CN111799282A - 具有屏蔽互连器的图像传感器 - Google Patents

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CN111799282A CN201911087050.7A CN201911087050A CN111799282A CN 111799282 A CN111799282 A CN 111799282A CN 201911087050 A CN201911087050 A CN 201911087050A CN 111799282 A CN111799282 A CN 111799282A
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Abstract

具有屏蔽互连器的图像传感器。图像传感器包括一个或更多个第一单位像素。一个或更多个第一单位像素中的每个可以包括：第一光电转换区，该第一光电转换区包括以矩阵形式布置的第一光电转换元件以及在第一光电转换元件的中央的第一浮置扩散区；第一晶体管区，该第一晶体管区包括其中设置有第一复位栅、第一选择栅和第一驱动栅的第一有源区；第一信号互连器，该第一信号互连器将第一浮置扩散区电连接到第一驱动栅；以及第一屏蔽互连器，该第一屏蔽互连器与第一信号互连器分离开，并与第一信号互连器平行地延伸。

Description

具有屏蔽互连器的图像传感器
技术领域
本文件涉及具有用于信号路由和通信的互连器以及用于屏蔽的互连器的图像传感器。
背景技术
近来，随着信息通信技术的发展和图像信息的数字化，越来越多的诸如数码相机、便携式摄像机、移动电话、PCS(个人通信系统)、游戏机、监控相机和医疗微相机等的电子装置现在都配备了图像传感器。高度集成的图像传感器包括大量非常小尺寸的像素(光电转换元件)，每个像素产生的光电荷数量不足，从而导致图像传感器的分辨率降低。
发明内容
本专利文档(除了其它内容之外)提供了包括用于信号路由和通信的互连器(“信号互连器”)和用于屏蔽的互连器(屏蔽互连器)的图像传感器的设计。
所公开的技术的一些实施方式提供了一种能够通过联接信号互连器来升高电压的方法。
此外，所公开的技术的一些实施方式提供了一种用于提高浮置扩散部中的电子的转换增益的方法。
在一实施方式中，图像传感器包括一个或更多个第一单位像素，一个或更多个第一单位像素中的每个可以包括：第一光电转换区，该第一光电转换区包括以矩阵形式布置的第一光电转换元件以及在第一光电转换元件的中央的第一浮置扩散区；第一晶体管区，该第一晶体管区包括其中设置有第一复位栅、第一选择栅和第一驱动栅的第一有源区；第一信号互连器，该第一信号互连器将第一浮置扩散区电连接到第一驱动栅；以及第一屏蔽互连器，该第一屏蔽互连器与第一信号互连器分离开，并与第一信号互连器平行地延伸。
第一信号互连器可以包括：第一下信号互连器，该第一下信号互连器沿由第一光电转换元件形成的矩阵的列方向在第一光电转换元件之间延伸，并且电连接至第一浮置扩散区；以及第一上信号互连器，该第一上信号互连器沿由第一光电转换元件形成的矩阵的行方向在第一光电转换区和第一晶体管区之间延伸，并且电连接到第一有源区的一部分和第一驱动栅。
第一屏蔽互连器可以包括：平行于第一下信号互连器的第一下屏蔽互连器；以及平行于第一上信号互连器的第一上屏蔽互连器。
第一下信号互连器和第一下屏蔽互连器中的每个可以具有直线形状，并且第一上信号互连器和第一上屏蔽互连器中的每个可以具有沿行方向和列方向延伸的弯曲形状。
第一下信号互连器通过第一浮置扩散区接触连接到第一浮置扩散区。第一下信号互连器可以包括在第一上信号互连器和第一浮置扩散区接触之间延伸的上部、以及在第一浮置扩散区接触与第一下信号互连器的下端之间延伸的下部。第一下信号互连器的下端可以是浮置的。
第一屏蔽互连器可以包括：与第一下信号互连器的上部平行地布置的上部；以及与第一下信号互连器的下部平行地布置的下部。
一个或更多个第一单位像素中的每个可以还包括：第一附加屏蔽互连器，该第一附加屏蔽互连器沿着信号互连器的与第一屏蔽互连器相对的侧部设置，其中第一附加屏蔽互连器和第一屏蔽互连器关于第一信号互连器对称。
第一信号互连器可以包括：第一下信号互连器，该第一下信号互连器沿由第一光电转换元件形成的矩阵的列方向在第一光电转换元件之间延伸，并且电连接至第一浮置扩散区；以及第一上信号互连器，该第一上信号互连器沿由第一光电转换元件形成的矩阵的行方向在第一光电转换区和第一晶体管区之间延伸，并且电连接到第一有源区的一部分和第一驱动栅。第一屏蔽互连器可以包括：第一下屏蔽互连器，该第一下屏蔽互连器平行于第一下信号互连器；以及第一上屏蔽互连器，该第一上屏蔽互连器平行于第一上信号互连器。第一附加屏蔽互连器可以包括：第一附加下屏蔽互连器，该第一附加下屏蔽互连器与第一下屏蔽互连器对称；以及第一附加上屏蔽互连器，该第一附加上屏蔽互连器与第一上屏蔽互连器对称。
一个或更多个第一单位像素中的每个可以还包括：第一互连屏蔽互连器，该第一互连屏蔽互连器将第一屏蔽互连器连接至第一附加屏蔽互连器。
图像传感器包括一个或更多个第二单位像素，一个或更多个第二单位像素中的每个可以包括：第二光电转换区，该第二光电转换区包括以矩阵形式布置的第二光电转换元件以及在第二光电转换元件的中央的第二浮置扩散区；第二晶体管区，该第二晶体管区包括其中设置有第二复位栅、第二选择栅和第二驱动栅的第二有源区；第二信号互连器，该第二信号互连器将第二浮置扩散区电连接到第二驱动栅；以及第二屏蔽互连器，该第二屏蔽互连器被设置为与第二信号互连器平行并且与第二光电转换元件中的至少一个交叠，其中，第一单位像素和第二单位像素彼此对称。
图像传感器可以还包括：附加信号互连器，该附加信号互连器将第一信号互连器电连接到第二信号互连器。
图像传感器可以还包括平行于附加信号互连器的附加屏蔽互连器。
附加信号互连器和附加屏蔽互连器可以沿由第二光电转换元件形成的矩阵的行方向延伸。
第一屏蔽互连器可以位于第一信号互连器的第一侧。第二屏蔽互连器可以位于第二信号互连器的第二侧，并且第一侧和第二侧可以彼此相对。
第一屏蔽互连器可以设置为与第一光电转换元件中的至少两个交叠。
