CN111664803A - 一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 - Google Patents
一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111664803A CN111664803A CN202010500415.0A CN202010500415A CN111664803A CN 111664803 A CN111664803 A CN 111664803A CN 202010500415 A CN202010500415 A CN 202010500415A CN 111664803 A CN111664803 A CN 111664803A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- interferometer
- axis parabolic
- light beam
- parabolic reflector
- pyramid prism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/62—Optical apparatus specially adapted for adjusting optical elements during the assembly of optical systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置。该方法解决了现有离轴抛物面的测试中调节过程繁琐费时,且效率低下的问题。该方法的主要步骤为:1、先将角锥棱镜和干涉仪均安装于待测离轴抛物面反射镜的离轴抛物面前;2、干涉仪和待测离轴抛物面反射镜之间相互位置的调节;3、离轴抛物面反射镜的反射面面形的测试。
Description
技术领域
本发明涉及一种光学元件、系统制造装配过程中的调节方法,具体涉及一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置。
背景技术
二次非球面几何焦点的无像差特征,使其在大口径光学系统中被广泛地运用.其中单个轴抛物面反射镜可作为平行光管或者牛顿式望远镜使用,可以对无穷远目标完善成像,在激光准直、平行光管、大口径反射空间相机、反射式望远镜中应用越来越普遍。而离轴抛物面镜是从旋转对称的抛物面镜中取用不包含对称轴的一个部分的镜面,由于它能以简单的面形产生高质量的无中心遮拦的平行光束,常常被用来准直光束、模拟无穷远点目标、与其它非球面组成无遮拦的反射光学系统。
当单个高精度离轴抛物面作为光束准直器、平行光管或者反射光学系统中单个元件时,其装配调节或面形精度检测时均需要使用激光干涉仪及高精度自准平面反射镜来测试离轴抛物面的调节精度或面形加工精度。调节测试时需要将干涉仪焦点与离轴抛物面焦点完全重合且需要不断调节平面反射镜法线完全平行于离轴抛物面光轴才能准确测试其调节精度或面形精度。需要同时调节干涉仪、离轴抛物面、自准平面镜中的两个部件,调节过程繁琐费时效率低下。
发明内容
为了解决现有离轴抛物面的测试中调节过程繁琐费时,且效率低下的问题,本发明利用角锥棱镜的特性提出了一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置,调节过程只需调节干涉仪焦点与离轴抛物面的相对位置,可实现离轴抛物面反射镜反射面的快速测试。
本发明的技术解决方案是:
本发明提供了一种离轴抛物面反射镜反射面的快速测试方法,包括以下步骤:
步骤1:将角锥棱镜安装于离轴抛物面反射镜的离轴抛物面前,安装干涉仪,保证干涉仪光束焦点位于离轴抛物面反射镜焦点附近,使得由干涉仪汇聚的光束通过离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,且准平行光束通过角锥棱镜反射后可按原路自准返回到干涉仪;
步骤2:开启干涉仪的对准模式,干涉仪汇聚的光束通过待调节离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,准平行光束通过角锥棱镜反射后按原路自准返回到干涉仪获得返回光的弥散斑;
步骤3:粗调节
若返回光的弥散斑在干涉仪对准模式下为一中心对称的圆形光斑,且圆形光斑尺寸最小,则认为干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点重合,开始执行步骤4;
若返回光的弥散斑在干涉仪对准模式下为一发散的椭圆形光斑,则干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点不重合,保持角锥棱镜、离轴抛物面反射镜不动,调节干涉仪焦点的上下、左右平移使得椭圆形光斑形状变为中心对称的圆形光斑;
若此时获得圆形光斑尺寸较大,则需要前后调节干涉仪焦点,使得圆形光斑尺寸最小后开始执行步骤4;
步骤4:精细调节
将干涉仪切换到测试模式下,查看干涉图形状,
若干涉图中的条纹为等间距平直条纹时,则干涉仪焦点与离轴抛物面焦点严格重合,开始执行步骤5;
若干涉图中的条纹为等间距的中心对称的圆环条纹时,需要微调干涉仪焦点前后距离使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行步骤5;
若干涉图中的条纹为非等间距条纹时,需要微调干涉仪焦点上下、左右平移使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行步骤5;
步骤5:离轴抛物面反射镜的反射面面形的测试;
保持干涉仪、离轴抛物面反射镜不动,在离轴抛物面反射镜与角锥棱镜中间插入自准直平面镜,在干涉仪对准模式下,调节自准直平面镜的左右、上下倾斜,使得自准平面镜返回光点与干涉仪参考点重合,然后切换到干涉仪测试模式下,即实现离轴抛物面反射镜的反射面面形的测试工作。
进一步地,上述角锥棱镜包括四个工作面,其中三个尺寸相同且相互垂直的面为反射面,另外一个面呈等边三角形,且该面为光束的入射面和出射面。该角锥棱镜的重要特性在于,平行的入射光束以任意角度从入射面射入,经过三个反射面依次反射后,出射光束从出射面出射且始终平行于入射光束。
基于上述调节方法,本发明还提供了一种离轴抛物面反射镜反射面的快速测试装置,包括角锥棱镜、干涉仪以及自准直平面镜;
所述角锥棱镜和干涉仪均安装于待测离轴抛物面反射镜的离轴抛物面前,干涉仪的光束焦点位于离轴抛物面反射镜焦点附近,干涉仪汇聚光束通过离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,准平行光束通过角锥棱镜后可按原路自准返回到干涉仪,用于对干涉仪和待测离轴抛物面反射镜之间的位置进行调节;
自准直平面镜放置在角锥棱镜和待测离轴抛物面反射镜之间,用于在干涉仪和待测离轴抛物面反射镜的相对位置确定后,对待测离轴抛物面反射镜的反射面面型进行测试。
进一步地,上述角锥棱镜包括四个工作面,其中三个尺寸相同且相互垂直的面为反射面,另外一个面呈等边三角形,且该面为光束的入射面和出射面。该角锥棱镜的重要特性在于,平行的入射光束以任意角度从入射面射入,经过三个反射面依次反射后,出射光束从出射面出射且始终平行于入射光束。
进一步地,上述干涉仪为ZYGO公司的GPIXP系列干涉仪。
本发明与现有技术相比的有益效果是:
1、不需要精密调节自准光学元件角度。现有平面镜自准干涉测试时,干涉仪焦点在不同位置时离轴抛物面出射平行光束对应平面镜不同自准角度,该角度需要精密调节。本发明利用角锥棱镜保证了任何角度入射光束自准返回,不需在测试过程中频繁精密调节,且角锥棱镜对于安装角度要求精度低。
2、调节检测速度快,相比于自准直平面镜自检测需要同时调节自准反射镜角度及干涉仪焦点位置,本发明仅仅调节干涉仪焦点位置即可。
附图说明:
图1本发明的离轴抛物面快速调节示意图。
图2本发明的角锥棱镜示意图。
图3为返回光的光斑为圆形时的图像。
图4为返回光的光斑为椭圆形时的图像。
图5为干涉条纹呈等间隔平直条纹时的干涉图。
图6为干涉条纹呈等间隔中心对称的圆环条纹时的干涉图。
图7为干涉条纹呈非等间距条纹时的干涉图。
附图标记如下:
1-角锥棱镜、2-干涉仪、3-离轴抛物面反射镜、4-自准平面反射镜。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在有没做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示,本实施例提供了一种离轴抛物面反射镜反射面的快速测试装置的具体结构,包括角锥棱镜1、干涉仪2以及角锥棱镜;其中本实施例中采用的干涉仪为ZYGO公司的GPIXP系列干涉仪。
角锥棱镜1和干涉仪2均安装于待测离轴抛物面反射镜3的离轴抛物面前,干涉仪1的光束焦点位于待测离轴抛物面反射镜3焦点附近,干涉仪2汇聚光束通过待测离轴抛物面反射镜3反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜1,准平行光束通过角锥棱镜后可按原路自准返回到干涉仪2;
自准直平面镜放置在角锥棱镜和待测离轴抛物面反射镜之间,用于在干涉仪和待测离轴抛物面反射镜的相对位置确定后,对待测离轴抛物面反射镜的反射面面型进行测试。
本实施例中角锥棱镜1由立方体切下一角而形成,如图2所示。包括四个工作面(面ADE、面AHE、面ADH以及面DEH),其中三个尺寸相同且相互垂直的面为反射面(即图2中面ADE、面AHE、面DEH),另外一个面呈等边三角形(即图2中面ADH,该面为从立方体上获取该角锥棱镜时的切割面),且该面为光束的入射面和出射面。角锥棱镜的重要特性在于,平行的入射光束以任意角度从入射面射入,经过三个反射面依次反射后,出射光束从出射面出射且始终平行于入射光束。
通过该装置实现离轴抛物面反射镜调节的具体过程如下:
1、测试前先将角锥棱镜1和干涉仪2均安装于待测离轴抛物面反射镜3的离轴抛物面前,保证干涉仪3出射的汇聚光束焦点位于待测离轴抛物面反射镜焦点(图中A位置)上附近,干涉仪的出射光束经过待测离轴抛物面反射镜后变为准平行光束出射,角锥棱镜1将准平行光束原路返回至待测离轴抛物面反射镜3,待测离轴抛物面反射镜3后返回至干涉仪接收;
2、干涉仪和待测离轴抛物面反射镜之间相互位置的调节;
2.1、粗调节
开启干涉仪的对准模式下查看返回光形成的弥散斑形状及尺寸:
若返回光的弥散斑为一中心对称的圆形光斑,且圆形光斑尺寸最小,如图3所示,则认为干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点重合,开始执行下一步精细调节;
若返回光斑为非对称的椭圆形状(图4),则干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点不重合,保持角锥棱镜、离轴抛物面反射镜不动,调节干涉仪焦点的上下、左右平移使得椭圆形光斑形状变为中心对称的圆形光斑,
若此时获得圆形光斑尺寸较大,则需要前后调节干涉仪焦点,使得圆形光斑尺寸最小(如图3所示)后开始执行下一步精细调节;
2.2、精细调节
将干涉仪的模式由对准模式调节为测试模式,查看干涉条纹形式;
若干涉图中的条纹为等间距平直条纹,则干涉仪焦点与离轴抛物面焦点严格重合(如图5所示),开始执行下一步骤;
若干涉图中的条纹为等间距的中心对称的圆环条纹时(如图6所示),需要微调干涉仪焦点前后距离使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行下一步骤;
若干涉图中的条纹为非等间距条纹(如图7所示),需要微调干涉仪焦点上下、左右平移使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行下一步骤;
3、离轴抛物面反射镜的反射面面形的测试;
保持干涉仪2、离轴抛物面反射镜3不动,在离轴抛物面反射镜3与角锥棱镜1中间插入自准直平面镜4,在干涉仪对准模式下,调节自准直平面镜4的左右、上下倾斜,使得自准直平面镜4返回光点与干涉仪2参考点重合,然后切换到干涉仪测试模式下,即实现离轴抛物面反射镜的反射面面形的测试工作。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (6)
1.一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:将角锥棱镜安装于离轴抛物面反射镜的离轴抛物面前,安装干涉仪,保证干涉仪光束焦点位于离轴抛物面反射镜焦点附近,使得由干涉仪汇聚的光束通过离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,且准平行光束通过角锥棱镜反射后可按原路自准返回到干涉仪;
步骤2:开启干涉仪的对准模式,干涉仪汇聚的光束通过待调节离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,准平行光束通过角锥棱镜反射后按原路自准返回到干涉仪获得返回光的弥散斑;
步骤3:粗调节
若返回光的弥散斑在干涉仪对准模式下为一中心对称的圆形光斑,且圆形光斑尺寸最小,则认为干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点重合,开始执行步骤4;
若返回光的弥散斑在干涉仪对准模式下为一发散的椭圆形光斑,则干涉仪汇聚的光束焦点与离轴抛物面反射镜的焦点不重合,保持角锥棱镜、离轴抛物面反射镜不动,调节干涉仪焦点的上下、左右平移使得椭圆形光斑形状变为中心对称的圆形光斑;
若此时获得圆形光斑尺寸较大,则需要前后调节干涉仪焦点,使得圆形光斑尺寸最小后开始执行步骤4;
步骤4:精细调节
将干涉仪切换到测试模式下,查看干涉图形状,
若干涉图中的条纹为等间距平直条纹时,则干涉仪焦点与离轴抛物面焦点严格重合,开始执行步骤5;
若干涉图中的条纹为等间距的中心对称的圆环条纹时,需要微调干涉仪焦点前后距离使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行步骤5;
若干涉图中的条纹为非等间距条纹时,需要微调干涉仪焦点上下、左右平移使得条纹变为等间距平直条纹后开始执行步骤5;
步骤5:离轴抛物面反射镜的面形测试;
保持干涉仪、离轴抛物面反射镜不动,在离轴抛物面反射镜与角锥棱镜中间插入自准直平面镜,在干涉仪对准模式下,调节自准直平面镜的左右、上下倾斜,使得自准平面镜返回光点与干涉仪参考点重合,然后切换到干涉仪测试模式下,即实现离轴抛物面反射镜的面形检测工作。
2.根据权利要求1所述的离轴抛物面反射镜反射面的快速测试方法,其特征在于:所述角锥棱镜包括四个工作面,其中三个尺寸相同且相互垂直的面为反射面,另外一个面呈等边三角形,且该面为光束的入射面和出射面。
3.根据权利要求2所述的离轴抛物面反射镜反射面的快速测试方法,其特征在于:所述干涉仪为ZYGO公司的GPIXP系列干涉仪。
4.一种离轴抛物面反射镜反射面的快速测试装置,其特征在于:包括角锥棱镜、干涉仪以及自准直平面镜;
所述角锥棱镜和干涉仪均安装于待测离轴抛物面反射镜的离轴抛物面前,干涉仪的光束焦点位于离轴抛物面反射镜焦点附近,干涉仪汇聚光束通过离轴抛物面反射镜反射后变为准平行光束入射到角锥棱镜,准平行光束通过角锥棱镜后可按原路自准返回到干涉仪,用于对干涉仪和待测离轴抛物面反射镜之间的位置进行调节;
自准直平面镜放置在角锥棱镜和待测离轴抛物面反射镜之间,用于在干涉仪和待测离轴抛物面反射镜的相对位置确定后,对待测离轴抛物面反射镜的反射面面型进行测试。
5.根据权利要求4所述的离轴抛物面反射镜反射面的快速测试装置,其特征在于:所述角锥棱镜包括四个工作面,其中三个尺寸相同且相互垂直的面为反射面,另外一个面呈等边三角形,且该面为光束的入射面和出射面。
6.根据权利要求5所述的离轴抛物面反射镜反射面的快速测试装置,其特征在于:所述干涉仪为ZYGO公司的GPIXP系列干涉仪。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010500415.0A CN111664803B (zh) | 2020-06-04 | 2020-06-04 | 一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010500415.0A CN111664803B (zh) | 2020-06-04 | 2020-06-04 | 一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111664803A true CN111664803A (zh) | 2020-09-15 |
CN111664803B CN111664803B (zh) | 2021-05-18 |
Family
ID=72386133
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010500415.0A Active CN111664803B (zh) | 2020-06-04 | 2020-06-04 | 一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111664803B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112817117A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-18 | 西南技术物理研究所 | 一种带自准直调节功能的抛物面反射镜辅助装置 |
CN113204127A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种离轴抛物面镜组的装调方法 |
CN114112326A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-01 | 四川中科朗星光电科技有限公司 | 一种离轴抛物面反射镜的快速装调辅助装置及装调方法 |
CN116136496A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-05-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于抛物面反射镜的brdf测量系统 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11337306A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Nikon Corp | 干渉計測装置 |
CN102645179A (zh) * | 2011-02-18 | 2012-08-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种基于双频干涉的面型测量装置及方法 |
CN103075975A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-05-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法 |
CN103591888A (zh) * | 2013-10-28 | 2014-02-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法 |
US20140354991A1 (en) * | 2011-12-19 | 2014-12-04 | Bei Optics Technology Co., Ltd. | Normal-incidence broadband spectroscopic polarimeter containing reference beam and optical measurement system |
CN105157570A (zh) * | 2015-03-31 | 2015-12-16 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种离轴抛物面离轴量的测量装置及方法 |
CN107462402A (zh) * | 2017-08-09 | 2017-12-12 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种离轴抛物面反射镜几何参数的检测标定方法 |
CN108132142A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 大口径反射光学系统检测装置及方法 |
CN108225744A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置及方法 |
CN109141223A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-04 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种基于psd的激光干涉仪光路高效精确校准方法 |
CN110686869A (zh) * | 2019-09-06 | 2020-01-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 等厚离轴抛物面反射镜特征参量的高精度测量方法 |
-
2020
- 2020-06-04 CN CN202010500415.0A patent/CN111664803B/zh active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11337306A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-10 | Nikon Corp | 干渉計測装置 |
CN102645179A (zh) * | 2011-02-18 | 2012-08-22 | 上海微电子装备有限公司 | 一种基于双频干涉的面型测量装置及方法 |
US20140354991A1 (en) * | 2011-12-19 | 2014-12-04 | Bei Optics Technology Co., Ltd. | Normal-incidence broadband spectroscopic polarimeter containing reference beam and optical measurement system |
CN103075975A (zh) * | 2012-12-26 | 2013-05-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法 |
CN103591888A (zh) * | 2013-10-28 | 2014-02-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 大口径离轴非球面光学元件几何参数的测算方法 |
CN105157570A (zh) * | 2015-03-31 | 2015-12-16 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种离轴抛物面离轴量的测量装置及方法 |
CN107462402A (zh) * | 2017-08-09 | 2017-12-12 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种离轴抛物面反射镜几何参数的检测标定方法 |
CN108132142A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-08 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 大口径反射光学系统检测装置及方法 |
CN108225744A (zh) * | 2018-01-31 | 2018-06-29 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 基于角锥棱镜的光学镜头多视场像质检测装置及方法 |
CN109141223A (zh) * | 2018-09-25 | 2019-01-04 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种基于psd的激光干涉仪光路高效精确校准方法 |
CN110686869A (zh) * | 2019-09-06 | 2020-01-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 等厚离轴抛物面反射镜特征参量的高精度测量方法 |
Non-Patent Citations (4)
Title |
---|
FENG-MING YEH 等: "《The off-axis parabolic mirror optical axis adjustment based on cyclic shearing interferometer》", 《2015 OPTOELECTRONICS GLOBAL CONFERENCE (OGC)》 * |
庞志海 等: "《离轴反射光学系统像差特性研究》", 《红外与激光工程》 * |
杨红 等: "《抛物面光学元件面形测量装置》", 《中国光学学会2010年光学大会论文集》 * |
陈钦芳 等: "《利用调整技术补偿离轴抛物面反射镜面形误差》", 《光子学报》 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112817117A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-18 | 西南技术物理研究所 | 一种带自准直调节功能的抛物面反射镜辅助装置 |
CN113204127A (zh) * | 2021-05-18 | 2021-08-03 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种离轴抛物面镜组的装调方法 |
CN114112326A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-01 | 四川中科朗星光电科技有限公司 | 一种离轴抛物面反射镜的快速装调辅助装置及装调方法 |
CN114112326B (zh) * | 2021-11-23 | 2024-05-07 | 四川中科朗星光电科技有限公司 | 一种离轴抛物面反射镜的快速装调辅助装置及装调方法 |
CN116136496A (zh) * | 2023-04-04 | 2023-05-19 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于抛物面反射镜的brdf测量系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111664803B (zh) | 2021-05-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111664803B (zh) | 一种离轴抛物面反射镜快速检测方法及装置 | |
CN110207588B (zh) | 一种角锥棱镜光学顶点瞄准装置的装调方法 | |
US20140340691A1 (en) | Enhancements to integrated optical assembly | |
CN102385170B (zh) | 一种高精度测量调整光学镜片中心偏差的光学系统 | |
CN108761602B (zh) | 一种全息光栅光刻系统中干涉光路自准直的调节方法 | |
CN100383606C (zh) | 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置 | |
CN101614523B (zh) | 一种检测掠射筒状离轴非球面镜的多光束长轨干涉仪 | |
CN104930971A (zh) | 非零位检测中部分补偿透镜和被测面对准装置及对准方法 | |
CN104949630A (zh) | 一种大数值孔径条纹对比度可调节的点衍射干涉装置 | |
CN110793755A (zh) | 反射长焦望远镜装调中测量焦距的刀口装置与测量方法 | |
CN111426449B (zh) | 一种多台自准直仪光轴平行性校准方法 | |
EP2722705B1 (en) | Optical assembly and laser alignment apparatus | |
US10838361B2 (en) | Holographic grating lithography system and a method for adjusting the self-collimation of the interference optical path thereof | |
CN107966279B (zh) | 一种望远镜系统多视场波前测量装置及方法 | |
CN211668748U (zh) | 基于偏振分光的反射望远镜光轴监测的光校装置 | |
CN109253867B (zh) | 一种光学系统焦距测量系统及方法 | |
US10866082B2 (en) | Method for adjusting of a measuring device by an adjustment body, adjustment body and method for adjusting an adjustment body | |
CN105737758B (zh) | 一种长程面形测量仪 | |
CN110530297B (zh) | 一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪 | |
WO2009006914A1 (en) | Method of measuring a deviation of an actual shape from a target shape of an optical surface | |
CN105572867A (zh) | 利用双楔形板和标准角锥棱镜实现反射光束偏转的方法 | |
CN116183171A (zh) | 一种用于多方向光轴检测对准的分光棱镜光校装置 | |
CN110082071A (zh) | 一种直角棱镜光学平行差的测量装置及方法 | |
CN200959050Y (zh) | 干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置 | |
CN111504185B (zh) | 一种激光透射靶标及激光准直方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |