CN111853546A - 化学品自动供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置的设置结构，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。体现此目的的化学品自动供给装置的设置结构包括：建筑物墙体(700)，贯通连接建筑物内外的开放部；化学品自动供给装置，包含搁置部(150)及传送单元(160)，搁置部(150)搁置从化学品罐供化学品用的化学品软管(500)，传送单元(160)前后传送上述搁置部(150)，使上述化学品软管(500)与上述建筑物内化学品罐连接；当工作人员把上述化学品软管(500)搁置到上述搁置部(150)时，上述搁置部(150)位于上述开放部701内部空间内。

Description

化学品自动供给装置

本申请是申请日为2017年8月24日、申请号为201710735184.X发明专利申请“化学品自动供给装置的安装结构”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种化学品自动供给装置，更详细，把软管搁置部设置于墙体的开放部，提高工作便利性，还可预防操作人员负伤。

背景技术

一般制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司和制药公司及油漆公司等使用有害化学物质的所有公司都在使用多种多样的化学品，安全供给这种化学品的方式也变得多样化。

这种化学品一般从建筑物外停车的罐车(tank lorry)的化学品罐输送到建筑物内设的化学品储罐(chemical storage tank)后，从化学品储罐再输送到单位工程进行室。

从上述罐车输送化学品到化学品储罐的现有方法，使用了操作人员手动连接化学品供给软管到接头的方法，以下对此详细说明。

上述罐车连接了供化学品软管和供氮气软管，上述化学品软管和氮气软管端部各连接化学品用公接头(Male Connector)和氮气用公接头，上述公连接器上各备有盖(Cap)封闭端部。

并且，上述化学品储罐上具备化学品用母接头(Female Connector)和氮气用母接头，各自连接化学品用公接头和氮气用公接头。上述化学品用母接头及氮气用母接头上也各备有盖(Cap)封闭端部。

操作人员从上述罐车拉出化学品软管和氮气软管，把化学品用公接头盖和氮气用公接头盖，化学品用母接头盖和氮气用母接头盖去除。其后，化学品用公接头连到化学品用母接头，氮气用公接头连到氮气用母接头。

如上在公接头和母接头连接的状态下，通过氮气软管从位于建筑物内的氮气储罐向罐车供给定压氮气，罐车内化学品因氮气压力，通过化学品软管向化学品储罐传送。

但根据这种现有方法，操作人员手动连接/分离化学品用及氮气用接头，供给定压氮气时，存在化学品有泄漏的可能性，操作人员也会暴露在化学品的问题。

化学品供给装置的现有技术，已有大韩民国实用新型公开第20-2016-0002378号公开。

上述现有技术中，罐车与化学品储罐之间设置了化学品中介手段叫ACQC单元(Automatic Clean Quick Coupler Unit)。在此，化学品储罐一般设置在建筑物内，ACQC单元在罐车的化学品罐与建筑物内的化学品储罐之间起中介作用。

上述现有ACQC单元，连接化学品公接头与母接头，连接氮气公接头与母接头时，经过上述ACQC单元向罐车化学品罐供给定压氮气，利用供给氮气气压，导出化学品，经化学品软管储存到化学品储罐中。

上述ACQC单元位于建筑物内，工作人员得在建筑物外搁置化学品软管和氮气软管到搁置部。

此时，工作人员与搁置部之间隔着建筑物墙体，工作人员通过建筑物墙体形成的开放部搁置化学品软管和氮气软管到搁置部。

但是按照这种结构中，要把厚重的化学品软管和氮气软管搁置到建筑物内的搁置部，工作人员必须要弯腰搁置软管到搁置部，但此工作由于软管的重量会引发工作人员肌肉骨骼系统疾病。

并且，在输送化学品和氮气时，化学品软管和氮气软管连接罐车和化学品储罐和氮气储罐，存在无法设置化学品防漏屏蔽门的问题。并且，即使设置了屏蔽门，无法封闭软管与接头连接的周围空间，任其暴露在外。因此，存在着灰尘、雨水、雪等外部污染物会流入到装置内，装置内会产生的化学品烟雾(Fume)等也会直接外泄的问题。