在实施方式中，图像传感器可以包括：像素块，该像素块具有第一单位像素和第二单位像素，第一单位像素可以包括：第一光电转换区，该第一光电转换区中设置有第一浮置扩散区；第一晶体管区，该第一晶体管区中设置有第一驱动栅；第一信号互连器，该第一信号互连器将第一浮置扩散区电连接到第一驱动栅；以及第一屏蔽互连器，该第一屏蔽互连器沿第一信号互连器的第一侧方向设置，该第一屏蔽互连器平行于第一信号互连器。第二单位像素可以包括：第二光电转换区，该第二光电转换区中设置有第二浮置扩散区；第二晶体管区，该第二晶体管区中设置有第二驱动栅；第二信号互连器，该第二信号互连器将第二浮置扩散区电连接到第二驱动栅；以及第二屏蔽互连器，该第二屏蔽互连器沿第二信号互连器的第二侧方向设置，该第二屏蔽互连器与第二信号互连器平行。第一侧方向和第二侧方向彼此相对。
第一单位像素的布局和第二单位像素的布局可以彼此对称。
第一光电转换区可以包括以矩阵形式设置的四个第一光电转换元件。第二光电转换区可以包括以矩阵形式设置的四个第二光电转换元件。第一屏蔽互连器可以与四个第一光电转换元件中的至少两个交叠，并且第二屏蔽互连器可以与四个第二光电转换元件中的至少两个交叠。
第一信号互连器可以包括：第一上信号互连器，该第一上信号互连器将第一驱动栅电连接到第一晶体管区中的第一有源区的一部分；以及第一下信号互连器，该第一下信号互连器将第一上信号互连器的中间部分电连接至第一浮置扩散区。第二信号互连器可以包括：第二上信号互连器，该第二上信号互连器将第二驱动栅电连接到第二晶体管区中的第二有源区的一部分；以及第二下信号互连器，该第二下信号互连器将第二上信号互连器的中间部分电连接到第二浮置扩散区。
第一下信号互连器可以还包括从第一浮置扩散区延伸至第一下信号互连器的下端的第一延伸部分。第二下信号互连器可以还包括从第二浮置扩散区延伸到第二下信号互连器的下端的第二延伸部分。第一屏蔽互连器可以延伸以平行于第一延伸部分。第二屏蔽互连器可以延伸以平行于第二延伸部分，并且第一延伸部分和第二延伸部分可以处于高阻抗状态。
其他实施方式的细节包括在具体实施方式和附图中。
根据所公开的技术的实施方式，即使从浮置扩散部传送到驱动栅的电子的量较小，但由于屏蔽互连器的升压效应，可以提高电子被转换成电压的转换增益。
通过根据场景需要将电压或信号施加到屏蔽互连器，可以优化图像传感器的像素的操作并使图像传感器的像素的操作高效，由此可以增加分辨率和锐度。
附图说明
图1是示意性例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的示例的框图。
图2A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列的示例的布局图，图2B是示意性地例示像素阵列中的一个像素块的布局图，并且图2C是概念性地例示像素块中的单位像素的信号互连器和屏蔽互连器的布局图。
图3A至图3F是例示基于所公开的技术的各种实施方式的信号互连器和屏蔽互连器的示例的布局图。如第一屏蔽互连器和第二屏蔽互连器彼此对称的图2A至图2C所示，图3A至图3F所示的屏蔽互连器可以应用于第一屏蔽互连器和第二屏蔽互连器二者。
图4A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列的示例的布局图，图4B是示意性地例示像素阵列中的一个像素块的布局图，并且图4C是概念性地例示像素块的信号互连器和屏蔽互连器的布局图。
图5A至图5D是例示基于所公开的技术的各种实施方式的信号互连器和屏蔽互连器的示例的布局图。
图6A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列的示例的布局图，图6B是示意性地例示像素阵列中的一个像素块的布局图，并且图6C是概念性地例示像素块的信号互连器和屏蔽互连器的布局图。
图7A至图7C是例示基于所公开的技术的各种实施方式的信号互连器和屏蔽互连器的示例的布局图。
图8是示意性地例示包括基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的相机系统的示例的图。
具体实施方式
在结合附图阅读以下示例性实施方式之后，本公开的优点和特征以及用于实现它们的方法将变得更加明显。然而，本公开可以以不同的形式实施，并且不应被解释为限于本文阐述的实施方式。而是，提供这些实施方式以帮助本领域技术人员理解所公开的技术。
本说明书中使用的术语用于描述各种实施方式，并且不限制本公开。如本文所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也旨在包括复数形式。还将理解的是，当术语“包括”和/或“包含”当在本说明书中使用时规定了至少一个所提及的特征、步骤、操作和/或元件的存在，但不排除一个或更多个其他特征、步骤、操作和/或其元件的存在或添加。
作为空间相对术语，诸如“之下”、“下方”、“低于”、“之上”和“高于”之类的术语可用于描述如附图中所示的一个元件或组件与另一元件或其他组件之间的相互关系。空间相对术语应被理解为除了附图中所示的方向之外，还包括元件在使用或操作期间的不同方向的术语。例如，当附图中示出的元件被翻转时，被称为在另一元件“之下”或“下方”的元件可以位于另一元件之上。
此外，将参照作为本公开的理想示例性图的截面图和/或平面图来描述本说明书的各种实施方式。在附图中，为了例示清楚，可能夸大了层和区域的尺寸。如此，作为例示制造技术的结果的例示的形状的变型和/或公差是可以预期的。因此，本公开的实施方式不应被解释为限于本文示出的具体形状，而应包括例如由制造过程引起的形状的偏差。例如，成角度的区域可以具有圆形或一定的曲率。因此，附图中所示的区域本质上是示意性的，并且它们的形状并非旨在示出装置的区域的实际形状，也并非旨在限制本发明的范围。
在整个说明书中，相似的附图标记指代相似的元件。因此，尽管在相应附图中没有提及或描述相同或相似的附图标记，但是可以参照其他附图来描述附图标记。此外，尽管元件没有由附图标记表示，但是可以参照其他附图来描述元件。
