CN220556054U - 质量流量控制器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种质量流量控制器，包括连接座、阀体组件、阀芯组件和驱动组件，连接座开设有连接通道、出口通道以及与连接通道和出口通道连通的安装槽；阀体组件设置于安装槽中且与连接座密封对接，阀体组件中开设有入流通道、出流通道以及控流槽，入流通道的一端与连接通道的一端连通，入流通道的另一端通过控流槽与出流通道的一端连通，控流槽的槽壁在与入流通道和出流通道的连接处形成有阀口；阀芯组件具有锥形环面，锥形环面的外径沿远离阀口的方向递增，锥形环面用于在阀芯组件处于第一位置时封堵阀口。通过上述技术方案能够解决现有技术中气体质量流量控制器控制精度、响应速度以及密封性欠佳的问题。

Description

质量流量控制器

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种质量流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、航空、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:微电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

热式气体质量流量控制器隶属于质量流量控制器的一种，与其他形式的质量流量控制器相比较，热式气体质量流量控制器可测低速流量，且结构中无可动部件，可靠性高，压力损失小，耐温耐压范围宽，重复性好，结构简单，测量范围广，响应快，灵敏度高，小流量测量时优势明显。

随着工业生产自动化水平的提升，对流量计流量测量控制的准确度，精度，响应速度以及密封性的需要也日益提高。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种质量流量控制器，其可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。

为实现本实用新型的目的而提供一种质量流量控制器，包括连接座、阀体组件、阀芯组件和驱动组件，所述连接座开设有连接通道、出口通道以及与所述连接通道和所述出口通道连通的安装槽；所述阀体组件设置于所述安装槽中且与所述连接座密封对接，所述阀体组件中开设有入流通道、出流通道以及控流槽，所述入流通道的一端与所述连接通道的一端连通，所述入流通道的另一端通过所述控流槽与所述出流通道的一端连通，所述控流槽的槽壁在与所述入流通道和所述出流通道的连接处形成有阀口；所述阀芯组件具有锥形环面，所述锥形环面的外径沿远离所述阀口的方向递增，所述锥形环面用于在所述阀芯组件处于第一位置时封堵所述阀口；所述驱动组件与所述阀芯组件连接，用于驱动所述阀芯组件自所述第一位置沿远离所述阀口的方向运动，以打开所述阀口。

可选地，所述阀体组件包括阀体和阀口件，所述阀口件设置于所述安装槽中且与所述连接座密封对接，所述阀口件开设有所述入流通道、所述出流通道以及所述控流槽；所述阀体设置于所述连接座上，且位于所述阀口件上方，所述阀体的底部形成有第一容纳槽，所述第一容纳槽与所述控流槽形成第一空腔，所述阀芯组件设置在所述第一空腔内。

可选地，所述质量流量控制器还包括弹性件，所述第一容纳槽包括形成在所述阀体的底面上的第一安装槽和形成在所述第一安装槽的槽底的第二安装槽；所述第一安装槽的槽底与所述阀口件的上表面相接触；所述弹性件的中心部分与所述阀芯组件固定连接，所述弹性件的边缘部分位于所述阀口件的上表面与所述第二安装槽的槽底之间，且所述阀体将所述弹性件的边缘部分压紧于所述阀口件的上表面，所述弹性件用于向所述阀芯组件施加朝向所述阀口件的压紧力。

可选地，所述第一容纳槽还包括形成在所述第二安装槽的槽底的第三安装槽，所述阀芯组件包括芯体以及堵块，所述芯体设置于所述第三安装槽中，所述堵块固定连接于所述芯体朝向所述阀口件的一侧，所述堵块靠近所述阀口的一侧具有所述锥形环面。

可选地，所述弹性件的中心开设有连接孔，所述堵块的周向具有沿径向向外延伸的连接凸缘，所述堵块贯穿所述连接孔，且所述连接孔的孔壁与所述连接凸缘固定连接，在所述锥形环面处于所述第一位置时，所述连接凸缘抵接于所述阀口件的上表面。

