CN111843192A - 透镜模块以及包括其的衬底切割装置 - Google Patents

Abstract

公开了透镜模块和包括透镜模块的衬底切割装置。透镜模块包括壳体构件、包括第一透镜和第二透镜的第一透镜部以及包括第三透镜和第四透镜的第二透镜部。壳体构件包括：主体部，限定第一内部空间和第二内部空间；第一接纳部，位于主体部的顶表面上，且包括在其中设置第一透镜的第一透镜接纳部以及在其中设置第二透镜的第二透镜接纳部；以及第二接纳部，位于主体部的底表面上，并且包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中第三透镜接纳部支承并向外部暴露第三透镜，第四透镜接纳部支承并外部暴露第四透镜。第三透镜和第四透镜彼此接触。

Description

透镜模块以及包括其的衬底切割装置

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年4月18日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0045475号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明构思涉及衬底切割装置，并且更具体地，涉及透镜模块和包括该透镜模块的衬底切割装置。

背景技术

通常，显示装置包括有机发光装置(OLED)、液晶显示器(LCD)、电泳显示器(ED)、表面传导电子发射器显示器(SED)、真空荧光显示器(VFD)等。

显示装置可以用于诸如智能电话、平板个人计算机、膝上型计算机、数码相机、摄录像机和便携式数字助理的移动设备或者诸如纤薄型电视机、展览显示器和广告板的电子产品。

近来，已经开展了制造超薄显示装置的研究。在显示装置之中，柔性显示装置由于易于携带以及对于多种形状的装置的可用性而作为下一代显示器引起了关注。

另外，显示装置根据预设的多样化设计来进行切割过程。

发明内容

本发明构思的一些示例性实施方式提供一种能够切割多个切割目标区域的透镜模块以及包括该透镜模块的衬底切割装置。

根据本发明构思的一些示例性实施方式，透镜模块可以包括：壳体构件；第一透镜部，其包括设置在壳体构件内的第一透镜和第二透镜；以及第二透镜部，其包括设置在壳体构件内的第三透镜和第四透镜。第二透镜部可以与第一透镜部间隔开。壳体构件可以包括：主体部，其包括顶表面、底表面以及将顶表面和底表面彼此连接的侧表面，主体部限定第一内部空间和第二内部空间；第一接纳部，其在主体部的顶表面上，第一接纳部包括第一透镜接纳部和第二透镜接纳部，第一透镜接纳部与第一内部空间重叠并限定在其中设置第一透镜的第一通孔，第二透镜接纳部与第二内部空间重叠并限定在其中设置第二透镜的第二通孔；以及第二接纳部，其在主体部的底表面上，该第二接纳部包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中，第三透镜接纳部支承与第一透镜重叠的第三透镜并向外部暴露第三透镜，第四透镜接纳部支承与第二透镜重叠的第四透镜并向外部暴露第四透镜。第三透镜和第四透镜可以彼此接触。

在某些实施方式中，第三透镜可以包括与第三透镜接纳部重叠的第一区域以及不与第三透镜接纳部重叠的第二区域。第四透镜可以包括与第四透镜接纳部重叠的第三区域以及不与第四透镜接纳部重叠的第四区域。

在某些实施方式中，第三透镜的第二区域可以与第四透镜的第四区域接触。

在某些实施方式中，在平面图中，第三透镜和第四透镜中的每个的面积可以大于第一透镜和第二透镜中的每个的面积。

在某些实施方式中，第三透镜和第四透镜中的每个的外表面可以包括具有弯曲形状的弯曲侧部和具有线性形状的直侧部。第三透镜的直侧部可以与第四透镜的直侧部接触。

在某些实施方式中，在顶表面上可以限定有第一主体孔和第二主体孔。在底表面上可以限定有第三主体孔和第四主体孔。第三主体孔可以与第一主体孔重叠，并且第四主体孔可以与第二主体孔重叠。

在某些实施方式中，在平面图中，第三主体孔和第四主体孔中的每个的面积可以大于第一主体孔和第二主体孔中的每个的面积。

在某些实施方式中，第一透镜可以从第一光束生成器接收第一光。第二透镜可以从第二光束生成器接收第二光。

在某些实施方式中，第三透镜可以将从第一透镜传输的第一光输出至衬底的面对第三透镜的第一切割目标区域。第四透镜可以将从第二透镜传输的第二光输出至衬底的面对第四透镜的第二切割目标区域。

在某些实施方式中，第三透镜可以在与衬底的厚度方向平行的一个方向上将第一光输出至第一切割目标区域。第四透镜可以在所述一个方向上将第二光输出至第二切割目标区域。

在某些实施方式中，透镜模块还可以包括：第一扫描器，其接收来自第一光束生成器的第一光并调节向第一透镜传输的第一光的路径；第二扫描器，其接收来自第二光束生成器的第二光并调节向第二透镜传输的第二光的路径。

在某些实施方式中，第一透镜部还可以包括第五透镜。第二透镜部还可以包括与第五透镜重叠的第六透镜。第一接纳部还可以包括第五透镜接纳部，第五透镜接纳部限定在其中设置第五透镜的第三通孔。第二接纳部还可以包括第六透镜接纳部，所述第六透镜接纳部支承第六透镜并向外部暴露第六透镜。

在某些实施方式中，第六透镜可以与第三透镜和第四透镜中的每个接触。

在某些实施方式中，第六透镜可以包括与第六透镜接纳部重叠的第一侧表面以及不与第六透镜接纳部重叠的第一子侧表面和第二子侧表面。第一侧表面可以具有弯曲形状。与第一侧表面的一端相邻的第一子侧表面可以具有线性形状并且接触第三透镜。与第一侧表面的另一端相邻的第二子侧表面可以具有线性形状并且接触第四透镜。

