CN111721750A - 提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 - Google Patents
提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111721750A CN111721750A CN202010581202.5A CN202010581202A CN111721750A CN 111721750 A CN111721750 A CN 111721750A CN 202010581202 A CN202010581202 A CN 202010581202A CN 111721750 A CN111721750 A CN 111721750A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- atomic force
- force microscope
- ters
- light beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000772 tip-enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 title claims abstract 14
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 100
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 claims description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical group [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 5
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 4
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 3
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 claims description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 3
- 239000002120 nanofilm Substances 0.000 claims description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 abstract description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004416 surface enhanced Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N21/658—Raman scattering enhancement Raman, e.g. surface plasmons
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/38—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/08—Probe characteristics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/08—Probe characteristics
- G01Q70/14—Particular materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/655—Stimulated Raman
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/65—Raman scattering
- G01N2021/653—Coherent methods [CARS]
- G01N2021/656—Raman microprobe
Abstract
本发明涉及一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置，所述装置包括：原子力显微镜探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统；所述方法包括：S1：将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整，使光束先照射到探针的悬臂梁表面，经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端；S2：对光束发散角进行控制，使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端；S3：调整聚焦光斑的偏振态，使沿探针轴向方向的偏振分量最大。本发明利用原子力显微镜探针悬臂梁作为反射镜，动态调整激发光聚焦位置，可实现在非接触工作模式下提高针尖局域增强拉曼散射信号。
Description
技术领域
本发明涉及高精密仪器领域，更具体地，涉及一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置。
背景技术
针尖增强拉曼散射(TERS)技术结合了扫描探针显微镜与表面增强拉曼散射两种技术，在获得样品形貌信息的同时能够获得超高灵敏度与超高空间分辨率的拉曼光谱信息，在纳米材料表征、分子成像等研究领域具有重要的应用价值。
针尖增强拉曼散射技术的超高灵敏度与空间分辨率一个重要因素是激发光聚焦在探针针尖处激发的高度局域性的局域表面等离激元，而表面等离激元分布与探针-样品的距离息息相关，只有在探针与样品保持在非常小的距离的时候才能够有效地增强拉曼信号，所以原子力显微镜平台的TERS系统需要工作在接触模式下。然而，接触工作模式下，探针与样品之间的作用力比较大，且探针比较容易受到温度漂移的影响而使实际的探针-样品作用难以稳定，并不是很适合比较软的样品的表征。
TERS系统常用的样品多为石墨烯、纳米管类型的低维纳米材料、单分子材料等，在实际的TERS成像时研究人员往往首先使用非接触模式对样品进行初步的表征，再在接触模式下进行TERS探测成像，但TERS扫描成像需要较长时间，温度漂移造成的影响仍然难以避免。利用多通道探测技术、声光调整设备等方法可以提高非接触模式下的TERS信号，但多通道技术只针对特定波长信息，难以实现完整光谱探测。该两种方案都需要到成像系统软硬件方面进行改进，在一定程度上提高系统的复杂性与设备成本。制备可以实现远场激发表面等离激元的探针具有在非接触模式提高TERS信号的潜力，但探针制备在很大程度是限制了应用。
发明内容
本发明为克服上述现有技术所述的针尖局域拉曼散射信号强度不够高的缺陷，提供一种提高原子力显微镜非接触模式下TERS信号的方法及装置。
本发明所述非接触模式泛指接触模式以外的探针在z方向做周期运动的工作模式。
所述方法包括以下步骤：
S1：，利用光束调控器件，即光束调整系统中的光束方向调整器件；将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整，使光束先照射到探针的悬臂梁表面，经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端；
由于光路系统发生改变，此时的光斑聚焦位置不一定在探针针尖，故执行S2：对光束发散角进行控制，使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端；
当探针接触到基底表面时，激发光照射探针悬臂梁表面反射后再照射到探针针尖产生增强的局域表面等离激元。当探针离开基底表面时，激发光聚焦位置也随着探针位置的变化而远离针尖，减弱非探针产生的信号，提高TERS信号对比度。这样既可以使用原子力显微镜的非接触模式进行样品表征，由可以提高TERS信号灵敏性。
S3：利用光学偏振器件，即光束调整系统中的激光偏振态调整器件，调整聚焦光斑的偏振态，使沿探针轴向方向的偏振分量最大，以提高针尖局域电磁场的增强效率。
优选地，在原子力显微镜接触模式下进行步骤S1和S2。
优选地，在执行步骤S1-S3的同时可以在样品台表面制备单分子薄膜样品，利用光谱仪实时探测分子膜的拉曼信号强度以反馈针尖TERS增强效果，将光束调整到最佳状态，以实现最高的TERS增强效果。
优选地，当进行TERS探测或点扫描成像时将原子力显微镜工作模式切换到非接触模式。
优选地，所述方法应用在透射系统或TERS系统。也具有在其他照明方式的TERS系统的潜力。
本发明还提供一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的装置，所述装置可以应用本发明所述方法，所述装置包括：原子力显微镜探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统；
激发光源用来发出激发光束；激发光速可依次穿过光束调整系统、分光器件、物镜系统、样品扫描台而射到原子力显微镜探针上；
探针用来探测样品形貌与产生TERS增强效应；
样品扫描台用来控制样品移动；
物镜系统用来聚焦激发光与信号收集；
分光器件用来分离激发光与信号光；
光束调整系统实现激光偏振态、光束方向与汇聚发散方面的调控；
拉曼光谱系统用来收集拉曼光谱信号；
原子力显微镜控制系统可以与拉曼光谱系统进行双向联动控制，实现样品定位与光谱收集。
优选地，所述原子力显微镜探针的下表面镀有金或银电磁场增强介质。原子力显微镜平台在探针表面镀几十纳米厚的金或银金属薄膜，该金属膜可以保证悬臂梁良好的光学反射特性
与现有技术相比，本发明技术方案的有益效果是：本发明利用原子力显微镜探针悬臂梁作为反射镜，动态调整激发光聚焦位置，以减弱探针远离样品时常规激发光聚焦产生的拉曼信号，实现在非接触工作模式下提高针尖局域增强拉曼散射信号，是一种高灵敏、高空间分辨率拉曼信号探测技术。
附图说明
图1为实施例1所述流程图。
图2为实施例2所述装置图。
图中：1-探针、2-样品扫描台、3物镜系统、4-激发光束、5-分光器件、6-光束调整系统、7-激发光源、8-拉曼光谱系统、9-原子力显微镜控制系统。
具体实施方式
附图仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；
为了更好说明本实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；
对于本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
下面结合附图和实施例对本发明的技术方案做进一步的说明。
实施例1：
本实施例提供一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，如图1所示，
本实施例以常规透射照明TERS系统为例进行简要说明如何实现光学系统的改造。
S1：首先在接触模式下进行系统改进，利用光束调控器件，将原来直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整，使光束先照射到探针的悬臂梁表面，经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端。
S2：常规的原子力显微镜平台需要在探针表面镀几十纳米厚的金或银金属薄膜，该金属膜可以保证悬臂梁良好的光学反射特性。由于光路系统发生改变，此时的光斑聚焦位置不一定在探针针尖，需要对光束发散角进行控制，使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端(此调整过程可以在原子力显微镜接触模式下进行)，这样，当探针离开表面时，光束聚焦位置也随着悬臂梁反射镜位置的远离而远离针尖和样品，使样品表面的常规聚焦光束作用减弱，远离针尖的局域电磁场作用也减弱，提高探针接触样品时的针尖处的局域电磁场作用。
S3：利用光学偏振器件调整聚焦光斑的偏振态，沿探针轴向方向的偏振分量最大以提高针尖局域电磁场的增强效率。在该过程中可以在样品台表面制备单分子薄膜等样品，利用光谱仪实时探针TERS信号以获得最优的系统状态。当进行TERS成像时将原子力显微镜工作模式切换到非接触模式。
实施例2：
本实施例提供一种提高原子力显微镜TERS信号的装置，如图2所示，所述装置包括：探针1、样品扫描台2、物镜系统3、分光器件5、光束调整系统6、激发光源7、拉曼光谱系统8、原子力显微镜控制系统9；
激发光源7用来发出激发光束4；激发光束4可依次穿过光束调整系统6、分光器件5、物镜系统3、样品扫描台2而射到原子力显微镜探针1上；
探针1表面镀金或银薄膜，探针1用来探测样品形貌与产生TERS增强效应；
样品扫描台2用来控制样品移动；
物镜系统3用来聚焦激发光与信号收集；
分光器件5用来分离激发光与信号光；
光束调整系统6实现激光偏振态、光束方向与汇聚发散方面的调控；
拉曼光谱系统7用来收集拉曼光谱信号；
原子力显微镜控制系统9可以与拉曼光谱系统8进行双向联动控制，实现样品定位与光谱收集。
附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制；
显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
S1：将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整，使光束先照射到探针的悬臂梁表面，经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端；
S2：对光束发散角进行控制，使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端；
S3：调整聚焦光斑的偏振态，使沿探针轴向方向的偏振分量最大，以提高针尖局域电磁场的增强效率。
2.根据权利要求1所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，其特征在于，在原子力显微镜接触模式下进行步骤S1和S2。
3.根据权利要求1所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，其特征在于，在执行步骤S1-S3的同时制备单分子薄膜样品，并实时探测分子膜的拉曼信号强度以反馈针尖TERS增强效果，调整光束以实现最高的TERS增强效果。
4.根据权利要求1所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，其特征在于，当进行TERS探测或点扫描成像时将原子力显微镜工作模式切换到非接触模式。
5.根据权利要求1所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法，所述方法应用在透射系统或TERS系统。
6.一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的装置，其特征在于，包括：探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统；
激发光源用来发出激发光束；激发光速可依次穿过光束调整系统、分光器件、物镜系统、样品扫描台而射到原子力显微镜探针上；
探针用来探测样品形貌与产生TERS增强效应；
样品扫描台用来控制样品移动；
物镜系统用来聚焦激发光与信号收集；
分光器件用来分离激发光与信号光；
光束调整系统实现激光偏振态、光束方向与汇聚发散方面的调控；
拉曼光谱系统用来收集拉曼光谱信号；
原子力显微镜控制系统可以与拉曼光谱系统进行双向联动控制，实现样品定位与光谱收集。
7.根据权利要求6所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的装置，其特征在于，所述原子力显微镜探针的下表面镀有电磁场增强介质。
8.根据权利要求7所述的提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的装置，其特征在于，所述电磁场增强介质为金或银。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010581202.5A CN111721750A (zh) | 2020-06-23 | 2020-06-23 | 提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010581202.5A CN111721750A (zh) | 2020-06-23 | 2020-06-23 | 提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111721750A true CN111721750A (zh) | 2020-09-29 |
Family
ID=72568450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010581202.5A Pending CN111721750A (zh) | 2020-06-23 | 2020-06-23 | 提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111721750A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112327477A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-02-05 | 深圳大学 | 一种光学纳米聚焦方法及装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310881A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Seiko Instruments Inc | 走査型近接場顕微鏡 |
| CN101082585A (zh) * | 2007-07-19 | 2007-12-05 | 清华大学 | 反射式近场拉曼光谱仪测量头 |
| KR20110020321A (ko) * | 2009-08-10 | 2011-03-03 | 한양대학교 산학협력단 | 탐침 표면 검사기의 고속 자동 어프로치 장치 및 방법 |
| CN104749160A (zh) * | 2015-03-06 | 2015-07-01 | 华南师范大学 | 一种并列双针尖增强的拉曼光谱扫描成像方法 |
| CN105973868A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-09-28 | 西北工业大学 | 光纤矢量光探针型针尖增强拉曼光谱仪及采谱方法 |
| EP3287823A1 (en) * | 2016-08-24 | 2018-02-28 | Industrial Technology Research Institute | Tapered optical needle |
| CN109929748A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-06-25 | 东南大学 | 基于针尖增强拉曼散射光谱技术实现dna测序的仪器平台 |
| CN110967333A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-07 | 深圳大学 | 一种针尖增强拉曼光谱显微成像装置 |
-
2020
- 2020-06-23 CN CN202010581202.5A patent/CN111721750A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310881A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-23 | Seiko Instruments Inc | 走査型近接場顕微鏡 |
| CN101082585A (zh) * | 2007-07-19 | 2007-12-05 | 清华大学 | 反射式近场拉曼光谱仪测量头 |
| KR20110020321A (ko) * | 2009-08-10 | 2011-03-03 | 한양대학교 산학협력단 | 탐침 표면 검사기의 고속 자동 어프로치 장치 및 방법 |
| CN104749160A (zh) * | 2015-03-06 | 2015-07-01 | 华南师范大学 | 一种并列双针尖增强的拉曼光谱扫描成像方法 |
| CN105973868A (zh) * | 2016-05-09 | 2016-09-28 | 西北工业大学 | 光纤矢量光探针型针尖增强拉曼光谱仪及采谱方法 |
| EP3287823A1 (en) * | 2016-08-24 | 2018-02-28 | Industrial Technology Research Institute | Tapered optical needle |
| CN109929748A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-06-25 | 东南大学 | 基于针尖增强拉曼散射光谱技术实现dna测序的仪器平台 |
| CN110967333A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-04-07 | 深圳大学 | 一种针尖增强拉曼光谱显微成像装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112327477A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-02-05 | 深圳大学 | 一种光学纳米聚焦方法及装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10845382B2 (en) | Infrared characterization of a sample using oscillating mode | |
| JP2004533604A (ja) | 反射散乱型ジオメトリを用いた無開口近接場走査型ラマン顕微鏡法 | |
| US7787133B2 (en) | Optical displacement-detecting mechanism and probe microscope using the same | |
| US20050151077A1 (en) | Scanning probe microscope and specimen observation method and semiconductor device manufacturing method using said scanning probe microscope | |
| WO2021129267A1 (zh) | 一种针尖增强拉曼光谱显微成像装置 | |
| JP2005535878A (ja) | 走査型無開口蛍光顕微鏡のための改良された方法およびシステム | |
| US8161568B2 (en) | Self displacement sensing cantilever and scanning probe microscope | |
| Meyer et al. | Latest instrumental developments and bioanalytical applications in tip-enhanced Raman spectroscopy | |
| JP2012524373A (ja) | 電子顕微鏡における光学的プロービング | |
| WO2013157419A1 (ja) | 複合型顕微鏡 | |
| CN111721750A (zh) | 提高原子力显微镜非接触模式ters信号的方法及装置 | |
| CN105181652A (zh) | 基于表面等离子体耦合发射效应的光场成像系统 | |
| CN116593738B (zh) | 光致力探测显微镜及其应用 | |
| JP4498081B2 (ja) | 散乱型近接場顕微鏡およびその測定方法 | |
| US8296861B2 (en) | Polarization-modulated tip enhanced optical microscope | |
| JP2007322396A (ja) | 透過型電子顕微鏡と近接場光学顕微鏡の複合型顕微鏡 | |
| US6784414B2 (en) | Probe opening fabricating apparatus, and near-field optical microscope using the same | |
| JP2005181085A (ja) | 光トラッププローブ近接場光顕微鏡装置及び近接場光検出方法 | |
| Okamoto et al. | Near-field scanning optical microscope using a gold particle | |
| US20100154084A1 (en) | Method and apparatus for performing apertureless near-field scanning optical microscopy | |
| JP2004101425A (ja) | 散乱型近接場顕微鏡および散乱型近接場分光システム | |
| CN117434303A (zh) | 基于微悬臂-微球探针的超分辨拉曼/荧光/光电流二维扫描成像联合表征系统 | |
| JP2003207437A (ja) | 光ファイバープローブ及びそれを備える走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP3766869B2 (ja) | 微小力測定装置 | |
| Dal Savio et al. | A compact sensor head for simultaneous scanning force and near-field optical microscopy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200929 |