可选地，所述质量流量控制器还包括至少一个调节垫片，至少一个所述调节垫片设置于所述第二安装槽中，且位于所述弹性件与所述阀口件的上表面之间，和/或，位于所述弹性件与所述第二安装槽的槽底之间，以调节所述弹性件对所述阀芯组件施加的所述压紧力。

可选地，所述连接通道的直径大于等于0.1mm，且小于等于1mm，和/或，所述入流通道和所述出流通道的直径均大于等于0.1mm，且小于等于1mm。

可选地，所述质量流量控制器还包括流量传感器，所述连接通道的一端为在所述安装槽的侧壁形成的第一出流口，所述连接通道的另一端为在所述连接座的表面形成的第一入流口，所述第一入流口用于与所述流量传感器的出流端连通，所述连接通道沿直线方向延伸。

可选地，所述入流通道的一端为在所述阀体组件的外周面形成的第二入流口，另一端为在所述控流槽的侧壁形成的第二出流口，所述出流通道的一端为在所述控流槽的底面形成的第三入流口，另一端为在所述阀体组件的底面形成的第三出流口，所述入流通道沿直线方向延伸。

可选地，所述安装槽具有多个台阶面，至少一个所述台阶面上设置有金属密封件，所述阀体组件设置于所述安装槽中时挤压所述金属密封件实现与所述连接座的密封连接。

可选地，所述质量流量控制器还包括流量传感器，所述连接座上还开设有入口通道，所述入口通道与所述流量传感器的入流端连通，所述流量传感器的出流端与所述连接通道的一端连通。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的质量流量控制器，其通过在连接座开设连接通道、出口通道以及与连接通道和出口通道连通的安装槽，阀体组件设于该安装槽中，且与该连接座密封对接；并且在阀体组件中开设有入流通道、出流通道以及控流槽，连接通道、入流通道、控流槽和出流通道依次连通，通过采用连接座与阀体组件对接的分体式结构，上述连接通道和入流通道无需采用较大的深径比，很容易在连接座和阀体组件上机械加工制成很细小的通道(0.1mm～1mm)，从而既可以在不设置分流件、填充件的情况下实现小流量控制，又可以降低加工难度，而且直接采用机械加工制成的一体式通道相比于采用分流件、填充件进行二次加工形成的通道的加工精度更高，装配与返修的难度更低，不会因为分流件、填充件设置在气体通路内增加死角而导致气阻增加、气体滞留，也不会因为分流件、填充件的位置或形状发生改变而导致气体流动状态改变，从而造成控制状态的改变，因此，本实用新型提供的质量流量控制器可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。在此基础上，通过阀芯组件的锥形环面封堵阀口，该锥形环面相比于平面更容易密封阀口，即使阀芯组件在轴向上出现小角度倾斜，锥形环面也依然能够保持对阀口的密封，不发生内漏，从而可以提高密封效果。

附图说明

图1为本申请采用的质量流量控制器的剖面结构示意图；

图2为图1中局部结构放大图；

图3为本申请采用的流量控制阀的爆炸图；

图4a为本申请采用的阀口件的剖面结构示意图；

图4b为本申请采用的阀口件的俯视图；

图5为本申请采用的连接座的剖面结构示意图；

图6a为本申请采用的阀芯组件以及弹性件的装配结构剖面图；

图6b为本申请采用的阀芯组件以及弹性件的仰视结构图；

图7为本申请采用的堵块的侧视图；

图8为本申请采用的弹性件的剖面结构示意图；

图9a为本申请采用的阀体的剖面结构示意图；

图9b为本申请采用的阀体的俯视图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的质量流量控制器进行详细描述。