根据本发明构思的一些示例性实施方式，衬底切割装置可以包括：台，其支承包括彼此相邻的第一切割目标区域和第二切割目标区域的衬底；第一光束生成器，其配置成发射第一光；第二光束生成器，其配置成发射第二光；以及透镜模块，其接收第一光并将第一光输出至第一切割目标区域，并且接收第二光并将第二光输出至第二切割目标区域。透镜模块可以包括：壳体构件；以及位于壳体构件内的透镜单元。透镜单元可以包括：第一透镜，其接收第一光；第二透镜，其与第一透镜间隔开并且接收第二光；第三透镜，其与第一透镜重叠并且将穿过第一透镜的第一光输出至第一切割目标区域；以及第四透镜，其与第二透镜重叠并且将穿过第二透镜的第二光输出为朝向第二切割目标区域传播。第三透镜和第四透镜可以彼此接触。

在某些实施方式中，穿过第三透镜的第一光和穿过第四透镜的第二光可以同时地分别照射到第一切割目标区域和第二切割目标区域上。

在某些实施方式中，第三透镜可以在一个方向上将第一光输出至第一切割目标区域。所述一个方向可以平行于衬底的厚度方向。第四透镜可以在所述一个方向上将第二光输出至第二切割目标区域。

在某些实施方式中，壳体构件可以包括：主体部，其包括顶表面、底表面以及将顶表面和底表面彼此连接的侧表面；第一接纳部，其在主体部的顶表面上，所述第一接纳部包括第一透镜接纳部和第二透镜接纳部，其中第一透镜接纳部限定在其中设置第一透镜的第一通孔，第二透镜接纳部限定在其中设置第二透镜的第二通孔，第一透镜接纳部和第二透镜接纳部在平面图中彼此隔开；以及第二接纳部，其在主体部的底表面上，第二接纳部包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中第三透镜接纳部支承第三透镜并向外部暴露第三透镜，第四透镜接纳部支承第四透镜并向外部暴露第四透镜。

在某些实施方式中，第三透镜可以包括与第三透镜接纳部重叠的第一区域以及不与第三透镜接纳部重叠的第二区域。第四透镜可以包括与第四透镜接纳部重叠的第三区域以及不与第四透镜接纳部重叠的第四区域。第二区域和第四区域可以彼此接触。

在某些实施方式中，透镜单元可以是远心透镜。

附图说明

图1示出了根据本发明构思的一些示例性实施方式的衬底切割装置的立体图。

图2示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的衬底切割装置的分解立体图。

图3示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的分解立体图。

图4示出了沿着图3的线I-I′截取的剖视图。

图5A示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二接纳部和第二透镜部的分解立体图。

图5B示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二透镜部的平面图。

图6示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的包括两个切割目标区域的衬底的立体图。

图7A示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的剖视图。

图7B示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的剖视图。

图8示出了根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二透镜部的平面图。

具体实施方式

在本说明书中，当特定部件(或区域、层、部分等)被称为在另一(些)部件″上″、″连接至″或″联接至″另一(些)部件时，该特定部件可以直接设置在另一(些)部件上、直接连接至另一(些)部件或直接联接至另一(些)部件，或者可以在特定部件与另一(些)部件之间存在至少一个介于中间的部件。

相同的附图标记表示相同的部件。此外，在附图中，为了有效地解释技术内容，夸大了部件的厚度、比例和尺寸。

术语″和/或″包括由相关部件限定的一个或多个组合。

将理解的是，尽管在本文中可以使用第一、第二等术语来描述各种部件，但是这些部件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于将一个部件与另一部件区分开。例如，在不背离本发明的范围的情况下，第一部件可以被称为第二部件，且第二部件可以被称为第一部件。除非上下文另有明确指示，否则单数形式也旨在包括复数形式。

此外，″下面″、″下″、″上方″、″上″等术语在本文中用于描述附图中所示出的一个部件与另一(些)部件的关系。相对术语旨在涵盖除附图中描绘的取向之外的不同取向。

除非另有限定，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与由本领域普通技术人员通常理解含义相同的含义。此外，如在常用词典中定义的术语应被理解为具有与在相关技术中定义的含义相同的含义，或具有在相关技术语境中定义的含义，并且除非在本文中明确定义，否则不应理解为理想化或过于形式化的含义。

应理解的是，″包含″、″包括″、″具有″等术语用于指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、部件、元件或其组合的存在，但是不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、部件、元件或其组合的存在或增加。

现在，将在下面结合附图描述本发明构思的一些示例性实施方式。

图1示出了根据本发明构思的一些示例性实施方式的衬底切割装置的立体图。图2示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的衬底切割装置的分解立体图。

参照图1，衬底切割装置SCD包括衬底切割台SCT、透镜模块LM、激光模块LR和控制器CT。

衬底切割台SCT包括第一台WT和第二台ST。第一台WT和第二台ST中的每个与由第一方向DR1和第二方向DR2限定的平面平行。第三方向DR3指示与第一台WT和第二台ST中的每个垂直的方向。第三方向DR3表示衬底PS的厚度方向。

在本说明书中，可以理解的是，当在平面图中观察一个或多个部件时，可以在与第三方向DR3相反的方向上对该部件或这些部件进行观察。另外，平面面积或尺寸可以是指当在与第三方向DR3相反的方向上观察时的面积或尺寸。下文中描述的构件或单元中的每个的前表面(或顶表面)和后表面(或底表面)在平面图中可以由第三方向DR3限定。然而，由第一方向DR1、第二方向DR2和第三方向DR3指示的方向是相对概念，并且因此也可以表示各自的相反方向。

第一台WT可以支承衬底PS。在平面图中，衬底PS可以与第一台WT完全重叠并且由第一台WT支承。图1可以示出其部分未被衬底切割装置SCD切割的衬底PS。

在某些实施方式中，衬底PS可以包括切割目标区域CA，切割目标区域CA包括彼此相邻的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2。例如，第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2可以具有其分别与两个相机的形状对应的形状。

