CN111853328A - 流量控制装置和质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种流量控制装置，包括阀体机构和控制机构，阀体机构包括阀体、阀芯、弹性片和阀块，阀芯和阀块叠置在阀体中形成的安装孔中，弹性片设置在阀芯上且位于阀芯与阀块之间，用于限定阀芯位置，阀块中形成有多个朝向阀芯的通孔，弹性片的材料为金属材料，其上形成有多个沿厚度方向贯穿弹性片的工艺槽，弹性片在控制机构改变阀芯与阀块之间的距离时产生弹性形变。在本发明中，采用金属材料制成且具有多个工艺槽的弹性片与控制机构配合控制流体流量，弹性片能够在频繁使用中保持自身的良好弹性，从而在具有大量程的情况下也能够保持控制小量程区域内流体流量的精确性，提高质量流量控制器的使用寿命。本发明还提供一种质量流量控制器。

Description

流量控制装置和质量流量控制器

技术领域

本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种流量控制装置和一种质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器(MFC，Mass Flow Controller)是一种对流体(如气体)进行精确检测与控制的仪器，被广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化工、石油工业、光伏等多种领域，在半导体工艺中，为了达到理想的工艺效果，往往需要利用质量流量控制器对注入工艺腔室中的流体流量和流速进行精确的控制。

半导体工艺通常包含多步流体注入工序，且各工序注入的流体流速、流量常常存在较大差异。然而，现有的质量流量控制器的量程普遍较小，具有大量程(如，气体流量大于300SLM)的质量流量控制器在使用过程中往往会很快出现精度下降的问题，导致质量流量控制器的使用寿命较短，设备维护成本高。

因此，如何提供一种具有较长使用寿命的大量程质量流量控制器结构，成为本领域亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明旨在提供一种流量控制装置和一种质量流量控制器，该流量控制装置在具有较大量程的情况下也能够长时间保持精确性，使用寿命更长。

为实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种流量控制装置，包括阀体机构和控制机构，所述阀体机构包括阀体、阀芯、弹性片和阀块，所述阀体中形成有贯穿所述阀体的安装孔，所述阀芯和所述阀块叠置在所述安装孔中，所述弹性片设置在所述阀芯上，且位于所述阀芯与所述阀块之间，用于限定所述阀芯在所述安装孔中的位置，所述阀块中形成有贯穿所述阀块的多个通孔，所述多个通孔均朝向所述阀芯，所述控制机构用于改变所述阀芯与所述阀块之间的距离，所述弹性片的材料为金属材料，其上形成有多个沿厚度方向贯穿所述弹性片的工艺槽，所述弹性片在所述控制机构改变所述阀芯与所述阀块之间的距离时产生弹性形变。

优选地，所述安装孔包括阀芯孔和阀块孔，所述阀芯孔的横截面面积小于所述阀块孔的横截面面积，所述阀芯匹配设置在所述阀芯孔中且所述阀芯能够在所述阀芯孔中运动，所述阀块匹配设置在所述阀块孔中，所述弹性片匹配设置在所述阀块孔中。

优选地，所述阀芯孔为圆孔，所述弹性片为圆形片，且所述弹性片的直径大于所述阀芯孔的直径。

优选地，所述工艺槽包括相互连通的第一弧形段、第二弧形段和第三弧形段，所述第一弧形段和所述第三弧形段均环绕所述弹性片的中心设置，所述第一弧形段的半径小于所述第三弧形段的半径，所述第二弧形段连接在所述第一弧形段与所述第三弧形段之间，且所述第一弧形段、所述第二弧形段和所述第三弧形段的内侧朝向相同。

优选地，所述第一弧形段的半径为5-8mm、所述第二弧形段的半径为3-6mm、所述第三弧形段的半径为8-11mm；和/或

所述弹性片的厚度为0.3-0.6mm。

优选地，所述弹性片上形成有三个所述工艺槽，且每个所述工艺槽的第一弧形段均位于另一所述工艺槽的第三弧形段与所述弹性片的中心之间。

优选地，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的中心孔，所述多个通孔包括位于所述阀块中心的第二通孔和位于所述第二通孔侧方的第一通孔，所述中心孔与所述第二通孔对应设置，且所述中心孔的直径大于所述第二通孔的直径。