如图1至图9b所示，本实用新型实施例提供一种质量流量控制器，包括连接座200、阀体组件(例如包括阀体160和阀口件170)、阀芯组件130和驱动组件120，其中，连接座200开设有连接通道230、出口通道220以及与连接通道230和出口通道220连通的安装槽240；阀体组件设置于该安装槽240中且与连接座200密封对接，阀体组件中开设有入流通道171、出流通道172以及控流槽173，入流通道171的一端与连接通道230的一端连通，入流通道171的另一端通过上述控流槽173与出流通道172的一端连通，该控流槽173的槽壁在与入流通道171和出流通道172的连接处形成有阀口(即，控流槽173的内部空间)；如图7所示，上述阀芯组件130(例如包括堵块131)具有锥形环面1311，该锥形环面1311的外径沿远离阀口的方向递增，锥形环面1311用于在阀芯组件130处于第一位置时封堵阀口；驱动组件120与阀芯组件130连接，用于驱动阀芯组件130自第一位置沿远离阀口的方向运动，以打开阀口。

本实用新型实施例提供的质量流量控制器，其通过在连接座200开设连接通道230、出口通道220以及与连接通道230和出口通道220连通的安装槽240，阀体组件设于该安装槽240中，且与该连接座200密封对接；并且在阀体组件中开设有入流通道171、出流通道172以及控流槽173，连接通道230、入流通道171、控流槽173和出流通道172依次连通，通过采用连接座200与阀体组件对接的分体式结构，上述连接通道230和入流通道171无需采用较大的深径比，很容易在连接座200和阀体组件上机械加工制成很细小的通道(0.1mm～1mm)，从而既可以在不设置分流件、填充件的情况下实现小流量控制，又可以降低加工难度，而且直接采用机械加工制成的一体式通道相比于采用分流件、填充件进行二次加工形成的通道的加工精度更高，装配与返修的难度更低，不会因为分流件、填充件设置在气体通路内增加死角而导致气阻增加、气体滞留，也不会因为分流件、填充件的位置或形状发生改变而导致气体流动状态改变，从而造成控制状态的改变，因此，本实用新型提供的质量流量控制器可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。在此基础上，通过阀芯组件130的锥形环面1311封堵阀口，该锥形环面1311相比于平面更容易密封阀口，即使阀芯组件130在轴向上出现小角度倾斜，锥形环面1311也依然能够保持对阀口的密封，不发生内漏，从而可以提高密封效果。

为了在不设置分流件、填充件的情况下实现小流量控制，在一些可选的实施例中，连接通道230的直径大于等于0.1mm，且小于等于1mm，和/或，入流通道171和出流通道172的直径均大于等于0.1mm，且小于等于1mm。

以本实用新型实施例提供的质量流量控制器采用热式气体质量流量控制器为例，如图1所示，其通常包括流量传感器300，该流量传感器300采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量，流量传感器300测得的流量信号经过放大控制电路的计算处理后，获得相应的阀口开度，即驱动组件驱动阀芯组件130自第一位置沿远离阀口的方向运动，以打开阀口，该阀芯组件130远离阀口的运动幅度即为上述阀口开度，从而可以起到控制流量的作用。在这种情况下，连接座200上还开设有入口通道210，入口通道210与流量传感器300的入流端连通，流量传感器300的出流端与连接通道230的一端连通。更进一步地，入口通道210可与进气接头相连通，进气接头用于与供气源相连，通过进气接头可使得本申请的质量流量控制器能够更方便地与其他设备、管线等进行连接且能够提供较为稳定的连接效果。同样地，出口通道220的出气端也可设置有出气接头。

在一些可选的实施例中，如图2和图3所示，上述阀体组件包括阀体160和阀口件170，阀口件170设置于上述安装槽240中且与连接座200密封对接，如图4a所示，阀口件170开设有入流通道171、出流通道172以及上述控流槽173；阀体160设置于连接座200上，且位于阀口件170上方，如图9a所示，阀体160的底部形成有第一容纳槽，该第一容纳槽与控流槽173形成第一空腔，阀芯组件130设置在该第一空腔内。通过在阀口件170开设有入流通道171、出流通道172以及上述控流槽173，可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低加工难度，装配与返修的难度更低。