[现有技术文献]

[专利文献]

大韩民国实用新型公开第20-2016-0002378号

发明内容

本发明是为解决上述诸多问题提出的，其目的在于提供一种化学品自动供给装置，当操作人员搁置软管到搁置部时，使搁置部尽量与操作人员接近，可防止引发操作人员疾病。

本发明另一目的在于提供一种化学品自动供给装置，化学品自动供给装置中设置屏蔽门防止异物流入到装置内，隔断化学品或烟雾(Fume)向外泄漏，并且另设置导入化学品软管和氮气软管的导入部，可预防软管磨损或钩破。

如上所述，为达到目的的本发明化学品自动供给装置设置结构包括：建筑物墙体700，贯通连接建筑物内外的开放部；化学品自动供给装置，包含搁置部150及传送单元160，搁置部150搁置从化学品罐供化学品用的化学品软管500，传送单元160前后传送上述搁置部150，使上述化学品软管500与上述建筑物内化学品罐连接；当工作人员把上述化学品软管500搁置到上述搁置部150时，上述搁置部150位于上述开放部701内部空间内。

上述传送单元160的一侧端部设置为插入上述开放部701内部空间内，上述搁置部150加载到上述传送单元160上部，插入到上述开放部701内部空间的上述传送单元160一侧端部比支撑上述传送单元160的传送单元支撑部168的一侧端部，可以是更向上述开放部701方向突出。

控制面板175，操作上述化学品自动供给装置100，可以位于上述开放部701内部空间内。

还可包括：框架，插入到上述开放部701内侧空间前后开放，围绕上述开放部701内侧空间周围形成本体；屏蔽门130，上述框架120上与建筑物外侧方向一侧端部结合可以转动，开闭上述框架120开放侧。

上述屏蔽门130可由结合上述框架的第1门131和第2门132构成；上述第2门132相对上述框架120转动，开闭上述框架120的一侧部。

上述第1门131与第2门132之间，在上述第1门131与第2门132关闭状态下贯通上述化学品软管500，可同时设置化学品导入部135-1，当上述化学品软管500由上述传送单元160传送时导入上述化学品软管500。

上述框架120和屏蔽门130可与围绕上述传送单元160外侧的输送部外壳105结合成一体，插入到上述开放部701。

上述框架120和屏蔽门130可与围绕上述传送单元160外侧的输送部外壳105分离的状态下，插入到上述开放部701。

上述框架120和屏蔽门130中某一个可以与围绕上述传送单元160外侧的输送部外壳105分离，设置在上述墙体700的开放部701，另一个与上述输送部外壳105结合成一体，插入到上述墙体700的开放部701。

上述传送单元160可由第1台架161、第1台架驱动部162、第2台架163、第2台架驱动部164)构成，其中，第1台架161上部加载上述搁置部150，第1台架驱动部162驱动上述搁置部150在上述第1台架161上前后方向传送，第2台架163上部搁置上述第1台架161前后方向传送，第2台架驱动部164)驱动上述第1台架161及搁置部150在上述第2台架163上前后方向传送。

上述第2台架163一侧端部可插入到上述开放部701内部空间内。

当上述搁置部150通过第1驱动部162的驱动而被移动到上述开放部701内部空间时，可设置成工作人员可以搁置上述化学品软管500到上述搁置部150。

上述搁置部150由搁置上述化学品软管500的化学品用搁置部150-1和搁置氮气软管600的氮气用搁置部150-2构成；当工作人员把上述化学品软管500和氮气软管600各搁置到上述化学品用搁置部150-1和氮气用搁置部150-2时，上述化学品用搁置部150-1和氮气用搁置部150-2可位于上述开放部701内部空间内。

