CN111649660A - 一种基于锁相放大的电容式位移测量装置与方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于锁相放大的电容式位移测量装置及方法，包括超磁致伸缩致动装置、可编程电流源、恒压源、锁相放大单元；超磁致伸缩致动装置由底座、超磁致伸缩材料棒、励磁线圈组成；底座上面设置两个电容极板；可编程电流源给励磁线圈通正弦电流信号，超磁致伸缩材料棒产生周期性形变，带动电容电极，周期振动，形成机械调制；恒压源给其中一块电容极板施加恒压激励，被测金属物体表面产生感应电荷，另一块电容电极上也产生感应电荷；将未接恒压源的电容极板上的电荷信号作为测试信号，送入锁相放大单元，将可编程电流源输出的信号作为参考信号，对测试信号进行处理，得到被测位移值。
Description
技术领域
本发明涉及电容式位移传感器的设计，新型智能材料的应用，以及信号处理领域，更具体的说，是涉及一种基于锁相放大的电容式位移测量装置与方法。
背景技术
电容式位移传感器在测量过程中，使测量电极板端面接近被测金属物体的表面，平行或尽可能平行，调整初始间隙，外加一个稳定激励，位移导致极板间隙的变化，通过感应电荷的变化体现出来，再由感应装置采集电荷量的变化，通过信号处理放大装置提取信号，得到被测量。而反射式电容传感器的结构中，被测物体与整个测量装备不需要用硬件连接，而是通过测量装备上两块相互绝缘的极板获得目标信号，可以避免对被测物体的干扰，并且方便装置对不同物体进行测量。
电容式位移测量作为一种非接触式测量，容易受到外界信号的干扰，所以信号的处理放大过程十分重要。而超磁致伸缩材料具有超磁致伸缩效应，具体表现为铁磁体在磁化过程中具有线度的伸长或缩短，且具有较高的磁致伸缩系数，可以实现电磁能和机械能的相互转化。超磁致伸缩材料具有机械响应快、耦合系数高、功率密度大等优点，并被广泛的应用于精密定位控制、机械制动器等方面。利用磁致伸缩效应，我们可以采用磁致伸缩材料(GMM)对被测信号进行机械调制。
由于电容式传感器通常具有输出信号较小，容易被外界干扰，并且有参数分布等问题，所以使用锁相放大单元进行信号处理。锁相放大单元是一种基于相关检测技术的同步相干检测仪，是利用互相关原理，对检测信号和参考信号进行相关运算的设备。关键是要求参考信号的频率于输入信号的频率相关而与噪声信号的频率不相关，从而达到排除噪音信号提高信噪比的效果。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，利用新型智能材料和锁相放大单元提供一种除了具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点的电容式高精度微小位移测量方式，即一种基于锁相放大的电容式位移测量装置与方法，通过机械调制方式提高信噪比，可以实现高精度的微小位移测量。
本发明的目的可通过以下技术方案实现。
本发明基于锁相放大的电容式位移测量装置，包括超磁致伸缩致动装置、可编程电流源、恒压源、锁相放大单元；
所述超磁致伸缩致动装置由底座、超磁致伸缩材料棒、励磁线圈组成，所述超磁致伸缩材料棒竖直放置于底座内部中心位置，所述励磁线圈环绕于超磁致伸缩材料棒和底座之间；所述底座上表面水平设置两个对称且彼此绝缘的电容极板，被测金属物体悬空位于电容极板的正上端，与两个电容极板构成一个反射式电容位移传感器；
所述可编程电流源给励磁线圈通一定频率、幅值的正弦电流信号，超磁致伸缩材料棒产生按一定频率周期性变化的形变，带动电容电极，使其按一定频率周期振动，形成机械调制；所述恒压源给超磁致伸缩致动装置一端安装的两块相互隔离的电容电极中的一块施加一个恒压激励，在被测金属物体表面产生感应电荷，从而在相互隔离的另一块电容电极上也产生感应电荷；用导线将未接恒压源的电容极板上的电荷信号作为测试信号，送入锁相放大单元，同时将可编程电流源输出的信号作为参考信号，对测试信号进行锁相放大、滤除噪声，得到被测位移值。
本发明的目的还可通过以下技术方案实现。
本发明基于锁相放大的电容式位移测量方法，包括以下过程：
第一步：超磁致伸缩致动装置输出端安装两个彼此绝缘的电容极板，被测金属物体悬空位于电容极板的正上端，两个电容极板与被测金属物体构成一个反射式电容位移传感器；
第二步：通过可编程电流源给励磁线圈一个频率幅值一定的正弦电流信号，使超磁致伸缩材料棒产生周期性伸缩，带动电容电极与被测金属物体之间间距随之周期性变化，即被测位移产生一个机械调制；