在一些可选的实施例中，如图2、图8和图9a所示，质量流量控制器还包括弹性件140，上述第一容纳槽包括形成在阀体160的底面上的第一安装槽163和形成在该第一安装槽163的槽底的第二安装槽164；第一安装槽163的槽底与阀口件170的上表面相接触，用于限定阀体160与阀口件170的相对位置；弹性件140的中心部分(即，内环部分143)与上述阀芯组件130固定连接，弹性件140的边缘部分(即，外环部分144)位于阀口件170的上表面与上述第二安装槽164的槽底之间，且阀体160将弹性件140的边缘部分(即，外环部分144)压紧于阀口件170的上表面，弹性件140用于向上述阀芯组件130施加朝向阀口件170的压紧力。借助弹性件140向上述阀芯组件130施加朝向阀口件170的压紧力，可以将阀芯组件130固定于上述第一位置，使锥形环面1311能够被压紧于阀口，从而更稳定地保持封堵状态。驱动组件120需要克服该压紧力驱动阀芯组件130自该第一位置沿远离阀口的方向运动，以打开阀口。

上述弹性件140的结构可以有多种，例如弹性件140为环状弹簧片，该环状弹簧片环绕于阀芯组件130的周围，且与阀芯组件130固定连接。并且，该环状弹簧片的内环部分143相对于外环部分144朝靠近阀口的方向凸出，凸出的内环部分143能够产生推动阀芯组件130压紧阀口的压紧力，借助该压紧力，即使受到气流以及外界的冲击或振动时，阀芯组件130仍能够抵抗这些影响并保持封堵阀口状态，从而可以使本实施例提供的质量流量控制器能够抵抗一定的干扰。

在一些可选的实施例中，如图2所示，质量流量控制器还包括至少一个调节垫片141，至少一个调节垫片141设置于上述第二安装槽164中，且位于弹性件140与阀口件170的上表面之间，和/或，位于弹性件140与上述第二安装槽164的槽底之间，以调节弹性件140对阀芯组件130施加的上述压紧力。如前述，环状弹簧片能够产生推动阀芯组件130压紧阀口的压紧力，通过设定调节垫片141的数量和/或各调节垫片141的厚度，可以调节上述压紧力的大小，同时可以填补弹性件140与上述第二安装槽164的槽底之间的间隙，以及弹性件140与阀口件170的上表面之间的间隙。具体地，以弹性件140为环状弹簧片为例，其外环部分144与阀口件170的上表面之间的间距越小，内环部分143朝阀口靠近的趋势越大，产生推动阀芯组件130压紧阀口的压紧力越大；反之，外环部分144与阀口件170的上表面之间的间距越大，内环部分143朝阀口靠近的趋势越小，产生推动阀芯组件130压紧阀口的压紧力越小，基于此，通过设定位于弹性件140与阀口件170的上表面之间，和/或位于弹性件140与上述第二安装槽164的槽底之间的调节垫片141的数量和/或各调节垫片141的厚度，来调节外环部分144与阀口件170的上表面之间的间距的大小，可以实现对上述压紧力的调节。

在一些可选的实施例中，如图9a所示，上述第一容纳槽还包括形成在第二安装槽164的槽底的第三安装槽161，上述阀芯组件130包括芯体132以及堵块131，芯体132设置于上述第三安装槽161中，堵块131固定连接于芯体132朝向阀口件170的一侧，堵块131靠近阀口的一侧具有锥形环面1311。堵块131用于封堵阀口，可选的，为了防止堵块131在长时间使用后发生形变，堵块131可采用不锈钢、高强钢等硬度较高的材质进行制作。