根据本发明化学品自动供给装置，使搁置化学品软管和氮气软管的搁置部位于墙体内部空间的开放部，提高了工作便利性，可预防工作人员患得肌肉骨骼系统疾病。

并且，设置屏蔽门屏蔽墙体内部空间的开放部一侧，防止异物流入到装置内，屏蔽化学品向外泄漏。

并且，另设导入化学品软管和氮气软管的导入部，在上述导入部中设置滚轴或轴承，当化学品软管和氮气软管移动时，可防止磨损或钩破导致化学品外漏或氮气外泄。

附图说明

图1为图示本发明化学品自动供给装置设置结构外观的全体立体图。

图2为图示本发明化学品自动供给装置设置结构中上部门和下部门开放状态图。

图3为图示本发明化学品自动供给装置设置结构中化学品软管和氮气软管由导入部导入的状态图。

图4为图示本发明化学品自动供给装置设置结构中化学品软管通过屏蔽门的导入部搁置到搁置部的状态的剖面图。

图5为图示本发明传送单元中公接头未向母接头移动的状态图。

图6为图示在图5的状态下第1台架驱动部驱动公接头向母接头方向移动的状态图。

图7为图示在图5的状态下第2台架驱动部驱动公接头向母接头方向移动的状态图。

图8为图示在图7的状态下第1台架驱动部驱动公接头为与母接头结合的移动的状态图。

图9为图示搁置部设置在输送部外壳内部的状态图。

图10为图示搁置部设置在墙体内部空间的状态图。

符号说明

100：化学品自动供给装置 105：输送部外壳

120：框架 130：屏蔽门

131：下部门 132：上部门

132a：透视窗 134：急停开关

135：导入部 135-1：化学品用导入部

135-2：氮气用导入部 136-1、136-2：开口部

137-1、137-2：下部旋转构件 138-1、138-2：上部旋转构件

150：搁置部 150-1：化学品用搁置部

150-2：氮气用搁置部 160：传送单元

161：第1台架 161-1：第1化学品用台架

161-2：第1氮气用台架 162：第1台架驱动部

162-1：第1化学品用驱动部 162-2：第1氮气用驱动部

163：第2台架 164：第二台架驱动部

165：中间台架 170：侧部门

175：控制面板 180：固定单元

190：母接头盖除去单元 200：外壳本体

210：化学品用母接头 211：化学品用母接头盖

500：化学品软管 510：化学品用公接头

600：氮气软管 700：墙体

701：开放部

具体实施方式

以下参照附图详细说明本发明化学品自动供给装置。

参照图1至图4，本发明化学品自动供给装置100是设置在外壳本体200内的化学品母接头210(图5)与氮气母接头(未图示)上自动连接化学品公接头510和氮气公接头610的装置，化学品公接头510和氮气公接头610连接到罐车(tank lorry)的化学品罐(未图示)上的化学品软管500和氮气软管600端部。

以下指方向时，以上述屏蔽门130为基准，罐车与操作人员所在的方向为后方，上述外壳本体200所在的方向为前方。

上述化学品自动供给装置100由：输送部外壳105、框架120、屏蔽门130、搁置部150、传送单元160、侧部门170、控制面板175、固定单元180、母接头盖去除单元190构成。

与上述输送部外壳105相对的外壳本体200一侧设有化学品用母接头210和氮气用母接头(未图示)。

上述外壳本体200内设有把化学品用软管500供给的化学品分配到化学品储罐(未图示)或洗涤化学品母接头210和氮气母接头的构成。

上述搁置部150可以成双，各搁置化学品软管500和氮气软管600。

上述传送单元160位于上述输送部外壳105内，控制化学品软管500和氮气软管600搁置到搁置部150状态下向化学品用母接头210和氮气用母接头方向传送。上述传送单元160可以成双，各传送化学品软管500和氮气软管600。

上述传送单元160一侧端部插入到位于墙体的开放部701。上述墙体700是构成建筑物的墙，图1中显示建筑墙体700的一部分。上述开放部701形成开孔状贯通建筑物内外。

