CN111856713A - 一种短焦距大工作范围场镜的光学系统 - Google Patents

一种短焦距大工作范围场镜的光学系统 Download PDF

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赵科鹏
王坚
朱敏
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Abstract

本发明公开了一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。本发明短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学角放大原理,实现短焦距大工作范围,适用于大范围切割及打标等激光加工,具有更高的加工效率,可实现对金属、PCB板、布料等材料的加工。

Description

一种短焦距大工作范围场镜的光学系统
技术领域
本发明涉及一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,属于激光加工技术领域。
背景技术
随着激光加工技术在工业生产加工中发挥越来越重要的作用,普通的F-θ场镜因焦距和光学角度的限制,只能实现与焦距和角度正相关的扫描区域。如果需要大的扫描范围,势必要通过增大焦距来实现,增大焦距带来的后果就是聚焦光斑大小直线增大,达不到需要加工的性能。光学角度也因为其他机械部件的影响,无法自由的增大,这也制约着加工的效率。因此需要一款短焦距大工作范围的F-θ场镜来突破此限制。
发明内容
本发明提供一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学放大原理,在焦距一定且满足机械角度的情况下,直接对光学角度进行放大,实现了短焦大工作范围,且光斑大小不会增大,满足对光斑有要求、且希望能大幅面工作的激光加工。
为解决上述技术问题,本发明所采用的技术方案如下:
一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。
为了实现光学角度的放大,需要对第一光组和第二光组的焦距进行固定设计,使其比值约等于f1/f2=θ2/θ1,实现光学角度的放大,其中,f1为第一光组的焦距,f2为第二光组的焦距,θ1为第一光组前光线入射角,θ2为第二光组后光线入射角。优选,θ1为28°,θ2为56°。
为了满足短焦距大工作范围,同时提高聚焦效果,第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm。
本发明的所选用的镜片材质均为国产普通光学玻璃,可根据不同的激光器和使用场景来搭选不同的材料。优选,本申请采用冕类和火石类玻璃,玻璃材料的稳定性好,为了实现更好的消色差效果,优选,第一透镜所用材质为冕玻璃,第二透镜、第三透镜和第五透镜所用材质均为重火石玻璃,第四透镜所用材质为轻冕玻璃。
为了提高系统的稳定性,同时进一步确保聚焦效果,第一透镜的中心厚度为4±0.05mm,第二透镜的中心厚度为4.6±0.05mm,第三透镜的中心厚度为6.2±0.05mm,第四透镜的中心厚度为3.1±0.05mm,第五透镜的中心厚度为4.8±0.05mm。
为了提高切割效率,第一光组和第二光组之间的中心间隔为236±0.03mm,第二光组和第三光组之间的中心间隔为94±0.03mm;第一透镜和第二透镜之间的中心间隔为3.1±0.01mm,第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3±0.01mm。
沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面,第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面,第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面,第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面,第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面;为了进一步提高聚焦效果,第一物侧面的曲率半径为90.6±0.03mm,第一像侧面的曲率半径为-106.3±0.03mm;第二物侧面的曲率半径为-123.3±0.03mm,第二像侧面的曲率半径为-86.3±0.03mm;第三物侧面的曲率半径为63.2±0.03mm,第三像侧面的曲率半径为-60.8±0.03mm;第四物侧面的曲率半径为-73.6±0.03mm,第四像侧面的曲率半径为-130±0.03mm;第五物侧面的曲率半径为-630mm,第五像侧面的曲率半径为-210±0.03mm。
上述短焦距大工作范围场镜的光学系统可应用于不同的激光器上,如CO2激光器、YAG激光器和紫外355nm激光器。
本发明未提及的技术均参照现有技术。
本发明短焦距大工作范围场镜的光学系统,利用光学角放大原理,实现短焦距大工作范围,适用于大范围切割及打标等激光加工,具有更高的加工效率,可实现对金属、PCB板、布料等材料的加工。
附图说明
图1为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的光路图;
图2为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统在150mm焦距下实现y=70mm的点列图,几何光斑全小于艾利斑;
图3为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的场曲和畸变图;
图4为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的聚焦光斑图;
图5为本发明短焦距大工作范围场镜光学系统的列特斯尔比图;
图中,L1为第一透镜,L2为第二透镜,L3为第三透镜,L4为第四透镜,L5为第五透镜。
具体实施方式
为了更好地理解本发明,下面结合实施例进一步阐明本发明的内容,但本发明的内容不仅仅局限于下面的实施例。
实施例1
如图1所示,一种短焦距大工作范围场镜,包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组,第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm,第一光组前光线入射角θ1为28°,第二光组后光线入射角θ2为56°;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜L1和第二透镜L2,第二光组包括第三透镜L3,第三光组包括第四透镜L4和第五透镜L5;第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3和第五透镜L5均为正透镜,第四透镜L4为负透镜,第一透镜L1和第二透镜L2之间的中心间隔为3.1mm,第二透镜L2和第三透镜L3之间的中心间隔为236mm,第三透镜L3和第四透镜L4之间的中心间隔为94mm,第四透镜L4和第五透镜L5之间的中心间隔为1.3mm,各镜片的参数如表1所示。
表1各镜片的参数表
Figure BDA0002624816700000031
Figure BDA0002624816700000041
上表中,第一透镜的两面依次为第一物侧面S1和第一像侧面S2,第二透镜的两面依次为第二物侧面S3和第二像侧面S4,第三透镜的两面依次为第三物侧面S5和第三像侧面S6,第四透镜的两面依次为第四物侧面S7和第四像侧面S8,第五透镜的两面依次为第五物侧面S9和第五像侧面S10。
激光器采用波长为1064nm的光纤激光器,激光器的入射光斑直径为10mm。由图2可知,在不同扫描幅面下各点处的聚焦光斑都小于衍射极限,扫描效果很好,聚焦效果很好;由图3可看出,光学系统的场曲小于0.4mm,畸变小于0.3%,像质量好,图像清晰,精度高;由图4可看出,光学系统的全幅面内聚焦光斑大小为29um-31.4um,且均匀性好;由图5可看出,在离焦±0.1mm内,光斑第一衍射环内能量均达到90%以上。