优选地，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的多个安装孔，多个所述安装孔环绕所述中心孔设置，所述阀芯上具有多个安装部，多个所述安装部与所述多个安装孔一一对应地设置，所述弹性片通过所述安装孔和所述安装部设置在所述阀芯上。

优选地，所述阀块朝向所述阀芯一侧的端面上形成有第一密封槽，所述第一密封槽中设置有金属阀口密封圈；所述阀块背离所述阀芯一侧的端面上形成有第二密封槽，所述第二密封槽中设置有金属阀体密封圈。

作为本发明的第二个方面，提供一种质量流量控制器，包括流量控制装置和流量检测装置，所述流量控制装置用于控制所述质量流量控制器的流体通路中的流体流量，所述流量检测装置用于检测所述流体通路中的流体流量，其中，所述流量控制装置为前面所述的流量控制装置。

在本发明提供的流量控制装置和质量流量控制器中，采用金属材料制成且具有多个工艺槽的弹性片与控制机构配合控制流体流量，弹性片能够在频繁使用中保持自身的良好弹性，从而在具有较大量程的情况下也能够维持控制小量程区域内流体流速的精确性，进而提高质量流量控制器的使用寿命。

附图说明

附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1是本发明实施例提供的流量控制装置的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的流量控制装置中控制机构的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的流量控制装置中阀芯和弹性片的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的流量控制装置中弹性片的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的流量控制装置中阀块的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的流量控制装置中阀体的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的质量流量控制器的结构简图；

图8是本发明实施例提供的质量流量控制器的结构示意图；

图9是图8的俯视图；

图10是本发明实施例提供的质量流量控制器中，控制机构的电磁力曲线和弹性片120变形力曲线的示意图。

附图标记说明

100：流量控制装置 110：阀芯

120：弹性片 121：中心孔

122：安装孔 130：阀块

131：第一通孔 132：第二通孔

133：第一密封槽 134：第二密封槽

140：阀体 141：阀芯孔

142：阀块孔 150：控制机构

151：线包 151a：引出线

151b：线圈 152：阀罩

153：芯轴 160：金属阀体密封圈

200：流量检测装置 210：流量传感器

220：分流器 300：流体通路

310：通路底座 400：电路板

410：电路板接口 R1：第一弧形段

R2：第二弧形段 R3：第三弧形段

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

本发明的发明人经实验研究后发现，现有技术中大量程质量流量控制器在经长时间使用后，往往不能对小股流体进行精确的控制与检测，在小量程区域(满量程的2％～5％)内无法对流体流量精确控制，进而导致质量流量控制器使用寿命低，设备需频繁维护。

质量流量控制器的流量控制部分通常采用电磁阀，由电磁铁驱动阀芯靠近或远离阀块，从而对阀块中的管道进行密封和开启。本发明的发明人经进一步研究后发现，现有的大量程质量流量控制器的小量程精度出现问题的原因在于，在现有的大量程质量流量控制器中，阀芯采用橡胶材料制成，虽然该橡胶材料的阀芯能够保证良好的密封性，然而质量流量控制器需要在半导体工艺中频繁开、关，使得橡胶材料的阀芯产生一定的塑性变形。因此，在流体流量位于小量程区域时，经过频繁使用发生塑性变形的阀芯无法控制微小流量的精确度，该橡胶材料的阀芯通常在10万次使用后出现变形问题，严重影响了质量流量控制器的使用寿命。

为解决上述技术问题，作为本发明的一个方面，提供一种应用于质量流量控制器的流量控制装置100，如图1、图3所示，包括阀体机构和控制机构150，该阀体机构包括阀体140、阀芯110、弹性片120和阀块130，阀体140中形成有贯穿阀体140的安装孔，阀芯110和阀块130叠置在该安装孔中，弹性片120设置在阀芯110上，且弹性片120位于阀芯110与阀块130之间，用于限定阀芯110在该安装孔中的位置。阀块130中形成有贯穿阀块130的多个通孔，该多个通孔均朝向阀芯110，控制机构150用于改变阀芯110与阀块130之间的距离，弹性片120的材料为金属材料，且其上形成有多个沿厚度方向贯穿弹性片120的工艺槽，弹性片120在控制机构150改变阀芯110与阀块130之间的距离时产生弹性形变。

