CN111644036A - 酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统。其中，所述尾气的处理方法包括以下步骤：将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作，以去除尾气中夹杂的铜离子；采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作，以进一步去除尾气中夹杂的铜离子；采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液。本发明的技术方案能够降低尾气处理成本。

Description

酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统

技术领域

本发明涉及电路板酸性蚀刻废液处理技术领域，特别涉及一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统。

背景技术

酸性蚀刻废液中提铜工艺通常采用直接电解工艺回收金属铜，酸性蚀刻废液在电解过程中阳极室会产生大量的氧化性气体氯气，大部分氯气循环至蚀刻线作氧化剂使用，但是，由于受限于工艺或环境的影响，存在少量的氯气未被利用，剩余少量的氯气和阴极室产生的酸性气体称为尾气，尾气中往往会夹杂着少量金属铜离子。相关技术中，这部分尾气的处理方法通常是先经过酸性氯化亚铁溶液吸收，再经碱液吸收缸处理后进入酸性气体处理塔处理后排空，氯化亚铁溶液吸收尾气后变成三氯化铁溶液，且含有酸和金属铜，需要作为酸性危险废物付费处理，尾气处理成本较大。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统，旨在降低尾气处理成本。

为实现上述目的，本发明提出的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，包括以下步骤：

将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作，以去除尾气中夹杂的铜离子；

采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作，以进一步去除尾气中夹杂的铜离子；

采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液。

可选地，所述碱溶液为氢氧化钠溶液，所述氢氧化钠溶液的质量浓度范围为12％至20％。

可选地，所述氢氧化钠溶液中含有稳定剂。

可选地，按质量计，所述稳定剂的含量为所述氢氧化钠溶液的0.8％至1.5％；和/或，所述稳定剂为碳酸钠和硅酸钠中的至少一种。

可选地，所述酸溶液的质量浓度范围为1％至5％；和/或，所述酸溶液为硫酸溶液和磷酸溶液中的至少一种。

可选地，采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液的步骤之后，还包括：当碱溶液的pH值降低至预设阈值时，将吸收后的尾气处理并排放。

可选地，定义将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作的次数为a，a≥2；和/或，定义采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作的次数为b，b≥2；和/或，定义采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作的次数为c，c≥2。

本发明还提出了一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，包括：电解槽，所述电解槽设有阴极室和阳极室；水洗涤塔，所述水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；酸洗涤塔，所述酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；以及碱液吸收缸，所述碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。

可选地，所述尾气的处理系统还包括酸性气体吸收塔，所述酸性气体吸收塔的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口；和/或，所述尾气的处理系统还包括产品储存罐，所述产品储存罐的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口。

可选地，所述水洗涤塔设置有多个，多个所述水洗涤塔串联设置，多个所述水洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；和/或，所述酸洗涤塔设置有多个，多个所述酸洗涤塔串联设置，多个所述酸洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；和/或，所述碱液吸收缸设置有多个，多个所述碱液吸收缸串联设置，多个所述碱液吸收缸中沿尾气流向位于最前面的碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。

本发明的技术方案，通过将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气依次进行水洗和酸洗操作，可以有效地去除尾气中夹杂的铜离子。之后采用碱溶液对其进行吸收，可以得到纯度较高的次氯酸盐，次氯酸盐具有较好的消毒杀菌效果，可直接媲美与市场中的消毒杀菌产品，如此实现了资源的利润最大化，降低了尾气的处理成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法一实施例的步骤流程示意图；

图2为本发明酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统一实施例的流程图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	处理系统	40	碱液吸收缸
10	电解槽	50	酸性气体吸收塔
				20	水洗涤塔	60	射流泵
30	酸洗涤塔	70	产品储存罐

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，用于对酸性蚀刻电解提铜系统产生的尾气进行处理回收，尾气包括电解提铜时电解槽10阳极室产生且未被利用的少量氯气和阴极室产生的酸性气体氯化氢，并且会夹杂着少量的铜离子。

请参阅图1，在本发明酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法一实施例中，处理方法包括以下步骤：

步骤S10，将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作，以去除尾气中夹杂的铜离子；

步骤S20，采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作，以进一步去除尾气中夹杂的铜离子；

步骤S30，采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液。

具体地，由于尾气中氯气会夹杂着少量的金属铜离子，首先将尾气进行水洗操作，可以除去部分尾气中夹杂的铜离子，这里水洗操作采用的水为自来水或纯水。然后将水洗后的尾气进行酸洗，以溶解去除剩余的铜离子，这样可以有效地将尾气中夹杂的铜离子去除。去除铜离子后的尾气采用碱溶液进行吸收，可以得到不含有金属铜离子的次氯酸盐，具有较好的消毒杀菌作用，可直接媲美与市场中的消毒杀菌产品，如此实现了资源的利润最大化。

