CN102809804B - 一种F-theta镜头及其光学系统 - Google Patents
一种F-theta镜头及其光学系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102809804B CN102809804B CN201110144662.2A CN201110144662A CN102809804B CN 102809804 B CN102809804 B CN 102809804B CN 201110144662 A CN201110144662 A CN 201110144662A CN 102809804 B CN102809804 B CN 102809804B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lens
- theta
- focal length
- camera lens
- theta camera
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本发明提供一种F-theta镜头及其光学系统,该F-theta镜头包括沿光传播方向依次排列的第一透镜和第二透镜,所述的第一透镜为弯月型负透镜,所述的第二透镜为弯月型正透镜,曲面均向着光线入射方向弯曲;该镜头的入射光波长为10.6um,视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。本发明是采用双片式“负-正”的光焦度分布进行设计的一种大范围平场镜头,其在保证激光的能量集中、聚焦光斑小的前提下,进一步提高可扫描范围,有利于扩大激光加工工业的应用范围。
Description
【技术领域】
本发明涉及到的是一光学镜头,尤其是涉及到一种大范围F-theta镜头及使用该光学透镜的光学系统。
【背景技术】
目前,激光应用已深入到我们现代生活的各个方面,在激光应用中便离不开为了符合各种工艺要求的各种应用光学系统。在目前市场上激光打标机,以其速度快,灵活性强,无耗材,标记永久性等特点,已逐渐地替代各种印字机,丝印机等。
F-theta镜头是一种大视场、中小孔径、中长焦距的照相物镜。激光振镜打标机是因为有了F-theta镜头才得以实现。图1是一种典型的F-Theta镜光学系统,光束顺次经两块绕X轴和Y轴转动的振镜1,2,最后通过F-theta镜头聚焦在像面4上,由振镜扫描形成图像。
F-theta镜头要求所有在成像范围内的聚焦点,应有相似的聚焦质量,且不允许有渐晕,以保证所有“刻出”的像点都相一致和清晰。但是,视场越大,扫描范围越大,像差校正越困难。而目前市场上的镜头扫描范围都有限,还没有扫描范围超过600mm×600mm的F-theta镜头,尤其还没有扫描范围超过600mm×600mm的CO2 F-theta镜头。
【发明内容】
针对上述的问题,本发明提供一种F-theta镜头,该F-theta镜头包括沿光传播方向依次排列的第一透镜和第二透镜,所述的第一透镜为弯月型负透镜,所述的第二透镜为弯月型正透镜,曲面均向着光线入射方向弯曲;该镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
同时,本发明还提供了一种使用该F-theta镜头的光学系统,该系统包括可绕X轴和Y轴转动且引导光束在该F-theta镜头扫描的振镜系统,该振镜系统包括第一振镜和第二振镜,所述的F-theta镜头包括沿光传播方向依次排列的第一透镜和第二透镜,所述的第一透镜为弯月型负透镜,所述的第二透镜为弯月型正透镜,曲面均向着光线入射方向弯曲;该F-theta镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
本发明是采用双片式“负-正”的光焦度分布进行设计的一种大范围F-theta镜头,其在保证激光的能量集中、聚焦光斑小的前提下,进一步提高可扫描范围,有利于扩大激光加工工业的应用范围。
【附图说明】
下面参照附图结合实施方式对本发明作进一步的描述。
图1为一种典型的F-Theta镜光学系统的原理示意图;
图2为本发明F-theta镜头及其光学系统的原理示意图;
图3为本发明提供的F-theta镜头的光线追迹图;
图4为本发明提供的F-theta镜头的各视场角的弥散光斑图。
【具体实施方式】
下面结合附图说明及具体实施方式对本发明进一步说明。
实施例1,如图2所示,本发明提供的是一种双片式的F-theta镜头,其包括沿着光线入射的方向依次排列的第一透镜L1和第二透镜L2,第一透镜L1为弯月型负透镜,第二透镜L2为弯月型正透镜,该两透镜的曲面均向着光线入射方向弯曲;该镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
在本实施例中,各所述透镜的焦距分别与该F-theta镜头的系统焦距满足:
-1.2<f1/f<-1
0.5<f2/f<0.7
其中,f1为所述第一透镜的焦距,f2为所述第二透镜的焦距,f为该F-theta镜头的系统焦距。
优选地,各所述透镜的焦距分别与该F-theta镜头的系统焦距进一步满足:f1/f=-1.168;f2/f=0.597。
在本实施例中,该镜头的入射激光波长为10.6um。在每片镜片均镀有针对10.6um波长的增透膜,从而增加透射光的强度,使光学系统成像更清晰。
进一步地,该F-theta镜头可以运用于CO2激光器上。
实施例2,在满足以上条件下,本发明进一步提供一实施例。
如图2所示,第一透镜L1包括曲率半径分别为R1、R2的两个曲面S1、S2,其中心厚度为d1,其中,R1=-108.029mm、R2=-128.433mm,d1=13.288mm;第二透镜L2包括曲率半径分别为R3、R4的两个曲面S3、S4,其中心厚度为d3,其中,R3=-277.299mm、R4=-188.451mm,d3=7.441mm;第二透镜L2与成像面在光轴上的距离为d4,d4为743.3mm。其中,第一透镜L1和第二透镜L2在光轴上的间距为d2,d2为19.271mm。
进一步地,第一透镜L1和第二透镜L2均采用材料ZnSe。
上述具体的结构参数如下表:
注:负数的含义是曲面的球心位于曲面的左边。