需要说明的是，本发明提供的流量控制装置100可以应用于质量流量控制器，阀块130中的多个通孔背离阀芯110的一端用于与质量流量控制器中的流体通路连通。

在本发明中，弹性片120用于限定阀芯110的位置，在流量控制装置100的关闭状态下，阀芯110与阀块130接触并封闭阀块130上的通孔，质量流量控制器中的流体通路无法通过阀块130上的通孔导通，在流量控制装置100开启时，控制机构150控制阀芯110克服弹性片120的弹力运动并远离阀块130，从而使封闭阀块130上的通孔能够相互连通，进而导通质量流量控制器的流体通路。

在本发明提供的流量控制装置100中，采用金属材料制成且具有多个工艺槽的弹性片120与控制机构150配合控制流体流量，弹性片120能够在频繁使用中保持自身的良好弹性，从而在具有较大量程的情况下也能够维持控制小量程区域内流体流量的精确性，进而提高质量流量控制器的使用寿命。

本发明实施例对如何利用弹性片120维持阀芯110的位置不作具体限定，例如，为提高阀芯110与阀块130之间空间的密闭性，优选地，如图1至图6所示，该安装孔包括相互连通的阀芯孔141和阀块孔142，阀芯孔141的横截面面积小于阀块孔142的横截面面积，阀芯110匹配设置在阀芯孔141中且阀芯110能够在阀芯孔141中运动，阀块130匹配设置在阀块孔142中，弹性片120匹配设置在阀块孔142中。

在本发明实施例中，弹性片120固定设置在阀芯110上，且弹性片120的边缘夹在阀块130与阀芯孔141和阀块孔142的过渡台阶之间，在控制机构150沿向上提起阀芯110时，弹性片120的中心随阀芯110上升，并在阀芯孔141与阀块孔142的过渡台阶的作用下发生形变，通过控制机构150的抬升力与弹性片120形变产生的弹力以及阀芯110自身所受重力之间的平衡作用实现对第二通孔132开度的精确控制。并且，本发明实施例提供的上述结构装卸工艺简单、安装便捷，能够提高半导体工艺的生产效率。

在阀芯110远离阀块130时，多个通孔通过阀芯110、阀块130以及环绕二者设置的阀体140共同围成的封闭空间相互连通，从而允许多个通孔中的流体通过该封闭空间开始流动。

本发明实施例对阀芯110的材质不作具体限定，为提高阀芯110的强度，以保证对第二通孔132的密封效果，优选地，阀芯110为实心金属圆柱体。

本发明实施例对阀体140如何与质量流量控制器中的流体通路连接不作具体限定，例如，如图6所示，阀体140下部的横截面外轮廓为矩形，阀体140上形成有四个贯穿阀体140的安装孔，且四个安装孔与横截面轮廓的四个角匹配设置，阀体140能够通过四个安装孔中的四个固定件(如长形螺钉)固定在形成有流体通路的部件上。

为提高流量控制装置100的控制精度，优选地，如图5所示，阀块130朝向阀芯110一侧的端面上还形成有第一密封槽133，流量控制装置100还包括金属阀口密封圈，该金属阀口密封圈匹配设置在第一密封槽133中，从而使阀芯110与阀块130之间的接触面不会发生变形，进而保证产品大流量质量流量控制器的控制精度。

为提高阀块130中第二通孔132与流体通路之间连接的密封性，优选地，如图5所示，阀块130在第二通孔132背离阀芯110一侧的端面上还形成有第二密封槽134，流量控制装置100还包括金属阀体密封圈160，金属阀体密封圈160匹配设置在第二密封槽134中。

在本发明实施例中，采用金属阀体密封圈160对第二通孔132与流体通路之间的接口进行密封，在调节流量控制装置100时不需拆卸整个流量控制装置100结构，仅需外部增、减金属阀体密封圈160的数量，即可找到合适的磁间隙，使得电磁阀的装配过程简单，易实现，进而提高了生产效率。

为提高弹性片120上发生弹性形变的均匀性，优选地，阀芯孔141为圆孔，弹性片120为圆形片，且弹性片120的直径大于阀芯孔141的直径。

为提高弹性片120的应变和应力范围，本发明的发明人通过模拟仿真方法对簧片的结构进行优化设计后，得出了弹性片120的一种优选结构形态，如图4所示，优选地，该工艺槽包括相互连通的第一弧形段R1、第二弧形段R2和第三弧形段R3，第一弧形段R1和第三弧形段R3均环绕弹性片120的中心设置，第一弧形段R1的半径小于第三弧形段R3的半径，第二弧形段R2连接在第一弧形段R1与第三弧形段R3之间，且第一弧形段R1、第二弧形段R2和第三弧形段R3的内侧朝向相同。

具有上述结构的弹性片120上能够发生弹性形变的范围以及承受应力的范围均得到了极大的提高，在各弧形段半径以及弹性片120的厚度取合适取值的情况下，弹性片120的使用寿命可高达50万次，从而大大延长了大流量质量流量控制器的使用寿命。

各弧形段的半径可根据弹性片120的实际材料进行调整，对于大多数金属材料，本发明提供一种优选取值范围：第一弧形段R1的半径为5-8mm、第二弧形段R2的半径为3-6mm、第三弧形段R3的半径为8-11mm。

为在保证弹性片120强度的同时提高弹性片120的弹性，优选地，弹性片120的厚度为0.3-0.6mm。

经模拟仿真技术验证，弹性片120上优选形成有三个工艺槽，且每个工艺槽的第一弧形段R1均位于另一工艺槽的第三弧形段R3与弹性片120的中心之间。

本发明实施例对阀芯110如何密封阀块130中的多个通孔不作具体限定，例如，如图3、图4所示，优选地，弹性片120上还形成有沿厚度方向贯穿弹性片120的中心孔121，阀块130中的多个通孔包括位于阀块中心的第二通孔132和位于所述第二通孔侧方的第一通孔131，中心孔121与第二通孔132对应的设置，且中心孔121的直径大于第二通孔132的直径。阀芯110上形成有密封圆台，该密封圆台匹配穿过中心孔121，当阀芯110靠近阀块130时，该密封圆台顶在第二通孔132，以封闭第二通孔132。

为提高流量控制装置100内部各零件之间受力关系的对称性，进而提高阀开度的控制精度，优选地，如图5所示，阀块130中形成有两个第一通孔131，且两个第一通孔131对称设置在阀块130轴线的两侧。

本发明实施例对如何将弹性片120固定在阀芯110上不作具体限定，例如，如图3、图4所示，可选地，弹性片120上还形成有沿厚度方向贯穿弹性片120的多个安装孔122，多个安装孔122环绕中心孔121设置，阀芯110上具有多个安装部，且多个安装部与多个安装孔122一一对应地设置，弹性片120通过安装孔122和安装部设置在阀芯110上。

本发明提供的流量控制装置100能够实现0-500SLM气体流量的精确检测与控制，并且其使用寿命可达50万次，工作1万小时后产品无气体内漏等故障。

本发明实施例对控制机构150的结构不作具体限定，例如，控制机构150可以为电磁件，相应地，阀芯110的材质为磁性金属，如图1、图2所示，控制机构150可以包括线包151、阀罩152和芯轴153，芯轴153为T型实心磁性金属圆柱体，阀罩152套设在线包151上，芯轴153沿竖直方向插入线包151中，且芯轴153的头部通过螺纹与阀罩152连接。

如图2所示，线包151包括线圈151b及其引出线151a，本发明实施例对线圈151b的材质、匝数等不作具体限定，例如，本发明的发明人通过数学模型和模拟仿真方法，得到一种优选实施方式：线圈151b采用铜丝紧绕，该铜丝的总长度为200-230m，该铜丝的电阻值为45～65Ω，该铜丝的匝数为3000-3500圈。