上述开放部701内插入框架120，上述框架120上连接上述屏蔽门130和侧部门170。

上述框架120断面成四角形结构，包围传送单元160外围，传送单元160一端插入到上述开放部701。

上述侧部门170连接到上述框架120一侧，可开闭，其内部空间设有控制面板180等控制化学品自动供给装置100。

上述屏蔽门130设置于上述侧部门170侧部，可转动并开闭框架120一侧开放部分(即，墙体700的开放部701)。上述屏蔽门130分下部门131和上部门132。

上述下部门131(第1门)设置成以下端部为中心可以转动，上述上部门132(第2门)设置成以上端部为中心可以转动。因此，下部门131和上部门132可以都开放，也可以选下部门131和上部门132之一开放，可提高操作人员的便利性。

上述下部门131和上部门132之间设有导入部135，导入化学品软管500和氮气软管600。当关闭下部门131和上部门132时，上述导入部135引导化学品软管500和氮气软管600通过下部门131的上端部和下部门132的下端部之间，在传送化学品过程中也可屏蔽异物流入输送部外壳105内，也可预防输送部外壳105内的化学品或烟雾(Fume)外泄。

上述导入部135可由化学品软管500经过的化学品导入部135-1与氮气软管600经过的氮气导入部135-2构成。

上述化学品导入部135-1可由开口部136-1和多个旋转构件137-1、138-1构成，开口部136-1设置成可经过化学品软管500，旋转构件137-1、138-1设置在上述开口部136-1周围上下左右。

上述开口部136-1是下部门131的上端部与上部门132的下端部之间形成的，在本实施例中，可成为切开下部门131上端部部分领域的形状。但，并不局限于此，也可成为切开上部门132下端部部分领域的形状。并且，还可以设置为上部门132与下部门131两侧可形成切开领域并且切开领域相邻，化学品软管可通过其切开领域。在本实施例中举例上述切开领域为四边形状，但并不限定于此，可设置成多样形状。

上述旋转构件137-1、138-1设置以其中心轴(未图示)为中心可以旋转，防止化学品软管500移动时与软管500表面之间摩擦或刮伤。

上述旋转构件137-1、138-1可由3个下部旋转构件137-1(第1旋转构件)及上部旋转构件138-1(第2旋转构件)构成。下部旋转构件与下部门上端切开领域左右及下部各自连接，上部旋转构件连接在上部门132下端。

上述下部旋转构件137-1和上部旋转构件138-1可由滚轴或轴承构成。上述下部旋转构件137-1中心与下部门连接，上述上部旋转构件138-1中心与上部门132连接。因此，下部旋转构件137-1和上部旋转构件138-1可各自以中心轴为中心旋转。

在本实施例中举示了由3个下部旋转构件137-1和1个上部旋转构件138-1组成的构成，但并不限于此，也可设置成上部门132上具备多个旋转构件。

上述氮气用导入部135-2与化学品导入部135-1同样构成组成，可包括：开口部136-2，可通过氮气软管600；多个旋转构件137-2、138-2，位于上述开口部136-2的上下左右。因此，旋转构件137-2、138-2引导氮气软管600可防止软管损伤，旋转构件137-2、138-2在上述氮气用导入部135-2的开口部136-2内旋转。

上述上部门132上设有透视窗132a，可确认上述输送部外壳105内部发生的状况。因此在建筑物墙体700外侧也可以用肉眼查看输送部外壳105内部运转状态及内部状况。

上述下部门131上设置急停按钮134，操作人员可异常状况下可以紧急停止化学品自动供给装置100的驱动。在建筑物外查觉到罐车边的紧急异常状况或化学品自动供给装置100内部的异常状况时，操作人员可以摁上述急停按钮134，使事故发生减为最低。此时，还可设置感应器(未图示)感应外壳本体200或输送部外壳105内化学品的泄漏，另设接收上述感应器信号的报警工具(未图示)，当化学品外泄时，操作人员可认出上述报警工具的信号并操作上述急停摆饰134。