成像像素的成像传感器阵列可以用于将由不同成像像素接收的入射光转换成电荷或信号以表示图像。成像像素可以是形成在基板上的半导体光电传感器。每个成像像素可以由诸如光电二极管、光电晶体管、光电门或能够将光转换成像素信号(例如，电荷、电压或电流)的其他光敏电路之类的光敏元件来实现。诸如数码相机之类的成像装置包括相机镜头系统(通常使用一组镜头来实现)，该相机镜头系统将来自目标对象或场景的入射光捕获到成像传感器阵列上。形成于成像传感器阵列中的成像像素上方的光学结构接收来自相机镜头系统的入射光，并将接收到的入射光提供给各个成像像素。在许多成像装置中，形成于成像像素上方的光学结构可以包括微透镜阵列，该微透镜阵列在空间上对应于成像传感器阵列中的成像像素；微透镜构造提高了光收集效率并且还可以包括光学滤色器，光学滤色器被放置为在空间上对应于成像像素以用于捕获图像的颜色信息。本专利文档中的示例配置示出了彩色成像像素的像素布置，其中红色像素标记为“R”，绿色像素标记为“G”，并且蓝色像素标记为“B”。
图1是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器800的示例的框图。参照图1，图像传感器800可以包括像素阵列810、相关双采样器(CDS)820、模数转换器(ADC)830、缓冲器840、行驱动器850、时序发生器860、控制寄存器870和斜坡信号发生器880。
像素阵列810可以包括以矩阵结构布置的多个像素块815。多个像素块815中的每个可以将光学图像信息(例如，入射光光子)转换为电图像信号，并且通过列线将电图像信号传送到CDS 820。多个像素块815中的每个可以接接到行线中的一条和列线中的一条。
CMOS图像传感器可以使用相关双采样(CDS)通过对像素信号采样两次使得取这两个采样之间差，来去除像素的偏移值。在所公开的技术的实施方式中，相关双采样(CDS)可以通过比较在光入射到像素上之前和之后获得的像素信号(像素输出电压)来去除像素的偏移值，使得能够实际测量到仅基于入射光的像素信号。CDS 820可以临时存储和采样从像素阵列810的像素块815接收到的电图像信号。例如，CDS 820可以根据从时序发生器860提供的时钟信号来采样参考电压电平和所接收到的电图像信号的电压电平，并且可以将与它们之间的差相对应的模拟信号传送给ADC 830。
ADC 830可以将接收到的模拟信号转换成数字信号，并将数字信号传送给缓冲器840。
缓冲器840可以保持或锁存所接收到的数字信号，并且将锁存的数字信号相继输出给外部图像信号处理器。缓冲器840可以包括用于保持或锁存数字信号的存储器以及用于放大数字信号的感测放大器。
行驱动器850可以根据来自时序发生器860的信号来驱动像素阵列810的多个像素块815。例如，行驱动器850可以生成用于选择多条行线中的一条的选择信号和/或用于驱动多条行线中的一条的驱动信号。
时序发生器860可以生成用于控制CDS 820、ADC 830、行驱动器850和斜坡信号发生器880的时序信号。
控制寄存器870可以生成用于控制缓冲器840、时序发生器860和斜坡信号发生器880的控制信号。
斜坡信号发生器880可以在时序发生器860的控制下生成用于将模拟信号(例如，从缓冲器840输出的电图像信号)转换为数字信号的斜坡信号。
图2A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列PA的示例的布局图，图2B是示意性地例示像素阵列PA中的一个像素块PB的布局图，并且图2C是概念性地例示像素块PB中的单位像素PXa和PXb的信号互连器200a和200b以及屏蔽互连器300a和300b的布局图。
参照图2A至图2C，图像传感器的像素阵列PA可以包括以矩阵形式布置的多个像素块PB。多个像素块PB可以沿行方向D1并排排列，并且可以沿列方向D2以Z字形风格布置。每个像素块PB可以包括第一单位像素PXa和第二单位像素PXb。第一单位像素PXa和第二单位像素PXb可以彼此对称。例如，第一单位像素PXa和第二单位像素PXb沿行方向D1布置并且关于沿列方向D2的轴线对称。
第一单位像素PXa可以包括第一光电转换区110a、第一晶体管区120a、第一信号互连器200a和第一屏蔽互连器300a，并且第二单位像素PXb可以包括第二光电转换区110b、第二晶体管区120b、第二信号互连器200b和第二屏蔽互连器300b。
第一光电转换区110a可以包括：以具有两行两列的矩阵形式布置的四个第一光电转换元件PDa1至PDa4、设置在四个第一光电转换元件PDa1至PDa4的中央的第一浮置扩散部(浮置扩散区)FDa、以及设置为分别与四个第一光电转换元件PDa1至PDa4和第一浮置扩散部FDa部分交叠的四个第一传输栅TGal1至TGa4。第二光电转换区110b可以包括：以具有两行两列的矩阵形式布置的四个第二光电转换元件PDb1至PDb4、设置在四个第二光电转换元件PDb1至PDb4的中央的第二浮置扩散部(浮置扩散区)FDb、以及设置为分别与四个第二光电转换元件PDb1至PDb4和第二浮置扩散部FDb部分交叠的四个第二传输栅TGb1至TGb4。
第一晶体管区120a可以包括沿行方向D1设置在第一有源区ACTa上的第一复位栅RGa、第一选择栅SGa和第一驱动栅DGa。第二晶体管区120b可以包括沿行方向D1设置在第二有源区ACTb上的第二驱动栅DGb、第二选择栅SGb和第二复位栅RGb。第一晶体管区120a中的组件和第二晶体管区120b中的组件可以关于每个对应组件对称。
第一信号互连器200a和第二信号互连器200b(用于信号路由和通信的互连器)中的每一个可以具有Y形或T形。第一信号互连器200a和第二信号互连器200b可以对称地布置。第一信号互连器200a可以将第一浮置扩散部FDa、第一有源区ACTa的一部分、和第一驱动栅DGa彼此电连接。详细地，第一信号互连器200a和第一浮置扩散部FDa可以通过第一浮置扩散(FD)接触FCa彼此电连接。第一信号互连器200a和第一有源区ACTa的一部分可以通过第一复位接触RCa彼此电连接。第一信号互连器200a和第一驱动栅DGa可以通过第一驱动接触DCa彼此电连接。第二信号互连器200b可以将第二浮置扩散部FDb、第二有源区ACTb的一部分和第二驱动栅DGb彼此电连接。详细地，第二信号互连器200b和第二浮置扩散部FDb可以通过第二FD接触FCb彼此电连接。第二信号互连器200b和第二有源区ACTb的一部分可以通过第二复位接触RCb彼此电连接。第二信号互连器200b和第二驱动栅DGb可以通过第二驱动接触DCb彼此电连接。
第一信号互连器200a可以将第一浮置扩散部FDa、第一有源区ACTa的一部分和第一驱动栅DGa电连接。详细地，第一信号互连器200a可以将第一FD接触FCa、第一复位接触RCa和第一驱动接触DCa彼此电连接。第一信号互连器200a可以包括第一下信号互连器210a和第一上信号互连器250a。
第一下信号互连器210a可以具有沿列方向D2在第一光电转换元件PDa1至PDa4之间以及在第一传输栅TGal至TGa4之间延伸的直线形状。第一下信号互连器210a可以将第一上信号互连器250a电连接到第一FD接触FCa。第一FD接触FCa可以与第一下信号互连器210a的中间部分交叠。详细地，第一下信号互连器210a可以从第一上信号互连器250a向下(沿列方向D2)延伸越过第一FD接触FCa。在一些实现中，第一下信号互连器210a的端部(图2C中的下端)以高阻抗状态浮置。第一下信号互连器210a可以具有布置在第一上信号互连器250a和第一FD接触FCa之间的上部，以及布置在第一FD接触FCa和第一下信号互连器210a的下端之间的下部。
第一上信号互连器250a可以在行方向D1上沿着第一光电转换区110a和第一晶体管区120a之间的边界布置，并且可以具有直线形状或具有边缘连接至第一复位接触RCa和第一驱动接触DCa的U形状(例如，肘形状)。在另一实施方式中，第一上信号互连器250a可以具有V形状或Y形状。
第二信号互连器200b可以将第二浮置扩散部FDb、第二有源区ACTb的一部分和第二驱动栅DGb彼此电连接。详细地，第二信号互连器200b可以将第二FD接触FCb、第二复位接触RCb和第二驱动接触DCb彼此电连接。第二信号互连器200b可以包括第二下信号互连器210b和第二上信号互连器250b。
第二下信号互连器210b可以具有沿列方向D2在第二光电转换元件PDb1至PDb4之间以及在第二传输栅TGb1至TGb4之间延伸的直线形状。第二下信号互连器210b可以将第二上信号互连器250b电连接到第二FD接触FCb。第二FD接触FCb可以与第二下信号互连器210b的中间部分交叠。详细地，第二下信号互连器210b可以从第二上信号互连器250b向下(沿列方向D2)延伸越过第二FD接触FCb。在一些实现中，第二下信号互连器210b的端部(图2C中的下端)以高阻抗状态浮置。第二下信号互连器210b可以具有布置在第二上信号互连器250b和第二FD接触FCb之间的上部，以及布置在第二FD接触FCb和第二下信号互连器210b的下端之间的下部。
第二上信号互连器250b可以在行方向D1上沿着第二光电转换区110b和第二晶体管区120b之间的边界布置，并且可以具有直线形状或具有边缘连接到第二复位接触RCb和第二驱动接触DCb的U形状。在另一实施方式中，第二上信号互连器250b也可以具有V形状或Y形状。
第一上信号互连器250a和第二上信号互连器250b(用于信号路由和通信的互连器)的中间部分或中央部分可以分别电连接至第一下信号互连器210a和第二下信号互连器210b的上端。第一下信号互连器210a和第二下信号互连器210b以及第一上信号互连器250a和第二上信号互连器250b可以按照相同的制造工序形成，使得它们由相同的材料形成并且在几何上是连续的。
第一屏蔽互连器300a可以具有沿列方向D2延伸以平行于第一下信号互连器210a的直线形状。第一屏蔽互连器300a可以与第一浮置扩散部FDa的一部分、第一光电转换元件PDa1至PDa4中的两个以及第一传输栅TGal1至TGa4中的两个部分地交叠。第二屏蔽互连器300b可以具有沿列方向D2延伸以平行于第二下信号互连器210b的直线形状。第二屏蔽互连器300b可以与第二浮置扩散部FDb的一部分、第二光电转换元件PDb1至PDb4中的两个以及第二传输栅TGb1至TGb4中的两个部分地交叠。
由于在第一屏蔽互连器300a和第一下信号互连器210a之间形成的电容，第一下信号互连器210a可以通过向第一屏蔽互连器300a提供电压来联接到其他组件。例如，当电压施加到第一屏蔽互连器300a时，第一下信号互连器210a处的电压电平可以被改变。
转换增益可以指示将由成像像素生成的电子转换为电压的能力。在所公开的技术的一些实施方式中，可以通过提供给第一屏蔽互连器300a的电压来提高转换增益。例如，当在第一浮置扩散部FDa中收集的电子被转换成电压时，提供给第一屏蔽互连器300a的电压可以增加从一个电子转换成的电压。换句话说，第一屏蔽互连器300a可以用于提高第一单位像素PXa的电子-电压转换增益。因此，即使当在第一浮置扩散部FDa中收集的电子的数量较少时，提供给第一驱动栅DGa的电压也可以增加，并且第一单位像素PXa和图像传感器的图像形成能力可以提高。
图3A至图3F是例示基于所公开的技术的各种实施方式的信号互连器200和屏蔽互连器300的示例的布局图。如第一屏蔽互连器300a和第二屏蔽互连器300b彼此对称的图2A至图2C所示，图3A至图3F所示的屏蔽互连器300可以划分为彼此对称的第一屏蔽互连器300b和第二屏蔽互连器300b。
参照图3A，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括主屏蔽互连器310和附加屏蔽互连器320。主屏蔽互连器310和附加屏蔽互连器320可以设置在下信号互连器210的两侧，使得主屏蔽互连器310和附加屏蔽互连器320关于下信号互连器210对称。主屏蔽互连器310和附加屏蔽互连器320可以通过诸如接触插塞之类的互连器彼此电连接。因为下信号互连器210面对主屏蔽互连器310和附加屏蔽互连器320的面积增加，所以下信号互连器210的耦合效果可以增加，因此可以进一步提高转换增益。
参照图3B，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括与下信号互连器210平行地延伸的下屏蔽互连器310和与上信号互连器250平行地延伸的上屏蔽互连器350。上屏蔽互连器350可以以直线形状和/或弯曲形状设置以面对上信号互连器250的外表面。例如，上屏蔽互连器350可以与上信号互连器250分开以围绕上信号互连器250的下表面的一部分以及外侧表面的一部分。上屏蔽互连器350和下屏蔽互连器310可以彼此连接。
