CN111637859B - 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法 - Google Patents

一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN111637859B
CN111637859B CN202010556547.5A CN202010556547A CN111637859B CN 111637859 B CN111637859 B CN 111637859B CN 202010556547 A CN202010556547 A CN 202010556547A CN 111637859 B CN111637859 B CN 111637859B
Authority
CN
China
Prior art keywords
area
effective
impedance matching
standard material
matching target
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202010556547.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111637859A (zh
Inventor
谢军
杜凯
高莎莎
王红莲
易泰民
蒋柏斌
杨洪
郑凤成
何智兵
张海军
魏胜
袁光辉
童维超
梁榉曦
张荩月
任玮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Original Assignee
Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics filed Critical Laser Fusion Research Center China Academy of Engineering Physics
Priority to CN202010556547.5A priority Critical patent/CN111637859B/zh
Publication of CN111637859A publication Critical patent/CN111637859A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111637859B publication Critical patent/CN111637859B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21B—FUSION REACTORS
    • G21B1/00—Thermonuclear fusion reactors
    • G21B1/11—Details
    • G21B1/19—Targets for producing thermonuclear fusion reactions, e.g. pellets for irradiation by laser or charged particle beams
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
    • Y02E30/10—Nuclear fusion reactors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明提供了一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，通过分别在标准材料台阶与待测材料薄膜表面特定区域做标识，对标准材料台阶与待测材料薄膜进行测量，再将待测材料薄膜的测量区域装配到标准材料台阶测量对应区域范围内，以待测材料薄膜上的标记点为阻抗匹配靶的标记点，测量阻抗匹配靶装配后的表面形貌。本发明阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法实现了阻抗匹配靶测量区域的标记简单、易实现的特点，且通过所作标记，能够实现激光打靶时位置在实际测量区域范围内，减小测量误差导致的实验结果的不确定度。

Description

一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法
技术领域
本发明属于惯性约束聚变靶制备领域，具体涉及一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法。
背景技术
阻抗匹配法是冲击波实验的常用研究方法。由于驱动器激光能量的限制，物理实验用靶厚度一般只有几微米至几十微米。这种厚度的金属薄膜，从制备工艺角度，难以实现实验用靶厚度完全一致；对于标准材料的金属薄膜，一般为加工工艺相对成熟的材料，其厚度一致性较好，对于某些待测材料的金属薄膜，由于加工工艺不成熟，厚度一致性较差；而薄膜厚度对冲击波实验结果影响较大，这成为冲击波实验结果不确定度的主要因素之一。传统的阻抗匹配靶的装配过程中，主要通过多次人工反复调整标准材料与待测材料的相对位置以实现准确装配，但由于标准材料及待测材料厚度很薄，进行多次装配调整易导致标准材料与待测材料的表面污染及损坏，这使得阻抗匹配靶的装配精准度受限；由于传统的阻抗匹配靶制备中，未对标准材料、待测材料测量区域做标记，使得标准材料测量区域不能与待测材料测量区域对应，装配前的测量区域不能与装配后的测量区域一一对应，对装配后材料之间是否紧密贴合，是否存在间隙，无法判定；在开展物理实验时，激光有效作用区域可能不是靶的测量区域，而这使激光作用区域与靶测测量区域厚度等靶参数存在较大偏差，从而导致实验结果不确定度增加。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特点是，所述的方法包括如下步骤：步骤(1)：在标准材料台阶表面右侧确定基准点T1；
步骤(2)：采用白光干涉仪提取标准材料台阶的有效区域A；
步骤(3)：在待测材料薄膜表面右侧确定基准点T2；
步骤(4)：采用白光干涉仪提取待测材料薄膜的有效区域B；
步骤(5)：将待测材料薄膜的有效区域B装配至标准材料台阶的有效区域A内；
步骤(6)：将有效区域A与有效区域B的重合区域作为激光作用有效区域。
所述的步骤(1、3)中，基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶表面、待测材料薄膜表面分别粘接金属薄膜作为标记片，在各标记片上分别取任意一点作为基准点 T1、T2。
所述的步骤(1、3)中，基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶表面、待测材料薄膜表面采用飞秒激光在样品表面加工一定大小的圆点，分别作为基准点T1、T2。
所述的步骤(2)中，的标准材料台阶样品的有效区域A的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量标准材料台阶表面轮廓，以基准点T1为起点，选取一定距离D，采用白光干涉仪分析标准材料台阶的表面轮廓，每间隔距离ΔD，提取n条材料厚度一致的轮廓曲线，并在各条轮廓曲线上选取长度为L1的有效区段，构成长为L1、宽为ΔD×(n-1)的标准材料台阶样品有效区域A。
所述的步骤(4)中，待测材料薄膜的有效区域B的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量待测材料薄膜表面轮廓，以基准点T2为起点，选取一定距离d，采用白光干涉仪分析待测材料薄膜的表面轮廓，每间隔距离Δd，提取m条材料厚度一致的轮廓曲线，并在所述的m条轮廓曲线上选取长度为L2的有效区段，构成长为L2、宽为Δd×(m-1) 的待测材料有效区域B。
所述的步骤(5)中，当D小于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料置于显微镜视场内，待测材料的基准点T2位于标准材料基准点T1右侧，将待测材料放置于其基准点T2距标准材料的基准点T1距离为小于等于(d-D)，大于等于(d-D)-ΔD×(n-1)+Δ d×(m-1)的位置处，同时保证待测材料与标准材料的台阶边界线距离为H。
所述的步骤(5)中，当D大于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料置于显微镜视场内，待测材料的基准点T2位于标准材料基准点T1左侧，将待测材料放置于其基准点T2距标准材料的基准点T1距离为大于等于(D-d)，小于等于(D-d)+ΔD×(n-1)-Δ d×(m-1)的位置处，同时保证待测材料与标准材料的台阶边界线距离为H。
所述的步骤(6)具体为，待测材料薄膜装配到标准材料台阶上后，激光有效作用区域C为待测材料有效区域B垂直于标准材料台阶边界线一直延伸至标准材料台阶有效区域A的边界为止的区域，即阻抗匹配靶的激光作用有效区域C为长L3，宽为Δd×(m-
1)。
本发明的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法的有益效果：通过在标准材料与待测材料表面作标记，确保了阻抗匹配靶的测量区域与激光作用有效区域一致，降低了实验用靶厚度测量不确定度对实验结果的影响，通过装配前后标准材料与待测材料厚度测量数值的比对，可以判定标准材料与待测材料是否紧密贴合；通过所制作的标记，避免多次调整装配位置导致标准材料与待测材料的表面污染及损坏，实现标准材料与待测材料的快速准确装配。标记方法简单，易实现；根据所作标记，能够实现激光打靶区域在实际测量区域内，减小因厚度测量误差导致的实验结果的不确定度。
附图说明
图1为本发明的一种阻抗匹配靶结构主视图；
图2为本发明的一种阻抗匹配靶结构右视图；
图3为本发明的标准材料台阶基准点与有效区域图；
图4为本发明的待测材料薄膜基准点与有效区域图；
图5(a)为当D小于d，本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶、待测材料薄膜有效区域右侧对齐装配后标记点与装配位置关系图；
图5(b)为当D小于d，本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶、待测材料薄膜有效区域左侧对齐装配后标记点与装配位置关系图；