第三步：给反射式电容位移传感器其中一个电容极板施加一个恒压激励，被测金属物体上会产生感应信号，随着电容极板与被测金属物体间距变化，另一个电容极板会产生并输出调制信号；
第四步：将反射式电容位移传感器的调制信号作为测试信号，将可编程电流源产生的电流信号作为参考信号，将测试信号和参考信号一起经过锁相放大单元，滤除杂波得到被测位移值。
与现有技术相比，本发明的技术方案所带来的有益效果是：
本发明中两个电容极板与被测金属物体构成一个反射式电容位移传感器，这种反射式电容位移传感器结构可以避免被测金属物体与测量装置的硬件连接，一方面不会对被测物体产生干扰，另一方面可以方便装置对不同的被测物体进行测量。极大的提高了测量的便捷程度和稳定程度，同时让测量效率更高。
本发明通过利用GMM的磁致伸缩效应和锁相放大单元的结合利用，GMM驱动器产生机械调制，锁相放大单元滤除噪声，收集特定频率的信号，极大程度的滤除了环境噪声信号，提高了信噪比，减少了外界干扰对于电容式位移传感器输出信号的影响，提高了产品的稳定性和精确度。
附图说明
图1是本发明基于锁相放大的电容式位移测量装置示意图。
图2是本发明中超磁致伸缩致动装置及电容极板的结构示意图。
图3是本发明基于锁相放大的电容式位移测量方法流程图。
附图标记：1被测金属物体，2电容极板，3超磁致伸缩材料棒，4底座，5励磁线圈，6恒压源，7可编程电流源，8锁相放大单元。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做出进一步的详细描述。需要说明的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。
如图1和图2所示，本发明基于锁相放大的电容式位移测量装置，包括超磁致伸缩致动装置、可编程电流源7、恒压源6、锁相放大单元8。
所述超磁致伸缩致动装置由底座4、超磁致伸缩材料棒3、励磁线圈5组成，所述超磁致伸缩材料棒3竖直放置于底座4内部中心位置，所述励磁线圈5环绕于超磁致伸缩材料棒3和底座4之间。所述底座4上表面水平设置两个对称且彼此绝缘的电容极板2，被测金属物体1悬空位于电容极板2的正上端，与两个电容极板2构成一个反射式电容位移传感器。
所述可编程电流源7给励磁线圈5通一定频率、幅值的正弦电流信号，由于超磁致伸缩材料有磁致伸缩效应，因此超磁致伸缩材料棒3会产生按一定频率周期性变化的形变，带动超磁致伸缩致动装置一端安装的电容电极2，使其按一定频率周期振动，形成机械调制。所述恒压源6给超磁致伸缩致动装置一端安装的两块相互隔离的电容电极2中的一块施加一个恒压激励，在被测金属物体1表面产生感应电荷，从而在相互隔离的另一块电容电极2上也产生感应电荷，这就构成了反射式电容位移传感器，待测量的位移值大小通过感应电荷的大小反应。用导线将未接恒压源6的电容极板2上的电荷信号作为测试信号，送入锁相放大单元8，同时将可编程电流源7输出的信号作为参考信号，送入锁相放大单元8，对测试信号进行前级放大、带通滤波、AC放大等处理，最终可以得到信噪比较高的输出信号，即被测位移值。
本发明基于锁相放大的电容式位移测量方法，如图3所示，具体实现过程如下：
第一步：超磁致伸缩致动装置输出端安装两个彼此绝缘的电容极板2，被测金属物体1悬空位于电容极板2的正上端，两个电容极板2与被测金属物体1构成一个反射式电容位移传感器。本发明位移测量装置不需要与被测金属物体1进行硬件连接。
位移电容传感器的工作原理如下：
其中，Q为电荷量，ΔU为两极板之间的电势差，εr是相对介电常数，k是静电力常量，A是两极板相对面积，d是间距，也是被测量。由原理可知，在测量过程中，在保持两板之间电势差不变的情况下，d发生的变化会导致电荷量Q的变化，电荷量Q的变化可以反应被测量的变化。
第二步：通过可编程电流源7给励磁线圈5一个频率幅值一定的正弦电流信号，使超磁致伸缩材料棒3产生周期性伸缩，带动电容电极2与被测金属物体1之间间距随之周期性变化，即被测位移产生一个机械调制。机械调制方式是由材料的特殊性质可以通过外加激励令电容极板2产生频率可控的机械振动。
根据磁致伸缩效应，GMM材料的最大形变量与磁化强度的关系可以表示为
Smax＝λsL1 (2)
其中，Smax表示GMM材料的最大输出形变量，λS表示一个GMM材料的磁致伸缩系数，L1表示GMM材料的长度。
磁致伸缩材料在外加磁场作用下发生形变产生磁-机械转换效应,可表示为：
