CN111856713A - 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统 - Google Patents

一种短焦距大工作范围场镜的光学系统 Download PDF

Info

Publication number
CN111856713A
CN111856713A CN202010793892.0A CN202010793892A CN111856713A CN 111856713 A CN111856713 A CN 111856713A CN 202010793892 A CN202010793892 A CN 202010793892A CN 111856713 A CN111856713 A CN 111856713A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
light
light group
focal length
optical system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202010793892.0A
Other languages
English (en)
Inventor
赵科鹏
王坚
朱敏
王国力
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nanjing Wavelength Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Nanjing Wavelength Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nanjing Wavelength Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Nanjing Wavelength Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN202010793892.0A priority Critical patent/CN111856713A/zh
Publication of CN111856713A publication Critical patent/CN111856713A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/24Optical objectives specially designed for the purposes specified below for reproducing or copying at short object distances

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Abstract

本发明公开了一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。本发明短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学角放大原理,实现短焦距大工作范围,适用于大范围切割及打标等激光加工,具有更高的加工效率,可实现对金属、PCB板、布料等材料的加工。

Description

一种短焦距大工作范围场镜的光学系统
技术领域
本发明涉及一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,属于激光加工技术领域。
背景技术
随着激光加工技术在工业生产加工中发挥越来越重要的作用,普通的F-θ场镜因焦距和光学角度的限制,只能实现与焦距和角度正相关的扫描区域。如果需要大的扫描范围,势必要通过增大焦距来实现,增大焦距带来的后果就是聚焦光斑大小直线增大,达不到需要加工的性能。光学角度也因为其他机械部件的影响,无法自由的增大,这也制约着加工的效率。因此需要一款短焦距大工作范围的F-θ场镜来突破此限制。
发明内容
本发明提供一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学放大原理,在焦距一定且满足机械角度的情况下,直接对光学角度进行放大,实现了短焦大工作范围,且光斑大小不会增大,满足对光斑有要求、且希望能大幅面工作的激光加工。
为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案如下:
一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。
为了实现光学角度的放大,需要对第一光组和第二光组的焦距进行固定设计,使其比值约等于f1/f2=θ2/θ1,实现光学角度的放大,其中,f1为第一光组的焦距,f2为第二光组的焦距,θ1为第一光组前光线入射角,θ2为第二光组后光线入射角。优选,θ1为28°,θ2为56°。
为了满足短焦距大工作范围,同时提高聚焦效果,第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm。
本发明的所选用的镜片材质均为国产普通光学玻璃,可根据不同的激光器和使用场景来搭选不同的材料。优选,本申请采用冕类和火石类玻璃,玻璃材料的稳定性好,为了实现更好的消色差效果,优选,第一透镜所用材质为冕玻璃,第二透镜、第三透镜和第五透镜所用材质均为重火石玻璃,第四透镜所用材质为轻冕玻璃。
为了提高系统的稳定性,同时进一步确保聚焦效果,第一透镜的中心厚度为4±0.05mm,第二透镜的中心厚度为4.6±0.05mm,第三透镜的中心厚度为6.2±0.05mm,第四透镜的中心厚度为3.1±0.05mm,第五透镜的中心厚度为4.8±0.05mm。
为了提高切割效率,第一光组和第二光组之间的中心间隔为236±0.03mm,第二光组和第三光组之间的中心间隔为94±0.03mm;第一透镜和第二透镜之间的中心间隔为3.1±0.01mm,第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3±0.01mm。
沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面,第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面,第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面,第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面,第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面;为了进一步提高聚焦效果,第一物侧面的曲率半径为90.6±0.03mm,第一像侧面的曲率半径为-106.3±0.03mm;第二物侧面的曲率半径为-123.3±0.03mm,第二像侧面的曲率半径为-86.3±0.03mm;第三物侧面的曲率半径为63.2±0.03mm,第三像侧面的曲率半径为-60.8±0.03mm;第四物侧面的曲率半径为-73.6±0.03mm,第四像侧面的曲率半径为-130±0.03mm;第五物侧面的曲率半径为-630mm,第五像侧面的曲率半径为-210±0.03mm。
上述短焦距大工作范围场镜的光学系统可应用于不同的激光器上,如CO2激光器、YAG激光器和紫外355nm激光器。
本发明未提及的技术均参照现有技术。
本发明短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学角放大原理,实现短焦距大工作范围,适用于大范围切割及打标等激光加工,具有更高的加工效率,可实现对金属、PCB板、布料等材料的加工。
附图说明
图1为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的光路图;
图2为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统在150mm焦距下实现y=70mm的点列图,几何光斑全小于艾利斑;
图3为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的场曲和畸变图;
图4为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的聚焦光斑图;
图5为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的列特斯尔比图;
图中,L1为第一透镜,L2为第二透镜,L3为第三透镜,L4为第四透镜,L5为第五透镜。
具体实施方式
为了更好地理解本发明,下面结合实施例进一步阐明本发明的内容,但本发明的内容不仅仅局限于下面的实施例。
实施例1
如图1所示,一种短焦距大工作范围场镜,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组,第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm,第一光组前光线入射角θ1为28°,第二光组后光线入射角θ2为56°;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜L1和第二透镜L2,第二光组包括第三透镜L3,第三光组包括第四透镜L4和第五透镜L5;第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3和第五透镜L5均为正透镜,第四透镜L4为负透镜,第一透镜L1和第二透镜L2之间的中心间隔为3.1mm,第二透镜L2和第三透镜L3之间的中心间隔为236mm,第三透镜L3和第四透镜L4之间的中心间隔为94mm,第四透镜L4和第五透镜L5之间的中心间隔为1.3mm,各镜片的参数如表1所示。
表1各镜片的参数表
Figure BDA0002624816700000031
Figure BDA0002624816700000041
上表中,第一透镜的两面依次为第一物侧面S1和第一像侧面S2,第二透镜的两面依次为第二物侧面S3和第二像侧面S4,第三透镜的两面依次为第三物侧面S5和第三像侧面S6,第四透镜的两面依次为第四物侧面S7和第四像侧面S8,第五透镜的两面依次为第五物侧面S9和第五像侧面S10。
激光器采用波长为1064nm的光纤激光器,激光器的入射光斑直径为10mm。由图2可知,在不同扫描幅面下各点处的聚焦光斑都小于衍射极限,扫描效果很好,聚焦效果很好;由图3可看出,光学系统的场曲小于0.4mm,畸变小于0.3%,像质量好,图像清晰,精度高;由图4可看出,光学系统的全幅面内聚焦光斑大小为29um-31.4um,且均匀性好;由图5可看出,在离焦±0.1mm内,光斑第一衍射环内能量均达到90%以上。

Claims (8)

1.一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。
2.如权利要求1所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:f1/f2=θ2/θ1,其中,f1为第一光组的焦距,f2为第二光组的焦距,θ1为第一光组前光线入射角,θ2为第二光组后光线入射角。
3.如权利要求2所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:θ1为28°,θ2为56°。
4.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm。
5.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一透镜所用材质为冕玻璃,第二透镜、第三透镜和第五透镜所用材质均为重火石玻璃,第四透镜所用材质为轻冕玻璃。
6.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一透镜的中心厚度为4±0.05mm,第二透镜的中心厚度为4.6±0.05mm,第三透镜的中心厚度为6.2±0.05mm,第四透镜的中心厚度为3.1±0.05mm,第五透镜的中心厚度为4.8±0.05mm。
7.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一光组和第二光组之间的中心间隔为236±0.03mm,第二光组和第三光组之间的中心间隔为94±0.03mm;第一透镜和第二透镜之间的中心间隔为3.1±0.01mm,第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3±0.01mm。
8.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面,第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面,第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面,第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面,第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面;
第一物侧面的曲率半径为90.6±0.03mm,第一像侧面的曲率半径为-106.3±0.03mm;第二物侧面的曲率半径为-123.3±0.03mm,第二像侧面的曲率半径为-86.3±0.03mm;第三物侧面的曲率半径为63.2±0.03mm,第三像侧面的曲率半径为-60.8±0.03mm;第四物侧面的曲率半径为-73.6±0.03mm,第四像侧面的曲率半径为-130±0.03mm;第五物侧面的曲率半径为-630mm,第五像侧面的曲率半径为-210±0.03mm。
CN202010793892.0A 2020-08-10 2020-08-10 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统 Pending CN111856713A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010793892.0A CN111856713A (zh) 2020-08-10 2020-08-10 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010793892.0A CN111856713A (zh) 2020-08-10 2020-08-10 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111856713A true CN111856713A (zh) 2020-10-30

Family

ID=72971816

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010793892.0A Pending CN111856713A (zh) 2020-08-10 2020-08-10 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111856713A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112415739A (zh) * 2020-11-17 2021-02-26 南京波长光电科技股份有限公司 一种工作距可变的激光扫描光学系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112415739A (zh) * 2020-11-17 2021-02-26 南京波长光电科技股份有限公司 一种工作距可变的激光扫描光学系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105527706B (zh) 紫外激光远心F‑theta扫描场镜及基于该场镜的光学扫描系统
CN213257671U (zh) 形成点环光斑的光学系统
TWI664044B (zh) 一種適於在雷射加工工藝中使用的F-theta鏡頭
CN111856712A (zh) 一种扫描幅面可调的新型激光扫描光学系统
CN111856713A (zh) 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统
CN111123480A (zh) 一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头
CN212460169U (zh) 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统
CN211375164U (zh) 一种紫外激光应用的远心F-theta光学镜头
CN212460168U (zh) 一种扫描幅面可调的新型激光扫描光学系统
CN102809804B (zh) 一种F-theta镜头及其光学系统
CN109445062B (zh) 三维动态调焦透镜组、光学镜头、激光加工设备及方法
CN208895373U (zh) 双波长共焦调焦光学系统
CN204964857U (zh) 一种紫外远心激光扫描镜头
CN113798662A (zh) 形成点环光斑的光学系统
CN114326055A (zh) 一种大扫描角度的红外场镜
CN210720852U (zh) 一种紫外激光打标机远心f-θ扫描透镜
CN212905667U (zh) 一种双波段激光消色差扫描光学系统
CN208110151U (zh) 一种F-Theta镜头
CN108415147B (zh) 一种F-Theta镜头
CN107797225B (zh) 光学镜头及其激光加工设备
CN219016678U (zh) 一种近红外平场聚焦透镜
CN108857052A (zh) 双波长共焦调焦光学系统
CN113325590B (zh) 扫描式光源模块
TWM510208U (zh) 雷射加工裝置
CN104880807B (zh) 一种用于双波长激光加工的F‑θ光学镜头

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination