提供两个间隙，一个允许竖直膨胀(例如，基板的顶部边缘和上部抽头杆之间的间隙)，并且另一个允许水平膨胀(例如，通常但不一定靠近竖直框架构件)。随着基板膨胀，它们可在基板的平面内轻轻地推动彼此，使得基板中的一个或多个膨胀到每个间隙中。通过本文描述的设计，基板和涂布机断裂的风险得以显著降低。
应理解，本文描述的配置和/或方法本质上为示例性的，并且这些具体实施例或实例不被认为是限制性的，因为许多变化为可以的。本文描述的特定例程或方法可表示任何数量的处理策略中的一个或多个。因而，所说明的各种动作可以所说明的序列、以其它序列、并行地或者在一些情况下被省略来执行。同样地，可改变上述处理的次序。某些参考文献已以引用的方式并入本文中。应当理解，在这类参考文献中做出的任何免责声明或否认不一定适用于本文描述的实施例。类似地，在本文的实施例中可省略在这些参考文献中描述为必要的任何特征。
本公开的主题包括本文公开的各种方法、系统和配置以及其它特征、功能、动作和/或特性以及其任何和所有等效物的所有新颖和非显而易见的组合和子组合。

Claims (11)

1.一种用于在多个基板通过涂布机时将所述多个基板保持在基本上竖直定向的载体，所述涂布机在所述多个基板的至少前表面上提供涂层，所述载体包含：
框架，其具有孔，所述孔具有水平尺寸和竖直尺寸；
底部抽头杆，其附连到所述框架并且沿所述孔的底部部分水平延伸；
顶部抽头杆，其附连到所述框架并且沿所述孔的顶部部分水平延伸；
多个竖直支撑杆，所述多个竖直支撑杆中的每个竖直支撑杆包括：
(i)准许在跨越所述孔竖直延伸时与所述顶部抽头杆和所述底部抽头杆两者接合的长度，
(ii)沿着所述竖直支撑杆的长度延伸的主体区，
(iii)在所述主体区中的多个槽，和
(iv)从所述主体区向外延伸的竖直支撑凸缘区；
其中：
所述载体进一步包括多个销，每个销经配置以接合所述多个槽中的相应槽；以及
(a)多个保持器，其中每个销被配置为与所述多个槽中的相应一个和所述多个保持器中的相应一个接合，每个保持器包括保持器凸缘，所述销在与所述前表面正交的方向上延伸通过相应的槽，并且每个基板部分地定位于(1)所述多个竖直支撑杆之一的竖直支撑杆的凸缘区域和(2)所述多个保持器之一的保持器凸缘之间，或
(b)每个销被配置为与所述多个槽中的相应槽接合，所述销在平行于所述前表面、并正交于所述竖直支撑杆的所述长度的方向上延伸通过相应槽，所述槽被配置为容纳所述销，使得所述销将所述基板固定抵靠在位于所述竖直支撑杆的所述凸缘区和所述销之间的所述竖直支撑杆的所述主体区。
2.根据权利要求1所述的载体，其中所述孔的所述水平尺寸在50英寸和200英寸之间。
3.根据权利要求1所述的载体，其中所述孔的所述竖直尺寸在50英寸和150英寸之间。
4.根据权利要求1所述的载体，其中每一竖直支撑杆包括中空结构，所述中空结构包括第一面、第二面、第三面和第四面，当从沿着所述竖直支撑杆的所述长度观察时，所述第一面连接到所述第二面、所述第二面连接到所述第三面、所述第三面连接到所述第四面且所述第四面连接到所述第一面。
5.根据权利要求4所述的载体，其中每个竖直支撑杆的所述主体区中的所述多个槽定位在所述竖直支撑杆的所述第二面上，但不延伸到所述竖直支撑杆的所述第一面或第三面。
6.根据权利要求1所述的载体，其中所述基板为用于用电致变色器件涂布的窗口，所述基板是玻璃或塑料，和/或所述框架包含金属。
7.根据权利要求1所述的载体，其中所述底部抽头杆和/或顶部抽头杆包含膨胀和收缩与所述基板的热膨胀和/或收缩相似的材料。
8.根据权利要求1所述的载体，其中所述竖直支撑杆、所述底部抽头杆和/或所述顶部抽头杆包含金属。
9.根据权利要求1所述的载体，其中所述多个销接触所述基板，从而将所述基板包夹在所述多个销与所述多个竖直支撑杆上的所述竖直支撑杆凸缘区之间。
10.根据权利要求1所述的载体，其进一步包含附接到所述顶部抽头杆的枢轴钉，和/或用于使所述载体移动穿过所述涂布机的传送机构。
11.根据权利要求1所述的载体，其另外包含被配置成在涂布期间保护所述框架的至少一部分的护罩。
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