S＝S(σ,H) (3)
对于电磁线圈产生的磁场强度一般可表示为：
H＝NI/L2 (4)
其中，S表示磁致伸缩材料形变量；σ表示外加应力；H表示外加磁场强度；N表示螺线管匝数；I表示加载电流强度；L2表示螺线管长度。由公式(3)、(4)可以看出，我们可以通过控制输入GMM驱动线圈的正弦信号的幅值和频率，控制超磁致伸缩材料纵向振动的幅值和频率，使GMM在纵向产生一个频率可控的振动，由此对被测量产生一个机械调制。
根据磁致伸缩效应原理，确定的GMM棒材的磁致伸缩系数λs为正或为负是确定的，即在确定了材料的情况下，若磁致伸缩率为正则GMM棒材会在外加磁场的作用下伸长，若磁致伸缩率为负则GMM棒材会在外加磁场作用下缩短，伸长或缩短只与材料本身性质有关，而与外加磁场的方向无关，所以GMM棒材纵向振动的频率是外加激励频率的二倍。
第三步：给反射式电容位移传感器其中一个电容极板2施加一个恒压激励，被测金属物体1上会产生感应信号，随着被测量的变化，电容极板2与被测金属物体1间距变化，另一个电容极板2会产生并输出调制信号。
第四步：将反射式电容位移传感器的调制信号作为测试信号，将可编程电流源7产生的电流信号作为参考信号，将测试信号和参考信号一起经过锁相放大单元8进行信号处理，可以滤除杂波得到被测位移值。其中，锁相放大单元8可以对一定的频率进行精准的提取放大，达到通过机械调制方式最大程度滤除噪声，提高信噪比的作用。
锁相放大单元8相当于一个检测器和一个窄带通滤波器的组合，他采用的是外差式振荡技术用于从干扰噪声中提取一个小并且带宽窄的信号，它把被测量的信号通过频率变换的方式转变成为直流。即利用锁相放大单元中的信号相关原理，在随时间的演变过程中两个同频信号可以相互关联，而噪声作为随机变量与被测信号不相关联，经过长时间积分平均后对周期性重复信号的累计要比对随机噪声的累计大得多，所以当所需信号的频率和相位的是已知的情况下，非常小的信号可以从大量的不相关的噪声中检测出来，达到通过互相关运算削弱噪声影响的目的。
实施例
根据要求，我们利用通电线圈对GMM材料进行磁化。可以用OPA549、DAC7800设计一个可编程电流源，给励磁线圈通一个幅值、频率一定的正弦电流信号，驱动线圈可以根据所输入的电流大小，选择合适直径的漆包线缠绕。根据GMM材料的磁致伸缩效应，GMM会产生一个纵向的振动，振动的频率是电信号频率的两倍，振动的幅值可以根据输入电流信号的幅值进行计算。同时需要一个频率与GMM纵向振动频率相同的信号(即频率为外加正弦信号二倍的信号)作为之后锁相放大装置的参考信号。
在超磁致伸缩致动装置输出端固定有两块彼此绝缘的电容极板。恒压源给其中一块电容极板一个稳定的电压激励，使该电容极板与被测金属物体间产生一个电势差，根据电容器的工作原理，被测金属物体表面会产生感应电荷，进而使绝缘的另一块电容极板产生感应电荷，极板间距的变化将导致该电容极板上感应电荷数量的变化。
GMM材料的纵向振动对反射式电容位移传感器上的信号进行了机械调制，所以从电容器上可以收集到一个调制信号。
用锁相放大单元对这个调制信号进行处理。本发明将GMM材料纵向振动的频率(即电流信号频率的二倍)作为参考信号的频率，锁相放大单元就是基于相关检测的原理，将与参考信号同频的信号检测出来，而把与参考信号不同频的噪声或干扰信号抑制掉，从而提高了测量的信噪比。
尽管上面结合附图对本发明的功能及工作过程进行了描述，但本发明并不局限于上述的具体功能和工作过程，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可以做出很多形式，这些均属于本发明的保护之内。
Claims (2)
1.一种基于锁相放大的电容式位移测量装置，其特征在于，包括超磁致伸缩致动装置、可编程电流源(7)、恒压源(6)、锁相放大单元(8)；
所述超磁致伸缩致动装置由底座(4)、超磁致伸缩材料棒(3)、励磁线圈(5)组成，所述超磁致伸缩材料棒(3)竖直放置于底座(4)内部中心位置，所述励磁线圈(5)环绕于超磁致伸缩材料棒(3)和底座(4)之间；所述底座(4)上表面水平设置两个对称且彼此绝缘的电容极板(2)，被测金属物体(1)悬空位于电容极板(2)的正上端，与两个电容极板(2)构成一个反射式电容位移传感器；
