CN111780684B - 一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪，其设置的物镜模块接口，在不装配任何物镜模块时，可以实现厘米级视场下的微米级精度表面三维结构成像。当对应于部分细胞成像和MEMS系统成像等其它实际情况成像需求时，在物镜模块接口上装配不同的物镜模块，来满足不同的横向分辨率需求和视场范围需求。并且，该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的自聚集模块，可以实时调整焦距以及成像视场尺寸，以改变平面分辨率，适应更多应用场景的测量需求，并且，该数字全息表面三维形貌测量系统包含了单波长数字全息显微成像模式、双波长数字全息显微成像模式和多波长数字全息显微成像模式，其通过切换不同光源模块，可以改变轴向分辨率。

Description

一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪

技术领域

本发明涉及三维成像技术领域，更具体地说，涉及一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪。

背景技术

随着科学技术的不断发展，各种各样的成像系统已广泛应用于人们的工作中，为科研的发展提供了极大的便利。

但是，目前的三维成像系统已无法满足科研需求。

发明内容

有鉴于此，为解决上述问题，本发明提供一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪，技术方案如下：

一种数字全息表面三维形貌测量系统，所述数字全息表面三维形貌测量系统包括：

第一激光光源，用于出射激光；

偏振分光棱镜，用于对所述激光进行分光处理，透射光为参考光束，反射光为物光光束；

第一宽带分光棱镜，用于使所述物光光束透过且通过物镜模块接口入射至待测物，以及接收反馈光束并将所述反馈光束和所述参考光束进行整合输出，其中，所述物镜模块接口用于装配不同的物镜模块；

自聚焦模块，用于对所述第一宽带分光棱镜输出的光束进行实时聚焦处理以及调整光束尺寸；

数字相机，用于记录所述待测物的数字全息表面三维形貌测量图。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源输出光路上的第一扩束准直模块；

所述第一扩束准直模块用于对所述第一激光光源输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述第一扩束准直模块包括：

依次设置在所述第一激光光源输出光路上的扩束透镜、针孔和汇聚透镜；

其中，所述扩束透镜、所述针孔和所述汇聚透镜均固定在一个一维平移台上。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块输出光路上的光阑；

所述光阑用于调整光束尺寸。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块输出光路上的第一半波片；

所述第一半波片用于对通过所述光阑的光束进行光束分束比调整；

调整后的光束入射至所述偏振分光棱镜。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：可调衰减片；

所述可调衰减片用于调整所述参考光束的光强，以使所述参考光束的光强与所述物光光束的光强满足所述数字全息表面三维形貌测量系统的预设要求；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二半波片；

所述第二半波片用于调整所述物光光束的偏振态；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述自聚焦模块包括：

依次设置在所述第一宽带分光棱镜输出光路上的第一透镜和第二透镜；

所述第一透镜和所述第二透镜固定在电控平移台上；

所述电控平移台用于控制所述第一透镜和所述第二透镜之间的间距，以及控制所述第二透镜和所述数字相机靶面之间的间距。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述第一激光光源为可调谐激光光源。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二激光光源；

所述第一激光光源和所述第二激光光源出射激光的波长不同。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第二激光光源输出光路上的第二扩束准直模块；

所述第二扩束准直模块用于对所述第二激光光源输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源和所述第二激光光源输出通道上的光路控制模块。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二宽带分光棱镜；

所述第二宽带分光棱镜用于将所述第一激光光源输出的激光和所述第二激光光源输出的激光进行合并输出。

可选的，在上述数字全息表面三维形貌测量系统中，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：多个反射镜；

多个所述反射镜用于改变光路。

一种成像仪，所述成像仪包括上述任一项所述的数字全息表面三维形貌测量系统。

相较于现有技术，本发明实现的有益效果为：

该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的物镜模块接口，在不装配任何物镜模块时，可以实现厘米级视场下的微米级精度表面三维结构成像。当对应于部分细胞成像和MEMS系统成像等其它实际情况成像需求时，通过在物镜模块接口上装配不同的物镜模块，来满足不同的横向分辨率需求和视场范围需求。

并且，该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的自聚集模块，可以实时调整焦距以及调整光束尺寸成像视场尺寸，以改变平面分辨率，适应更多应用场景的测量需求。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的又一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

参考图1，图1为本发明实施例提供的一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图。

所述数字全息表面三维形貌测量系统包括：

第一激光光源1，用于出射激光；

偏振分光棱镜2，用于对所述激光进行分光处理，透射光为参考光束，反射光为物光光束；

第一宽带分光棱镜3，用于使所述物光光束透过且通过物镜模块接口4入射至待测物，以及接收反馈光束并将所述反馈光束和所述参考光束进行整合输出，其中，所述物镜模块接口4用于装配不同的物镜模块5；

自聚焦模块6，用于对所述第一宽带分光棱镜3输出的光束进行实时聚焦处理以及调整光束尺寸；

数字相机7，用于记录所述待测物的数字全息表面三维形貌测量图。

需要说明的是，所述数字相机7为不包含镜头的数字相机，系统记录速度只和配置的数字相机相关。

该数字相机7包括但不限定于CCD或CMOS等。

在该实施例中，所述物光光束为部分偏振光，所述参考光光束与物光光束保持偏振态一致。

光源可以决定数字全息表面三维形貌测量系统的基本成像方法，所述第一激光光源1用于出射单波长的激光，即当前数字全息表面三维形貌测量系统使用反射式单波长数字全息术进行表面形貌测量。

根据不同的测量方法，可以实现不同的功能，例如，单波长数字全息术适用于对轴向分辨率需求在纳米级的对象进行成像。

进一步的，该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的物镜模块接口4，在不装配任何物镜模块时，可以实现厘米级视场下的微米级精度表面三维结构成像。当对应于部分细胞成像和MEMS系统成像需要更大系统放大倍率等其它实际情况成像需求时，通过在物镜模块接口4上装配不同的物镜模块5，来满足不同的横向分辨率需求和视场范围需求。

例如，在横向分辨率需求为10μm-100微米，此时物镜模块接口4上不需要装配任何物镜模块；在横向分辨率需求为1微米-10微米，此时物镜模块接口4上需要装配低放大倍率的物镜模块；在横向分辨率需求为1μm以下时，此时物镜模块接口4上需要装配高放大倍率的物镜模块。

需要说明的是，该数字全息表面三维形貌测量系统通过更换物镜模块可以改变横向分辨率的范围取决于物镜放大倍率。

并且，通过更换物镜模块5还可以改变该数字全息表面三维形貌测量系统的视场，其视场可调范围为100μm-20mm。

进一步的，该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的自聚集模块6，可以实时调整焦距以及调整光束尺寸，以适应更多应用场景的测量需求。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源1输出光路上的第一扩束准直模块8；

所述第一扩束准直模块8用于对所述第一激光光源1输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

可选的，所述第一扩束准直模块8包括：

依次设置在所述第一激光光源1输出光路上的扩束透镜9、针孔10和汇聚透镜11；

其中，所述扩束透镜9、所述针孔10和所述汇聚透镜11均固定在一个一维平移台上。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块8输出光路上的光阑12；

所述光阑12用于调整光束尺寸。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块8输出光路上的第一半波片13；

所述第一半波片13用于对通过所述光阑12的光束进行光束分束比调整；

调整后的光束入射至所述偏振分光棱镜2。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：可调衰减片14；

所述可调衰减片14用于调整所述参考光束的光强，以使所述参考光束的光强与所述物光光束的光强满足所述数字全息表面三维形貌测量系统的预设要求；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜3。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二半波片15；

所述第二半波片15用于调整所述物光光束的偏振态；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜3。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述自聚焦模块6包括：

依次设置在所述第一宽带分光棱镜3输出光路上的第一透镜16和第二透镜17；

所述第一透镜16和所述第二透镜17固定在电控平移台上；

所述电控平移台用于控制所述第一透镜16和所述第二透镜17之间的间距，以及控制所述第二透镜17和所述数字相机7靶面之间的间距。

在该实施例中，所述自聚焦模块6由两块不同焦距的透镜组成，第一透镜16为迎光透镜，第二透镜17为出光透镜，一般情况下，第一透镜16的焦距大于第二透镜17的焦距，需要说明的是，在本发明实施例中，所述第一透镜16和所述第二透镜17不限定为凸透镜或凹透镜。

所述第一透镜16和所述第二透镜17固定在电控平移台上；通过所述电控平移台用于控制所述第一透镜16和所述第二透镜17之间的间距，以及控制所述第二透镜17和所述数字相机7靶面之间的间距，实现光斑和系统焦距的调整。

需要说明的是，此处由双透镜组成的成像系统可以为瑞利透镜或4F系统，由实际成像对象横向尺寸决定。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图1所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：多个反射镜，如第一反射镜18、第二反射镜19、第三反射镜20和第四反射镜21；

多个所述反射镜用于改变光路。

在该实施例中，所述偏振分光棱镜2、所述第二反射镜19、所述第一宽带分光棱镜3和所述第三反射镜20，构成了马赫泽德干涉仪系统，用于产生离轴数字全息图。

并且，数字全息表面三维形貌测量系统以第三反射镜20和第一宽带分光棱镜3的位置为平衡点，通过多个反射镜改变光路，以平衡布局全部的光学元件，保证了系统的稳定性和鲁棒性，最小化了反射光噪声带来的影响。

通过上述描述可知，在单波长数字全息显微成像模式下，所述第一激光光源1用于输出单波长的激光，经过第一扩束准直模块8将点光源转化为平行光束，并由光阑12调整平行光束的光束尺寸，经过第一反射镜18反射后，穿过第一半波片13后照射到偏振分光棱镜2中。

该偏振分光棱镜2将一束激光分为两束，其中，透射光为参考光束，反射光为物光光束。

参考光束由可调衰减片14再次调节光强后，通过第二反射镜19反射并照射至第一宽带分光棱镜3。

物光光束由第二半波片15调整其偏振态之后，通过第三反射镜20反射并照射到第一宽带分光棱镜3上，在透射穿过第一宽带分光棱镜3后，最终照射到待测量对象上。

进一步的，基于本发明上述实施例，参考图2，图2为本发明实施例提供的另一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图。

所述第一激光光源还可以为可调谐激光光源22。

在该实施例中，光源可以决定数字全息表面三维形貌测量系统的基本成像方法，所述可调谐激光光源22用于出射多波长的激光，即当前数字全息表面三维形貌测量系统使用反射式多波长数字全息术进行表面形貌测量。

根据不同的测量方法，可以实现不同的功能，例如，多波长数字全息术适用于对轴向分辨率需求在10微米以上的对象进行成像。

具体的，在多波长数字全息显微成像模式下，其前置系统工作方式同单波长数字全息显微成像模式相同，不同之处在于，对于相同的对象，通过改变可调谐激光器22的出射波长，获得同一对象在不同波长记录条件下的多幅不同波长数字全息图，这些全息图经过数值重建后，即可实现多波长数字全息成像。

需要说明的是，此处可调谐激光器与数字相机之间的记录匹配由特定的计算机软件完成。

进一步的，基于本发明上述实施例，参考图3，图3为本发明实施例提供的又一种数字全息表面三维形貌测量系统的结构示意图。

所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二激光光源23；

所述第一激光光源1和所述第二激光光源23出射激光的波长不同。

在该实施例中，光源可以决定数字全息表面三维形貌测量系统的基本成像方法，通过所述第一激光光源1和所述第二激光光源23可以出射双波长的激光，即当前数字全息表面三维形貌测量系统使用反射式双波长数字全息术进行表面形貌测量。