图6(a)为当D大于d，本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶、待测材料薄膜有效区域右侧对齐装配后标记点与装配位置关系图；
图6(b)为当D大于d，本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶、待测材料薄膜有效区域左侧对齐装配后标记点与装配位置关系图；
图7为本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶上粘接金属薄膜标记的示意图；
图8为本发明的阻抗匹配靶待测材料薄膜粘接金属薄膜标记的示意图；
图9本发明的阻抗匹配靶标准材料台阶有效区域A、待测材料表面有效区域B与阻抗匹配靶激光作用有效区域C之间的关系图；
图中，1.标准材料台阶2.待测材料薄膜3.标准材料台阶边界线4.金属薄膜标识片。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步解释说明。
如图1-图4所示，其中，A为标准材料有效区域，B为待测材料有效区域，T1为标准材料基准点，T2为待测材料基准点，H为标准材料台阶边界线与待测材料边缘的距离。
本发明的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法包括如下步骤：
步骤(1)：在标准材料台阶1表面右侧确定基准点T1；
步骤(2)：采用白光干涉仪提取标准材料台阶1的有效区域A；
步骤(3)：在待测材料薄膜2表面右侧确定基准点T2；
步骤(4)：采用白光干涉仪提取待测材料薄膜2的有效区域B；
步骤(5)：将待测材料薄膜2的有效区域B装配至标准材料台阶1的有效区域A内；
步骤(6)：将有效区域A与有效区域B的重合区域作为激光作用有效区域。
本发明的阻抗匹配靶的激光作用有效区域确定方法，通过标记，实现了标准材料与待测材料的测量区域对应；通过装配前后测量数值的比对，可以判定标准材料与待测材料是否紧密贴合，避免多次调整装配位置导致标准材料与待测材料的表面污染及损坏；通过标记，在打靶过程中进行瞄准，可实现打靶区域与测量区域一致。
进一步，所述的步骤(1)、步骤(3)中基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶1表面、待测材料薄膜2表面分别粘接金属薄膜作为标记片，在各标记片上分别取任意一点作为基准点T1、T2。
进一步，所述的步骤(1)、步骤(3)中基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶1表面、待测材料薄膜2表面采用飞秒激光在样品表面加工一定大小的圆点，如，直径约为10μm，分别作为基准点T1、T2。
进一步，所述的步骤(2)所述的标准材料台阶1的有效区域A的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量标准材料台阶1表面轮廓，以基准点T1为起点，选取一定距离 D，采用白光干涉仪分析标准材料台阶1的表面轮廓，每间隔距离ΔD，提取n条材料厚度一致的轮廓曲线，并在各条轮廓曲线上选取长度为L1的有效区段，构成长为L1、宽为ΔD ×(n-1)的标准材料台阶样品有效区域A。
进一步，所述的步骤(4)所述的待测材料薄膜2的有效区域B的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量待测材料薄膜2表面轮廓，以基准点T2为起点，选取一定距离 d，采用白光干涉仪分析待测材料薄膜2的表面轮廓，每间隔距离Δd，提取m条材料厚度一致的轮廓曲线，并在所述的m条轮廓曲线上选取长度为L2的有效区段，构成长为L2、宽为Δd×(m-1)的待测材料有效区域B。
进一步，所述的步骤(5)具体为，当D小于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料台阶1置于显微镜视场内，待测材料薄膜2的基准点T2位于标准材料基准点T1右侧，将待测材料薄膜2放置于其基准点T2距标准材料台阶1的基准点T1距离为小于等于 (d-D)、大于等于(d-D)-ΔD×(n-1)+Δd×(m-1)的位置处，同时保证待测材料薄膜与标准材料台阶1的台阶边界线线3距离为H，从而将待测材料的有效区域B放置于标准材料的有效区域A内。
进一步，所述的步骤(5)具体为，当D大于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料置于显微镜视场内，待测材料的基准点T2位于标准材料基准点T1左侧，将待测材料放置于其基准点T2距标准材料的基准点T1距离为大于等于(D-d)，小于等于(D-d)+
ΔD×(n-1)-Δd×(m-1)的位置处，同时保证待测材料与标准材料的台阶边界线3距离为H，从而将待测材料的有效区域B放置于标准材料的有效区域A内。
进一步，所述的步骤(6)具体为，待测材料薄膜装配到标准材料台阶上后，激光有效作用区域C为待测材料有效区域B垂直于标准材料台阶边界线一直延伸至标准材料台阶有效区域A的边界为止的区域，即阻抗匹配靶的激光作用有效区域C为长L3，宽为Δ d×(m-1)。