所述可编程电流源(7)给励磁线圈(5)通一定频率、幅值的正弦电流信号，超磁致伸缩材料棒(3)产生按一定频率周期性变化的形变，带动电容电极(2)，使其按一定频率周期振动，形成机械调制；所述恒压源(6)给超磁致伸缩致动装置一端安装的两块相互隔离的电容电极(2)中的一块施加一个恒压激励，在被测金属物体(1)表面产生感应电荷，从而在相互隔离的另一块电容电极(2)上也产生感应电荷；用导线将未接恒压源(6)的电容极板(2)上的电荷信号作为测试信号，送入锁相放大单元(8)，同时将可编程电流源(7)输出的信号作为参考信号，对测试信号进行锁相放大、滤除噪声，得到被测位移值。
2.一种基于锁相放大的电容式位移测量方法，其特征在于，包括以下过程：
第一步：超磁致伸缩致动装置输出端安装两个彼此绝缘的电容极板(2)，被测金属物体(1)悬空位于电容极板(2)的正上端，两个电容极板(2)与被测金属物体(1)构成一个反射式电容位移传感器；
第二步：通过可编程电流源(7)给励磁线圈(5)一个频率幅值一定的正弦电流信号，使超磁致伸缩材料棒(3)产生周期性伸缩，带动电容电极(2)与被测金属物体(1)之间间距随之周期性变化，即被测位移产生一个机械调制；
第三步：给反射式电容位移传感器其中一个电容极板(2)施加一个恒压激励，被测金属物体(1)上会产生感应信号，随着电容极板(2)与被测金属物体(1)间距变化，另一个电容极板(2)会产生并输出调制信号；
第四步：将反射式电容位移传感器的调制信号作为测试信号，将可编程电流源(7)产生的电流信号作为参考信号，将测试信号和参考信号一起经过锁相放大单元(8)，滤除杂波得到被测位移值。
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| CN (1) | CN111649660A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112179259A (zh) * | 2020-09-21 | 2021-01-05 | 合肥工业大学 | 一种电涡流位移传感器的干扰磁场噪声消除方法 |
| CN112254911A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-22 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种预应力可控的振动激励方法及装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2108273U (zh) * | 1991-05-31 | 1992-06-24 | 李树德 | 一种二维位移测量装置 |
| CN101788258A (zh) * | 2010-03-04 | 2010-07-28 | 上海雷尼威尔测量技术有限公司 | 用于磁致伸缩位移传感器的信号检测电路 |
| CN102843102A (zh) * | 2012-09-28 | 2012-12-26 | 江苏物联网研究发展中心 | 单片集成mems电容传感器锁相放大电路 |
| CN102922961A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-02-13 | 西安交通大学 | 一种电容式微型胎压传感器 |
| DE102012109841A1 (de) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Miniatur-Dilatometer für die Messungen der thermischen Ausdehnung und der Magnetostriktion zur Verwendung innerhalb eines Multifunktionseinsatzes eines PPMS-Gerätes |
| US20140136133A1 (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-15 | International Business Machines Corporation | Solar cell characteristics determination |
| CN105845668A (zh) * | 2015-01-17 | 2016-08-10 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Mim电容结构及其制作方法 |