参照图3C，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括：设置在下信号互连器210的两侧的主下屏蔽互连器310和附加下屏蔽互连器320、以及面对上信号互连器250的下外表面的主上屏蔽互连器350和附加上屏蔽互连器360。主上屏蔽互连器350和附加上屏蔽互连器360可以彼此对称。
参照图3D，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括主下屏蔽互连器310和附加下屏蔽互连器320、主上屏蔽互连器350和附加上屏蔽互连器360、以及在同一平面水平处将主下屏蔽互连器310电连接到附加下屏蔽互连器320的下互连屏蔽互连器330。下互连屏蔽互连器330可以连接到下屏蔽互连器310和320的下端，同时与下信号互连器210的下端分离开。
参照图3E，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括主下屏蔽互连器310和附加下屏蔽互连器320、主上外屏蔽互连器350和附加上外屏蔽互连器360、下互连屏蔽互连器330和在上信号互连器250上方的上内屏蔽互连器340。上内屏蔽互连器340可以设置在上信号互连器250的虚设内部空间(即，碗形凹口)中。主下屏蔽互连器310、附加下屏蔽互连器320、主上外屏蔽互连器350、附加上外屏蔽互连器360和下互连屏蔽互连器330可以通过诸如接触插塞之类的互连器与上内屏蔽互连器340电连接。
参照图3F，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括主下屏蔽互连器310和附加下屏蔽互连器320、主上外屏蔽互连器350和附加上外屏蔽互连器360、下互连屏蔽互连器330、位于上信号互连器250上方的上内屏蔽互连器340、将主上外屏蔽互连器350连接到上内屏蔽互连器340的主上互连屏蔽互连器370、以及将附加上外屏蔽互连器360连接到上内屏蔽互连器340的附加上互连屏蔽互连器380。因此，屏蔽互连器300可以设置为在同一平面水平处二维地围绕信号互连器200。
图3A至图3F中所示的屏蔽互连器300可以增加每个屏蔽互连器300面对信号互连器200的面积。即，基于所公开的技术的各种实施方式，可以增加信号互连器200和每个屏蔽互连器300之间的电容，从而提高图像传感器的每个像素的转换增益。
图4A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列PA的示例的布局图，图4B是示意性地例示像素阵列PA中的一个像素块PB的布局图，并且图4C是概念性地例示像素块PB的信号互连器200和屏蔽互连器300的布局图。
参照图4A至图4C，像素阵列PA可以包括以矩阵形式布置的多个像素块PB。多个像素块PB可以沿行方向D1并排排列，并且可以沿列方向D2以Z字形风格布置。
每个像素块PB可以具有第一单位像素PXa和第二单位像素PXb。第一单位像素PXa和第二单位像素PXb可以设置为在行方向D1上彼此对称。例如，第一单位像素PXa和第二单位像素PXb可以具有它们在行方向D1上彼此镜像的布局。
第一单位像素PXa可以包括第一光电转换区110a、第一晶体管区120a、第一信号互连器200a和第一屏蔽互连器300a，并且第二单位像素PXb可以包括第二光电转换区110b、第二晶体管区120b、第二信号互连器200b和第二屏蔽互连器300b。可以通过参照图2A至图2C来理解第一光电转换区110a和第二光电转换区110b、第一晶体管区120a和第二晶体管区120b、第一信号互连器200a和第二信号互连器200b、以及第一屏蔽互连器300a和第二屏蔽互连器300b。
第一信号互连器200a可以包括第一下信号互连器210a和第一上信号互连器250a，并且第二信号互连器200b可以包括第二下信号互连器210b和第二上信号互连器250b。第一信号互连器200a和第二信号互连器200b可以具有与图2A至图2C所示的结构相似的结构。
像素块PB可以还包括将第一信号互连器200a连接到第二信号互连器200b的互连信号互连器(附加信号互连器)290。因此，通过互连信号互连器290，第一单位像素PXa的组件可以分别电连接第二单位像素PXb的相应组件。例如，第一单位像素PXa的第一浮置扩散部FDa和第二单位像素PXb的第二浮置扩散部FDb可以彼此电连接。由于第一驱动栅DGa通过第一信号互连器200a和第二信号互连器200b以及互连信号互连器290联接到第二驱动栅DGb，所以第一驱动栅DGa和第二驱动栅DGb可以同时导通和截止。由于第一有源区ACTa的一部分通过第一信号互连器200a和第二信号互连器200b以及互连信号互连器290联接到第二有源区ACTb的一部分，所以第一浮置扩散部FDa和第二浮置扩散部FDb可以同时被复位。
第一屏蔽互连器300a和第二屏蔽互连器300b中的每个可以具有沿列方向D2延伸的直线形状，以平行于第一下信号互连器210a和第二下信号互连器210b中的每个。例如，第一屏蔽互连器300a和第二屏蔽互连器300b中的每个可以被设置为与第一下信号互连器210a和第二下信号互连器210b中的每个的外表面相邻。换句话说，第一屏蔽互连器300a沿着第一下信号互连器210a的背离第二下信号互连器210b的侧部设置，并且第二屏蔽互连器300b沿着第二下信号互连器210b的背离第一下信号互连器210a的侧部设置。
图5A至图5D是例示基于所公开的技术的各种实施方式的信号互连器200a和200b以及屏蔽互连器300a和300b的示例的布局图。
参照图5A，基于所公开的技术的实施方式的信号互连器200a和200b可以包括下信号互连器210a和210b以及上信号互连器250a和250b，并且屏蔽互连器300a和300b可以包括分别平行于下信号互连器210a和210b的一个侧表面的下屏蔽互连器310a和310b、以及以直线形状或弯曲形状设置以面对上信号互连器250a和250b的部分外表面的上屏蔽互连器350a和350b。屏蔽互连器300a和300b可以设置为围绕信号互连器200a和200b的外表面。即，下屏蔽互连器310a和310b可以设置为与下信号互连器210a和210b的外侧表面平行，并且上屏蔽互连器350a和350b可以设置为与上信号互连器250a和250b的外侧表面平行。