可选的，弹性件140环绕于堵块131的周围，且与堵块131固定连接，以推动堵块131压紧阀口。进一步可选的，弹性件140的中心开设有连接孔142，堵块131的周向具有沿径向向外延伸的连接凸缘1312，堵块131贯穿连接孔142，且连接孔142的孔壁与连接凸缘1312固定连接，在锥形环面1311处于上述第一位置(封堵阀口的位置)时，连接凸缘1312抵接于阀口件170的上表面。借助连接凸缘1312，可以更方便地将弹性件140与堵块131固定连接，例如弹性件140与堵块131可采用焊接的方式进行连接，连接凸缘1312的设置能够方便焊接操作。

堵块131与芯体132之间可采用多种连接方式，例如，如图6a所示，芯体132朝向阀口件170的一侧设置有可容纳堵块131的一部分的容置槽，堵块131的一部分可与该容置槽采用过盈配合的方式嵌设于该容置槽中。当然，在实际应用中，堵块131与芯体132之间还可采用焊接、螺纹连接、铆接等的方式进行连接，具体可根据实际情况进行选用。上述连接凸缘1312还可以用于限定堵块131伸入上述容置槽的部分的长度。

为了使阀芯组件130能够打开阀口，如图1和图2所示，在阀芯组件130上方预留有可供阀芯组件130130移动的空间。而且，为了便于拆装以及维修，阀体160可通过螺栓、螺钉等的紧固件与连接座200连接，如图9b所示，阀体160上设置有多个供螺栓、螺钉等的紧固件穿过的安装孔162。诸如外壳150、驱动组件120、阀芯组件130、流量传感器等的部件直接或间接地与阀体160进行连接，例如，外壳150与阀体160可以采用诸如螺纹连接、卡接、销接等的方式固定连接，驱动组件120固定于外壳150内。

作为一种具体的实施方式，驱动组件120可采用磁力驱动的方式驱动阀芯组件130自第一位置沿远离阀口的方向运动，以打开阀口。具体地，如图1至图3所示，驱动组件120包括由芯轴121和绕设于芯轴121外周面上的线包122构成的电磁铁，芯轴121采用磁性材料制作，用于作为电磁铁的磁芯，线包122包括在通电时能够产生磁场的线圈。如图2所示，芯轴121位于芯体132上方，芯体132可采用能够被磁力吸引的磁性材料制作。通过调节电磁铁的磁力，可以调节阀芯组件130远离阀口的运动幅度，即阀口开度，从而可以起到控制流量的作用。在实际应用中，可以通过条件加载至线包122的电压，来调节电磁铁的磁力。

在一些可选的实施例中，为了在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度，在流量传感器300的出流端与连接通道230的一端连通的基础上，如图5所示，连接通道230的一端为在上述安装槽240的侧壁形成的第一出流口，连接通道230的另一端为在连接座200的表面形成的第一入流口，该第一入流口用于与流量传感器30的出流端连通，连接通道230沿直线方向延伸。通过将上述第一入流口设置于连接座200的表面上，且连接通道230为沿直线方向延伸的直线形通道，很容易在连接座200上机械加工制成很细小的通道(0.1mm～1mm)，有效地降低了装配与返修难度，不必为了减小连接通道230的体积而在内部设置分流件、填充件等需要进行二次加工形成通道的零部件，而且不会因为分流件、填充件设置在气体通路内增加死角而导致气阻增加、气体滞留，也不会因为分流件、填充件的位置或形状发生改变而导致气体流动状态改变，从而造成控制状态的改变，进而可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。