| CN106569155A (zh) * | 2016-05-20 | 2017-04-19 | 中国计量大学 | 一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头 |
| CN206131977U (zh) * | 2016-08-31 | 2017-04-26 | 宁夏百辰工业产品设计有限公司 | 一种非接触磁压式位移传感器 |
-
2020
- 2020-05-29 CN CN202010479812.4A patent/CN111649660A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2108273U (zh) * | 1991-05-31 | 1992-06-24 | 李树德 | 一种二维位移测量装置 |
| CN101788258A (zh) * | 2010-03-04 | 2010-07-28 | 上海雷尼威尔测量技术有限公司 | 用于磁致伸缩位移传感器的信号检测电路 |
| DE102012109841A1 (de) * | 2011-11-17 | 2013-05-23 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Miniatur-Dilatometer für die Messungen der thermischen Ausdehnung und der Magnetostriktion zur Verwendung innerhalb eines Multifunktionseinsatzes eines PPMS-Gerätes |
| CN102843102A (zh) * | 2012-09-28 | 2012-12-26 | 江苏物联网研究发展中心 | 单片集成mems电容传感器锁相放大电路 |
| CN102922961A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-02-13 | 西安交通大学 | 一种电容式微型胎压传感器 |
| US20140136133A1 (en) * | 2012-11-13 | 2014-05-15 | International Business Machines Corporation | Solar cell characteristics determination |
| CN105845668A (zh) * | 2015-01-17 | 2016-08-10 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Mim电容结构及其制作方法 |
| CN106569155A (zh) * | 2016-05-20 | 2017-04-19 | 中国计量大学 | 一种基于超磁致伸缩薄膜的悬臂梁叉指电容磁场传感探头 |
| CN206131977U (zh) * | 2016-08-31 | 2017-04-26 | 宁夏百辰工业产品设计有限公司 | 一种非接触磁压式位移传感器 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| YUN ZHOU等: "Magnetoelectric response in a new tunable capacitor system based on onmagnetostrictive material and electret", 《SENSORS AND ACTUATORS A》 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112179259A (zh) * | 2020-09-21 | 2021-01-05 | 合肥工业大学 | 一种电涡流位移传感器的干扰磁场噪声消除方法 |
| CN112254911A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-01-22 | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 | 一种预应力可控的振动激励方法及装置 |
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