第二台ST可以支承第一台WT。在平面图中，第一台WT可以与第二台ST完全重叠并且由第二台ST支承。

在某些实施方式中，第一台WT和第二台ST可以具有其与第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2相应地重叠的孔WO。在本说明书中，术语″通孔″是指穿透特定部件的顶表面和底表面并且在顶表面和底表面上暴露的孔。

衬底PS可以包括第一部分和围绕第一部分的第二部分。第一部分可以对应于随后由激光模块LR切割的切割目标区域CA。例如，衬底PS可以指显示模块。显示模块可以包括显示图像的显示面板以及感测外部输入的输入感测单元中的一个或多个。对于另一示例，衬底PS可以指包括在显示模块中的单个基础衬底。

激光模块LR可以包括发射激光(下文中也称为光)的光束生成器(未示出)和安装在光的路径上的扫描器(未示出)。光束生成器包括：固体激光器，诸如红宝石激光器、玻璃激光器、钇铝石榴石(YAG)激光器和氟化钇锂(YLF)激光器；气体激光器，诸如准分子激光器和氦氖激光器；以及脉冲激光器。

扫描器可以定位在从光束生成器生成的光的路径上。扫描器可以包括安装在光的路径上并且改变激光角度的至少一个镜(未示出)。镜包括其角度基于施加的电压而变化的电流镜(galvano mirror)或反射镜。

控制器CT可以控制激光模块LR的位置或控制从激光模块LR发射的光的强度和幅度。控制器CT可以移位激光模块LR，以允许衬底PS接收沿着衬底PS的切割目标区域CA入射的光。激光模块LR可以在第一方向DR1和第二方向DR2上移位。

另外，控制器CT可以将光调节成具有能够切割衬底PS的强度。控制器CT可以根据由用户预设或输入的光的强度和/或幅度来控制从光束生成器生成的光的幅度和强度。

透镜模块LM允许从激光模块LR入射的光穿过透镜模块LM，并且将所述光传输到衬底PS。例如，透镜模块LM从激光模块LR接收第一光和第二光。穿过透镜模块LM的第一光和第二光可以分别从衬底PS去除第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2。例如，从激光模块LR传输的第一光穿过透镜模块LM并朝向第一切割目标区域CA1传播。从激光模块LR传输的第二光穿过透镜模块LM并朝向第二切割目标区域CA2传播。

在某些实施方式中，第一光和第二光可以被同时照射到第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2上。在本说明书中，短语″同时(simultaneously)或同一时刻(at thesame time)″可以基本上包括特定误差范围。例如，语句″将光同时照射到第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2上″是指在将光照射到第一切割目标区域CA1上的同时，也将光照射到第二切割目标区域CA2上，或者在将光照射到第二切割目标区域CA2上的同时，也将光照射到第一切割目标区域CA1上。

由于衬底PS的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2如上所述被同时切割，因而与将第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2彼此分开切割的情况相比，可以更多地减少整体制造时间。

下面将参照图2详细描述衬底切割装置SCD。图2中所示的衬底切割装置SCD还包括接纳构件HD和进气构件VD。

参照图2，第一台WT包括顶表面WT-U、底表面WT-B以及将顶表面WT-U和底表面WT-B彼此连接的侧表面WT-S。衬底PS可以设置在第一台WT的顶表面WT-U上。

在某些实施方式中，第一台WT在其中限定有分别与衬底PS的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2重叠的第一通孔WO1和第二通孔WO2。第一通孔WO1和第二通孔WO2中的每个可以穿透第一台WT的顶表面WT-U和底表面WT-B。

第一通孔WO1和第二通孔WO2可以具有分别与第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2的形状对应的形状。如图2中所示，在平面图中，第一通孔WO1和第二通孔WO2可以彼此连接，或者可以以特定间隔彼此间隔开。

在平面图中，第一台WT在其中还限定有与第一通孔WO1和第二通孔WO2间隔开的多个吸孔SH。多个吸孔SH可以暴露在第一台WT的顶表面WT-U上。当衬底PS设置在第一台WT的顶表面WT-U上时，多个吸孔SH可以由衬底PS覆盖。多个吸孔SH可以通过第二台ST的真空孔VH抽吸衬底PS。尽管未示出，但可以通过进气构件VD向真空孔VH提供空气，该进气构件VD连接至限定在第二台ST的侧表面上的连接孔SS0。由于通过多个吸孔SH来抽吸衬底PS，因而衬底PS可以被固定到第一台WT的顶表面WT-U上。

第一台WT的底表面WT-B可以由设置在第一台WT下方的第二台ST支承。

第二台ST可以包括与第一通孔WO1重叠的第一孔SO1和与第二通孔WO2重叠的第二孔SO2。第一孔SO1和第二孔SO2可以穿透第二台ST的顶表面和底表面。第二台ST的顶表面可以面对第一台WT，并且第二台ST的底表面可以面对进气构件VD。

接纳构件HD可以设置在第二台ST的底表面上，同时覆盖第一孔SO1和第二孔SO2。接纳构件HD在其顶表面上限定有与第一孔SO1重叠的第一接纳孔HO1a和与第二孔SO2重叠的第二接纳孔HO1b。第一通孔WO1和第一孔SO1可以形成为单个开口，该开口在下文中限定成第一切割孔。第二通孔WO2和第二孔SO2可以形成为单个开口，该开口在下文中限定成第二切割孔。

接纳构件HD可以提供内部空间，并且第一切割孔可以通过第一接纳孔HO1a在空间上连接至接纳构件HD的内部空间。第二切割孔可以通过第二接纳孔HO1b在空间上连接至接纳构件HD的内部空间。