另一方面，上述屏蔽门130上还可设置开门感应器(未图示)。当屏蔽门130打开时，上述开门感应器的信号传到控制部，控制部设定联锁(interlock)，停止化学品自动供给装置100驱动，可确保操作人员的安全。

上述固定单元180是，在上述化学品用公接头510与氮气用公接头610各与化学品用母接头210与氮气用母接头(未图示)连接的状态下，防止上述化学品用公接头510从上述化学品用母接头210脱落及上述氮气用公接头610从上述氮气用母接头(未图示)脱落。

上述母接头盖去除单元190是结合或分离化学品用母接头盖211和氮气用母接头盖(未图示)的构成，化学品用母接头盖和氮气用母接头盖是密闭设在化学品储罐侧的化学品母接头210和氮气用母接头开放端部的。

上述母接头盖去除单元190由装缷化学品用母接头盖211的化学品用母接头盖去除单元(未图示)和装缷氮气用母接头盖的氮气用母接头盖去除单元(未图示)构成。

参照图5至图8，详细说明传送单元160的构成。

本发明传送单元160由以下结构构成：第1台架161，加载到上述搁置部150上部；第1台架驱动部162，把上述搁置部150在上述第1台架161上前后方向传送；第2台架163，支撑上述第1台架161上承载状态下前后方向传送；第2台架驱动部164，把上述第1台架161及搁置部150在上述第2台架163上前后方向传送。上述第1台架驱动部162和第2台架驱动部164由控制部控制驱动。

上述搁置部150由以下结构构成：化学品用搁置部150-1，搁置上述化学品软管500及化学品公接头510；氮气搁置部150-2，搁置供氮气到上述化学品罐的氮气软管600及氮气公接头610。图5至图8中图示了只有化学品公接头510与氮气用公接头610搁置到搁置部150-1、150-2上，但在上述公接头510、610上连接软管500，600后搁置到搁置部150-1、150-2上。

上述第1台架161由以下结构构成：第1化学品用台架161-1，设置在上述化学品搁置部150-1上部；第1氮气用台架161-2，设置在上述氮气用搁置部150-2上部。

上述第1化学品用台架161-1和第1氮气用台架161-2具有前后方向长度，具有上部加载化学品用搁置部150-1和氮气用搁置部150-2前后方向移动时可引导的结构。

上述第1台架驱动部162由第1化学品用驱动部162-1和第1氮气用驱动部162-2构成，上述第1化学品用驱动部把上述化学品用搁置部150-1前后方向传送，第1氮气用驱动部150-2把上述氮气用搁置部前后方向传送。

上述第化学品用驱动部162-1与第1氮气用驱动部162-2可由气缸(Air Cylinder)构成，为此，其侧部设置供给或排出空气(Air)的连接部。上述驱动部162-1、162-2可由电机和线状螺杆构成代替气缸。

上述第2台架163的设置跟第1台架161相比前后方向长度更长，位置固定。上述第2台架163后方端部位于墙体700的开放部701内，前端部位于临接母接头。

上述第2台架163下部由传送单元支撑部168支撑。上述传送单元插入到上述开放部701内部空间，组成上述传送单元160的第2台架163的一侧(后方)端部比支撑上述传送单元160的传送单元支撑部168一侧(后方)端部更向上述开放部701方向突出。

上述第1台架161和第2台架163之间具备中间台架165。上述中间台架165成长方形板状，其两侧端上部固定第1化学品用台架161-1及第1氮气用台架161-2。

上述中间台架165在加载到上述第2台架163上部状态下，由第2台架驱动部164驱动，可前后方向移动，上述中间台架165底面与第2台架163上面之间形成导槽结构可引导前后方向移动。