类似的，如图4a所示，入流通道171的一端为在阀体组件(即，阀口件170)的外周面形成的第二入流口，另一端为在上述控流槽173的侧壁形成的第二出流口，出流通道172的一端为在上述控流槽173的底面形成的第三入流口，另一端为在阀体组件(即，阀口件170)的底面形成的第三出流口，入流通道171沿直线方向延伸。通过将上述第二入流口、第二出流口、第三入流口均设置于阀口件170的表面上，且入流通道171和出流通道172均为沿直线方向延伸的直线形通道，很容易在阀口件170上机械加工制成很细小的通道(0.1mm～1mm)，有效地降低了装配与返修难度，不必为了减小入流通道171和出流通道172的体积而在内部设置分流件、填充件等需要进行二次加工形成通道的零部件，而且不会因为分流件、填充件设置在气体通路内增加死角而导致气阻增加、气体滞留，也不会因为分流件、填充件的位置或形状发生改变而导致气体流动状态改变，从而造成控制状态的改变，进而可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。

在一些可选的实施例中，如图2、图5所示，上述安装槽240具有多个台阶面，至少一个台阶面上设置有金属密封件190，阀体组件(例如包括阀体160和阀口件170)设置于上述安装槽240中时挤压金属密封件190实现与连接座200的密封连接。由于金属密封件190具有一定的弹性以及延展性，在金属密封件190受到外界压力而发生弹性变形时，在弹性恢复力的作用下，金属密封件190填补了密封面的缝隙，从而起到密封的作用，而且金属密封件190避免了橡胶、尼龙等材质受温度、压力影响的问题，能够延长使用寿命。常用的金属密封件190材质包括无氧铜、纯铝、金、银等硬度相对较软的金属，或者包括如金属铟等的具有很好的延展性的金属，这种金属在受到外界压力后可以向各个方向流动，填补密封面缝隙，可以起到很好的密封作用。另外，可选的，在阀口件170的下表面与上述安装槽240的底面之间设置有密封圈180，该密封圈180环绕于上述出流通道172的出流口与出口通道220的入流口之间的连接处周围，用于对该连接处进行密封，密封圈180除了可采用橡胶、尼龙等材质外，同样地，密封圈180也可采用金属材质。

综上所述，本实用新型实施例提供的质量流量控制器，其通过在连接座开设连接通道、出口通道以及与连接通道和出口通道连通的安装槽240，阀体组件设于该安装槽240中，且与该连接座密封对接；并且在阀体组件中开设有入流通道、出流通道以及控流槽173，连接通道、入流通道、控流槽173和出流通道依次连通，通过采用连接座与阀体组件对接的分体式结构，上述连接通道和入流通道无需采用较大的深径比，很容易在连接座和阀体组件上机械加工制成很细小的通道(0.1mm～1mm)，从而既可以在不设置分流件、填充件的情况下实现小流量控制，又可以降低加工难度，而且直接采用机械加工制成的一体式通道相比于采用分流件、填充件进行二次加工形成的通道的加工精度更高，装配与返修的难度更低，不会因为分流件、填充件设置在气体通路内增加死角而导致气阻增加、气体滞留，也不会因为分流件、填充件的位置或形状发生改变而导致气体流动状态改变，从而造成控制状态的改变，因此，本实用新型提供的质量流量控制器可以在保证小流量控制响应速度和精度的同时，降低装配难度。在此基础上，通过阀芯组件的锥形环面封堵阀口，该锥形环面相比于平面更容易密封阀口，即使阀芯组件在轴向上出现小角度倾斜，锥形环面也依然能够保持对阀口的密封，不发生内漏，从而可以提高密封效果。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (11)