如图10所示为发明人建立流量控制装置100的数学模型后，根据优化后的线包151以及弹性片120得出的理想状态下的电磁力曲线(曲线1)和弹簧片变形力的曲线(曲线2)示意图，由图10可知，本发明实施例提供的上述方案明显优于现有技术中的大流量质量流量控制器结构方案(图中其他曲线)，能够在确保流量控制装置100产生足够的电磁力、使得电磁阀获得足够的开口度的前提下，尽可能降低流量控制装置100工作时的温升值，延长流量控制装置100的使用寿命。

在实验研究中，发明人还发现，现有的质量流量控制器汇总出现寿命较短的原因还在于，现有技术中阀与电磁铁通常通过紧固件连接，且阀与电磁铁的接触面之间利用橡胶密封圈密封连接，橡胶密封圈在长期使用下易被腐蚀，使得阀内部的气密性下降。

为解决上述技术问题，提高流量控制装置100的气密性，优选地，如图1、图6所示，阀块130顶部具有外螺纹，阀罩152底部内壁上具有内螺纹，阀块130与阀罩152通过螺纹衔接。

为进一步提高流量控制装置100的气密性，优选地，如图6所示，阀芯孔141的第一端设置有密封膜，该密封膜封闭阀芯孔141的第一端。

作为本发明的第二个方面，提供一种质量流量控制器，如图7、图8所示，包括流量控制装置和流量检测装置200，流量控制装置用于控制质量流量控制器的流体通路300中的流体流量，流量检测装置200用于检测流体通路300中的流体流量，其中，该流量控制装置为前面实施例中提供的流量控制装置100，第一通孔131和第二通孔132背离阀芯110的一端分别与流体通路300的入口320和出口330连通。

在本发明提供的质量流量控制器中，采用金属材料制成且具有多个工艺槽的弹性片120与控制机构150配合控制流体流量，弹性片120能够在频繁使用中保持自身的良好弹性，从而在具有较大量程的情况下也能够维持控制小量程区域内流体流量的精确性，进而提高质量流量控制器的使用寿命。

本发明实施例对如何形成流体通路300不作具体限定，例如，如图8所示，该质量流量控制器还包括通路底座310，流体通路300形成在通路底座310中。

除入口320和出口330外，通路底座310还在朝向流量控制装置100的一侧形成有两个开口，两个开口分别与阀块130中的第一通孔131和第二通孔132连通。当阀体140下部的横截面外轮廓为矩形时，通路底座310上还形成有与四个安装孔一一对应的固定孔，四个固定件一一对应地依次穿过四个安装孔和四个固定孔，从而将阀体140固定在通路底座310上。

为提高流量检测装置200的检测精度，作为本发明的一种优选实施方式，如图7、图8所示，流量检测装置200包括分流器220、检测支管和流量传感器210，分流器220设置在流体通路300中，该检测支管的两端均与流体通路300连通，且检测支管的两端分别与分流器220的两侧匹配，流量传感器210用于检测检测支管中流过的流体的流量，分流器220具有多个同向设置的分流孔。

在本发明实施例中，分流器220中具有多个同向设置的分流孔，能够使得分流器220内部的气流形成层流，从而保证检测支管中气体流量与流体通路300中气体流量相同，提高了流量传感器210对气体流量的测量精度。

本发明实施例对如何形成分流孔不作具体限定，例如，分流器220可以包括多根分流管，每根分流管的内部均具有分流孔。进一步优选地，分流器220为全金属材质，其所有金属表面都经过电化学抛光和钝化处理，使其表面状态和洁净度达到SEMI标准的指标要求。该分流管为电化学抛光的细管。

为进一步提高流量传感器210对气体流量的测量精度，优选地，传感器内部设有保温棉，以降低环境温度对传感器的影响，从而提高传感器的抗干扰能力。流量传感器210具有体积小，零漂小，抗干扰能力强等特点，且检测支管上、下游对称性的结构设计，保证了传感器的零漂小，提高了流量传感器210对气体流量的测量精度。

本发明实施例对如何控制流量控制装置100和流量检测装置200不作具体限定，例如，如图8所示，本发明实施例提供的质量流量控制器还可以包括电路板400，电路板400上设置有电源单元、检测单元、主控单元和驱动单元。

其中，电源单元负责满足整个大流量质量流量控制器的供电需求，由多个电源/电压转换电路构成，用于对应地为电路板400上的各单元中的功能芯片提供电能；

检测单元用于对流量传感器210产生的微小信号进行滤波、比较和放大处理，并传输至主控单元；

主控单元根据外部输入的设定信号(即用户设定的信号)，控制输出对应的阀驱动电压，以控制流量控制装置100中阀的开度，使其达到控制气体流量大小的目的；

驱动电路包括传感器驱动电路和阀驱动电路，其采用低噪声、高抗干扰信号的传感器驱动技术，使传感器增益由现有技术的15W左右降低到8～9W，从而增强传感器的输出信号，具有低噪声、抗干扰信号强及可靠性高等多种优点，使本发明实施例提供的质量流量控制器对气体流量的实时检测与控制更加精确、稳定。

如图9所示，电路板400上还设置有电路板接口410，以便于操作人员对电路板400上各单元进行调试操作。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种流量控制装置，其特征在于，包括阀体机构和控制机构，所述阀体机构包括阀体、阀芯、弹性片和阀块，所述阀体中形成有贯穿所述阀体的安装孔，所述阀芯和所述阀块叠置在所述安装孔中，所述弹性片设置在所述阀芯上，且位于所述阀芯与所述阀块之间，用于限定所述阀芯在所述安装孔中的位置，所述阀块中形成有贯穿所述阀块的多个通孔，所述多个通孔均朝向所述阀芯，所述控制机构用于改变所述阀芯与所述阀块之间的距离，所述弹性片的材料为金属材料，其上形成有多个沿厚度方向贯穿所述弹性片的工艺槽，所述弹性片在所述控制机构改变所述阀芯与所述阀块之间的距离时产生弹性形变。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述安装孔包括阀芯孔和阀块孔，所述阀芯孔的横截面面积小于所述阀块孔的横截面面积，所述阀芯匹配设置在所述阀芯孔中且所述阀芯能够在所述阀芯孔中运动，所述阀块匹配设置在所述阀块孔中，所述弹性片匹配设置在所述阀块孔中。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，所述阀芯孔为圆孔，所述弹性片为圆形片，且所述弹性片的直径大于所述阀芯孔的直径。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的流量控制装置，其特征在于，所述工艺槽包括相互连通的第一弧形段、第二弧形段和第三弧形段，所述第一弧形段和所述第三弧形段均环绕所述弹性片的中心设置，所述第一弧形段的半径小于所述第三弧形段的半径，所述第二弧形段连接在所述第一弧形段与所述第三弧形段之间，且所述第一弧形段、所述第二弧形段和所述第三弧形段的内侧朝向相同。

5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第一弧形段的半径为5-8mm、所述第二弧形段的半径为3-6mm、所述第三弧形段的半径为8-11mm；和/或

所述弹性片的厚度为0.3-0.6mm。

6.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上形成有三个所述工艺槽，且每个所述工艺槽的第一弧形段均位于另一所述工艺槽的第三弧形段与所述弹性片的中心之间。

7.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的中心孔，所述多个通孔包括位于所述阀块中心的第二通孔和位于所述第二通孔侧方的第一通孔，所述中心孔与所述第二通孔对应设置，且所述中心孔的直径大于所述第二通孔的直径。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述弹性片上还形成有沿厚度方向贯穿所述弹性片的多个安装孔，多个所述安装孔环绕所述中心孔设置，所述阀芯上具有多个安装部，多个所述安装部与所述多个安装孔一一对应地设置，所述弹性片通过所述安装孔和所述安装部设置在所述阀芯上。

9.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，所述阀块朝向所述阀芯一侧的端面上形成有第一密封槽，所述第一密封槽中设置有金属阀口密封圈；所述阀块背离所述阀芯一侧的端面上形成有第二密封槽，所述第二密封槽中设置有金属阀体密封圈。

10.一种质量流量控制器，包括流量控制装置和流量检测装置，所述流量控制装置用于控制所述质量流量控制器的流体通路中的流体流量，所述流量检测装置用于检测所述流体通路中的流体流量，其特征在于，所述流量控制装置为权利要求1至9中任意一项所述的流量控制装置。

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