上述第2台架驱动部164可由提供驱动力的电机、由上述电机驱动旋转并连接在上述中间台架165的线状螺杆构成。驱动上述电机，上述线状螺杆旋转，随着上述线状螺杆的顺/逆时针方向旋转，上述中间台架165前后方向移动。

若不设成2段台架，只由1段台架构成，单单1次直线传送就要连接公接头510、610和母接头210、220，此时，公接头510、610未能完全插入到母接头210,220内，或要设定公接头510、610完全插入到母接头210、220内，设置传送单元160及母接头210、220的外壳本体200构造变得复杂，设计自由度降低。

并且，从搁置软管的搁置部150-1、150-2到位置地点距离较远，考虑到构成传送单元160的配件公差及组装公差等，发生公接头510、610与母接头210、220中心不一致的现象。此时，只一次直线传送，把公接头510、610插入到母接头210、220，因中心不一致，公接头510、610与母接头210、220本体互相碰撞，因公接头与母接头的冲突及不完全结合，导致无法维持机器密封的问题。

如上，若把传送单元160设置成第1台架161、第2台架163的2段台架，首次把公接头移动到母接头的位置，第2次再移动时可令公接头和母接头完全结合，通过公接头和母接头完全结合，可预防化学品泄漏。

并且，即使第2台架163位于离输送机本体200稍远一点的地点，也可充分体现化学品用公接头510和化学品用母接头210完全结合，不用考虑外壳本体200及第2台架的干涉与否，设计自由度上升。

上述例示了第2台架163与第2台架驱动部164同时前后传送第1化学品用台架161-1和第1氮气用台架161-2，但也可设置成各具备传送上述第1化学品用台架161-1的第2化学品用台架(未图示)与第2化学品用驱动部(未图示)，传送上述第1氮气用台架161-2的第2氮气用台架(未图示)与第2氮气用驱动部(未图示)。

参照图4，图9，图10说明传送单元160一侧端部插入到墙体700形成的开放部701中的结构。

传送单元160一侧端插入到墙体700的开放部701，搁置部150位于上述框架120内部，操作人员可更方便搁置化学品软管500和氮气软管600到搁置部150-1、150-2。

即，若墙体700非常厚，搁置部150-1、150-2位于从墙体向建筑物内部方向凹进的输送部外壳105内，如图9所示，操作人员需要弯腰把化学品软管500和氮气软管搁置到搁置部150-1、150-2。

当操作人员把化学品用软管500和氮气用软管600搁置到搁置部150-1、150-2时，若操作人员和搁置部150-1、150-2之间距离远时，操作人员需要弯腰搁置软管500、600到搁置部150-1、150-2，但做这种工作时，因软管500，600非常重，会引发操作人员筋骨骼系疾病。

本发明构成如图10所示，上述第2台架163一侧端部插入到上述开放部701内部空间，上述第2台架163上部加载的第1台架161-1、161-2及搁置部150-1、150-2插入到上述开放部701。因此，操作人员无须弯腰，可提高工作便利性并可预防工作作员得筋骨骼系疾病。

上述说明了第2台架163插入到开放部701的结构，但如图9所示，也可构成第2台架163不插入到开放部701，只搁置部150-1、150-2及第1台架161-1、161-2插入到开放部701。即，第1台架161-1、161-2端部比第2台架163端部更向后突出，其突出部分上部加载搁置部150-1、150-2可前后移动。

如上说明了利用化学品软管500从罐车化学品罐向化学品储罐输送化学品的状况，但利用化学品软管500把化学品从化学品储罐输送到罐车化学品罐时，也可适用同样构成。

并且，上述说明了设置下部门131和上部门132的状况，但可设置成只上部门132可转动，固定下部门131不能转动，或下部门131成一体型固定板全面隔断框架120，不具备门的功能。此时，开口部136-1、136-2与下部旋转构件137-1、137-2可设置在上述固定板上端。