1.一种质量流量控制器，其特征在于，包括连接座、阀体组件、阀芯组件和驱动组件，所述连接座开设有连接通道、出口通道以及与所述连接通道和所述出口通道连通的安装槽；所述阀体组件设置于所述安装槽中且与所述连接座密封对接，所述阀体组件中开设有入流通道、出流通道以及控流槽，所述入流通道的一端与所述连接通道的一端连通，所述入流通道的另一端通过所述控流槽与所述出流通道的一端连通，所述控流槽的槽壁在与所述入流通道和所述出流通道的连接处形成有阀口；所述阀芯组件具有锥形环面，所述锥形环面的外径沿远离所述阀口的方向递增，所述锥形环面用于在所述阀芯组件处于第一位置时封堵所述阀口；所述驱动组件与所述阀芯组件连接，用于驱动所述阀芯组件自所述第一位置沿远离所述阀口的方向运动，以打开所述阀口。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述阀体组件包括阀体和阀口件，所述阀口件设置于所述安装槽中且与所述连接座密封对接，所述阀口件开设有所述入流通道、所述出流通道以及所述控流槽；所述阀体设置于所述连接座上，且位于所述阀口件上方，所述阀体的底部形成有第一容纳槽，所述第一容纳槽与所述控流槽形成第一空腔，所述阀芯组件设置在所述第一空腔内。

3.根据权利要求2所述的质量流量控制器，其特征在于，所述质量流量控制器还包括弹性件，所述第一容纳槽包括形成在所述阀体的底面上的第一安装槽和形成在所述第一安装槽的槽底的第二安装槽；所述第一安装槽的槽底与所述阀口件的上表面相接触；所述弹性件的中心部分与所述阀芯组件固定连接，所述弹性件的边缘部分位于所述阀口件的上表面与所述第二安装槽的槽底之间，且所述阀体将所述弹性件的边缘部分压紧于所述阀口件的上表面，所述弹性件用于向所述阀芯组件施加朝向所述阀口件的压紧力。

4.根据权利要求3所述的质量流量控制器，其特征在于，所述第一容纳槽还包括形成在所述第二安装槽的槽底的第三安装槽，所述阀芯组件包括芯体以及堵块，所述芯体设置于所述第三安装槽中，所述堵块固定连接于所述芯体朝向所述阀口件的一侧，所述堵块靠近所述阀口的一侧具有所述锥形环面。

5.根据权利要求4所述的质量流量控制器，其特征在于，所述弹性件的中心开设有连接孔，所述堵块的周向具有沿径向向外延伸的连接凸缘，所述堵块贯穿所述连接孔，且所述连接孔的孔壁与所述连接凸缘固定连接，在所述锥形环面处于所述第一位置时，所述连接凸缘抵接于所述阀口件的上表面。

6.根据权利要求3所述的质量流量控制器，其特征在于，所述质量流量控制器还包括至少一个调节垫片，至少一个所述调节垫片设置于所述第二安装槽中，且位于所述弹性件与所述阀口件的上表面之间，和/或，位于所述弹性件与所述第二安装槽的槽底之间，以调节所述弹性件对所述阀芯组件施加的所述压紧力。

7.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述连接通道的直径大于等于0.1mm，且小于等于1mm，和/或，所述入流通道和所述出流通道的直径均大于等于0.1mm，且小于等于1mm。

8.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述质量流量控制器还包括流量传感器，所述连接通道的一端为在所述安装槽的侧壁形成的第一出流口，所述连接通道的另一端为在所述连接座的表面形成的第一入流口，所述第一入流口用于与所述流量传感器的出流端连通，所述连接通道沿直线方向延伸。

9.根据权利要求8所述的质量流量控制器，其特征在于，所述入流通道的一端为在所述阀体组件的外周面形成的第二入流口，另一端为在所述控流槽的侧壁形成的第二出流口，所述出流通道的一端为在所述控流槽的底面形成的第三入流口，另一端为在所述阀体组件的底面形成的第三出流口，所述入流通道沿直线方向延伸。

10.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述安装槽具有多个台阶面，至少一个所述台阶面上设置有金属密封件，所述阀体组件设置于所述安装槽中时挤压所述金属密封件实现与所述连接座的密封连接。

11.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于，所述质量流量控制器还包括流量传感器，所述连接座上还开设有入口通道，所述入口通道与所述流量传感器的入流端连通，所述流量传感器的出流端与所述连接通道的一端连通。