例如，接纳构件HD的内部空间可以通过第一切割孔和第二切割孔填充有分别与第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2对应的第一切割部和第二切割部。

另外，在接纳构件HD上限定有进气孔HO2。进气构件VD可以连接至接纳构件HD，同时覆盖进气孔HO2。进气构件VD的进气操作可以使得衬底PS的第一切割部和第二切割部容易地穿过第一切割孔和第二切割孔移动至接纳构件HD中。

图3示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的分解立体图。图4示出了沿着图3的线I-I′截取的剖视图。

参照图3和图4，透镜模块LM包括透镜单元LNU和壳体构件HU。透镜单元LNU包括在第三方向DR3上彼此间隔开的第一透镜部LN1和第二透镜部LN2。第一透镜部LN1和第二透镜部LN2可以设置在壳体构件HU内。

在某些实施方式中，透镜单元LNU可以设置为远心透镜。由于透镜单元LNU被设置为远心透镜，因而可以利用穿过透镜单元LNU并沿着与第三方向DR3平行的方向传播的光照射衬底PS。

第一透镜部LN1包括第一透镜LN1a和第二透镜LN1b。在某些实施方式中，在平面图中，第一透镜LN1a和第二透镜LN1b可以彼此间隔开。

第一透镜LN1a可以与图2中所示的第一切割目标区域CA1重叠，并且从激光模块LR入射的第一光可以穿过第一透镜LN1a。第一透镜LN1a可以调节从激光模块LR入射的第一光的路径，从而将第一光传输到第二透镜部LN2。例如，第一光照射到第一透镜LN1a的面对激光模块LR的顶表面上的入射角可以不同于第一光从第一透镜LN1a的底表面射出的出射角。

第二透镜LN1b可以与第二切割目标区域CA2重叠，并且从激光模块LR入射的第二光可以穿过第二透镜LN1b。第二透镜LN1b可以调节从激光模块LR入射的第二光的路径，从而将第二光传输到第二透镜部LN2。例如，第二光照射到第二透镜LN1b的面向激光模块LR的顶表面上的入射角可以不同于第二光从第二透镜LN1b的底表面射出的出射角。

第二透镜部LN2包括第三透镜LN2a和第四透镜LN2b。第三透镜LN2a与第一透镜LN1a重叠，并接收从第一透镜LN1a的底表面射出的第一光。第三透镜LN2a可以调节第一光的路径，并且可以将第一光传输到衬底PS的第一切割目标区域CA1。例如，第一光照射到第三透镜LN2a的面对第一透镜LN1a的顶表面上的入射角可以不同于第一光从第三透镜LN2a的底表面射出的出射角。

例如，远离第三透镜LN2a的第一光可以沿着衬底PS的厚度方向或者沿着与第三方向DR3平行的方向传播，并且然后可以被传输到第一切割目标区域CA1。

第四透镜LN2b与第二透镜LN1b重叠，并且接收从第二透镜LN1b的底表面射出的第二光。第四透镜LN2b可以调节第二光的路径，并且可以将第二光传输到衬底PS的第二切割目标区域CA2。例如，第二光照射到第四透镜LN2b的面对第二透镜LN1b的顶表面上的入射角可以不同于第二光从第四透镜LN2b的底表面射出的出射角。

从第四透镜LN2b射出的第二光可以沿着与第三方向DR3平行的方向传播，并且然后可以被传输到第二切割目标区域CA2。

在某些实施方式中，第三透镜LN2a和第四透镜LN2b中的每个可以具有比第一透镜LN1a和第二透镜LN1b中的每个的平面面积大的平面面积。例如，在平面图中，第一透镜LN1a可以与第三透镜LN2a完全重叠，并且第二透镜LN1b可以与第四透镜LN2b完全重叠。

另外，在某些实施方式中，第三透镜LN2a和第四透镜LN2b可以部分地彼此接触。因此，可以增加能够用透镜模块LM处理的区域。例如，第一切割目标区域CA1可以在其与第二切割目标区域CA2相邻的部分处被容易地处理，并且第二切割目标区域CA2可以在其与第一切割目标区域CA1相邻的部分处被容易地处理。在这种情况下，由于第三透镜LN2a和第四透镜LN2b彼此接触，因而衬底PS可以具有对应于与第三透镜LN2a和第四透镜LN2b重叠的处理范围(参见图7A的PA)的部分。这将在下面进一步详细讨论。

壳体构件HU包括主体部BD、第一接纳部HD1和第二接纳部HD2。主体部BD可以设置在第一接纳部HD1和第二接纳部HD2之间。在某些实施方式中，如图4中所示，主体部BD、第一接纳部HD1和第二接纳部HD2可以整合为单个结构以构成壳体构件HU。

主体部BD包括顶表面BD-U、底表面BD-B以及将顶表面BD-U和底表面BD-B彼此连接的侧表面。主体部BD可以在其顶表面BD-U上限定有与第三透镜LN2a重叠的第一主体孔和与第四透镜LN2b重叠的第二主体孔。主体部BD可以在其底表面BD-B上限定有与第一主体孔重叠的第三主体孔和与第二主体孔重叠的第四主体孔。

在某些实施方式中，如图4中所示，限定在主体部BD的底表面BD-B上的第三主体孔和第四主体孔中的每个可以具有比限定在主体部BD的顶表面BD-U上的第一主体孔和第二主体孔中的每个的面积大的面积。

主体部BD可以在其中限定有通过第一主体孔和第三主体孔连接至外部空间的第一内部空间INA1，并且还可以在其中限定有通过第二主体孔和第四主体孔连接至外部空间的第二内部空间INA2。

例如，第一内部空间INA1和第二内部空间INA2可以在空间上彼此分离。对于另一示例，第一内部空间INA1和第二内部空间INA2可以包括彼此共同共享的空间。

第一接纳部HD1包括设置在主体部BD的顶表面BD-U上的第一透镜接纳部HD1a和第二透镜接纳部HD1b。在平面图中，第一透镜接纳部HD1a和第二透镜接纳部HD1b可以彼此间隔开并且可以具有其从主体部BD的顶表面BD-U突出的形状。例如，第一透镜接纳部HD1a和第二透镜接纳部HD1b中的每个可以设置成具有内部通孔的圆柱形形状。

第一透镜接纳部HD1a可以在其中限定有与第一内部空间INA1重叠的第一通孔TH1，并且第二透镜接纳部HD1b可以在其中限定有与第二内部空间INA2重叠的第二通孔TH2。

根据本发明构思，第一透镜接纳部HD1a可以在其由第一通孔TH1限定的内表面上接纳第一透镜LN1a，并且第二透镜接纳部HD1b可以在其由第二通孔TH2限定的内表面上接纳第二透镜LN1b。

第二接纳部HD2包括设置在主体部BD的底表面BD-B上的第三透镜接纳部HD2a和第四透镜接纳部HD2b。在平面图中，第三透镜接纳部HD2a和第四透镜接纳部HD2b可以在空间上彼此间隔开。第二接纳部HD2可以具有从主体部BD的底表面BD-B突出的形状，或者可以布置在主体部BD内。

第三透镜接纳部HD2a可以支承与第一透镜LN1a重叠的第三透镜LN2a，并且可以向外部暴露第三透镜LN2a。第一透镜LN1a和第三透镜LN2a可以在第三方向DR3上彼此间隔开。第三透镜LN2a可以面对衬底PS的第一切割目标区域CA1。

第四透镜接纳部HD2b可以支承与第二透镜LN1b重叠的第四透镜LN2b，并且可以向外部暴露第四透镜LN2b。第四透镜LN2b可以面对衬底PS的第二切割目标区域CA2。

如图4中所示，第一光束生成器LB1和第二光束生成器LB2可以是包括在图1中所示的激光模块LR中的部件。第一光束生成器LB1发射第一光LT1，并且第二光束生成器LB2发射第二光LT2。

另外，激光模块LR包括扫描器部SC。扫描器部SC可以包括第一扫描器SC1和第二扫描器SC2。可选地，第一扫描器SC1和第二扫描器SC2可以不包括在激光模块LR中，而是设置在激光模块LR外部。

第一扫描器SC1可以调节从第一光束生成器LB1发射的第一光LT1的路径，并且可以将第一光LT1传输到第一透镜LN1a。第二扫描器SC2可以调节从第二光束生成器LB2发射的第二光LT2的路径，并且可以将第二光LT2传输到第二透镜LN1b。例如，第一扫描器SC1和第二扫描器SC2可以控制第一光LT1和第二光LT2的路径，以对衬底PS的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2进行切割。

图5A示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二接纳部和第二透镜部的分解立体图。图5B示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二透镜部的平面图。图6示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的包括两个切割目标区域的衬底的立体图。

参照图5A，第三透镜LN2a包括与第三透镜接纳部HD2a重叠的第一区域P1a以及不与第三透镜接纳部HD2a重叠的第二区域P1b。在平面图中，第二区域P1b可以具有比第一区域P1a的面积大的面积。第三透镜LN2a的第一区域P1a可以是由第三透镜接纳部HD2a支承的部分，并且可以对应于第三透镜LN2a的外部部分。

第四透镜LN2b包括与第四透镜接纳部HD2b重叠的第三区域P2a以及不与第四透镜接纳部HD2b重叠的第四区域P2b。在平面图中，第四区域P2b可以具有比第三区域P2a的面积大的面积。第四透镜LN2b的第三区域P2a可以是由第四透镜接纳部HD2b支承的部分，并且可以对应于第四透镜LN2b的外部部分。

在某些实施方式中，第三透镜LN2a的第二区域P1b可以与第四透镜LN2b的第四区域P2b接触。如图5A中所示，第三透镜LN2a的第二区域P1b的一部分可以接触第四透镜LN2b的第四区域P2b的一部分。

如图5B中所示，第三透镜LN2a的外表面可以划分成第一弯曲侧部C1和第一直侧部S1。第四透镜LN2b的外表面可以划分成第二弯曲侧部C2和第二直侧部S2。

在某些实施方式中，可以对第三透镜LN2a的第一弯曲侧部C1以及第四透镜LN2b的第二弯曲侧部C2赋予弯曲形状。可以对第三透镜LN2a的第一直侧部S1和第四透镜LN2b的第二直侧部S2赋予线性形状。

例如，第三透镜LN2a的第一直侧部S1可以接触第四透镜LN2b的第二直侧部S2。为了便于描述，图5B示出了第三透镜LN2a和第四透镜LN2b彼此间隔开，但是实际产品可以具有第三透镜LN2a和第四透镜LN2b彼此接触的结构。

与本发明构思不同的情况可以具有面对衬底的第三透镜和第四透镜彼此不接触的结构。在这种情况下，第三透镜与第四透镜之间可能出现间隔空间。如上所述，穿过第三透镜和第四透镜的光可以沿着与第三方向DR3平行的方向传播。因此，当间隔空间与衬底的第一切割目标区域和第二切割目标区域的一部分重叠时，可能没有激光照射到该部分上。

相反，根据本发明构思，由于第三透镜LN2a和第四透镜LN2b彼此接触，因而可以跨衬底PS的相邻的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2照射激光。

例如，参照图6，衬底PS可以在其中限定有将从衬底PS移除的相邻的第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2。能够穿过第三透镜LN2a并照射到衬底PS上的第一光LT1的范围可以限定为图6中所示的第一处理范围LPA1。能够穿过第四透镜LN2b并照射到衬底PS上的第二光LT2的范围可以限定为图6中所示的第二处理范围LPA2。第一处理范围LPA1和第二处理范围LPA2可以构成处理范围PA。