并且，上述说明了上部门132以一侧端部为中心转动的结构，但也可设置成上下方向滑动不转动。

并且，上述框架120及屏蔽门130可设置为与输送部外壳105结合成一体插入到墙体700的开放部701，也可与输送部外壳105分离，插入到墙体700的开放部701。

并且，上述屏蔽门130可设置为与输送用外壳105结合成一体，框架120设在墙体700的开放部701，与上述输送用外壳105结合的屏蔽门130插入到上述框架120内部，开闭框架120一侧。

并且，可设置为只上述屏蔽门130与墙体结合成一体，开闭墙体700的开放部701一侧，上述框架120与上述输送部外壳105结合，插入到上述开放部701。

如前所述，详细说明了本发明理想实施例，但本发明并不局限于前述实施例中，在权利要求范围和发明详细说明及附图范围内可有多种变形实施，此亦属于本发明内。

Claims (8)

1.一种化学品自动供给装置，其特征在于，包括：

搁置部，搁置连接于化学品罐的化学品软管，以用于连接化学品罐和化学品储罐之间而从化学品罐和化学品储罐中的任意一侧向另一侧供给化学品；

传送单元，将上述化学品软管搁置到上述搁置部的状态下前后传送上述化学品软管，使上述化学品软管与上述化学品储罐连接，上述传送单元由第1台架、第1台架驱动部、第2台架、第2台架驱动部构成，其中，第1台架上部加载上述搁置部，第1台架驱动部驱动上述搁置部在上述第1台架上前后方向传送，第2台架在上部加载上述第1台架的状态下支撑上述第1台架使上述第1台架能够前后方向传送，第2台架驱动部驱动上述第1台架及搁置部在上述第2台架上前后方向传送；

控制部，控制上述第1台架驱动部和第2台架驱动部的驱动。

2.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

上述搁置部由以下结构构成：化学品用搁置部，搁置上述化学品软管；氮气用搁置部，搁置供氮气到上述化学品罐的氮气软管；

上述第1台架由以下结构构成：第1化学品用台架，上部设置上述化学品搁置部；第1氮气用台架，上部设置上述氮气用搁置部；

上述第1台架驱动部由第1化学品用驱动部和第1氮气用驱动部构成，上述第1化学品用驱动部把上述化学品用搁置部前后方向传送，第1氮气用驱动部把上述氮气用搁置部前后方向传送。

3.根据权利要求2的化学品自动供给装置，其特征在于，

具备中间台架，上述中间台架在两侧上部固定有上述第1化学品用台架及上述第1氮气用台架，且借助上述第2台架驱动部而在上述第2台架上沿前后方向传送。

4.根据权利要求2的化学品自动供给装置，其特征在于，

上述化学品软管的端部结合有化学品用公接头，上述化学品储罐侧具备化学品用母接头，

上述氮气软管的端部结合有氮气用公接头，上述化学品储罐侧具备氮气用母接头，

首次把上述化学品用公接头和氮气用公接头移动到上述化学品用母接头和氮气用母接头的位置之后，第2次再移动时可令上述化学品用公接头及氮气用公接头分别与上述化学品用母接头及氮气用母接头完全结合。

5.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

在设置化学品自动供给装置的建筑物的墙体形成有贯通连接建筑物内外的开放部，当工作人员把上述化学品软管搁置到上述搁置部时，上述搁置部位于上述开放部的内部空间。

6.根据权利要求5的化学品自动供给装置，其特征在于，

上述第2台架的一侧端部插入到上述开放部的内部空间。

7.根据权利要求5的化学品自动供给装置，其特征在于，

上述第1台架的一侧端部插入到上述开放部的内部空间。

8.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

上述化学品软管的端部结合有化学品用公接头，上述化学品储罐侧具备用于连接上述化学品用公接头的化学品用母接头，

化学品自动供给装置具备固定单元，该固定单元用于在上述化学品用公接头与化学品用母接头结合的状态下，防止上述化学品用公接头从上述化学品用母接头脱落。

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