CN111760372A - 过滤装置及清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种过滤装置及清洗设备，包括过滤本体和回收部，其中，过滤本体用于对待过滤流体进行过滤，回收部与过滤本体可拆卸的连接，用于回收经过滤本体过滤出的固体杂质。本发明提供的过滤装置及清洗设备便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种过滤装置及清洗设备。
背景技术
目前，在半导体或泛半导体领域中，普遍都会使用到输送化学液体的管路，这些管路用于将化学液体输送到腔室中，通过化学液体与晶片之间的相互作用，从而对晶片进行加工。但是，在完整的半导体或泛半导体加工工艺的过程中，不可避免的会在管路中产生颗粒杂质，这些颗粒杂质可能是在设备使用过程中产生的，也可能是由于化学液体与晶片作用产生的晶片碎片，或者其它原因造成的碎片残渣，这些颗粒杂质会严重影响晶片的加工效果。
在现有技术中，通常是在将化学液体通入到腔室之前设置过滤器，用于过滤颗粒杂质，避免颗粒杂质进入腔室中，从而降低颗粒杂质对晶片加工效果的影响。
但是，目前的过滤器在被管路中的颗粒杂质堵塞时，需要更换整个过滤器，而现有过滤器的过滤精度都是微米甚至纳米级别，遇到颗粒杂质或者碎片残渣很容易就被堵住，并且高过滤精度的过滤器价格较高，导致晶片加工的成本较高。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种过滤装置及清洗设备，其能够便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
为实现本发明的目的而提供一种过滤装置，包括过滤本体和回收部，其中，所述过滤本体用于对待过滤流体进行过滤，所述回收部与所述过滤本体可拆卸的连接，用于回收经所述过滤本体过滤出的固体杂质。
优选的，还包括透视结构，所述透视结构设置在所述过滤本体和/或所述回收部上。
优选的，所述透视结构的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。
优选的，所述过滤本体和/或所述回收部的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。
优选的，所述过滤本体包括流通管道和过滤部件，所述流通管道包括供所述待过滤流体流入的流入端，和供所述待过滤流体流出的流出端；
所述过滤部件设置在所述流通管道中，用于对自所述流通管道的流入端流入所述流通管道中的所述待过滤流体进行过滤；所述回收部与所述流通管道可拆卸的连接，用于回收经所述过滤部件过滤出的所述固体杂质。
优选的，所述过滤本体还包括回收管道，所述回收管道连接在所述流通管道的下方，并与所述回收部可拆卸的连接，且所述回收管道与所述流通管道的连接处位于所述过滤部件的上游，用于回收经所述过滤部件过滤出的所述固体杂质。
优选的，所述回收部与所述过滤本体螺纹连接。
优选的，所述过滤本体还包括排气管道和开关部件，所述排气管道与所述流通管道连接，所述开关部件设置在所述排气管道中，用于控制所述排气管道与大气的连通或断开。
优选的，所述过滤部件包括过滤板，且所述过滤板所在平面与所述流通管道的径向横截面平行，所述过滤板中包括多个过滤孔，且多个所述过滤孔的总面积大于或等于所述流通管道的径向横截面的面积。
优选的，所述过滤板的数量为多个，所述回收部的数量为多个，且多个所述过滤板与多个所述回收部一一对应设置；多个所述过滤板沿所述待过滤流体在所述流通管道中的流通方向间隔设置，每个所述回收部用于回收经与该所述回收部对应的所述过滤板过滤出的所述固体杂质。
优选的，在所述待过滤流体在所述流通管道中的流通方向上，多个所述过滤板上的所述过滤孔的直径逐渐减小。
优选的，所述过滤本体还包括流入连接部件和流出连接部件，所述流入连接部件与所述流通管道的流入端连接，所述流出连接部件与所述流通管道的流出端连接，所述过滤本体通过所述流入连接部件和所述流出连接部件与过滤管路螺纹连接。