根据本发明构思，在平面图中，第一处理范围LPA1可以具有比第一切割目标区域CA1的面积大的面积，并且第二处理范围LPA2可以具有比第二切割目标区域CA2的面积大的面积。例如，在平面图中，第一切割目标区域CA1可以与第一处理范围LPA1完全重叠，并且第二切割目标区域CA2可以与第二处理范围LPA2完全重叠。

由于如上所述第三透镜LN2a和第四透镜LN2b彼此接触，因而第一处理范围LPA1和第二处理范围LPA2可以不彼此间隔开。因此，穿过第三透镜LN2a的第一光LT1和穿过第四透镜LN2b的第二光LT2可以切割第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2彼此接触的区域。

图7A示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的剖视图。图7B示出了表示根据本发明构思的一些示例性实施方式的透镜模块的剖视图。图7A示出了沿着图6的线II-II′截取的剖视图，并且图7B也示出了沿着图6的线II-II′截取的剖视图。

参照图7A，第一扫描器SC1接收从图4中讨论的第一光束生成器LB1输出的第一光LT1，并且第二扫描器SC2接收从图4中讨论的第二光束生成器LB2输出的第二光LT2。例如，第一光LT1可以划分成第一子光L1a、第二子光L1b、第三子光L1c和第四子光L1d，所述第一子光L1a至所述第四子光L1d可以被传输到第一扫描器SC1。第二光LT2可以划分成第五子光L2a、第六子光L2b、第七子光L2c和第八子光L2d，所述第五子光L2a至所述第八子光L2d可以被传输到第二扫描器SC2。在这种情况下，图4中所示的第一光束生成器LB1和第二光束生成器LB2中的每个可以包括四个子光束生成器。

第一扫描器SC1包括分别向其传输第一子光L1a、第二子光L1b、第三子光L1c和第四子光L1d的第一子扫描器SCR1a、第二子扫描器SCR1b、第三子扫描器SCR1c和第四子扫描器SCR1d。第二扫描器SC2包括分别向其传输第五子光L2a、第六子光L2b、第七子光L2c和第八子光L2d的第五子扫描器SCR2a、第六子扫描器SCR2b、第七子扫描器SCR2c和第八子扫描器SCR2d。

如图7A和图7B中所示，图1的衬底切割装置SCD还包括第一孔口AT1和第二孔口AT2。

透镜单元(参见图3的LNU)调节光学路径，以使得从第一扫描器SC1和第二扫描器SC2入射的第一子光至第八子光L1a至L1d和L2a至L2d垂直地朝向第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2传播。

第一子扫描器SCR1a至第四子扫描器SCR1d可以控制第一子光L1a至第四子光L1d穿过第一孔口AT1的中心CX。可以基于包括在本发明构思的透镜单元LNU中的透镜的特性来改变第一孔口AT1的位置和尺寸。另外，可以基于包括在本发明构思的透镜单元LNU中的透镜的特性来改变第一子扫描器SCR1a至第四子扫描器SCR1d的位置和布置角度。

如上所述，第一子扫描器SCR1a至第四子扫描器SCR1d可以使第一子光L1a至第四子光L1d穿过第一孔口AT1的中心CX。穿过第一孔口AT1的中心CX的第一子光L1a至第四子光L1d可以穿过第一透镜LN1a和第三透镜LN2a，并且然后可以被照射到第一切割目标区域CA1上。

例如，第一子光L1a至第四子光L1d可以沿着衬底PS的厚度方向传播，并且可以被照射到第一切割目标区域CA1的相应点上。另外，第一子光L1a至第四子光L1d可以同时照射到第一切割目标区域CA1上，并且因此可以减少切割第一切割目标区域CA1所需的时间。

第五子扫描器SCR2a至第八子扫描器SCR2d可以控制第五子光L2a至第八子光L2d穿过第二孔口AT2的中心CX。可以基于包括在本发明构思的透镜单元LNU中的透镜的特性来改变第二孔口AT2的位置和尺寸。另外，可以基于包括在本发明构思的透镜单元LNU中的透镜的特性来改变第五子扫描器SCR2a至第八子扫描器SCR2d的位置和布置角度。

第五子扫描器SCR2a至第八子扫描器SCR2d可以使第五子光L2a至第八子光L2d穿过第二孔口AT2的中心CX。穿过第二孔口AT2的中心CX的第五子光L2a至第八子光L2d可以穿过第二透镜LN1b和第四透镜LN2b，并且然后可以被照射到第二切割目标区域CA2上。

例如，第五子光L2a至第八子光L2d可以沿着衬底PS的厚度方向传播，并且可以被照射到第二切割目标区域CA2的相应点上。另外，第五子光L2a至第八子光L2d可以同时照射到第二切割目标区域CA2上，并且因此可以减少切割第二切割目标区域CA2所需的时间。

在某些实施方式中，第一子光L1a至第四子光L1d和第五子光L2a至第八子光L2d可以同时照射到第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2上。可以同时切割第一切割目标区域CA1和第二切割目标区域CA2，并且因此，可以有效地减少切割衬底PS所需的时间。

参照图7B，下面将描述根据本发明构思的一些示例性实施方式的第一扫描器SC1a和第二扫描器SC2a。第一光LT1可以划分成第一子光L1a和第二子光L1b，所述第一子光L1a和所述第二子光L1b可以被传输到第一扫描器SC1a。第二光LT2可以划分成第三子光L2a和第四子光L2b，所述第三子光L2a和所述第四子光L2b可以被传输到第二扫描器SC2a。在这种情况下，图4中所示的第一光束生成器LB1和第二光束生成器LB2中的每个可以包括两个子光束生成器。

第一扫描器SC1a可以包括向其相应传输第一子光L1a和第二子光L1b的两个子扫描器，第二扫描器SC2a可以包括向其相应传输第三子光L2a和第四子光L2b的两个子扫描器。