Claims (8)

1.一种短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:包含沿光线入射方向依次设置的第一光组、第二光组和第三光组;沿光线入射方向,第一光组包括第一透镜和第二透镜,第二光组包括第三透镜,第三光组包括第四透镜和第五透镜;第一透镜、第二透镜、第三透镜和第五透镜均为正透镜,第四透镜为负透镜。
2.如权利要求1所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:f1/f2=θ2/θ1,其中,f1为第一光组的焦距,f2为第二光组的焦距,θ1为第一光组前光线入射角,θ2为第二光组后光线入射角。
3.如权利要求2所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:θ1为28°,θ2为56°。
4.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一光组的焦距f1=220mm,第二光组的焦距f2=110mm,第三光组的焦距f3=150mm。
5.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一透镜所用材质为冕玻璃,第二透镜、第三透镜和第五透镜所用材质均为重火石玻璃,第四透镜所用材质为轻冕玻璃。
6.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一透镜的中心厚度为4±0.05mm,第二透镜的中心厚度为4.6±0.05mm,第三透镜的中心厚度为6.2±0.05mm,第四透镜的中心厚度为3.1±0.05mm,第五透镜的中心厚度为4.8±0.05mm。
7.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:第一光组和第二光组之间的中心间隔为236±0.03mm,第二光组和第三光组之间的中心间隔为94±0.03mm;第一透镜和第二透镜之间的中心间隔为3.1±0.01mm,第四透镜和第五透镜之间的中心间隔为1.3±0.01mm。
8.如权利要求1-3任意一项所述的短焦距大工作范围场镜的光学系统,其特征在于:沿光线入射方向,第一透镜的两面依次为第一物侧面和第一像侧面,第二透镜的两面依次为第二物侧面和第二像侧面,第三透镜的两面依次为第三物侧面和第三像侧面,第四透镜的两面依次为第四物侧面和第四像侧面,第五透镜的两面依次为第五物侧面和第五像侧面;
第一物侧面的曲率半径为90.6±0.03mm,第一像侧面的曲率半径为-106.3±0.03mm;第二物侧面的曲率半径为-123.3±0.03mm,第二像侧面的曲率半径为-86.3±0.03mm;第三物侧面的曲率半径为63.2±0.03mm,第三像侧面的曲率半径为-60.8±0.03mm;第四物侧面的曲率半径为-73.6±0.03mm,第四像侧面的曲率半径为-130±0.03mm;第五物侧面的曲率半径为-630mm,第五像侧面的曲率半径为-210±0.03mm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112415739A (zh) * 2020-11-17 2021-02-26 南京波长光电科技股份有限公司 一种工作距可变的激光扫描光学系统

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