CN111711911B - 微型麦克风防尘装置及mems麦克风 - Google Patents

微型麦克风防尘装置及mems麦克风 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜，支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜的内部悬设在通孔和重叠部的一侧。利用上述发明能够提高微型麦克风防尘装置的整体结构强度，并有效抑制防尘膜发生屈曲褶皱。

Description

微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风
技术领域
本发明涉及电子产品技术领域，更为具体地，涉及一种微型麦克风防尘装置及设置有该微型麦克风防尘装置的MEMS麦克风。
背景技术
现有的MEMS麦克风通常设置有防尘结构，防尘结构主要包括支撑件和防尘膜，可用于阻止外界粉尘、颗粒等污染物进入麦克风内部，进而确保麦克风产品的声学性能。
但是，目前的防尘膜与支撑件的结构会由于热膨胀系数的失配，或者在将防尘结构安装至基板上时，引入应力问题。此外，对于防尘膜这种薄膜结构而言，应力的产生会导致防尘膜发生屈曲或不可逆的变形，从而影响产品性能及用户体验。
发明内容
鉴于上述问题，本发明的目的是提供一种防尘结构及MEMS麦克风，以解决目前传统的防尘结构中，防尘膜容易受热膨胀系数失配或安装影响产生屈曲或不可逆形变，而影响产品性能等问题。
本发明提供的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜；支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜的内部悬设在通孔和重叠部的一侧。
此外，优选的技术方案是，支承部关于通孔呈对称和/或均匀分布。
此外，优选的技术方案是，支承部与主体部为双层层叠结构。
此外，优选的技术方案是，支承部与主体部为一体成型结构；或者，支承部、主体部、重叠部为一体成型结构。
此外，优选的技术方案是，通孔为圆形孔；并且，支承部设置有两个，两个支承部设置在通孔的同一条直径上。
此外，优选的技术方案是，通孔为圆形孔；并且，支承部设置有四个，四个支承部分别设置在通孔的两条相互垂直的直径上。
此外，优选的技术方案是，在主体部远离支承部的一侧形成与支承部相对应的凹槽。
此外，优选的技术方案是，支承部在沿防尘膜所在平面方向上的横截面为圆形、椭圆形或者长方形。
另一方面，本发明还提供一种MEMS麦克风，包括上述微型麦克风防尘装置；其中，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的声孔处；或者，微型麦克风防尘装置设置在MEMS麦克风的芯片处。
利用上述微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，在支撑载体的主体部上设置多个支承部，通过多个支承部对防尘膜进行支撑定位，能够有效提高防尘膜的结构强度，且可改善防尘膜轮廓的对称性；此外，能够用较少的支撑点对防尘膜进行支撑，从而抑制屈曲褶皱，产品结构简单、性能稳定且可靠。
为了实现上述以及相关目的，本发明的一个或多个方面包括后面将详细说明的特征。下面的说明以及附图详细说明了本发明的某些示例性方面。然而，这些方面指示的仅仅是可使用本发明的原理的各种方式中的一些方式。此外，本发明旨在包括所有这些方面以及它们的等同物。
附图说明
通过参考以下结合附图的说明，并且随着对本发明的更全面理解，本发明的其它目的及结果将更加明白及易于理解。在附图中：
图1为根据本发明实施例一的微型麦克风防尘装置示意图；
图2为根据本发明实施例一的微型麦克风防尘装置俯视图；
图3为根据本发明实施例二的微型麦克风防尘装置示意图；
图4为根据本发明实施例二的微型麦克风防尘装置俯视图；
图5为根据本发明实施例三的微型麦克风防尘装置示意图；
图6为根据本发明实施例三的微型麦克风防尘装置俯视图。
其中的附图标记包括：防尘膜1、支承区域2、主体部3、支承部4、通孔5、重叠部6。
在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
在下面的描述中，出于说明的目的，为了提供对一个或多个实施例的全面理解，阐述了许多具体细节。然而，很明显，也可以在没有这些具体细节的情况下实现这些实施例。在其它例子中，为了便于描述一个或多个实施例，公知的结构和设备以方框图的形式示出。
为详细描述本发明的微型麦克风防尘装置，以下将结合附图对本发明的具体实施例进行详细描述。
图1和图2分别从不同角度示出了根据本发明实施例一的微型麦克风防尘装置的示意结构。
如图1和图2所示，本发明实施例一的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜1；其中，支撑载体进一步包括主体部3、设置在主体部3上的至少两个支承部4、设置在主体部3上的通孔5、位于支承部4靠近通孔5一侧的重叠部6；防尘膜1的边缘固定在支承部4上，防尘膜1的内部悬设在通孔5和重叠部6的上侧，通过多个支承部4对防尘膜进行多点定位，能够提高防尘膜的结构强度，及改善防尘膜轮廓的对称性。
其中，根据防尘膜1的设置位置进行划分，主体部3包括与外接直接接触的拾取区域、设置支承部4的支承区域2以及与防尘膜1重叠的重叠区域。在该实施例一中，设置有三个支承部4，三个支承部4在沿防尘膜1的设置方向上的横截面呈方形或矩形结构。
此外，防尘膜1还包括悬设在通孔5上的过滤部以及位于所述过滤部外周的连接部，连接部与支承部4相互配合，实现对防尘膜1的边缘支撑定位，而未设置支承部4处的防尘膜1可自支撑在主体部3上。
需要说明的是，为确保防尘膜1的受力均匀，支承部4可关于通孔5呈对称和/或均匀分布。
图3和图4分别从不同角度示出了根据本发明实施例二的微型麦克风防尘装置的示意结构。
结合图3和图4共同所示，本发明实施例二的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜1；其中，支撑载体进一步包括主体部3、设置在主体部3上的至少两个支承部4、设置在主体部3上的通孔5、位于支承部4靠近通孔5一侧的重叠部6；防尘膜1的边缘固定在支承部4上，防尘膜1的内部悬设在通孔5和重叠部6的上侧，通过多个支承部4对防尘膜进行多点定位，能够提高防尘膜的结构强度，及改善防尘膜轮廓的对称性。
其中，根据防尘膜1的设置位置进行划分，主体部3包括与外接直接接触的拾取区域、设置支承部4的支承区域2以及与防尘膜1重叠的重叠区域。在该实施例二中，设置有两个支承部4，通孔5为圆形孔，且两个支承部4设置在通孔5的同一条直径的两端，两个支承部4在沿防尘膜1的设置方向上的横截面呈椭圆形结构。
可知，支承部4的横截面也可设置为圆形、正方形、长方向或者其他结构形式，并不限于附图中的椭圆形结构。
此外，防尘膜1包括悬设在通孔5上的过滤部以及位于所述过滤部外周的连接部，连接部与支承部4相互配合，实现对防尘膜1的边缘支撑定位，未设置支承部4处的防尘膜1自支撑在所述主体部3上。
需要说明的是，在该实施例二的微型麦克风防尘装置中，支承部4和主体部3为双层层叠结构，即支承部4单独设置在主体部3上，
图5和图6分别从不同角度示出了根据本发明实施例三的微型麦克风防尘装置。
如图5和图6共同所示，该实施例三的微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜1；其中，支撑载体进一步包括主体部3、设置在主体部3上的至少两个支承部4、设置在主体部3上的通孔5、位于支承部4靠近通孔5一侧的重叠部6；防尘膜1的边缘固定在支承部4上，防尘膜1的内部悬设在通孔5和重叠部6的上侧，通过多个支承部4对防尘膜进行多点定位，能够提高防尘膜的结构强度，及改善防尘膜轮廓的对称性。
其中，根据防尘膜1的设置位置进行划分，主体部3包括与外接直接接触的拾取区域、设置支承部4的支承区域2以及与防尘膜1重叠的重叠区域。在该实施例三中，设置有两个支承部4，通孔5为圆形孔；且两个支承部4在沿防尘膜1的设置方向上的横截面呈方形或矩形结构。
此外，防尘膜1包括悬设在通孔5上的过滤部以及位于所述过滤部外周的连接部，连接部与支承部4相互配合，实现对防尘膜1的边缘支撑定位，未设置支承部4处的防尘膜1自支撑在所述主体部3上。
在该实施例三中，支承部4与主体部3为一体成型结构；或者，支承部4、主体部3、重叠部6为一体成型结构，在支承部4自主体部3向防尘膜1一侧凸起时，主体部3远离防尘膜1一侧形成相应的凹槽。
需要说明的是，在上述各实施例中，支承部4也可设置三个，三个支承部4均匀分布在圆形防尘膜1的边缘；或者，支承部4也可设置四个，四个支承部4分别设置在通孔5的两条相互垂直的直径上等，支承部的设置个数可根据产品尺寸或者生产要求进行调整。
此外，本发明实施例中的防尘膜1可选用网格结构，在阻挡外界异物的同时，能够允许空气通过；此外，防尘膜1也可采用双金属材质，通过双金属结构件能够控制防尘膜呈凸起形状，使防尘膜1的边缘位置与重叠部6接触，由此还能够有效控制防尘膜1的挠曲形变。
通过上述根据本发明的微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，在支撑载体的主体部上设置多个支承部，通过多个支承部对防尘膜进行支撑定位，能够有效提高防尘膜的结构强度，且可改善防尘膜轮廓的对称性；此外，利用较少的支撑点对防尘膜进行支撑，还能够抑制防尘膜的屈曲褶皱，产品结构简单、性能稳定且可靠。
如上参照附图以示例的方式描述根据本发明的微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风。但是，本领域技术人员应当理解，对于上述本发明所提出的微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，还可以在不脱离本发明内容的基础上做出各种改进。因此本发明的保护范围应当由所附的权利要求书的内容确定。

Claims (8)

1.一种微型麦克风防尘装置，包括支撑载体和设置在所述支撑载体一侧的防尘膜；其特征在于，
所述支撑载体包括主体部、设置在所述主体部上的至少两个支承部、通孔、位于所述支承部靠近所述通孔一侧的重叠部；
所述防尘膜的边缘固定在所述支承部上，所述防尘膜的内部悬设在所述通孔和所述重叠部的一侧；
所述支承部与所述主体部为一体成型结构；
所述支承部关于所述通孔呈对称和/或均匀分布。
2.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部与所述主体部为包括至少两层的层叠结构。
3.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部、所述主体部、所述重叠部为一体成型结构。
4.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述通孔为圆形孔；并且，
所述支承部设置有两个，两个支承部设置在所述通孔的同一条直径上。
5.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述通孔为圆形孔；并且，
所述支承部设置有四个，四个支承部分别设置在所述通孔的两条相互垂直的直径上。
6.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
在所述主体部远离所述支承部的一侧形成与所述支承部相对应的凹槽。
7.如权利要求1所述的微型麦克风防尘装置，其特征在于，
所述支承部在沿所述防尘膜所在平面方向上的横截面为圆形、椭圆形或者长方形。
8.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括如权利要求1至7任一项所述的微型麦克风防尘装置；其中，
所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的声孔处；或者，所述微型麦克风防尘装置设置在所述MEMS麦克风的芯片处。
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