在本说明书中，包括在第一光束生成器LB1中的子光束生成器的数量仅是示例性的，并且包括在第一扫描器SC1a中的第一子扫描器的数量也仅是示例性的。类似地，包括在第二光束生成器LB2中的子光束生成器的数量仅是示例性的，并且包括在第二扫描器SC2a中的第二子扫描器的数量也仅是示例性的。另外，包括在第一扫描器SC1a和第二扫描器SC2a中的每个中的子扫描器的位置和角度被不同地改变。

图8示出了根据本发明构思的一些示例性实施方式的第二透镜部的平面图。

参照图8，下面将描述根据本发明构思的一些示例性实施方式的第一透镜部和第二透镜部。所述第二透镜部比参照图3讨论的第二透镜部LN2多包括一个透镜。类似地，尽管未示出，但是所述第一透镜部比参照图3讨论的第一透镜部LN1多包括一个透镜。

例如，第二透镜部包括第三透镜LN2-1和第四透镜LN2-2，并且还包括第六透镜LN2-3。在这种情况下，第一透镜部包括与第三透镜LN2-1重叠的第一透镜以及与第四透镜LN2-2重叠的第二透镜，并且还包括与第六透镜LN2-3重叠的第五透镜。

尽管未示出，但是图3中所示的第一接纳部HD1还可以包括第五透镜接纳部，该第五透镜接纳部在其中限定有第三通孔，第五透镜设置在该第三通孔中。第二接纳部HD2还可以包括第六透镜接纳部，该第六透镜接纳部支承第六透镜并向外部暴露第六透镜。

当根据图8中所示的实施方式在衬底PS上设置两个或更多个切割目标区域时，可以理解的是，第一透镜部和第二透镜部中的每个包括其数量与两个或更多个的切割目标区域的数量对应的透镜。

下面将进一步详细讨论图8中所示的第二透镜部。

第三透镜LN2-1包括具有弯曲形状的第一侧表面C1，并且还包括各自具有线性形状的第一子侧表面S1a和第二子侧表面S1b。第一侧表面C1具有与第一子侧表面S1a相邻的的一端以及与第二子侧表面S1b相邻的另一端。

第四透镜LN2-2包括具有弯曲形状的第二侧表面C2，并且还包括各自具有线性形状的第三子侧表面S2a和第四子侧表面S2b。第二侧表面C2具有与第三子侧表面S2a相邻的一端以及与第四子侧表面S2b相邻的另一端。

第六透镜LN2-3包括具有弯曲形状的第三侧表面C3，并且还包括各自具有线性形状的第五子侧表面S3a和第六子侧表面S3b。第三侧表面C3具有与第五子侧表面S3a相邻的一端以及与第六子侧表面S3b相邻的另一端。第三侧表面C3与第六透镜接纳部重叠，且第五子侧表面S3a和第六子侧表面S3b不与第六透镜接纳部重叠。

在某些实施方式中，第一子侧表面S1a可以与第三子侧表面S2a接触，第二子侧表面S1b可以与第五子侧表面S3a接触，并且第四子侧表面S2b可以与第六子侧表面S3b接触。

因此，可以基于限定在衬底PS上的切割目标区域的形状来改变包括在第一透镜部和第二透镜部中的每个中的透镜的数量和形状。

根据本发明构思的一些示例性实施方式，与衬底的两个切割目标区域面对的两个透镜可以彼此接触。因此，可以跨衬底的彼此相邻的两个切割目标区域照射相应地穿过两个透镜的两个光。

此外，衬底的两个切割目标区域可以同时接收穿过两个透镜的两个光。因此，可以有效地减少衬底切割过程中所需的时间。

在说明书和附图中已经描述了一些示例性实施方式。尽管本文中使用了特定术语，但是它们仅用于描述本发明构思的目的，而不对权利要求书中公开的本发明构思的技术含义或范围进行限制。因此，本领域普通技术人员将理解，可以根据本发明构思做出多种修改和等同实施方式。总之，应由所附权利要求书的技术构思确定本发明构思要保护的真实技术范围。

Claims (20)

1.透镜模块，包括：

壳体构件；

第一透镜部，包括设置在所述壳体构件内的第一透镜和第二透镜；以及

第二透镜部，包括设置在所述壳体构件内的第三透镜和第四透镜，其中，所述第三透镜与所述第一透镜重叠，所述第四透镜与所述第二透镜重叠，

其中，所述壳体构件包括：

主体部，包括顶表面、底表面以及将所述顶表面和所述底表面彼此连接的侧表面，所述主体部限定第一内部空间和第二内部空间；

第一接纳部，在所述主体部的所述顶表面上，所述第一接纳部包括第一透镜接纳部和第二透镜接纳部，其中，所述第一透镜接纳部与所述第一内部空间重叠，并限定在其中设置所述第一透镜的第一通孔，所述第二透镜接纳部与所述第二内部空间重叠，并限定在其中设置所述第二透镜的第二通孔；以及

第二接纳部，在所述主体部的所述底表面上，所述第二接纳部包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中，所述第三透镜接纳部支承所述第三透镜，并向外部暴露所述第三透镜，所述第四透镜接纳部支承所述第四透镜，并向外部暴露所述第四透镜，

其中，所述第三透镜和所述第四透镜彼此接触。

2.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜包括与所述第三透镜接纳部重叠的第一区域以及不与所述第三透镜接纳部重叠的第二区域，以及

所述第四透镜包括与所述第四透镜接纳部重叠的第三区域以及不与所述第四透镜接纳部重叠的第四区域。

3.根据权利要求2所述的透镜模块，其中，所述第三透镜的所述第二区域与所述第四透镜的所述第四区域接触。

4.根据权利要求2所述的透镜模块，其中，在平面图中，所述第三透镜和所述第四透镜中的每个的面积比所述第一透镜和所述第二透镜中的每个的面积大。

5.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，所述第三透镜和所述第四透镜中的每个的外表面包括具有弯曲形状的弯曲侧部和具有线性形状的直侧部，

其中，所述第三透镜的所述直侧部与所述第四透镜的所述直侧部接触。

6.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

在所述顶表面上限定有第一主体孔和第二主体孔，以及

在所述底表面上限定有第三主体孔和第四主体孔，所述第三主体孔与所述第一主体孔重叠，并且所述第四主体孔与所述第二主体孔重叠。

7.根据权利要求6所述的透镜模块，其中，在平面图中，所述第三主体孔和所述第四主体孔中的每个的面积比所述第一主体孔和所述第二主体孔中的每个的面积大。

8.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

所述第一透镜配置成接收来自第一光束生成器的第一光，以及

所述第二透镜配置成接收来自第二光束生成器的第二光。

9.根据权利要求8所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜配置成将从所述第一透镜传输的所述第一光输出至衬底的面对所述第三透镜的第一切割目标区域，以及

所述第四透镜配置成将从所述第二透镜传输的所述第二光输出至所述衬底的面对所述第四透镜的第二切割目标区域。

10.根据权利要求9所述的透镜模块，其中，

所述第三透镜配置成在与所述衬底的厚度方向平行的一个方向上将所述第一光输出至所述第一切割目标区域，以及

所述第四透镜配置成在所述一个方向上将所述第二光输出至所述第二切割目标区域。

11.根据权利要求8所述的透镜模块，还包括：

第一扫描器，接收来自所述第一光束生成器的所述第一光，并调节向所述第一透镜传输的所述第一光的路径；以及

第二扫描器，接收来自所述第二光束生成器的所述第二光，并调节向所述第二透镜传输的所述第二光的路径。

12.根据权利要求1所述的透镜模块，其中，

所述第一透镜部还包括第五透镜，

所述第二透镜部还包括与所述第五透镜重叠的第六透镜，

所述第一接纳部还包括第五透镜接纳部，所述第五透镜接纳部限定在其中设置所述第五透镜的第三通孔，以及

所述第二接纳部还包括第六透镜接纳部，所述第六透镜接纳部支承所述第六透镜并向外部暴露所述第六透镜。

13.根据权利要求12所述的透镜模块，其中，所述第六透镜与所述第三透镜和所述第四透镜中的每个接触。

14.根据权利要求12所述的透镜模块，其中，所述第六透镜包括与所述第六透镜接纳部重叠的第一侧表面以及不与所述第六透镜接纳部重叠的第一子侧表面和第二子侧表面，其中，

所述第一侧表面具有弯曲形状，

与所述第一侧表面的一端相邻的所述第一子侧表面具有线性形状并与所述第三透镜接触，以及

与所述第一侧表面的另一端相邻的所述第二子侧表面具有线性形状并且与所述第四透镜接触。

15.衬底切割装置，包括：

台，支承包括彼此相邻的第一切割目标区域和第二切割目标区域的衬底；

第一光束生成器，配置成发射第一光；

第二光束生成器，配置成发射第二光；以及

透镜模块，配置成接收所述第一光并将所述第一光输出至所述第一切割目标区域，并且配置成接收所述第二光并将所述第二光输出至所述第二切割目标区域，

其中，所述透镜模块包括：

壳体构件；以及

透镜单元，在所述壳体构件内，所述透镜单元包括第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，其中，所述第一透镜接收所述第一光，所述第二透镜与所述第一透镜间隔开并接收所述第二光，所述第三透镜与所述第一透镜重叠并且将穿过所述第一透镜的所述第一光输出至所述第一切割目标区域，所述第四透镜与所述第二透镜重叠并且将穿过所述第二

透镜的所述第二光输出至所述第二切割目标区域，

其中，所述第三透镜和所述第四透镜彼此接触。

16.根据权利要求15所述的衬底切割装置，其中，穿过所述第三透镜的所述第一光和穿过所述第四透镜的所述第二光同时地分别照射到所述第一切割目标区域和所述第二切割目标区域上。

17.根据权利要求15所述的衬底切割装置，其中，

所述第三透镜配置成在一个方向上将所述第一光输出至所述第一切割目标区域，所述一个方向与所述衬底的厚度方向平行，以及

所述第四透镜配置成在所述一个方向上将所述第二光输出至所述第二切割目标区域。

18.根据权利要求15所述的衬底切割装置，其中，所述壳体构件包括：

主体部，包括顶表面、底表面以及将所述顶表面和所述底表面彼此连接的侧表面，

第一接纳部，在所述主体部的所述顶表面上，所述第一接纳部包括第一透镜接纳部和第二透镜接纳部，所述第一透镜接纳部限定在其中设置所述第一透镜的第一通孔，所述第二透镜接纳部限定在其中设置所述第二透镜的第二通孔，所述第一透镜接纳部和所述第二透镜接纳部在平面图中彼此隔开；以及

第二接纳部，在所述主体部的所述底表面上，所述第二接纳部包括第三透镜接纳部和第四透镜接纳部，其中，所述第三透镜接纳部支承所述第三透镜并向外部暴露所述第三透镜，所述第四透镜接纳部支承所述第四透镜并向外部暴露所述第四透镜。

19.根据权利要求18所述的衬底切割装置，其中，

所述第三透镜包括与所述第三透镜接纳部重叠的第一区域以及不与所述第三透镜接纳部重叠的第二区域，以及

所述第四透镜包括与所述第四透镜接纳部重叠的第三区域以及不与所述第四透镜接纳部重叠的第四区域，

其中，所述第二区域和所述第四区域彼此接触。

20.根据权利要求19所述的衬底切割装置，其中，所述透镜单元是远心透镜。

Images