根据不同的测量方法，可以实现不同的功能，例如，双波长数字全息术适用于对轴向分辨率需求在微米级的对象进行成像。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图3所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第二激光光源23输出光路上的第二扩束准直模块24；

所述第二扩束准直模块24用于对所述第二激光光源23输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

可选的，所述第二扩束准直模块24包括：

依次设置在所述第二激光光源23输出光路上的扩束透镜25、针孔26和汇聚透镜27；

其中，所述扩束透镜25、所述针孔26和所述汇聚透镜27均固定在一个一维平移台上。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图3所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源1和所述第二激光光源23输出通道上的光路控制模块，例如电控快门28。

进一步的，基于本发明上述实施例，如图3所示，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二宽带分光棱镜29；

所述第二宽带分光棱镜29用于将所述第一激光光源1输出的激光和所述第二激光光源23输出的激光进行合并输出。

通过上述描述可知，在双波长数字全息显微成像模式下，相比较单波长数字全息显微成像模式，增加了一个额外的激光模块，由第二激光光源23输出激光光束，经过第二扩束准直模块24将点光源转化为平行光束，并由第五反射镜30反射，照射到第二宽带分光棱镜29上。

所述第一激光光源1用于输出单波长的激光，经过第一扩束准直模块8将点光源转化为平行光束，也照射到第二宽带分光棱镜29上。

之后由光阑12调整光束尺寸，经过第一反射镜18反射后，穿过第一半波片13后照射到偏振分光棱镜2中。

该偏振分光棱镜2将一束激光分为两束，其中，透射光为参考光束，反射光为物光光束。

参考光束由可调衰减片14再次调节光强后，通过第二反射镜19反射并照射至第一宽带分光棱镜3。

物光光束由第二半波片15调整其偏振态之后，通过第三反射镜20反射并照射到第一宽带分光棱镜3上，在透射穿过第一宽带分光棱镜3后，最终照射到待测量对象上。

在双波长数字全息显微成像模式下，通过电控快门28可以使不同波长的第一激光光源1和第二激光光源23处于分立的工作状态，即同一时间点只使用单一波长激光光束照射到待测量对象上。

通过电控快门28的调节，对于同一测量对象获得两幅不同波长记录的数字全息图，结合特定的计算机软件处理，将这些全息图经过数值重建后，即可实现双波长数字全息成像。

通过上述描述可知，本申请提供的一种数字全息表面三维形貌测量系统，包含了单波长数字全息显微成像模式、双波长数字全息显微成像模式和多波长数字全息显微成像模式，其通过切换不同激光光源，可以改变轴向分辨率，轴向分辨率可调范围为纳米级到微米级。

该数字全息表面三维形貌测量系统包含的应用范围包括但不限定于：用于金属及其它材料表面形貌测量；用于金属及其它材料表面粗糙度测量；用于金属及其它材料表面应力应变测量；用于MEMS系统的三维结构测量；用于固态和液态透明薄膜材料的表面形貌测量；用于非接触无损材料形变测量；用于生物细胞的反射式三维显微成像；用于生物细胞的内部折射率分布测量；用于生物细胞的应力应变测量和用于微流控通道的质量检测等应用范围。

进一步的，基于本发明上述全部实施例，在本发明另一实施例中还提供了一种成像仪，所述成像仪包括上述实施例所述的数字全息表面三维形貌测量系统。

以上对本发明所提供的一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备所固有的要素，或者是还包括为这些过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (14)

1.一种数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统包括：

第一激光光源，用于出射激光；

偏振分光棱镜，用于对所述激光进行分光处理，透射光为参考光束，反射光为物光光束；

第一宽带分光棱镜，用于使所述物光光束透过且通过物镜模块接口入射至待测物，以及接收反馈光束并将所述反馈光束和所述参考光束进行整合输出，其中，所述物镜模块接口用于装配不同的物镜模块，所述物镜模块接口在不装配所述物镜模块的情况下，用于实现厘米级视场下的微米级精度表面三维结构成像；当需要满足其他情况的成像需求时，通过在所述物镜模块接口上装配不同的物镜模块以满足不同的横向分辨率需求和视场范围需求；

自聚焦模块，用于对所述第一宽带分光棱镜输出的光束进行实时聚焦处理以及调整光束尺寸；

数字相机，用于记录所述待测物的数字全息表面三维形貌测量图；

多个反射镜，用于改变光路；其中，所述多个反射镜至少包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜和第四反射镜；所述第一反射镜用于调整所述激光的方向，所述第二反射镜用于调整参考光束的方向；所述第三反射镜用于调整物光光束的方向；所述第四反射镜用于调整所述第一宽带分光棱镜输出的光束的方向；

其中，所述第一激光光源用于出射单波长或多波长的激光；当所述第一激光光源用于出射多波长的激光时，通过改变出射激光的波长，所述数字相机用于获得所述待测物在不同波长记录条件下的多幅不同波长的数字全息表面形貌测量图；所述多幅不同波长的数字全息表面形貌测量图经过数值重建后实现多波长数字全息成像；

其中，所述数字全息表面三维形貌测量系统以所述第三反射镜和所述第一宽带分光棱镜的连线为光路系统的平衡轴线，所述第一激光光源、所述第四反射镜、所述自聚焦模块和所述数字相机设置于所述平衡轴线的一侧，所述偏振分光棱镜、所述第一反射镜和所述第二反射镜设置于所述平衡轴线的另一侧。

2.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源输出光路上的第一扩束准直模块；

所述第一扩束准直模块用于对所述第一激光光源输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

3.根据权利要求2所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述第一扩束准直模块包括：

依次设置在所述第一激光光源输出光路上的扩束透镜、针孔和汇聚透镜；

其中，所述扩束透镜、所述针孔和所述汇聚透镜均固定在一个一维平移台上。

4.根据权利要求2所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块输出光路上的光阑；

所述光阑用于调整光束尺寸。

5.根据权利要求4所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一扩束准直模块输出光路上的第一半波片；

所述第一半波片用于对通过所述光阑的光束进行光束分束比调整；

调整后的光束入射至所述偏振分光棱镜。

6.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：可调衰减片；

所述可调衰减片用于调整所述参考光束的光强，以使所述参考光束的光强与所述物光光束的光强满足所述数字全息表面三维形貌测量系统的预设要求；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜。

7.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二半波片；

所述第二半波片用于调整所述物光光束的偏振态；

调整后的光束入射至所述第一宽带分光棱镜。

8.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述自聚焦模块包括：

依次设置在所述第一宽带分光棱镜输出光路上的第一透镜和第二透镜；

所述第一透镜和所述第二透镜固定在电控平移台上；

所述电控平移台用于控制所述第一透镜和所述第二透镜之间的间距，以及控制所述第二透镜和所述数字相机靶面之间的间距。

9.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，当所述第一激光光源出射多波长激光时，所述第一激光光源为可调谐激光光源。

10.根据权利要求1所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二激光光源；

所述第一激光光源和所述第二激光光源出射激光的波长不同。

11.根据权利要求10所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第二激光光源输出光路上的第二扩束准直模块；

所述第二扩束准直模块用于对所述第二激光光源输出的激光进行扩束准直处理，并以平行光束进行输出。

12.根据权利要求10所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：

设置在所述第一激光光源和所述第二激光光源输出通道上的光路控制模块。

13.根据权利要求10所述的数字全息表面三维形貌测量系统，其特征在于，所述数字全息表面三维形貌测量系统还包括：第二宽带分光棱镜；

所述第二宽带分光棱镜用于将所述第一激光光源输出的激光和所述第二激光光源输出的激光进行合并输出。

14.一种成像仪，其特征在于，所述成像仪包括权利要求1-13任一项所述的数字全息表面三维形貌测量系统。

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