参照图5B，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300a和300b可以包括下屏蔽互连器310a和310b、上屏蔽互连器350a和350b、以及互连屏蔽互连器(附加屏蔽互连器)390。互连屏蔽互连器390可以具有沿行方向D1延伸以平行于互连信号互连器290的直线形状。互连屏蔽互连器390可以电连接到下屏蔽互连器310a和310b。
参照图5C，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300a和300b可以包括下屏蔽互连器310a和310b、上屏蔽互连器350a和350b、互连屏蔽互连器390、将第一下屏蔽互连器310a连接到互连屏蔽互连器390的第一下互连屏蔽互连器330a、以及将第二下屏蔽互连器310b连接到互连屏蔽互连器390的第二下互连屏蔽互连器330b。第一下互连屏蔽互连器330a可以将第一下屏蔽互连器310a连接到互连屏蔽互连器390，并且第二下互连屏蔽互连器330b可以将第二下屏蔽互连器310b连接到互连屏蔽互连器390。第一下互连屏蔽互连器330a可以以直线形状和/或弯曲形状(例如，U形)围绕第一下信号互连器210a的下端，并且第二下互连屏蔽互连器330b可以以直线形状和/或弯曲形状(例如，U形)围绕第二下信号互连器210b的下端。
参照图5D，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300a和300b可以包括第一屏蔽互连器310a、第二屏蔽互连器310b、互连屏蔽互连器390以及附加互连屏蔽互连器395，附加互连屏蔽互连器395二维地围绕第一信号互连器200a、第二信号互连器200b和互连信号互连器290。附加互连屏蔽互连器395可以围绕第一上信号互连器250a和第二上信号互连器250b以及互连信号互连器290的上表面和内侧表面。例如，附加互连屏蔽互连器395可以以直线形状和/或弯曲形状(例如，U形)围绕第一上信号互连器250a和第二上信号互连器250b的上端。
图5A和图5D中所示的屏蔽互连器300a和300b可以增加屏蔽互连器300a和300b中的每个面对第一信号互连器200a和第二信号互连器200b中的每个的面积。
图6A是示意性地例示基于所公开的技术的实施方式的图像传感器的像素阵列PA的示例的布局图，图6B是示意性地例示像素阵列PA中的一个像素块PB的布局图，并且图6C是概念性地例示像素块PB的信号互连器201至204和屏蔽互连器301至304的布局图。
参照图6A至图6C，像素阵列PA可以包括以矩阵形式布置的多个像素块PB。多个像素块PB可以沿行方向D1并排排列，并且可以沿列方向D2以Z字形风格布置。
每个像素块PB可以包括第一光电转换区PR1至第四光电转换区PR4、第一晶体管区TR1和第二晶体管区TR2、信号互连器200以及屏蔽互连器300。第一晶体管区TR1可以设置在第一光电转换区PR1和第三光电转换区PR3之间，并且第二晶体管区TR2可以设置在第二光电转换区PR2和第四光电转换区PR4之间。
第一光电转换元件PDa1至PDa4可以以矩阵形式设置在第一光电转换区PR1中，第二光电转换元件PDb1至PDb4可以以矩阵形式设置在第二光电转换区PR2中，第三光电转换元件PDc1至PDc4可以以矩阵形式设置在第三光电转换区PR3中，并且第四光电转换元件PDd1至PDd4可以以矩阵形式设置在第四光电转换区PR4中。第一浮置扩散部FD1至第四浮置扩散部FD4可以分别设置在第一光电转换元件至第四光电转换元件PDa1至PDa4、PDb1至PDb4、PDc1至PDc4、和PDd1至PDd4的中央。第一传输栅TGa1至TGa4可以设置为分别与第一光电转换元件PDal至PDa4和第一浮置扩散部FD1部分交叠。第二传输栅TGb1至TGb4可以设置为分别与第二光电转换元件PDb1至PDb4和第二浮置扩散部FD2部分交叠。第三传输栅TGc1至TGc4可以设置为分别与第三光电转换元件PDc1至PDc4和第三浮置扩散部FD3部分交叠。第四传输栅TGd1至TGd4可以设置为分别与第四光电转换元件PDd1至PDd4和第四浮置扩散部FD4部分交叠。
第一晶体管区TR1可以包括沿行方向D1设置在第一有源区ACT1上的第一复位栅RG1、第一选择栅SG1和第一驱动栅DG1，并且第二晶体管区TR2可以包括沿行方向D1设置在第二有源区ACT2上的第二驱动栅DG2、第二选择栅SG2和第二复位栅RG2。第一晶体管区TR1中的组件RG1、SG1和DG1以及第二晶体管区TR2中的组件DG2、SG2和RG2可以关于每个相应组件对称。
像素块PB可以包括第一信号互连器201至第四信号互连器204、第一互连信号互连器290a和第二互连信号互连器290b、以及第一屏蔽互连器301至第四屏蔽互连器304。
第一信号互连器201可以将第一浮置扩散部FD1、第一有源区ACT1的一部分和第一驱动栅DG1彼此电连接，并且第二信号互连器202可以将第二浮置扩散部FD2、第二有源区ACT2的一部分以及第二驱动栅DG2彼此连接。
第三信号互连器203可以连接至第一信号互连器201。第三信号互连器203可以将第三浮置扩散部FD3、第一有源区ACT1的一部分和第一驱动栅DG1彼此电连接。因此，第一光电转换区PR1中的组件和第三光电转换区PR3中的组件可以共享第一晶体管区TR1中的组件。
第四信号互连器204可以连接到第二信号互连器202。第四信号互连器204可以将第四浮置扩散部FD4、第二有源区ACT2的一部分和第二驱动栅DG2彼此电连接。因此，第二光电转换区PR2中的组件和第四光电转换区PR4中的组件可以共享第二晶体管区TR2中的组件。
第一互连信号互连器290a可以将第一信号互连器201和第二信号互连器202彼此连接，并且第二互连信号互连器290b可以将第三信号互连器203和第四信号互连器204彼此连接。由于第一信号互连器201至第四信号互连器204可以彼此电连接，因此第一光电转换区PR1至第四光电转换区PR4中的组件可以共享第一晶体管区TR1和第二晶体管区TR2中的组件。
图7A至图7C是例示基于所公开的技术的各种实施方式的屏蔽互连器300的示例的布局图。参照图7A，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括第一屏蔽互连器301至第四屏蔽互连器304、以及第一互连屏蔽互连器390a和第二互连屏蔽互连器390b。第一屏蔽互连器301至第四屏蔽互连器304可以为沿列方向D2延伸以与第一信号互连器201至第四信号互连器204平行。第一互连屏蔽互连器390a和第二互连屏蔽互连器390b可以沿行方向D1延伸以平行于第一互连信号互连器290a和第二互连信号互连器290b。第一屏蔽互连器301至第四屏蔽互连器304以及第一互连屏蔽互连器390a和第二互连屏蔽互连器390b可以彼此电连接。
参照图7B，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以包括第一屏蔽互连器301至第四屏蔽互连器304、第一互连屏蔽互连器390a和第二互连屏蔽互连器390b、第一下互连屏蔽互连器331和第二下互连屏蔽互连器332、以及第一上互连屏蔽互连器333和第二上互连屏蔽互连器334。第一下互连屏蔽互连器331可以将第一屏蔽互连器301连接到第一互连屏蔽互连器390a，同时与第一信号互连器201分离开；第二下互连屏蔽互连器332可以连接第二屏蔽互连器332和第一互连屏蔽互连器390a，同时与第二信号互连器202分离开；第三上互连屏蔽互连器333可以连接第三屏蔽互连器303和第二互连屏蔽互连器390b，同时与第三信号互连器203分离开；第四上互连屏蔽互连器334可以连接第四屏蔽互连器304和第二互连屏蔽互连器390b，同时与第四信号互连器204分离开。
参照图7C，当从顶部观看时，基于所公开的技术的实施方式的屏蔽互连器300可以设置为二维地围绕信号互连器200。当从顶部观看时，屏蔽互连器300可以完全围绕信号互连器200，或者可以不围绕至少一部分。也就是说，屏蔽互连器300的一部分可以是开放的。
图8是示意性地例示包括基于本公开的实施方式的图像传感器800的相机系统900的示例的图。参照图8，包括基于所公开的技术的实施方式的各种图像传感器800中的至少一种的相机系统900可以拍摄静止图像或运动图像。相机系统900可以包括光学镜头系统910、快门单元911、信号处理电路912以及控制/驱动图像传感器800和快门单元911的驱动电路913。相机系统900可以将来自对象的图像光(Li)(入射光)引导到图像传感器800的像素阵列(参见图1的附图标记810)。光学镜头系统910可以包括多个光学镜头。快门单元911可以控制相对于图像传感器800的光照射时段和遮光时段。信号处理电路912可以对从图像传感器800输出的信号执行各种信号处理。信号处理后的图像信号Dout可以存储在诸如存储器之类的存储介质中，或者可以输出到监视器等。驱动电路913可以控制图像传感器800的传送操作和快门单元911的快门操作。
尽管已经出于示例性目的描述了各种实施方式，但是将对于本领域技术人员显而易见的是，在不脱离如所附权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下，可以进行各种变型和修改。
尽管本专利文档包含许多细节，但是这些细节不应解释为对任何发明或可要求保护的范围的限制，而应解释为可特定于特定发明的特定实施方式的特征的描述。在本专利文档中在分开的实施方式的上下文中描述的一些特征也可以在单个实施方式中组合实现。相反，在单个实施方式的上下文中描述的各种特征也可以单独地或以任何合适的子组合在多个实施方式中来实现。此外，尽管以上可以将特征描述为以一些组合起作用并且甚至最初如此要求保护，但是在一些情况下，可以从所要求保护的组合中去除组合中的一个或更多个特征，并且所要求保护的组合可以涉及子组合或子组合的变型。
相关申请的交叉引用
本申请要求于2019年4月5日提交的韩国专利申请No.10-2019-0039956的优先权和权益，其全部内容通过引用合并于此。

Claims (20)

1.一种图像传感器，该图像传感器包括一个或更多个第一单位像素，所述一个或更多个第一单位像素中的每个包括：
第一光电转换区，该第一光电转换区包括以矩阵形式布置的多个第一光电转换元件以及在所述多个第一光电转换元件的中央的第一浮置扩散区；
第一晶体管区，该第一晶体管区包括第一有源区，所述第一有源区中设置有第一复位栅、第一选择栅和第一驱动栅；
第一信号互连器，该第一信号互连器将所述第一浮置扩散区电连接到所述第一驱动栅；以及
第一屏蔽互连器，该第一屏蔽互连器与所述第一信号互连器分离开并与所述第一信号互连器平行地延伸。
2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第一信号互连器包括：
第一下信号互连器，该第一下信号互连器沿由所述多个第一光电转换元件形成的矩阵的列方向在所述多个第一光电转换元件之间延伸，并且电连接至所述第一浮置扩散区；以及
第一上信号互连器，该第一上信号互连器沿由所述多个第一光电转换元件形成的矩阵的行方向在所述第一光电转换区和所述第一晶体管区之间延伸，并且电连接到所述第一有源区的一部分和所述第一驱动栅。
3.根据权利要求2所述的图像传感器，其中，所述第一屏蔽互连器包括：
第一下屏蔽互连器，该第一下屏蔽互连器平行于所述第一下信号互连器；以及
第一上屏蔽互连器，该第一上屏蔽互连器平行于所述第一上信号互连器。
4.根据权利要求3所述的图像传感器，
其中，所述第一下信号互连器和所述第一下屏蔽互连器中的每个具有直线形状，并且
其中，所述第一上信号互连器和所述第一上屏蔽互连器中的每个具有沿所述行方向和所述列方向延伸的弯曲形状。
5.根据权利要求2所述的图像传感器，
其中，所述第一下信号互连器通过第一浮置扩散区接触连接到所述第一浮置扩散区，
其中，所述第一下信号互连器包括在所述第一上信号互连器和所述第一浮置扩散区接触之间延伸的上部、以及在所述第一浮置扩散区接触与所述第一下信号互连器的下端之间延伸的下部，并且
其中，所述第一下信号互连器的所述下端被浮置。
6.根据权利要求5所述的图像传感器，其中，所述第一屏蔽互连器包括：与所述第一下信号互连器的所述上部平行地布置的上部以及与所述第一下信号互连器的所述下部平行地布置的下部。
7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述一个或更多个第一单位像素中的每个还包括：
第一附加屏蔽互连器，该第一附加屏蔽互连器沿着所述信号互连器的与所述第一屏蔽互连器相对的侧部设置，其中，所述第一附加屏蔽互连器和所述第一屏蔽互连器关于所述第一信号互连器对称。
8.根据权利要求7所述的图像传感器，
其中，所述第一信号互连器包括：
第一下信号互连器，该第一下信号互连器沿由所述多个第一光电转换元件形成的矩阵的列方向在所述多个第一光电转换元件之间延伸，并且电连接至所述第一浮置扩散区；以及
第一上信号互连器，该第一上信号互连器沿由所述多个第一光电转换元件形成的矩阵的行方向在所述第一光电转换区和所述第一晶体管区之间延伸，并且电连接到所述第一有源区的一部分和所述第一驱动栅，
其中，所述第一屏蔽互连器包括：
第一下屏蔽互连器，该第一下屏蔽互连器平行于所述第一下信号互连器；以及
第一上屏蔽互连器，该第一上屏蔽互连器平行于所述第一上信号互连器，并且
其中，所述第一附加屏蔽互连器包括：
第一附加下屏蔽互连器，该第一附加下屏蔽互连器与所述第一下屏蔽互连器对称；以及
第一附加上屏蔽互连器，该第一附加上屏蔽互连器与第一上屏蔽互连器对称。
9.根据权利要求7所述的图像传感器，其中，所述一个或更多个第一单位像素中的每个还包括：
第一互连屏蔽互连器，该第一互连屏蔽互连器将所述第一屏蔽互连器连接至所述第一附加屏蔽互连器。
10.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括一个或更多个第二单位像素，所述一个或更多个第二单位像素中的每个包括：
第二光电转换区，该第二光电转换区包括以矩阵形式布置的多个第二光电转换元件以及在所述多个第二光电转换元件的中央的第二浮置扩散区；
第二晶体管区，该第二晶体管区包括第二有源区，所述第二有源区中设置有第二复位栅、第二选择栅和第二驱动栅；
第二信号互连器，该第二信号互连器将所述第二浮置扩散区电连接到所述第二驱动栅；以及
第二屏蔽互连器，该第二屏蔽互连器被设置为与所述第二信号互连器平行并且与所述多个第二光电转换元件中的至少一个交叠，
其中，所述第一单位像素和所述第二单位像素彼此对称。
11.根据权利要求10所述的图像传感器，该图像传感器还包括：
附加信号互连器，该附加信号互连器将所述第一信号互连器电连接到所述第二信号互连器。
12.根据权利要求11所述的图像传感器，该图像传感器还包括：
附加屏蔽互连器，该附加屏蔽互连器平行于所述附加信号互连器。
13.根据权利要求12所述的图像传感器，其中，所述附加信号互连器和所述附加屏蔽互连器沿由所述多个第二光电转换元件形成的矩阵的行方向延伸。
14.根据权利要求10所述的图像传感器，
其中，所述第一屏蔽互连器位于所述第一信号互连器的第一侧，
其中，所述第二屏蔽互连器位于所述第二信号互连器的第二侧，并且
其中，所述第一侧和所述第二侧彼此相对。
15.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述第一屏蔽互连器设置为与所述多个第一光电转换元件中的至少两个交叠。
16.一种图像传感器，该图像传感器包括：
像素块，该像素块具有第一单位像素和第二单位像素，
所述第一单位像素包括：
第一光电转换区，该第一光电转换区中设置有第一浮置扩散区；
第一晶体管区，该第一晶体管区中设置有第一驱动栅；
第一信号互连器，该第一信号互连器将所述第一浮置扩散区电连接到所述第一驱动栅；以及
第一屏蔽互连器，该第一屏蔽互连器沿所述第一信号互连器的第一侧方向设置，所述第一屏蔽互连器平行于所述第一信号互连器，所述第二单位像素包括：
第二光电转换区，该第二光电转换区中设置有第二浮置扩散区；
第二晶体管区，该第二晶体管区中设置有第二驱动栅；
第二信号互连器，该第二信号互连器将所述第二浮置扩散区电连接到所述第二驱动栅；以及
第二屏蔽互连器，该第二屏蔽互连器沿所述第二信号互连器的第二侧方向设置，所述第二屏蔽互连器平行于所述第二信号互连器，其中，所述第一侧方向和所述第二侧方向彼此相对。
17.根据权利要求16所述的图像传感器，其中，所述第一单位像素的布局和所述第二单位像素的布局彼此对称。
18.根据权利要求16所述的图像传感器，
其中，所述第一光电转换区包括以矩阵形式设置的四个第一光电转换元件，
其中，所述第二光电转换区包括以矩阵形式设置的四个第二光电转换元件，
其中，所述第一屏蔽互连器与所述四个第一光电转换元件中的至少两个交叠，并且
其中，所述第二屏蔽互连器与所述四个第二光电转换元件中的至少两个交叠。
19.根据权利要求16所述的图像传感器，
其中，所述第一信号互连器包括：
第一上信号互连器，该第一上信号互连器将所述第一驱动栅电连接到所述第一晶体管区中的第一有源区的一部分；以及
第一下信号互连器，该第一下信号互连器将所述第一上信号互连器的中间部分电连接至所述第一浮置扩散区，并且
其中，所述第二信号互连器包括：
第二上信号互连器，该第二上信号互连器将所述第二驱动栅电连接到所述第二晶体管区中的第二有源区的一部分；以及
第二下信号互连器，该第二下信号互连器将所述第二上信号互连器的中间部分电连接到所述第二浮置扩散区。
20.根据权利要求19所述的图像传感器，
其中，所述第一下信号互连器还包括从所述第一浮置扩散区延伸至所述第一下信号互连器的下端的第一延伸部分，
其中，所述第二下信号互连器还包括从所述第二浮置扩散区延伸至所述第二下信号互连器的下端的第二延伸部分，
其中，所述第一屏蔽互连器延伸以平行于所述第一延伸部分，
其中，所述第二屏蔽互连器延伸以平行于所述第二延伸部分，并且
其中，所述第一延伸部分和所述第二延伸部分处于高阻抗状态。
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