因此，可以理解的，本发明的技术方案，通过将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气依次进行水洗和酸洗操作，可以有效地去除尾气中夹杂的铜离子。之后采用碱溶液对其进行吸收，可以得到纯度较高的次氯酸盐，次氯酸盐具有较好的消毒杀菌效果，可直接媲美与市场中的消毒杀菌产品，如此实现了资源的利润最大化，降低了尾气的处理成本。

在本发明的一实施例中，碱溶液为氢氧化钠溶液，氢氧化钠溶液的质量浓度范围为12％至20％。

在采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收时，碱溶液采用氢氧化钠溶液，则吸收后可以得到次氯酸钠溶液，次氯酸钠溶液是一种具有杀菌消毒效果的漂白水，可以直接媲美与市场中的漂白水，实现了资源的利润最大化，降低了尾气的处理成本。为了使得碱溶液具有较好的吸收效果，且产生的漂白水性能较好，要选用适宜浓度的氢氧化钠溶液，比如选用氢氧化钠溶液的质量浓度为12％、15％、17％或20％。

进一步地，由于次氯酸盐是一种弱酸盐，稳定性较差，容易分解造成产品失效，则为了保证该消毒杀菌产品具有较好的稳定性，一般地，氢氧化钠溶液中含有稳定剂。

可选地，稳定剂为碳酸钠和硅酸钠中的至少一种。碳酸钠和硅酸钠均是一种较好的稳定剂，加入后可以抑制次氯酸钠溶液的分解，保证其较好的稳定性。在选用时可以选用其中的一种或两种混合物。

在添加稳定剂时，为了保证稳定剂能够充分发挥其作用，要选用适宜量的稳定剂。一般地，按质量计，稳定剂的含量为氢氧化钠溶液的0.8％至1.5％，比如，稳定剂的含量为氢氧化钠溶液的0.8％、1.0％、1.2％或1.5％。

在采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗时，酸溶液一般选用高稳定酸，可选地，酸溶液为硫酸溶液和磷酸溶液中的至少一种。并且，为了保证其酸洗效果较好且不造成资源浪费，要选用浓度适宜的酸溶液，一般地，酸溶液的质量浓度范围为1％至5％，比如1％、2％、4％或5％。优选地，酸溶液的质量浓度范围为2％至4％。

进一步地，请再次参阅图1，步骤S30，采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液的步骤之后，还包括：

步骤S40，当碱溶液的pH值降低至预设阈值时，将吸收后的尾气处理并排放。

在采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收过程中，当碱溶液的pH值降低至预设阈值时，预设阈值为12或13，此时，有效氯浓度不低于10％，游离碱浓度范围在0.1％至1.0％之间，说明尾气中的氯气基本上被碱液吸收，便可得到合格的次氯酸钠溶液。吸收后的尾气大部分为酸性气体，经处理后排空即可。

定义将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作的次数为a，a≥2。采用多次水洗操作可以有效地溶解去除尾气中夹杂的铜离子。

定义采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作的次数为b，b≥2。采用多次酸洗操作，可以有效地溶解去除尾气中夹杂的铜离子。

可选地，为了更有效地溶解去除尾气中夹杂的铜离子，同时采用多次水洗操作和多次酸洗操作。

定义采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作的次数为c，c≥2。采用多次吸收操作，可以更充分更有效地对尾气中的氯气进行吸收，得到较多的次氯酸盐产品。可选地，吸收操作的次数为四次或四次以上。

本发明还提出一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统100，应用于如前所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法。

请参阅图2，在本发明酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统100一实施例中，该尾气的处理系统100包括：电解槽10，电解槽10设有阴极室和阳极室；水洗涤塔20，水洗涤塔20的进口通过管道与阴极室的出口和阳极室的出口连通；酸洗涤塔30，酸洗涤塔30的进口通过管道与水洗涤塔20的出口连通；以及碱液吸收缸40，碱液吸收缸40的进口通过管道与酸洗涤塔30的出口连通。

这里电解槽10用于电解回收铜，其阳极室产生氧化性气体氯气，大部分氯气回用至蚀刻工序，阴极室产生酸性气体氯化氢，阳极室产生的未被回用的氯气和阴极室产生的酸性气体作为尾气通入水洗涤塔20中，水洗涤塔20中容置有自来水或纯水，通入水洗涤塔20内的尾气经水洗后，其中夹杂的铜离子会溶解于水中，这样可以去除尾气中夹杂的部分铜离子。之后水洗后的尾气通入酸洗涤塔30中，酸洗涤塔30中容置有酸溶液，酸溶液为硫酸溶液和磷酸溶液中的一种或两种混合物。通入酸洗涤塔30内的尾气经酸洗后，尾气中剩余的铜离子会进一步被酸溶液吸收而去除，这样经酸洗后尾气中基本上不含有铜离子。之后，酸洗后的尾气通入碱液吸收缸40中，碱液吸收缸40中容置有氢氧化钠碱溶液和稳定剂，用于吸收尾气中的氯气，生成漂白水次氯酸钠产品，由于尾气中基本不含有金属铜离子，则漂白水次氯酸钠产品具有较高的纯度，可以直接媲美于市场中的漂白水产品，如此实现了资源的利润最大化，降低了尾气处理成本。并且，本发明酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统100占地面积较小，设备体积较小，易于维护，电能消耗较少。

需要说明的，在水洗涤塔20与电解槽10阳极室和阴极室连通的管道上设置有射流泵60，用以将尾气输送至水洗涤塔20中，同样地，该管道上还设置有控制阀，以控制管道内气体的流通或阻断流通。相应地，每一输送管道上均可设置有射流泵60和控制阀。

进一步地，尾气的处理系统100还包括酸性气体吸收塔50，酸性气体吸收塔50的进口通过管道连通于碱液吸收缸40的出口。

经碱液吸收后的尾气中基本为酸性气体氯化氢，通入酸性气体吸收塔50中进行处理后排孔即可。需要说明的是，酸性气体吸收塔50中一般容置有碱液，以吸收处理酸性气体。

进一步地，尾气的处理系统100还包括产品储存罐70，所述产品储存罐70的进口通过管道连通于碱液吸收缸40的出口。

经碱液吸收产生的次氯酸钠产品通入产品储存罐70中，可以作为消毒杀菌产品使用，并可在市场上进行销售。

需要说明的是，当碱液吸收缸40中碱溶液的pH值降低至预设阈值时，此时说明尾气中氯气已吸收充分，将碱液吸收缸40中的产品通入产品储存罐70中即可。

进一步地，水洗涤塔20设置有多个，多个水洗涤塔20串联设置，多个水洗涤塔20中沿尾气流向位于最前面的水洗涤塔20的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通。

这里设置多个串联的水洗涤塔20，即采用多次水洗操作，可以有效地溶解去除尾气中夹杂的铜离子。

进一步地，酸洗涤塔30设置有多个，多个酸洗涤塔30串联设置，多个酸洗涤塔30中沿尾气流向位于最前面的酸洗涤塔30的进口通过管道与水洗涤塔20的出口连通。

这里设置多个串联的酸洗涤塔30，即采用多次酸洗操作，可以有效地进一步溶解去除尾气中夹杂的铜离子。

可以理解的，为了更有效地溶解去除尾气中夹杂的铜离子，可以同时设置多个串联的水洗涤塔20和多个串联的酸洗涤塔30，即采用多次水洗操作和多次酸洗操作。

进一步地，碱液吸收缸40设置有多个，多个碱液吸收缸40串联设置，多个碱液吸收缸40中沿尾气流向位于最前面的碱液吸收缸40的进口通过管道与酸洗涤塔30的出口连通。

采用多个串联设置的碱液吸收缸40，即采用多次吸收操作，可以更充分更有效地对尾气中的氯气进行吸收，得到较多的次氯酸盐产品。可选地，碱液吸收缸40的数量为四个或四个以上。

需要说明的是，当同时设置多个串联的水洗涤塔20、多个串联的酸洗涤塔30、以及多个串联的碱液吸收缸40时，沿尾气流向，位于最前面的水洗涤塔20的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通，位于最后面的水洗涤塔20的出口通过管道与位于最前面的酸洗涤塔30的进口连通，位于最后面的酸洗涤塔30的出口通过管道与位于最前面的碱液吸收缸40的进口连通，位于最后面的碱液吸收缸40的出口通过管道与酸性气体吸收塔50的进口和产品储存罐70的进口连通。

以下通过具体实施例对酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法及其处理系统进行详细说明。

实施例1：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度14％的氢氧化钠及质量浓度0.8％稳定剂碳酸钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

实施例2：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％磷酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度16％的氢氧化钠及质量浓度0.8％稳定剂碳酸钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

实施例3：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量2％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度16％的氢氧化钠及质量浓度1.5％稳定剂碳酸钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

实施例4：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度16％的氢氧化钠及质量浓度1.0％稳定剂碳酸钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

实施例5：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度16％的氢氧化钠及质量浓度1.0％稳定剂硅酸钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

对比例1：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度16％的氢氧化钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至12时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

对比例2：水洗涤塔以自来水加到液位，酸洗涤塔先加入2/3体积自来水后缓慢加入质量含量3％硫酸后以自来水补至液位，碱液吸收缸中先加入1/2体积算来水后加入质量浓度14％的氢氧化钠后以自来水补至液位，开启每个缸的射流泵后检查各连接处是否正常后打开连接电解槽的尾气风阀，直到碱液吸收缸中溶液的pH值降低至11.5时先关闭尾气风阀，然后停止射流泵将碱液吸收缸中的溶液泵至产品储存罐中，对产品进行参数分析检测并做稳定性实验，其实验结果见表1。

由表1可以看出，实施例1至5的漂白水产品中有效氯含量较高，且随着放置时间的延长，有效氯含量基本不变。但是对比例1和2中随着放置时间的延长，有效氯含量有所降低，主要是由于对比例1和2中并未加入稳定剂，则导致产品随着时间延长发生分解，且稳定性较差。并且产品中游离碱含量与产品的pH值有关，pH值越高，其游离碱含量越高，相应地，产品稳定性越好。同时，实施例1至5及对比文件1和2均未检测出金属铜，说明采用水洗和酸洗操作均可以有效去除尾气中夹杂的铜离子。因此本发明得到漂白水产品纯度较高，且不含有金属铜，可以直接媲美与市场中的消毒杀菌产品。

表1产品稳定性实验结果表

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作，以去除尾气中夹杂的铜离子；

采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作，以进一步去除尾气中夹杂的铜离子；

采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液。

2.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述碱溶液为氢氧化钠溶液，所述氢氧化钠溶液的质量浓度范围为12％至20％。

3.如权利要求2所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述氢氧化钠溶液中含有稳定剂。

4.如权利要求3所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，按质量计，所述稳定剂的含量为所述氢氧化钠溶液的0.8％至1.5％；和/或，

所述稳定剂为碳酸钠和硅酸钠中的至少一种。

5.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，所述酸溶液的质量浓度范围为1％至5％；和/或，

所述酸溶液为硫酸溶液和磷酸溶液中的至少一种。

6.如权利要求1所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作，得到次氯酸盐溶液的步骤之后，还包括：

当碱溶液的pH值降低至预设阈值时，将吸收后的尾气处理并排放。

7.如权利要求1至6中任一项所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理方法，其特征在于，定义将酸性蚀刻电解提铜系统中产生的尾气进行水洗操作的次数为a，a≥2；和/或，

定义采用酸溶液对水洗后的尾气进行酸洗操作的次数为b，b≥2；和/或，

定义采用碱溶液对酸洗后的尾气进行吸收操作的次数为c，c≥2。

8.一种酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，包括：

电解槽，所述电解槽设有阴极室和阳极室；

水洗涤塔，所述水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；

酸洗涤塔，所述酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；以及

碱液吸收缸，所述碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。

9.如权利要求8所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，所述尾气的处理系统还包括酸性气体吸收塔，所述酸性气体吸收塔的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口；和/或，

所述尾气的处理系统还包括产品储存罐，所述产品储存罐的进口通过管道连通于所述碱液吸收缸的出口。

10.如权利要求8所述的酸性蚀刻电解提铜系统中尾气的处理系统，其特征在于，所述水洗涤塔设置有多个，多个所述水洗涤塔串联设置，多个所述水洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的水洗涤塔的进口通过管道与所述阴极室的出口和所述阳极室的出口连通；和/或，

所述酸洗涤塔设置有多个，多个所述酸洗涤塔串联设置，多个所述酸洗涤塔中沿尾气流向位于最前面的酸洗涤塔的进口通过管道与所述水洗涤塔的出口连通；和/或，

所述碱液吸收缸设置有多个，多个所述碱液吸收缸串联设置，多个所述碱液吸收缸中沿尾气流向位于最前面的碱液吸收缸的进口通过管道与所述酸洗涤塔的出口连通。

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