本发明还提供一种清洗设备，包括过滤管路和本发明提供的所述过滤装置，所述过滤装置设置在所述过滤管路中，用于对所述过滤管路中的所述待过滤流体进行过滤。
优选的，所述清洗设备还包括二级过滤器、泵、工艺腔室，所述二级过滤器、所述泵和所述工艺腔室都设置在所述过滤管路中，所述工艺腔室用于进行工艺产生所述待过滤流体，所述泵用于驱动所述待过滤流体在所述过滤管路中流动，所述过滤装置相对于所述工艺腔室位于所述过滤管路的下游，且相对于所述泵和所述二级过滤器位于所述过滤管路的上游；
所述过滤管路的两端都与所述工艺腔室连接，以使所述待过滤流体经所述过滤装置和所述二级过滤器过滤后流回所述工艺腔室中循环利用。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的过滤装置包括过滤本体和回收部，其中，过滤本体用于对待过滤流体进行过滤，回收部用于回收经过滤本体过滤出的固体杂质，借助回收部与过滤本体可拆卸的连接，能够便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
本发明提供的清洗设备包括过滤管路和本发明提供的过滤装置，借助将本发明提供的过滤装置设置在过滤管路中，用于对过滤管路中的待过滤流体进行过滤，能够便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
附图说明
图1为本发明提供的过滤装置的结构示意图；
图2为本发明提供的过滤装置的结构示意图；
图3为本发明提供的清洗设备的结构示意图；
附图标记说明：
1-过滤本体；11-流通管道；12-过滤部件；13-回收管道；14-排气管道；15-开关部件；16-流入连接部件；17-流出连接部件；2-回收部；3-过滤管路；4-二级过滤器；5-泵；6-工艺腔室。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的过滤装置及清洗设备进行详细描述。
如图1-图3所示，本实施例提供一种过滤装置，包括过滤本体1和回收部2，其中，过滤本体1用于对待过滤流体进行过滤，回收部2与过滤本体1可拆卸的连接，用于回收经过滤本体1过滤出的固体杂质。
本实施例提供的过滤装置借助回收部2与过滤本体1可拆卸的连接，能够便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。具体的，当固体杂质堵塞过滤本体1时，将回收部2从过滤本体1上拆下，不仅可以对回收部2中的固体杂质进行清理，还可以对过滤本体1中的固体杂质进行清理，以减少过滤本体1中的固体杂质，在对回收部2和过滤本体1中的固体杂质进行清理之后，再将回收部2安装在过滤本体1上，以使过滤装置能够继续使用。
在本实施例中，过滤装置还包括透视结构，透视结构设置在过滤本体1和/或回收部2上。在实际应用中，工作人员难以及时发现过滤装置中的实际过滤状态，导致过滤装置被堵塞，进而导致半导体加工工艺无法正常进行，借助设置在过滤本体1和/或回收部2上的透视结构，工作人员能够透过透视结构观察到过滤本体1和/或回收部2中的实际过滤状态，在发现过滤本体1被堵塞，或者回收部2中的固体杂质将要满时，及时对过滤本体1和回收部2中的固体杂质进行清理，避免过滤装置被固体杂质堵塞的情况发生，提高过滤装置的工作稳定性。
在本实施例中，透视结构的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。具体的，可溶性聚四氟乙烯也被称为PFA(Polytetrafluoroethylene)塑料，透过滤本体1和/或回收部2上设置有可溶性聚四氟乙烯的部分，能够观察到过滤本体1和/或回收部2中是否沉积有固体杂质，通过观察固体杂质在过滤本体1和/或回收部2中的沉积情况，工作人员能够判断是否需要对过滤本体1和/或回收部2进行清理。
在本实施例中，过滤本体1和/或回收部2的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。具体的，过滤本体1和/或回收部2的整体由可溶性聚四氟乙烯材料制作，工作人员能够从多方位对过滤本体1和/或回收部2中的实际情况进行观察，更加便于工作人员观察过滤本体1和/或回收部2中固体杂质的沉积状态，有助于减少过滤本体1被堵塞的情况发生。
在本实施例中，过滤本体1包括流通管道11和过滤部件12，流通管道11包括供待过滤流体流入的流入端，和供待过滤流体流出的流出端；过滤部件12设置在流通管道11中，用于对自流通管道11的流入端流入流通管道11中的待过滤流体进行过滤；回收部2与流通管道11可拆卸的连接，用于回收经过滤部件12过滤出的固体杂质。
具体的，待过滤流体经流通管道11的流入端流入流通管道11中，朝流通管道11的流出端流动，在待过滤流体经过过滤管道中的过滤部件12时，待过滤流体中的固体杂质被过滤部件12过滤出，被过滤部件12过滤出的固体杂质被与流通管道11连接的回收部2回收。
在本实施例中，过滤本体1还包括回收管道13，回收管道13连接在流通管道11的下方，并与回收部2可拆卸的连接，且回收管道13与流通管道11的连接处位于过滤部件12的上游，用于回收经过滤部件12过滤出的固体杂质。具体的，待过滤流体中的固体杂质在被过滤部件12过滤出后，在固体杂质自身的重力作用下落入连接在流通管道11下方的回收管道13中，并经过回收管道13落入与回收管道13连接的回收部2中。
在本实施例中，回收管道13和流通管道11的连接方式可以是焊接或者扩口等形式，但是，回收管道13和流通管道11的连接方式并不限于此。
在本实施例中，回收部2与过滤本体1螺纹连接。具体的，在回收部2中设置外螺纹，并在过滤本体1中设置与回收部2中的外螺纹相配合的内螺纹，通过顺时针或者逆时针旋转回收部2，实现回收部2与过滤本体1的可拆卸连接。但是，内螺纹和外螺纹的设置方式并不限于此，还可以在回收部2中设置内螺纹，并在过滤本体1中设置与回收部2中的内螺纹相配合的外螺纹。
在本实施例中，过滤本体1与回收部2采用美国标准60度锥管螺纹(NPT螺纹)进行连接，但是，过滤本体1与回收部2的螺纹连接方式并不限于此。
在本实施例中，过滤本体1还包括排气管道14和开关部件15，排气管道14与流通管道11连接，开关部件15设置在排气管道14中，用于控制排气管道14与大气的连通或断开。在实际应用中，在将回收部2从流通管道11上拆卸下之前，打开开关部件15使排气管道14与大气连通，使流通管道11与大气连通，使流通管道11中的气压与大气压达到一致后，再将回收部2从流通管道11上拆下，以避免流通管道11中的待过滤流体喷出，避免发生危险，在对过滤本体1和/或回收部2清理之后，再将回收部2装在流通管道11上，并将开关部件15关闭，以对流通管道11进行封闭，随后可以继续对待过滤流体进行过滤。
在本实施例中，排气管道14和流通管道11的连接方式可以是焊接或者扩口等形式，但是，排气管道14和流通管道11的连接方式并不限于此。
在实际应用中，开关部件15可以是堵头，将堵头堵在排气管道14或从排气管道14中拔出，可以控制排气管道14与大气的断开或连通，开关部件15还可以是阀门，通过控制阀门的开关以控制排气管道14与大气的连通或断开，开关部件15还可以与连通管路螺纹连接，通过将开关部件15旋进或旋出排气管道14，以控制排气管道14与大气的断开或连通。
在实际应用中，过滤本体1可以采用四通管，四通管中位于一条直线上的两个管道可以作为流通管道11；另外两个管道中的一个管道可以作为排气管道14，另一个管道作为回收管道13。但是，过滤本体并不限于使用四通管道。
在本实施例中，过滤部件12包括过滤板，且过滤板所在平面与流通管道11的径向横截面平行，过滤板中包括多个过滤孔，且多个过滤孔的总面积大于或等于流通管道11的径向横截面的面积，这样的设计可以避免过滤板影响待过滤流体在流通管道11中的流动，从而避免对半导体加工工艺造成影响。
在实际应用中，过滤板中每个过滤孔的直径可以根据待过滤流体种类和工艺需求进行调整，过滤板中过滤孔的数量和分布也可以根据待过滤流体种类和工艺需求进行调整，过滤板中每个过滤孔的形状可以是圆形，但是，过滤板中每个过滤孔的形状并不限于此，过滤板中每个过滤孔的形状也可以是长圆孔、方孔、六角形孔等任意形状。
可选的，过滤板的数量为多个，回收部2的数量为多个，且多个过滤板与多个回收部2一一对应设置，多个过滤板沿待过滤流体在流通管道11中的流通方向间隔设置，每个回收部2用于回收经与该回收部2对应的过滤板过滤出的固体杂质。在实际应用中，在流通管道11中可以沿待过滤流体在流通管道11中的流通方向间隔设置多个过滤板，以对待过滤流体进行多次过滤，提高过滤效果，并对应每个过滤板均设置有单独的回收部2，每个回收部2分别回收经其所对应的过滤板过滤出的固体杂质。
可选的，在待过滤流体在流通管道11中的流通方向上，多个过滤板上的过滤孔的直径逐渐减小，具体的，在待过滤流体在流通管道11中的流通方向上，过滤板的过滤精度逐渐提高，以提高过滤效果，并减少单一过滤板过滤出的固体杂质的数量，以降低工作人员的清理频率，提高过滤装置正常工作时间。
在本实施例中，过滤本体1还包括流入连接部件16和流出连接部件17，流入连接部件16与流通管道11的流入端连接，流出连接部件17与流通管道11的流出端连接，过滤本体1通过流入连接部件16和流出连接部件17与过滤管路3螺纹连接。具体的，流通管道11的流入端与流入连接部件16连接，流通管道11的流出端与流出连接部件17连接，通过在流入连接部件16和流出连接部件17上设置与过滤管路3相配合的螺纹，以使流通管道11与过滤管路3螺纹连接。
可选的，过滤管路3上设置外螺纹，流入连接部件16和流出连接部件17上设置与过滤管路3上的外螺纹相配合的内螺纹，以避免流入连接部件16和流出连接部件17阻挡过滤管路3中的待过滤液体。
本实施例还提供一种清洗设备，包括过滤管路3和上述的过滤装置，过滤装置设置在过滤管路3中，用于对过滤管路3中的待过滤流体进行过滤。
本实施例提供的清洗设备借助将本发明提供的过滤装置设置在过滤管路3中，用于对过滤管路3中的待过滤流体进行过滤，能够便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
在本实施例中，还包括二级过滤器4、泵5、工艺腔室6，二级过滤器4、泵5和工艺腔室6都设置在过滤管路3中，工艺腔室6用于进行工艺产生待过滤流体，泵5用于驱动待过滤流体在过滤管路3中流动，过滤装置相对于工艺腔室6位于过滤管路3的下游，且相对于泵5和二级过滤器4位于过滤管路3的上游；过滤管路3的两端都与工艺腔室6连接，以使待过滤流体经过滤装置和二级过滤器4过滤后流回工艺腔室6中循环利用。
在实际应用中，二级过滤器4的过滤精度通常是微米甚至纳米级别，其成本较高，用于对待过滤流体中的细小杂质进行过滤，将本实施例提供的过滤装置设置在泵5和二级过滤器4的上游，以使待过滤流体先经过过滤装置的过滤，再流向泵5和二级过滤器4，以避免待过滤流体中的固体杂质对泵5造成损伤，并能够避免二级过滤器4被较大的固体杂质堵塞，提高二级过滤器4的使用寿命，降低清洗设备的成本，当然，本实施例提供的过滤装置也可设置为过滤精度为微米甚至纳米级别。
在本实施例中，工艺腔室6中盛放有清洗剂，晶片放置在清洗剂中，晶片上的杂质就会被清洗剂清洗下来，从而对晶片进行清洗，混有杂质的清洗剂就成为待过滤流体，待过滤流体自过滤管路3的一端流入至过滤管路3中，经过过滤管路3中的过滤装置和二级过滤器4对其中的杂质进行过滤，再次形成可以对晶片清洗的清洗剂，再从过滤管路3的另一端流回工艺腔室6中，再次对晶片进行清洗，以使清洗剂可以循环利用，降低清洗工艺的成本。
综上所述，本实施例提供的过滤装置及清洗设备便于对过滤装置进行清理，使过滤装置能够重复利用，降低过滤成本。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
Claims (14)
1.一种过滤装置，其特征在于，包括过滤本体和回收部，其中，所述过滤本体用于对待过滤流体进行过滤，所述回收部与所述过滤本体可拆卸的连接，用于回收经所述过滤本体过滤出的固体杂质。
2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，还包括透视结构，所述透视结构设置在所述过滤本体和/或所述回收部上。
3.根据权利要求2所述的过滤装置，其特征在于，所述透视结构的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。
4.根据权利要求3所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤本体和/或所述回收部的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤本体包括流通管道和过滤部件，所述流通管道包括供所述待过滤流体流入的流入端，和供所述待过滤流体流出的流出端；
所述过滤部件设置在所述流通管道中，用于对自所述流通管道的流入端流入所述流通管道中的所述待过滤流体进行过滤；所述回收部与所述流通管道可拆卸的连接，用于回收经所述过滤部件过滤出的所述固体杂质。
6.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤本体还包括回收管道，所述回收管道连接在所述流通管道的下方，并与所述回收部可拆卸的连接，且所述回收管道与所述流通管道的连接处位于所述过滤部件的上游，用于回收经所述过滤部件过滤出的所述固体杂质。
7.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述回收部与所述过滤本体螺纹连接。
8.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤本体还包括排气管道和开关部件，所述排气管道与所述流通管道连接，所述开关部件设置在所述排气管道中，用于控制所述排气管道与大气的连通或断开。
9.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤部件包括过滤板，且所述过滤板所在平面与所述流通管道的径向横截面平行，所述过滤板中包括多个过滤孔，且多个所述过滤孔的总面积大于或等于所述流通管道的径向横截面的面积。
10.根据权利要求9所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤板的数量为多个，所述回收部的数量为多个，且多个所述过滤板与多个所述回收部一一对应设置；多个所述过滤板沿所述待过滤流体在所述流通管道中的流通方向间隔设置，每个所述回收部用于回收经与该所述回收部对应的所述过滤板过滤出的所述固体杂质。
11.根据权利要求10所述的过滤装置，其特征在于，在所述待过滤流体在所述流通管道中的流通方向上，多个所述过滤板上的所述过滤孔的直径逐渐减小。
12.根据权利要求5所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤本体还包括流入连接部件和流出连接部件，所述流入连接部件与所述流通管道的流入端连接，所述流出连接部件与所述流通管道的流出端连接，所述过滤本体通过所述流入连接部件和所述流出连接部件与过滤管路螺纹连接。
13.一种清洗设备，其特征在于，包括过滤管路和如权利要求1-12任意一项的所述过滤装置，所述过滤装置设置在所述过滤管路中，用于对所述过滤管路中的所述待过滤流体进行过滤。
14.根据权利要求13所述的清洗设备，其特征在于，还包括二级过滤器、泵、工艺腔室，所述二级过滤器、所述泵和所述工艺腔室都设置在所述过滤管路中，所述工艺腔室用于进行工艺产生所述待过滤流体，所述泵用于驱动所述待过滤流体在所述过滤管路中流动，所述过滤装置相对于所述工艺腔室位于所述过滤管路的下游，且相对于所述泵和所述二级过滤器位于所述过滤管路的上游；
所述过滤管路的两端都与所述工艺腔室连接，以使所述待过滤流体经所述过滤装置和所述二级过滤器过滤后流回所述工艺腔室中循环利用。
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