实施例3,在实施例1或实施例2的基础上,提供一种光学系统,如图1、2所示,其包括可绕X轴和Y轴转动且引导光束在F-theta镜头3扫描的振镜系统,其中振镜系统包括第一振镜1和第二振镜2,该F-theta镜头3包括沿光传播方向依次排列的第一透镜L1和第二透镜L2,第一透镜L1为弯月型负透镜,所述的第二透镜L2为弯月型正透镜,曲面均向着光线入射方向弯曲;该镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
第一、二透镜的焦距分别与该F-theta镜头的系统焦距满足:
-1.2<f1/f<-1
0.5<f2/f<0.7
其中,f1为所述第一透镜的焦距,f2为所述第二透镜的焦距,f为该F-theta镜头的系统焦距。
优选地,各所述透镜的焦距分别与该F-theta镜头的系统焦距进一步满足:f1/f=-1.168;f2/f=0.597。
在本实施例中,该光学系统的F-theta镜头的入射激光波长为10.6um。在每片镜片均镀有针对10.6um波长的增透膜,从而增加透射光的强度,使光学系统成像更清晰。
进一步地,该F-theta镜头可以运用于CO2激光器上。
在本实施例中,第一透镜与第一振镜1的光学距离在25mm-62mm之间。
在本实施例中,第一透镜与第二振镜2的光学距离在25mm-62mm之间。
根据上述的方案,通过计算机可以检测如图3、4的处理效果。
其中,图3为光线追迹图,从图中的激光扫描半径r为430mm,因此该扫描范围可达到Φ860mm直径范围,由于一般要求激光光束垂直于待加工工件,因此可扫描的有效直径为860*0.707=608mm,可扫描的有效范围608mm×608mm。
图4为各视场角的弥散光斑图,从图中可以看出弥散光斑都在艾里斑内,及像差校正已经达到了衍射极限,得到了很好的校正。
本发明的实施,并不限于以上实施例所公开的方式,凡基于上述设计思路,进行简单推演与替换,得到的具体的F-theta镜头及其光学系统,都属于本发明的实施。
Claims (8)
1.一种F-theta镜头,其特征在于:其包括沿光传播方向依次排列的第一透镜和第二透镜,所述的第一透镜为弯月型负透镜,所述的第二透镜为弯月型正透镜,所述第一透镜和第二透镜的凹面均向着光线入射方向;各所述透镜的焦距分别与所述的F-theta镜头的系统焦距满足:
-1.2<fl/f<-1
0.5<f2/f<0.7
其中,fl为所述第一透镜的焦距,f2为所述第二透镜的焦距,f为所述的F-theta镜头的系统焦距;该镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
2.根据权利要求1所述的F-theta镜头,其特征在于:各所述透镜的焦距分别与所述的F-theta镜头的系统焦距满足f1/f=-1.168;f2/f=0.597。
3.根据权利要求1所述的F-theta镜头,其特征在于:所述的F-theta镜头的入射光波长为10.6um。
4.一种光学系统,其包括可绕X轴和Y轴转动且引导光束在F-theta镜头扫描的振镜系统,其中该振镜系统包括第一振镜和第二振镜,其特征在于:所述的F-theta镜头包括沿光传播方向依次排列的第一透镜和第二透镜,所述的第一透镜为弯月型负透镜,所述的第二透镜为弯月型正透镜,所述第一透镜和第二透镜的凹面均向着光线入射方向;所述的F-theta镜头的各所述透镜的焦距分别与所述的F-theta镜头的系统焦距满足:
-1.2<fl/f<-1
0.5<f2/f<0.7
其中,fl为所述第一透镜的焦距,f2为所述第二透镜的焦距,f为所述的F-theta镜头的系统焦距;该F-theta镜头的视场角2ω=70°,入光孔径30mm,其扫描范围为608mm×608mm。
5.根据权利要求4所述的光学系统,其特征在于:所述的F-theta镜头的各透镜的焦距分别与所述的F-theta镜头的系统焦距满足f1/f=-1.168;f2/f=0.597。
6.根据权利要求4所述的光学系统,其特征在于:所述的F-theta镜头的入射光波长为10.6um。
7.根据权利要求4所述的光学系统,其特征在于:所述的第一透镜与第一振镜的光学距离在25mm-62mm之间。
8.根据权利要求4所述的光学系统,其特征在于:所述的第一透镜与第二振镜的光学距离在25mm-62mm之间。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110144662.2A CN102809804B (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 一种F-theta镜头及其光学系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201110144662.2A CN102809804B (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 一种F-theta镜头及其光学系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102809804A CN102809804A (zh) | 2012-12-05 |
CN102809804B true CN102809804B (zh) | 2014-08-06 |
Family
ID=47233545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201110144662.2A Active CN102809804B (zh) | 2011-05-31 | 2011-05-31 | 一种F-theta镜头及其光学系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102809804B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI563286B (zh) * | 2015-07-22 | 2016-12-21 | Showin Technology Co Ltd |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102603393B1 (ko) | 2016-12-06 | 2023-11-17 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 가공 장치 |
CN109425962A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-05 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种用于激光加工的F-theta镜头 |
JP7111108B2 (ja) * | 2017-10-25 | 2022-08-02 | 株式会社ニコン | パターン描画装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4770517A (en) * | 1984-11-28 | 1988-09-13 | Ricoh Company, Ltd. | Two-lens fθ lens |
US5153767A (en) * | 1990-03-01 | 1992-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | F-θ lens system and laser scanner using the same |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005262229A (ja) * | 2004-03-16 | 2005-09-29 | Shibaura Mechatronics Corp | レーザマーキング装置及びレーザマーキング方法 |
TWI377433B (en) * | 2008-03-26 | 2012-11-21 | E Pin Optical Industry Co Ltd | Two f-θ lens used for micro-electro mechanical system(mems) laser scanning unit |
KR101442616B1 (ko) * | 2008-09-16 | 2014-09-23 | 삼성전자주식회사 | 광 주사 장치 및 화상 형성 장치 |
-
2011
- 2011-05-31 CN CN201110144662.2A patent/CN102809804B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4770517A (en) * | 1984-11-28 | 1988-09-13 | Ricoh Company, Ltd. | Two-lens fθ lens |
US5153767A (en) * | 1990-03-01 | 1992-10-06 | Canon Kabushiki Kaisha | F-θ lens system and laser scanner using the same |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP特开2005-262229A 2005.09.29 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI563286B (zh) * | 2015-07-22 | 2016-12-21 | Showin Technology Co Ltd |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102809804A (zh) | 2012-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9442272B2 (en) | F-theta objective | |
CN100582853C (zh) | 远心F-theta光学镜头及光学系统 | |
CN102809804B (zh) | 一种F-theta镜头及其光学系统 | |
CN100343715C (zh) | 用于激光二维线性扫描的光学镜头 | |
CN109425962A (zh) | 一种用于激光加工的F-theta镜头 | |
CN103984078A (zh) | 用于激光光斑与指示光光斑重合的f-theta光学镜头 | |
CN111856712A (zh) | 一种扫描幅面可调的新型激光扫描光学系统 | |
CN104570285B (zh) | 一种F‑theta光学镜头及激光加工系统 | |
CN101776790B (zh) | 激光内雕聚焦光学镜头及其使用方法 | |
CN101885113B (zh) | 紫外激光加工系统 | |
CN212460168U (zh) | 一种扫描幅面可调的新型激光扫描光学系统 | |
CN102062931A (zh) | 一种激光扫描镜头 | |
JP3221338U (ja) | エフシータレンズ | |
CN209542937U (zh) | F-θ物镜 | |
KR20180000119U (ko) | 에프 세타 렌즈 | |
CN2750926Y (zh) | 大工作面激光打标镜头 | |
CN219016678U (zh) | 一种近红外平场聚焦透镜 | |
JP3221341U (ja) | エフシータレンズ | |
CN107797225B (zh) | 光学镜头及其激光加工设备 | |
CN214751055U (zh) | 355nm F-theta紫外场镜光路构造装置 | |
CN215181169U (zh) | F-θ物镜 | |
CN108873257B (zh) | 透镜组及激光加工设备 | |
CN216083234U (zh) | F-θ物镜 | |
CN108415147A (zh) | 一种F-Theta镜头 | |
CN108857052A (zh) | 双波长共焦调焦光学系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |