CN111504185B - 一种激光透射靶标及激光准直方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种激光透射靶标及激光准直方法。本发明的激光透射靶标,其特征在于,包括“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机;该“V”字形棱镜相对的竖直平面M1、M6分别为入射面和出射面,该“V”字形棱镜的四个斜面分别标记为M2、M3、M4、M5,其中,竖直平面M1分别与内侧斜面M2、外侧斜面M3相交,竖直平面M6分别与内侧斜面M5、外侧斜面M4相交;该直角棱镜的斜面与该“V”字形棱镜的斜面M2平行,该长方体棱镜的一个平面与该“V”字形棱镜的M6面平行固定,该CCD相机用于接收从斜面M5出射的光束。本发明实现了设备的在线同步准直以及实时位移监测。

Description

一种激光透射靶标及激光准直方法
技术领域
本发明属于激光技术领域,涉及一种激光透射靶标及激光准直方法。
背景技术
激光由于其亮度高、方向性好的特点可以用于设备的准直。激光准直的原理:以激光束的能量中心点的连线为基准线,激光束照射在靶标上,靶标里面的光斑探测器测量得到靶标相对于激光基准线的位置信息,将靶标安装在待测设备上,进而可以得到设备与设备之间的相对位置关系。对于多台设备的准直,基于常规靶标的激光准直是采用靶标移动测量的方法,即将靶标安置在当前待准直的设备上,测量设备相对于激光束的位置,然后移开这个靶标,让激光束通过,再将靶标安置在下一个待准直的设备上,这样依次测量,即得到所有设备相对于激光束的位置关系。由于这种常规的靶标会阻挡或改变激光的传播,而导致下游的靶标无法接收到激光,因此,这种常规靶标不能用于多设备的在线同步准直以及实时位移监测。
常规靶标及激光准直方法:首先用激光做一条基准线,然后将待测设备放在光路中,在待测设备上放置CCD相机。在准直时,先让光束通过第一台待准直设备上的CCD相机,得到设备相对于基准线的X-Y偏差,通过调节设备可以对第一个设备进行准直。调节完之后将第一个设备上的CCD移开,让光束照射在下个待准直设备上的CCD相机,从而对此设备进行准直,如图1所示。
为了减少CCD相机的使用,也有利用可调光圈代替每一个待测设备上的CCD相机,如图2所示,准直方法为:首先用激光做一条基准线,并照射在最后面的CCD相机上,将带测量设备放在激光器和CCD的光路中间,然后分别在每个待测设备上放置可调光圈。先让所有的光圈开到最大,不影响光束传播。在准直时,将第一个光圈缩小,然后用CCD相机记录光束通过这个光圈后的光斑分布以及光斑位置,这样就可以得到光圈相对于基准线的X-Y偏差,然后将第一个光圈打开,同时将第二个光圈缩小,从而得到第二个光圈的X-Y偏差。重复该过程便可得到所有设备相对于基准激光束的位置关系,进而对每一个设备进行调节准直。
如果同时缩小两个或两个以上光圈,则每个缩小的光圈都会对最后CCD接收到的光斑产生作用,因此这种方法每次只能测量一个位置点。
为了使激光靶标相互之间不影响可以利用分束镜对光束进行分束。让一部分激光束通过分束镜,另外一部分光束反射进入探测器上。其光路如图3(a)所示,光束通过反射镜M1后,在前表面进行反射,反射光进入探测器,这样可以得到靶标相对于激光基准线的相对偏差,另外一束光折射后透过反射镜,这样就可以在后面放置相同的靶标进行探测,但是激光束每经过一个这样的靶标就会产生一个偏移。
为了解决这个偏移,可以再加一片相同厚度、相同折射率的平面透镜M2,用来补偿第一个分束镜产生的偏移量如图3(b)所示。也可以使用分束棱镜来代替图3(b)所示的两个镜片从而减少透镜的使用,光路如图3(c)所示。但是对于图3(b)、图3(c)所示的两种靶标只有在入射角为45°或0°时才能实现偏移量的补偿,在这种情况下,设备在垂直于激光基准线的平面内发生上下左右平移时入射角度不发生变化,此时激光束通过靶标后不发生偏移。但是,当设备有俯仰和偏摆变化时入射角就会发生变化,此时激光束通过靶标后就会产生一定偏移量Δd,这个偏移量和入射角以及镜片的厚度有关,如图4所示。例如,若分光棱镜为厚度10mm的光学玻璃BK7(硼硅酸盐冕玻璃),入射光为波长632.8nm的氦氖激光,折射率为1.456,当分光棱镜不旋转时,光束垂直入射,入射角度为0°,入射光AB和出射光DE同轴;当分光棱镜逆时针旋转2°时,入射角为2°,此时出射光相对于入射光偏移0.1mm。若前面激光束通过上游的激光靶标产生偏移,那么就会影响下游激光靶标的探测结果。
现有技术利用的常规靶标会挡光或者是前面的激光靶标会对后面测量产生影响,当使用分束镜对激光进行分束时只有在入射角为45°或0°时才能实现入射和出射光的同轴。在激光准直时每次只能准直一台设备,不能用于多目标的同步准直。
发明内容
针对现有技术中存在的技术问题,本发明的目的在于提供一种激光透射靶标及激光准直方法,实现了设备的在线同步准直以及实时位移监测。
本发明的技术方案为:
一种激光透射靶标,其特征在于,包括“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机;该“V”字形棱镜相对的竖直平面M1、M6分别为入射面和出射面,该“V”字形棱镜的四个斜面分别标记为M2、M3、M4、M5,其中,竖直平面M1分别与内侧斜面M2、外侧斜面M3相交,竖直平面M6分别与内侧斜面M5、外侧斜面M4相交;该直角棱镜的斜面与该“V”字形棱镜的斜面M2平行,该长方体棱镜的一个平面与该“V”字形棱镜的M6面平行固定,该CCD相机用于接收从斜面M5出射的光束。
进一步的,斜面M2与竖直平面M1之间的夹角为45°,斜面M5与竖直平面M6之间的夹角为45°,斜面M2垂直于斜面M5,斜面M3垂直于斜面M4。
进一步的,斜面M3、M4、M5表面镀有高反膜。
进一步的,还包括一用于容纳所述“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机的靶标外壳。
进一步的,该靶标外壳上面设有调平水泡和一孔径光阑。
一种激光透射靶标,其特征在于,包括“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机;该“V”字形棱镜相对的竖直平面M1、M6分别为入射面和出射面,该“V”字形棱镜的四个斜面分别标记为M2、M3、M4、M5,其中,竖直平面M1分别与内侧斜面M2、外侧斜面M3相交,竖直平面M6分别与内侧斜面M5、外侧斜面M4相交;该直角棱镜的斜面与该“V”字形棱镜的斜面M2平行,该长方体棱镜位于与该“V”字形棱镜中间,该CCD相机用于接收从斜面M5出射的光束。
一种基于激光透射靶标的激光准直方法,其步骤包括:
1)利用激光器所发射激光束作为一条水平的基准线,在该基准线的末端设置一个激光透射靶标,并记录激光束在所述激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置;
2)在当前所选待准直设备上安装固定一激光透射靶标,并将其放在激光束光路中,使光束通过当前所选待准直设备上的激光透射靶标;
3)调节当前所选待准直设备,使其处于水平并且光束入射当前所选待准直设备上的激光透射靶标;读取该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置,如果该光斑位置没有变化,则进行步骤4);如果该光斑位置发生变化,则调节当前所选待准直设备直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同,然后进行步骤4);
4)读取当前所选待准直设备上的激光透射靶内CCD相机上的光斑位置,若光斑位于CCD相机中心,则判定当前所选待准直设备已准直到位;否则调节当前所选待准直设备,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑位于CCD相机中心;
5)选取下一台待准直设备放在激光束光路中,重复步骤2)~4);直至完成所有待准直设备的准直。
进一步的,步骤3)中,通过调节当前所选待准直设备的俯仰和偏摆,直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同。
进一步的,步骤4)中,通过调节当前所选待准直设备的水平位置和高低升降,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑位于CCD相机中心。
一种基于激光透射靶标的激光准直方法,其步骤包括:
1)利用激光器所发射激光束作为一条水平的基准线,在该基准线的末端设置一个激光透射靶标,并记录激光束在所述激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置;
2)在当前所选待准直设备上安装固定一激光透射靶标,并将其放在激光束光路中,使光束通过当前所选待准直设备上的激光透射靶标;
3)调节当前所选待准直设备,使其处于水平并且光束入射当前所选待准直设备上的激光透射靶标;读取该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置,如果该光斑位置没有变化,则进行步骤4);如果该光斑位置发生变化,则调节当前所选待准直设备直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同,然后进行步骤4);
4)读取当前所选待准直设备上的激光透射靶内CCD相机上的光斑位置,若光斑偏离CCD相机中心同一方向设定距离,则判定当前所选待准直设备已准直到位;否则调节当前所选待准直设备,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑偏离CCD相机中心同一方向设定距离;
5)选取下一台待准直设备放在激光束光路中,重复步骤2)~4);直至完成所有待准直设备的准直。
本发明设计一种激光透射靶标,可以在一定入射角范围内补偿入射光和出射光偏移量。并且设计一种运用此激光透射靶标的多目标同步激光准直方法。
在激光准直中,常规激光靶标通常会挡光,或者是当靶标的俯仰和偏摆发生变化时会使激光基准线产生偏移,这会对激光准直带来影响。本发明设计了一种激光透射靶标,可以补偿光束在不同入射角下经过靶标时产生的偏移量。新设计的激光透射靶标核心部件之一是1块“V”字形棱镜,如图5所示,“V”字形棱镜有两个竖直的平面M1和M6分别为入射面和出射面,且表面镀有增透膜;4个斜面M2、M3、M4、M5,其中M2表面镀有半透半反膜,M3、M4、M5表面镀有高反膜,斜面M2与竖直平面M1、斜面M5与竖直平面M6之间的夹角为45°,斜面M2垂直于M5,M3垂直于M4。整个新设计的激光透射靶标由靶标外壳、“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜、限制角度的孔径光阑、调平水泡和CCD相机组成,如图6所示。以“V”字形棱镜为中心,直角棱镜的斜面与“V”字形棱镜斜面M2胶合,长方体棱镜的一个平面与“V”字形棱镜M6面胶合,CCD相机用于接受从斜面M5出射的光束。当激光从限制光阑2入射,经过M1折射后进入“V”字形棱镜。随后光束被M2面分成两路,一路光透过M2,再透过直角三角棱镜,然后经过斜面M5反射,最后进入CCD相机中;另外一路光经过M2反射,再经过M3、M4、M5反射,最后经过长方体棱镜折射后离开透明靶标继续向后传播。靶标中的“V”字形棱镜主要用于将入射激光束分成两束光,一束光为探测光路,另外一束光继续向后传播。靶标中的长方体棱镜主要用于补偿“V”字形棱镜所产生的光束偏移。图6中虚线为激光束,设激光传播轴为Z轴,激光束不动,当激光透射靶标沿着X轴在±1°之内旋转,沿着Y轴在±3°之内旋转,出射光与入射光之间的偏移量小于±1μm。在靶标外壳上面固定调平水泡可以用来协助靶标的调平与使用。
使用时可将激光透射靶标放置在标准的球形安装座上,安装好之后球形安装座的中心和激光透射靶标的中心同轴。在每一个需要准直的设备上放置安装好之后的激光透射靶标,便可对设备进行同步准直。以激光束为基准线,利用激光透射靶标中的CCD相机得到每一个激光透射靶标相对于基准线之间的偏差,也就得到了球形安装座与基准线的偏差,从而得到各个设备之间的位置关系,然后对设备进行准直调节。当上游激光透射靶标发生旋转,并不会对下游的激光基准线产生影响,因此也不会影响对下游激光透射靶标探测到的偏移量。在调节过程中每一个激光透射靶标的偏移量可以实时显示在电脑屏幕上,这样就可以实现多个设备在线同步准直,如图8所示。
与现有技术相比,本发明的积极效果为:
1.由“V”字形棱镜和长方体棱镜组成的激光透射靶标,用于补偿光束在通过棱镜之后产生的偏移量。
2.可通过旋转90°来使俯仰和偏移的约束范围互换。
3.在靶标外壳上有两个相会垂直的调平水泡,并且靶标前面带有限制光阑,用于激光透射靶标的调平和约束入射光的角度范围。
4.利用激光透射靶标进行准直,准直结束之后不拆卸设备上的激光透射靶标,所有的激光透射靶标用于设备的实时监测,并且可以根据监测位置对其中的某一个设备进行调节。
总体而言,本发明设计的激光透射靶标使得设备准直与在线同步监测非常方便。透射激光靶标利用两种特殊结构的棱镜对光束的偏移量进行补偿,补偿后的偏移量小于±1μm。保证了在一定角度内上游设备的姿态变化不会影响下游光束基准线,解决了常规激光靶标挡光或靶标旋转后下游光束发生偏移的问题。
本发明中激光准直方法利用激光透射靶标,可以同时进行多目标点的准直和监测,减少了操作步骤,提高工作效率。
附图说明
图1为传统激光准直方法示意图;
图2为利用可调光圈进行准直的示意图;
图3为传统激光靶标探测光路图;
(a)利用1个分束平行平板探测光路图,(b)有补偿镜的平行平板探测光路图,
(c)分束棱镜探测光路图;
图4为激光靶标旋转后的光路图;
(a)旋转后的平行平板光路图,(b)旋转后的棱镜光路图;
图5为本发明的“V”字形棱镜图;
图6为本发明的激光透射靶标主视结构图与内部结构图;
(a)外壳图,(b)内部结构图;
图7为本发明中安装在标准球形安装座上的激光透射靶标;
图8为基于激光透射靶标的准直示意图;
图9为本发明的激光透射靶标内部光路图;
图10为“V”字形棱镜旋转后光路偏移图;
(a)0°入射;(b)绕X轴逆时针旋转;(c)绕X轴顺时针旋转;
图11为长方体棱镜旋转后光路偏移图;
(a)0°入射;(b)绕X轴逆时针旋转;(c)绕X轴顺时针旋转;
图12为本发明的其他简单变形图;
(a)靶标绕X轴旋转引起的偏移量,(b)靶标绕Y轴旋转引起的偏移量;
图13为激光透射靶标结构图;
图中:1-靶标外壳,2-限制光阑,3-调平水泡,4-CCD相机,5-长方体棱镜,6-直角三棱镜,7-“V”字形棱镜。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本申请作进一步详细说明,但不仅限于此。
如图5所示,本发明激光透射靶标内部有一个“V”字形结构的棱镜,“V”字形棱镜有两个竖直的平面M1和M6分别为入射面和出射面,且表面镀有增透膜;有4个斜面M2、M3、M4、M5,其中M2表面镀有半透半反膜,M3、M4、M5表面镀有高反膜,斜面与竖直平面M1、M2之间的夹角为45°,斜面M2垂直于M5,M3垂直于M4。
整个靶标的内部光路部分如图9所示,将直角三棱镜斜面与“V”字形棱镜的斜面M2胶合(直角棱镜的斜面需要与M2面平行;实际中,两个面贴合或胶合在一起比较方便且省空间),将长方体棱镜与“V”字形棱镜的出射面M6胶合。激光束从“V”字形棱镜入射面M1进入,经过M2面分成两路光。一路光透过M2,再透过直角棱镜6,最后再经过斜面M5反射进入CCD相机,通过CCD相机可以获得激光透射靶标相对于激光束的偏移量;另一路光被M2反射,再依次被斜面M3、M4、M5反射,最后再从长方体棱镜5透射出来,继续向后传播。因为光束经过斜面M3后会发生折射,导致折射光与入射光不平行,因此在斜面M3后胶合有直角棱镜,使光束透过直角三棱镜后依然平行于入射光,便于CCD探测。
如图10所示,对于“V”字形棱镜来说,激光束从M1入射面进入后,再经过其他面的反射后从出射面M6出射。若入射光束垂直于入射面M1(入射角为0°),则出射光束与入射光束同轴;激光束不动,当激光靶标绕着X轴逆时针旋转θ角,入射角度为θ,此时出射光和入射光虽然平行,但是出射光相对于入射光会往-Y方向偏移;当“V”字棱镜顺时针旋转θ角,入射角度为-θ,此时出射光和入射光虽然平行,但是出射光相对于入射光会往+Y方向偏移,设偏移量为Δd1。
如图11所示,对于长方体棱镜来说,若入射光束垂直入射(入射角为0°),则出射光束与入射光束同轴;激光束不动,当激光靶标绕着X轴逆时针旋转θ角,入射角度为θ,此时出射光和入射光虽然平行,但是出射光相对于入射光会往+Y方向偏移;当“V”字棱镜顺时针旋转θ角,入射角度为-θ,此时出射光和入射光虽然平行,但是出射光相对于入射光会往-Y方向偏移,设偏移量为Δd2。
对于相同的旋转方向,“V”字形棱镜和长方体棱镜对光束产生的偏移方向是相反的。类似的,对于激光靶标偏摆发生改变,即激光靶标绕着Y轴旋转时,可以分析得到,对于相同的旋转方向,“V”字形棱镜和长方体棱镜对光束产生的偏移方向也是相反的。因此可以将两者结合起来,选取合适的参数,在一定入射角内对偏移量进行补偿,如图9所示。
可以利用矢量形式的折射、反射定律:
Figure BDA0002463573100000071
Figure BDA0002463573100000072
其中:
Figure BDA0002463573100000073
Figure BDA0002463573100000074
Figure BDA0002463573100000075
分别为沿入射光线、折射光线和法线的单位矢量,
Figure BDA0002463573100000076
为反射矢量。n为空气折射率,n’为棱镜折射率,θ为入射角。
对光束经过整个激光靶标产生的偏移量进行定量计算。根据补偿要求可以计算得出合适的长方体棱镜厚度、“V”字形棱镜斜面之间距离以及补偿角度范围。计算可得,在当激光透射靶标沿着X轴在±1°之内旋转,沿着Y轴在±3°之内旋转,出射光与入射光之间的偏移量小于±1μm,偏移量和旋转角之间的关系如图12所示。
用靶标壳将光路部分固定起来,并在平面M1前面加限制光阑2,用于限制入射激光透射靶标的角度。在外壳上固定两个相互垂直的调平水泡,协助靶标调平,调平水泡可以限制激光透射靶标的旋转角度小于±1°。激光透射靶标的外壳为圆柱体,圆柱体的中心线与中心光束重合。中心光束线是入射角为0°且经过CCD相机中心的光线。实际中可以将激光透射靶标沿着Z轴旋转90°,这样就可以使俯仰和偏移的约束范围互换。
如图8所示,为了将设备中心准直到一条直线上,基于激光透射靶标的激光准直方法为:
1.激光器发射激光束确定一条水平的基准线,在基准线的末端设置一个监测用激光透射靶标,在准直过程中,上述激光器和透射靶标保持不动,同时,记录下激光束在透射靶标内CCD相机上的光斑位置。
2.将需要用的激光透射靶标安装在标准的球形安装座内,如图7所示。
3.在每一台待准直设备中心上固定步骤2得到的靶标。
4.将带有透射靶标的设备放在激光束光路中,使光束通过设备上的激光透射靶标。
5.粗调。调节设备,使透射靶标上水平放置的调平水泡处于位于水泡中心,并且使光束从限制光阑中心入射靶标。
6.读取末端监测用透射靶标内CCD相机上的光斑位置。若光斑位置没有变化,则进行步骤6;若光斑位置发生变化,则调节设备的俯仰和偏摆,直到末端透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1相同,然后进行步骤6。
7.读取当前设备上激光透射靶内CCD相机上的光斑位置。若光斑位于CCD相机中心,则此设备已准直到位;若光斑与CCD中心有距离,则调节设备的水平移动和高低升降,直到此设备上激光透射靶标内CCD相机上光斑位于相机中心,则此设备准直到位。
8.将下一台待准直设备放在激光束光路中,使光束通过设备上的激光透射靶标。
9.重复步骤4-7,直到所有的设备均准直完成,则所有的设备均准直到一条直线上。
10.待所有设备准直好之后,不拆卸激光透射靶标,进行多设备同步实时监测,当上游设备发生偏移和旋转时并不会影响下游设备的基准光束,因此可以单独对某个设备进行实时调节。
上述调整过程中,也可以将每一准直设备上激光透射靶内CCD相机上的光斑位置均偏离CCD相机中心同一方向设定距离,则此设备已准直到位。
在进行补偿时也可以将长方体棱镜放在“V”字形棱镜中间,尺寸与之前相同,可实现相同的补偿效果。
以上内容是结合具体的实施方式对本申请所作的进一步详细说明,不能认定本申请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换。

Claims (9)

1.一种激光透射靶标,其特征在于,包括“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机;该“V”字形棱镜相对的竖直平面M1、M6分别为入射面和出射面,该“V”字形棱镜的四个斜面分别标记为M2、M3、M4、M5,其中,竖直平面M1分别与内侧斜面M2、外侧斜面M3相交,竖直平面M6分别与内侧斜面M5、外侧斜面M4相交,斜面M2与竖直平面M1之间的夹角为45°,斜面M5与竖直平面M6之间的夹角为45°,斜面M2垂直于斜面M5,斜面M3垂直于斜面M4;该直角三棱镜的斜面与该“V”字形棱镜的斜面M2平行,该长方体棱镜的一个平面与该“V”字形棱镜的M6面平行固定,该CCD相机用于接收从斜面M5出射的光束。
2.如权利要求1所述的激光透射靶标,其特征在于,斜面M3、M4、M5表面镀有高反膜。
3.如权利要求1所述的激光透射靶标,其特征在于,还包括一用于容纳所述“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机的靶标外壳。
4.如权利要求3所述的激光透射靶标,其特征在于,该靶标外壳上面设有调平水泡和一孔径光阑。
5.一种激光透射靶标,其特征在于,包括“V”字形棱镜、长方体棱镜、直角三棱镜和CCD相机;该“V”字形棱镜相对的竖直平面M1、M6分别为入射面和出射面,该“V”字形棱镜的四个斜面分别标记为M2、M3、M4、M5,其中,竖直平面M1分别与内侧斜面M2、外侧斜面M3相交,竖直平面M6分别与内侧斜面M5、外侧斜面M4相交,斜面M2与竖直平面M1之间的夹角为45°,斜面M5与竖直平面M6之间的夹角为45°,斜面M2垂直于斜面M5,斜面M3垂直于斜面M4;该直角三棱镜的斜面与该“V”字形棱镜的斜面M2平行,该长方体棱镜位于与该“V”字形棱镜中间,该CCD相机用于接收从斜面M5出射的光束。
6.一种基于权利要求1所述激光透射靶标的激光准直方法,其步骤包括:
1)利用激光器所发射激光束作为一条水平的基准线,在该基准线的末端设置一个激光透射靶标,并记录激光束在所述激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置;
2)在当前所选待准直设备上安装固定一激光透射靶标,并将其放在激光束光路中,使光束通过当前所选待准直设备上的激光透射靶标;
3)调节当前所选待准直设备,使其处于水平并且光束入射当前所选待准直设备上的激光透射靶标;读取该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置,如果该光斑位置没有变化,则进行步骤4);如果该光斑位置发生变化,则调节当前所选待准直设备直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同,然后进行步骤4);
4)读取当前所选待准直设备上的激光透射靶内CCD相机上的光斑位置,若光斑位于CCD相机中心,则判定当前所选待准直设备已准直到位;否则调节当前所选待准直设备,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑位于CCD相机中心;
5)选取下一台待准直设备放在激光束光路中,重复步骤2)~4);直至完成所有待准直设备的准直。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤3)中,通过调节当前所选待准直设备的俯仰和偏摆,直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同。
8.如权利要求6所述的方法,其特征在于,步骤4)中,通过调节当前所选待准直设备的水平位置和高低升降,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑位于CCD相机中心。
9.一种基于权利要求1所述激光透射靶标的激光准直方法,其步骤包括:
1)利用激光器所发射激光束作为一条水平的基准线,在该基准线的末端设置一个激光透射靶标,并记录激光束在所述激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置;
2)在当前所选待准直设备上安装固定一激光透射靶标,并将其放在激光束光路中,使光束通过当前所选待准直设备上的激光透射靶标;
3)调节当前所选待准直设备,使其处于水平并且光束入射当前所选待准直设备上的激光透射靶标;读取该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机上的光斑位置,如果该光斑位置没有变化,则进行步骤4);如果该光斑位置发生变化,则调节当前所选待准直设备直到该基准线末端的激光透射靶标内CCD相机的光斑位置与步骤1)的光斑位置相同,然后进行步骤4);
4)读取当前所选待准直设备上的激光透射靶内CCD相机上的光斑位置,若光斑偏离CCD相机中心同一方向设定距离,则判定当前所选待准直设备已准直到位;否则调节当前所选待准直设备,直到当前所选待准直设备上的激光透射靶标内CCD相机上光斑偏离CCD相机中心同一方向设定距离;
5)选取下一台待准直设备放在激光束光路中,重复步骤2)~4);直至完成所有待准直设备的准直。
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US5438449A (en) * 1987-11-25 1995-08-01 Raytheon Company Beam pointing switch
DE19508100B4 (de) * 1995-02-03 2004-09-02 Storz Endoskop Gmbh Vorrichtung zum Einkoppeln von Lichtstrahlen in eine Lichtleitfaser
CN1304880C (zh) * 2005-08-09 2007-03-14 哈尔滨工业大学 漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法
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