CN111855709A - 微焦点X-ray检测仪的成像校正方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及微焦点X‑ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：校正前射线管辐射泄漏检查；断电通道正常性检查；一切安全防护有效和状态正常后进行必要的清洁；释放射线管真空；调整射线靶位置和角度；恢复通道状态后重新建立射线管真空；射线管预热；射线管光学性能参数最优化；X射线管、样品托盘和图像增强器三者之间的几何物理关系失真校准。采用本发明，可以在不增加新的靶材和新设备的前提下，成功解决微焦点X‑ray成像失真和分辨率差的问题，在一定周期内，安全可靠、便捷有效地完成微焦点X‑ray成像失真校正和图像分辨率改善调整，不仅获得较高分辨率和准确性的图像质量，而且延长了微焦点X‑ray成像检测系统的设备使用寿命，有效节约了成本。
Description
技术领域
本发明涉及微焦点X-ray成像，具体而言是微焦点X-ray检测仪的成像校正方法。
背景技术
微焦点X-ray检测仪主要用于检查集成电路芯片、电子元器件内部的结构、位移动等。它采用聚光束透射被测件进行投影，通过图像增强器和摄像机接收射线实时成像，清晰地反映整个被测件的内部缺陷和形状。随着射线管使用和待机时间越来越长，射线发射的能量也会越来越低，相应成像亮度会逐渐丢失，导致图像分辨率和成像质量会逐渐降低。对此，现有技术一般采用增加射线管管电压、提高管电流、增加曝光时间、降低图像信噪比或者更换新的射线管等办法来解决。增加管电压可以增强射线穿透能力，提高图像对比度；管电流增加射线光子数量，提高图像亮度；增加曝光时间可以降低图像采集的帧频来达到降低图像信噪比的目的。但是，这些办法只能在一定的程度上治标，而不能解决根本问题。管电压和管电流都不能无限制地提高，需保证部分穿透部分吸收的合适管电压才能形成良好的对比度，既不太亮也不太弱的管电流才能保证最小的点斑尺寸和最佳分辨率，一味地增加曝光时间还会降低射线管的使用寿命。所以微焦点X-ray成像检测系统在使用一段时日后，都会存在着射线靶老化和成像系统光学性能退化导致图像分辨率变差或引起成像失真，更换射线靶或购买新设备当然是最根本的解决办法，但需增加资金投入，提高成本。
针对现有技术的上述不足，本发明提出了一种微焦点X-ray检测仪的成像校正方法。采用本发明，可以在不增加新的靶材和新设备的前提下，成功解决微焦点X-ray成像失真和分辨率差的问题，在一定周期内，不仅获得较高分辨率和准确性的图像质量，而且延长了微焦点X-ray成像检测系统的设备使用寿命，有效节约了成本。
发明内容
本发明的目的是提供一种微焦点X-ray检测仪的成像校正方法，在不增加新的靶材和新设备的前提下，基于现有器材，为集成电路芯片和电子元器件内部微焦点X-ray透射检测进行安全可靠、便捷有效地成像失真校正。
为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：微焦点X-ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：
S1.校正前的准备；
S1.1.射线管辐射泄漏检查；
S1.1.1准备一台量程为30～160KV、辐射剂量速率小于1μSv/h的辐射泄漏检测仪；
S1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将微焦点X-ray检测仪的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAY ENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；
S1.1.3.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统菜单中的“Warm up”，执行射线管预热程序；
S1.1.4.预热结束后，通过电压和功率选择按钮将微焦点X-ray检测仪的管电压和管功率都调到最大状态；
S1.1.5.用辐射泄漏检测仪全方位扫描微焦点X-ray检测仪，尤其注意主通道门和隔离柜门的缝隙处；
S1.1.6.若各方位辐射泄漏数据都小于1μSv/h，则执行下面的步骤；否则立即关掉微焦点X-ray检测仪，检查泄漏原因；
S1.2.断电通道操作安全性保证；
S1.2.1.电气闭锁通道安全性；
S1.2.1.1.关掉射线，关闭系统运行软件，等待所有的操作台和图像增强器停止运作，然后关闭其他所有运行软件和窗口；
S1.2.1.2.将钥匙开关转到POWER-OFF位置，并拔走钥匙；
S1.2.1.3.将主隔离器开关拨到标示为“O”的断开位置；
S1.2.1.4.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住主隔离器；
S1.2.2.气动闭锁通道安全性；
S1.2.2.1.打开主通道门；
S1.2.2.2.顺时针旋转气动计数器阀门关闭阀门，以断开后续下游电路；
S1.2.2.3.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住所关闭阀门；
S2.校正；
S2.1.射线靶调整；
S2.1.1戴上橡胶手套；
S2.1.2在主通道移动支撑架的弧形顶端手动旋转图像增强器，露出支撑架上的两个固定螺丝，松开该固定螺丝，然后松开支撑架滑动中的两个定位螺丝，向前拉出主通道支撑架直到维护支撑腿能够完全支撑住支撑架；
S2.1.3.释放射线管真空；
S2.1.3.1.找到位于射线管上的“T”阀，缓慢地逆时针转动，直到少量空气进入管子，再顺时针转动1/4圈阀后暂时关闭；
S2.1.3.2.等15S后，再次让少量空气进入；
S2.1.3.3.再等5S后，完全打开阀门停留10S；
S2.1.3.4.最后顺时针旋转完全关闭阀门；
S2.1.4.将转动工具的插销插入位于射线管顶部的靶盘的两个小洞中，把持住靶盘不动，同时逆时针转动靶盘的固定外圈，松动靶盘；
S2.1.5.把持住固定外圈不动，通过转动工具将靶盘顺时针转动4°-6°；
S2.1.6.固定住靶盘的位置不动，旋紧固定外圈；
S2.1.7.将射线管上的“T”阀顺时针旋转到底；
S2.1.8.收回主通道支撑架，收回支撑腿，拧紧定位螺丝和固定螺丝；
S2.1.9.检查所有的部件或配件是否都已恢复到位；
S2.1.10.用干净软布或空气气雾剂清洁裸露的部件和配件表面；
S2.1.11.恢复断电通道原位；
S2.1.11.1.释放气动安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从气动计数器阀门上移开，推下阀门并顺时针旋转到位；
S2.1.11.2.确认所有的元件或部件都恢复原位和安全关闭之后，关闭主通道门；
S2.1.11.3.释放电气安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从主隔离器开关上移开；
S2.1.12.重建真空；
S2.1.12.1.将主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置；
S2.1.12.2.将钥匙插入钥匙开关，并转到POWER-ENABLE位置；
S2.1.12.3.按下POWER-ON电源启动开关，主机启动，进入WINDOWS界面；
S2.1.12.4.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，真空泵会和系统软件同时运行，状态栏的真空指示器呈现红色；
S2.1.12.5.让真空泵继续运行；
S2.1.12.6.当真空指示器从红色经黄色变为绿色,或者PENNING值低于6时，到达真空状态；
S2.1.13.管子预热；
S2.1.13.1.到达真空状态后，选择系统菜单中“Tube”选项，并点击“Warm up”选项；
S2.1.13.2.射线将自动打开，管电压从零逐渐升到162KV；
S2.1.13.3.预热结束后，管电压自动降到0，并自动关闭射线；
S2.1.14.执行S1.1.1、S1.1.4～S1.1.6；
S2.2.成像优化；
S2.2.1.关闭射线，点击系统菜单，再点击“Image Optimization”，对管子进行优化，优化的自动过程包括Centering、Focusing和Brightness Equalization；
S2.2.2.从“COMPLETE”、“WIZARD”、“CURRENT”、“CENTER ONLY”四种内设优化方式中选择“COMPLETE”，点击“Optimize Now”,开始执行优化；
S2.2.3.若进程信息框弹出“An earlier run has not completed,Startselected,resume earlier run or cancel”，选择“Resume”，恢复先前未执行完毕的成像优化程序；
S2.2.4.进程信息框将有“Adjusting beam center now”、“Center procedurecomplete”、“Image too dim,increasing power”等信息实时显示，同时各个电压的设置状态会通过颜色显示，灰色表示优化还没开始执行，黄色表示优化正在进行，红色表示优化失败，绿色表示优化已经完成；
S2.2.5.此过程中可以随时点击“Stop Optimizing”停止优化，如果进程被打断，则优化失败，在下次开始检测之前，系统将提示是否在优化失败的电压下重新进行优化；
S2.3.失真校正；
S2.3.1.点击“Door open”按钮打开样品通道门，松开固定样品托盘的定位螺丝，将正常使用时的样品托盘更换为标准校准盘或失真校正盘，关门；
S2.3.2.设置射线电压和射线功率，直到使校准或校正盘上的小洞达到清晰成像；
S2.3.3.选择“Calibration”键，点击“Full Calibration”；
S2.3.4.当所有的校准小洞都显示在校准条的盒子里后，屏幕显示“CalibrationComplete”，图像所显示的这些小洞的形状应该非常干净而且没有被损坏，它们所成像的中心要被定义和计算作为失真校正的参考点；
S2.3.5.在校准菜单中点击“Center”按钮，在“Reset central position ofgrid”对话框中选择“Yes”按钮；
S2.3.6.选择观察窗口菜单；
S2.3.7.检查小洞网格的成像是否聚中并填充了整个屏幕，为观察仔细可以进行放大缩小调节；
S2.3.8.加大功率获得小洞更清晰的图像，使水平和垂直行列的枕行失真被清晰地显示出来；
S2.3.9.选择校准菜单，点击“Analysis”按钮；
S2.3.10.程序将自动运行，计算所需要的修正值，确定X射线管、样品托盘和图像增强器三者之间的物理关系，保证在多次移动和不同角度的旋转之后，目标点仍然能处于屏幕的可视中心，清除任何图像成像失真,这期间，大量的信息条显示在屏幕的底部，当“Distortion correction map creation finished”显示时，说明失真分析已完成，所需要的修正结果已经被提供了；
S2.3.11.选择“Option”按钮，在失真校准选项中选择“Enable Correction”，将校正结果保存并执行完；
S2.3.12.关掉射线，点击“Door open”按钮打开样品通道门，重新换回原来的样品托盘，恢复到正常操作程序。
本发明采用物理位移、光学性能优化、网格几何修正计算和完善安全的防护保养措施，进行微焦点X-ray成像分辨率的提高和成像失真的校正和完善。
采用本发明，可以在不增加新的靶材和新设备的前提下，成功解决微焦点X-ray成像失真和分辨率差的问题，在一定周期内，安全可靠、便捷有效地完成微焦点X-ray成像失真校正和图像分辨率改善调整，不仅获得较高分辨率和准确性的图像质量，而且延长了微焦点X-ray成像检测系统的设备使用寿命，有效节约了成本。
利用本发明对微焦点X-ray检测仪进行校正后，在同样的管电压、同样的管电流、相同条件的滤波延展和平均帧频条件下，对同一被测样品进行检测，成像透视图在分辨率亮度、锐度和清晰度上均有明显改善。
附图说明
图1为本发明调整射线靶位置示意图；
图2为被测样品(电流传感器ACS758LCB-050B-PFF-T)在未经本发明校正的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图；
图3为被测样品(电流传感器ACS758LCB-050B-PFF-T)在经本发明校正后的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图；
图4为被测样品(二极管6RI30G-160)在未经本发明校正的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图；
图5为被测样品(二极管6RI30G-160)在经本发明校正后的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图；
图6为被测样品(隔离电压传感器ACPL-C870-000E)在未经本发明校正的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图；
图7为被测样品(隔离电压传感器ACPL-C870-000E)在经本发明校正后的微焦点X-ray检测仪上的成像透视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明做进一步的详细描述，但该实施例不应理解为对本发明的限制。
实施例一
(一)待校仪器：类型：开管；型号：XD7500；规格：最高管电压160KV；标靶功率3W；放大倍数1400倍；分辨率0.95μm。
(二)设备、器材：环境极X、γ剂量率仪XH-2020；带插销的转动工具；被测样品电流传感器ACS758LCB-050B-PFF-T。
(三)校正过程：
S1.校正前的准备；
S1.1.射线管辐射泄漏检查；
S1.1.1准备环境极X、γ剂量率仪，型号为XH-2020，剂量率测量范围为0.001～1500μSv/h、累积剂量量测量范围为0.001～9999mSv；
S1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将XD7500的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAY ENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；
S1.1.3.XD7500系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统菜单中的“Warm up”，执行射线管预热程序；
S1.1.4.预热结束后，通过电压和功率选择按钮将XD7500的管电压调到160KV,管功率调到3W；
S1.1.5.用XH-2020全方位扫描XD7500，尤其注意主通道门和隔离柜门的缝隙处；
S1.1.6.数据显示各方位辐射泄漏都小于1μSv/h，执行下面的步骤；
S1.2.断电通道操作安全性保证；
S1.2.1.电气闭锁通道安全性；
S1.2.1.1.关掉射线，关闭系统运行软件，等待所有的操作台和图像增强器停止运作，然后关闭其他所有运行软件和窗口；
S1.2.1.2.将钥匙开关转到POWER-OFF位置，并拔走钥匙；
S1.2.1.3.将主隔离器开关拨到标示为“O”的断开位置；
S1.2.1.4.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住主隔离器；
S1.2.2.气动闭锁通道安全性；
S1.2.2.1.打开主通道门；
S1.2.2.2.顺时针旋转气动计数器阀门关闭阀门，以断开后续下游电路；
S1.2.2.3.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住所关闭阀门；
S2.校正；
S2.1.射线靶调整；
S2.1.1戴上橡胶手套；
S2.1.2在主通道移动支撑架的弧形顶端手动旋转图像增强器，露出支撑架上的两个固定螺丝，松开该固定螺丝，然后松开支撑架滑动中的两个定位螺丝，向前拉出主通道支撑架直到维护支撑腿能够完全支撑住支撑架；
S2.1.3.释放射线管真空；
S2.1.3.1.找到位于射线管上的“T”阀，缓慢地逆时针转动，直到少量空气进入管子，再顺时针转动1/4圈阀后暂时关闭；
S2.1.3.2.等15S后，再次让少量空气进入；
S2.1.3.3.再等5S后，完全打开阀门停留10S；
S2.1.3.4.最后顺时针旋转完全关闭阀门；
S2.1.4.将转动工具的插销插入位于射线管顶部的靶盘的两个小洞中，把持住靶盘不动，同时逆时针转动靶盘的固定外圈，松动靶盘；
S2.1.5.把持住固定外圈不动，通过转动工具将靶盘顺时针转动5°；
S2.1.6.固定住靶盘的位置不动，旋紧固定外圈；
S2.1.7.将射线管上的“T”阀顺时针旋转到底；
S2.1.8.收回主通道支撑架，收回支撑腿，拧紧定位螺丝和固定螺丝；
S2.1.9.检查所有的部件或配件都已恢复到位；
S2.1.10.用干净软布或空气气雾剂清洁裸露的部件和配件表面；
S2.1.11.恢复断电通道原位；
S2.1.11.1.释放气动安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从气动计数器阀门上移开，推下阀门并顺时针旋转到位；
S2.1.11.2.确认所有的元件或部件都恢复原位和安全关闭之后，关闭主通道门；
S2.1.11.3.释放电气安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从主隔离器开关上移开；
S2.1.12.重建真空；
S2.1.12.1.将主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置；
S2.1.12.2.将钥匙插入钥匙开关，并转到POWER-ENABLE位置；
S2.1.12.3.按下POWER-ON电源启动开关，主机启动，进入WINDOWS界面；
S2.1.12.4.XD7500系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，真空泵会和系统软件同时运行，状态栏的真空指示器呈现红色；
S2.1.12.5.让真空泵继续运行；
S2.1.12.6.当真空指示器从红色经黄色变为绿色,或者PENNING值低于6时，到达真空状态；
S2.1.13.管子预热；
S2.1.13.1.到达真空状态后，选择系统菜单中“Tube”选项，并点击“Warm up”选项；
S2.1.13.2.射线自动打开，管电压从零逐渐升到160KV；
S2.1.13.3.预热结束后，管电压自动降到0，并自动关闭射线；
S2.1.14.执行S1.1.1、S1.1.4～S1.1.6；
S2.2.成像优化；
S2.2.1.关闭射线，点击系统菜单，再点击“Image Optimization”，对管子进行优化，优化的自动过程包括Centering、Focusing和Brightness Equalization；
S2.2.2.从“COMPLETE”、“WIZARD”、“CURRENT”、“CENTER ONLY”四种内设优化方式中选择“COMPLETE”，点击“Optimize Now”,开始执行优化；
S2.2.3.进程显示各个电压从160KV到30KV，每隔5KV一个档，共27档电压全部优化完毕，优化完的电压以绿色显示；
S2.3.失真校正；
S2.3.1.点击“Door open”按钮打开样品通道门，松开固定样品托盘的定位螺丝，将正常使用时的样品托盘更换为失真校正盘，关门；
S2.3.2.设置射线电压为80KV，射线功率为0.8W，使校正盘上的小洞达到清晰成像；
S2.3.3.选择“Calibration”键，点击“Full Calibration”；
S2.3.4.屏幕显示“Calibration Complete”；
S2.3.5.在校准菜单中点击“Center”按钮，在“Reset central position ofgrid”对话框中选择“Yes”按钮；
S2.3.6.选择观察窗口菜单；
S2.3.7.通过放大缩小调节观察小洞网格的成像已聚中并填充了整个屏幕；
S2.3.8.加大功率到0.9W获得小洞更清晰的图像，使水平和垂直行列的枕行失真被清晰地显示出来；
S2.3.9.选择校准菜单，点击“Analysis”按钮；
S2.3.10.程序将自动运行，计算所需要的修正值，“Distortion correction mapcreation finished”显示；
S2.3.11.选择“Option”按钮，在失真校准选项中选择“Enable Correction”，将校正结果保存并执行完；
S2.3.12.关掉射线，点击“Door open”按钮打开样品通道门，重新换回原来的样品托盘，恢复到正常操作程序。
实施例二
(一)待校仪器：类型：闭管；型号：XD7600；规格：最高管电压160KV；标靶功率10W；放大倍数2500倍；分辨率0.5μm。
(二)设备、器材：环境极X、γ剂量率仪XH-2020；带插销的转动工具；被测样品：二极管6RI30G-160；隔离电压传感器ACPL-C870-000E。
(三)校正过程：
S1.校正前的准备；
S1.1.射线管辐射泄漏检查；
S1.1.1准备环境极X、γ剂量率仪，型号为XH-2020，剂量率测量范围为0.001～1500μSv/h、累积剂量量测量范围为0.001～9999mSv；
S1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将XD7600的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAY ENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；
S1.1.3.XD7600系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统菜单中的“Warm up”，执行射线管预热程序；
S1.1.4.预热结束后，通过电压和功率选择按钮将XD7600的管电压调到160KV,管功率调到10W；
S1.1.5.用XH-2020全方位扫描XD7600，尤其注意主通道门和隔离柜门的缝隙处；
S1.1.6.数据显示各方位辐射泄漏都小于1μSv/h，执行下面的步骤；
S1.2.断电通道操作安全性保证；
S1.2.1.电气闭锁通道安全性；
S1.2.1.1.关掉射线，关闭系统运行软件，等待所有的操作台和图像增强器停止运作，然后关闭其他所有运行软件和窗口；
S1.2.1.2.将钥匙开关转到POWER-OFF位置，并拔走钥匙；
S1.2.1.3.将主隔离器开关拨到标示为“O”的断开位置；
S1.2.1.4.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住主隔离器；
S1.2.2.气动闭锁通道安全性；
S1.2.2.1.打开主通道门；
S1.2.2.2.顺时针旋转气动计数器阀门关闭阀门，以断开后续下游电路；
S1.2.2.3.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住所关闭阀门；
S2.校正；
S2.1.射线靶调整；
S2.1.1戴上橡胶手套；
S2.1.2在主通道移动支撑架的弧形顶端手动旋转图像增强器，露出支撑架上的两个固定螺丝，松开该固定螺丝，然后松开支撑架滑动中的两个定位螺丝，向前拉出主通道支撑架直到维护支撑腿能够完全支撑住支撑架；
S2.1.3.释放射线管真空；
S2.1.3.1.找到位于射线管上的“T”阀，缓慢地逆时针转动，直到少量空气进入管子，再顺时针转动1/4圈阀后暂时关闭；
S2.1.3.2.等15S后，再次让少量空气进入；
S2.1.3.3.再等5S后，完全打开阀门停留10S；
S2.1.3.4.最后顺时针旋转完全关闭阀门；
S2.1.4.将转动工具的插销插入位于射线管顶部的靶盘的两个小洞中，把持住靶盘不动，同时逆时针转动靶盘的固定外圈，松动靶盘；
S2.1.5.把持住固定外圈不动，通过转动工具将靶盘顺时针转动5°；
S2.1.6.固定住靶盘的位置不动，旋紧固定外圈；
S2.1.7.将射线管上的“T”阀顺时针旋转到底；
S2.1.8.收回主通道支撑架，收回支撑腿，拧紧定位螺丝和固定螺丝；
S2.1.9.检查所有的部件或配件都已恢复到位；
S2.1.10.用干净软布或空气气雾剂清洁裸露的部件和配件表面；
S2.1.11.恢复断电通道原位；
S2.1.11.1.释放气动安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从气动计数器阀门上移开，推下阀门并顺时针旋转到位；
S2.1.11.2.确认所有的元件或部件都恢复原位和安全关闭之后，关闭主通道门；
S2.1.11.3.释放电气安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从主隔离器开关上移开；
S2.1.12.重建真空；
S2.1.12.1.将主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置；
S2.1.12.2.将钥匙插入钥匙开关，并转到POWER-ENABLE位置；
S2.1.12.3.按下POWER-ON电源启动开关，主机启动，进入WINDOWS界面；
S2.1.12.4.XD7600系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，真空泵会和系统软件同时运行，状态栏的真空指示器呈现红色；
S2.1.12.5.让真空泵继续运行；
S2.1.12.6.当真空指示器从红色经黄色变为绿色,或者PENNING值低于6时，到达真空状态；
S2.1.13.管子预热；
S2.1.13.1.到达真空状态后，选择系统菜单中“Tube”选项，并点击“Warm up”选项；
S2.1.13.2.射线自动打开，管电压从零逐渐升到160KV；
S2.1.13.3.预热结束后，管电压自动降到0，并自动关闭射线；
S2.1.14.执行S1.1.1、S1.1.4～S1.1.6；
S2.2.成像优化；
S2.2.1.关闭射线，点击系统菜单，再点击“Image Optimization”，对管子进行优化，优化的自动过程包括Centering、Focusing和Brightness Equalization；
S2.2.2.从“COMPLETE”、“WIZARD”、“CURRENT”、“CENTER ONLY”四种内设优化方式中选择“COMPLETE”，点击“Optimize Now”,开始执行优化；
S2.2.3.160KV电压优化执行完毕，电压显示为绿色，执行155KV电压优化时，进程信息框不断有“Adjusting beam center now”、“Center procedure complete”、“Imagetoo dim,increasing power”等信息显示，时间比160KV优化时间要长，而且最终电压显示为红色，并打了叉，此电压优化失败，进程被中断；
S2.2.4.重新进入系统菜单，点击“Image Optimization”，从“COMPLETE”、“WIZARD”、“CURRENT”、“CENTER ONLY”四种内设优化方式中选择“COMPLETE”，点击“Optimize Now”，信息框弹出“An earlier run has not completed,Start selected,resume earlier run or cancel”，选择“Resume”，恢复155KV电压的成像优化程序；
S2.2.5.电压从160KV到55KV，每隔5KV一个档，共22档电压全部优化完毕，优化完的电压以绿色显示；
S2.2.6.到50KV电压时，优化再次失败，进程被中断，考虑到50KV～30KV电压此台设备基本不会用到，优化未再次往下执行；
S2.3.失真校正；
S2.3.1.点击“Door open”按钮打开样品通道门，松开固定样品托盘的定位螺丝，将正常使用时的样品托盘更换为失真校正盘，关门；
S2.3.2.设置射线电压为90KV，射线功率为2W，使校正盘上的小洞达到清晰成像；
S2.3.3.选择“Calibration”键，点击“Full Calibration”；
S2.3.4.屏幕显示“Calibration Complete”；
S2.3.5.在校准菜单中点击“Center”按钮，在“Reset central position ofgrid”对话框中选择“Yes”按钮；
S2.3.6.选择观察窗口菜单；
S2.3.7.通过放大缩小调节观察小洞网格的成像已聚中并填充了整个屏幕；
S2.3.8.加大功率到2.5W获得小洞更清晰的图像，使水平和垂直行列的枕行失真被清晰地显示出来；
S2.3.9.选择校准菜单，点击“Analysis”按钮；
S2.3.10.程序将自动运行，计算所需要的修正值，“Distortion correction mapcreation finished”显示；
S2.3.11.选择“Option”按钮，在失真校准选项中选择“Enable Correction”，将校正结果保存并执行完；
S2.3.12.关掉射线，点击“Door open”按钮打开样品通道门，重新换回原来的样品托盘，恢复到正常操作程序。
本说明书中未作详细描述的内容，属于本专业技术人员公知的现有技术。
Claims (1)
1.微焦点X-ray检测仪的成像校正方法，包括以下步骤：
S1.校正前的准备；
S1.1.射线管辐射泄漏检查；
S1.1.1准备一台量程为30～160KV、辐射剂量速率小于1μSv/h的辐射泄漏检测仪；
S1.1.2.在确认所有的安全防护门和通道都完全关闭后，将微焦点X-ray检测仪的主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置，将设备上的钥匙开关打到X-RAY ENABLE，按下POWER-ON按钮，主机启动，进入WINDOWS界面；
S1.1.3.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，观察系统真空运行状态，待真空通道达到绿色状态后，点击系统菜单中的“Warmup”，执行射线管预热程序；
S1.1.4.预热结束后，通过电压和功率选择按钮将微焦点X-ray检测仪的管电压和管功率都调到最大状态；
S1.1.5.用辐射泄漏检测仪全方位扫描微焦点X-ray检测仪，尤其注意主通道门和隔离柜门的缝隙处；
S1.1.6.若各方位辐射泄漏数据都小于1μSv/h，则执行下面的步骤；否则立即关掉微焦点X-ray检测仪，检查泄漏原因；
S1.2.断电通道操作安全性保证；
S1.2.1.电气闭锁通道安全性；
S1.2.1.1.关掉射线，关闭系统运行软件，等待所有的操作台和图像增强器停止运作，然后关闭其他所有运行软件和窗口；
S1.2.1.2.将钥匙开关转到POWER-OFF位置，并拔走钥匙；
S1.2.1.3.将主隔离器开关拨到标示为“O”的断开位置；
S1.2.1.4.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住主隔离器；
S1.2.2.气动闭锁通道安全性；
S1.2.2.1.打开主通道门；
S1.2.2.2.顺时针旋转气动计数器阀门关闭阀门，以断开后续下游电路；
S1.2.2.3.将闭锁挂锁和闭锁标签拉出阻挡住所关闭阀门；
S2.校正；
S2.1.射线靶调整；
S2.1.1戴上橡胶手套；
S2.1.2在主通道移动支撑架的弧形顶端手动旋转图像增强器，露出支撑架上的两个固定螺丝，松开该固定螺丝，然后松开支撑架滑动中的两个定位螺丝，向前拉出主通道支撑架直到维护支撑腿能够完全支撑住支撑架；
S2.1.3.释放射线管真空；
S2.1.3.1.找到位于射线管上的“T”阀，缓慢地逆时针转动，直到少量空气进入管子，再顺时针转动1/4圈阀后暂时关闭；
S2.1.3.2.等15S后，再次让少量空气进入；
S2.1.3.3.再等5S后，完全打开阀门停留10S；
S2.1.3.4.最后顺时针旋转完全关闭阀门；
S2.1.4.将转动工具的插销插入位于射线管顶部的靶盘的两个小洞中，把持住靶盘不动，同时逆时针转动靶盘的固定外圈，松动靶盘；
S2.1.5.把持住固定外圈不动，通过转动工具将靶盘顺时针转动4°-6°；
S2.1.6.固定住靶盘的位置不动，旋紧固定外圈；
S2.1.7.将射线管上的“T”阀顺时针旋转到底；
S2.1.8.收回主通道支撑架，收回支撑腿，拧紧定位螺丝和固定螺丝；
S2.1.9.检查所有的部件或配件是否都已恢复到位；
S2.1.10.用干净软布或空气气雾剂清洁裸露的部件和配件表面；
S2.1.11.恢复断电通道原位；
S2.1.11.1.释放气动安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从气动计数器阀门上移开，推下阀门并顺时针旋转到位；
S2.1.11.2.确认所有的元件或部件都恢复原位和安全关闭之后，关闭主通道门；
S2.1.11.3.释放电气安全闭锁，并将闭锁挂锁和闭锁标签从主隔离器开关上移开；
S2.1.12.重建真空；
S2.1.12.1.将主隔离器开关拨到标示为“1”的接通位置；
S2.1.12.2.将钥匙插入钥匙开关，并转到POWER-ENABLE位置；
S2.1.12.3.按下POWER-ON电源启动开关，主机启动，进入WINDOWS界面；
S2.1.12.4.微焦点X-ray检测仪系统操作软件随主机启动自动开启，点击“OK”进行系统的初始化，真空泵会和系统软件同时运行，状态栏的真空指示器呈现红色；
S2.1.12.5.让真空泵继续运行；
S2.1.12.6.当真空指示器从红色经黄色变为绿色,或者PENNING值低于6时，到达真空状态；
S2.1.13.管子预热；
S2.1.13.1.到达真空状态后，选择系统菜单中“Tube”选项，并点击“Warm up”选项；
S2.1.13.2.射线将自动打开，管电压从零逐渐升到162KV；
S2.1.13.3.预热结束后，管电压自动降到0，并自动关闭射线；
S2.1.14.执行S1.1.1、S1.1.4～S1.1.6；
S2.2.成像优化；
S2.2.1.关闭射线，点击系统菜单，再点击“Image Optimization”，对管子进行优化，优化的自动过程包括Centering、Focusing和Brightness Equalization；
S2.2.2.从“COMPLETE”、“WIZARD”、“CURRENT”、“CENTER ONLY”四种内设优化方式中选择“COMPLETE”，点击“Optimize Now”,开始执行优化；
S2.2.3.若进程信息框弹出“An earlier run has not completed,Start selected,resume earlier run or cancel”，选择“Resume”，恢复先前未执行完毕的成像优化程序；
S2.2.4.进程信息框将有“Adjusting beam center now”、“Center procedurecomplete”、“Image too dim,increasing power”等信息实时显示，同时各个电压的设置状态会通过颜色显示，灰色表示优化还没开始执行，黄色表示优化正在进行，红色表示优化失败，绿色表示优化已经完成；
S2.2.5.此过程中可以随时点击“Stop Optimizing”停止优化，如果进程被打断，则优化失败，在下次开始检测之前，系统将提示是否在优化失败的电压下重新进行优化；
S2.3.失真校正；
S2.3.1.点击“Door open”按钮打开样品通道门，松开固定样品托盘的定位螺丝，将正常使用时的样品托盘更换为标准校准盘或失真校正盘，关门；
S2.3.2.设置射线电压和射线功率，直到使校准或校正盘上的小洞达到清晰成像；
S2.3.3.选择“Calibration”键，点击“Full Calibration”；
S2.3.4.当所有的校准小洞都显示在校准条的盒子里后，屏幕显示“CalibrationComplete”，图像所显示的这些小洞的形状应该非常干净而且没有被损坏，它们所成像的中心要被定义和计算作为失真校正的参考点；
S2.3.5.在校准菜单中点击“Center”按钮，在“Reset central position of grid”对话框中选择“Yes”按钮；
S2.3.6.选择观察窗口菜单；
S2.3.7.检查小洞网格的成像是否聚中并填充了整个屏幕，为观察仔细可以进行放大缩小调节；
S2.3.8.加大功率获得小洞更清晰的图像，使水平和垂直行列的枕行失真被清晰地显示出来；
S2.3.9.选择校准菜单，点击“Analysis”按钮；
S2.3.10.程序将自动运行，计算所需要的修正值，确定X射线管、样品托盘和图像增强器三者之间的物理关系，保证在多次移动和不同角度的旋转之后，目标点仍然能处于屏幕的可视中心，清除任何图像成像失真,这期间，大量的信息条显示在屏幕的底部，当“Distortion correction map creation finished”显示时，说明失真分析已完成，所需要的修正结果已经被提供了；
S2.3.11.选择“Option”按钮，在失真校准选项中选择“Enable Correction”，将校正结果保存并执行完；
S2.3.12.关掉射线，点击“Door open”按钮打开样品通道门，重新换回原来的样品托盘，恢复到正常操作程序。
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