本发明的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，通过分别在标准材料与待测材料表面特定区域做标识，对标准材料与待测材料进行测量，再将待测材料的测量区域装配到标准材料测量区域范围内，以待测材料上的标记点为阻抗匹配靶的标记点，测量阻抗匹配靶装配后的表面形貌。本发明阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法实现了阻抗匹配靶测量区域的标记简单、易实现的特点，且通过所作标记，能够实现激光打靶时位置在实际测量区域范围内，减小测量误差导致的实验结果的不确定度。
实施例1
本实施例具体采用飞秒激光加工圆点方法对阻抗匹配靶进行测量区域标记。其标记方法如下：
(1)在标准材料台阶1表面采用飞秒激光加工方法，在距离测量区域一定距离范围加工直径10μm的点；
(2)采用白光干涉仪测量标准材料台阶1表面轮廓，在距离标记点T1长度为D＝2mm的区域为起点，每间隔ΔD＝100μm取值，长L1＝800μm，获得五条厚度一致的轮廓曲线；
(3)在待测材料薄膜2表面采用飞秒激光加工方法，在距离测量区域一定距离范围加工直径10μm的点；
(4)采用白光干涉仪测量待测材料薄膜2表面轮廓，在距离标记点T2长度为d＝1mm的区域为起点，每间隔Δd＝30μm取值，获得五条厚度一致的轮廓曲线；
(5)通过装配，将待测材料薄膜2的测试区域，装配到标准材料台阶1的测试区域内， T2位于T1左侧，其中标记点T1、T2的距离大于等于1mm，小于等于1.28mm；
(6)以待测材料上的标记作为装配后靶的标记，在距离标记点长度为d的区域为起点，每间隔30μm，长L2＝700μm，获得五条轮廓曲线，即为阻抗匹配靶装配后的靶参数，这个区域长L2＝300μm，宽120μm，即为激光有效作用区域。
(7)待测材料薄膜装配到标准材料台阶上后，为待测材料有效区域B垂直于标准材料台阶边界线一直延伸至标准材料台阶有效区域A的边界为止的区域，即为阻抗匹配靶的激光有效作用区域C，该激光作用有效区域C长L3＝700μm，宽为120μm。
(8)比较装配后测量的厚度值与装配前测量的厚度值，从装配前后的厚度测量值比较，可推算标准材料与待测材料之间的中间层厚度值。如果标准材料与待测材料之间的中间层厚度值小于等于1μm，说明标准材料与待测材料实现了紧密连接，满足阻抗匹配靶满足物理实验要求；如果标准材料与待测材料之间的中间层厚度值大于1μm，说明标准材料与待测材料未实现紧密连接或中间连接层较厚，不满足阻抗匹配靶满足物理实验要求。
本实施例应用于神光Ⅱ激光装置开展的物理实验阻抗匹配靶制备中，通过对样品测量区域进行标记，确保长700μm，宽度120μm范围内靶的厚度一致性小于0.1μm，标准材料与待测材料之间的中间层厚度值小于等于1μm，实验中通过对飞秒激光加工直径 10μm的标记点进行瞄准，实现激光打靶区域在测量有效区域范围内，避免了阻抗匹配靶厚度测量值与实际打靶区域厚度误差较大带来的实验结果的不确定的度增加。
实施例2
本实施例2采用粘接金属薄膜方法对阻抗匹配靶进行测量区域标记。其标记方法如下：
(1)在标准材料台阶1表面采用粘接金属薄膜的方法，在测量区域一定距离范围粘接长方形块金属薄膜标识片4，以长方形标识片的一个顶点作为标记点T1；
(2)采用白光干涉仪测量标准材料台阶1表面轮廓，在距离标记点T1长度为D＝1mm的区域为起点，每间隔ΔD＝100μm取值，长L1＝800μm，获得五条厚度一致的轮廓曲线；
(3)在待测材料薄膜2表面采用粘接金属薄膜的方法，在测量区域一定距离范围粘接长方形块金属薄膜标识片5，以长方形标识片的一个顶点作为标记点T2；
(4)采用白光干涉仪测量待测材料薄膜1表面轮廓，在距离标记点T2长度为d＝2mm的区域为起点，每间隔Δd＝30μm取值，长L2＝300μm，获得五条厚度一致的轮廓曲线；
(5)通过装配，将待测材料薄膜的测量区域，装配到标准材料台阶1的测量区域内，T2 位于T1右侧，满足标记点T1、T2的距离小于等于1mm，大于等于0.72mm；
(6)以待测材料上的标记作为装配后靶的标记，在距离标记点长度为d的区域为起点，每间隔30μm，长L2＝700μm，获得五条轮廓曲线，即为阻抗匹配靶装配后的靶参数，这个区域长L2＝300μm，宽120μm，即为激光有效作用区域。
(7)待测材料薄膜装配到标准材料台阶上后，为待测材料有效区域B垂直于标准材料台阶边界线一直延伸至标准材料台阶有效区域A的边界为止的区域，即为阻抗匹配靶的激光有效作用区域C，该激光作用有效区域C长L3＝700μm，宽为120μm。
(8)比较装配后测量的厚度值与装配前测量的厚度值，从装配前后的厚度测量值比较，可推算标准材料与待测材料之间的中间层厚度值。如果标准材料与待测材料之间的中间层厚度值小于等于1μm，说明标准材料与待测材料实现了紧密连接，满足阻抗匹配靶满足物理实验要求；如果标准材料与待测材料之间的中间层厚度值大于1μm，说明标准材料与待测材料未实现紧密连接或中间连接层较厚，不满足阻抗匹配靶满足物理实验要求。
本实施例应用于神光Ⅱ激光装置开展的物理实验阻抗匹配靶制备中，通过对样品测量区域进行标记，确保长700μm，宽度120μm范围内靶的厚度一致性小于0.1μm，标准材料与待测材料之间的中间层厚度值小于等于1μm，实验中通过对飞秒激光加工直径 10μm的标记点进行瞄准，实现激光打靶区域在测量有效区域范围内，避免了阻抗匹配靶厚度测量值与实际打靶区域厚度误差较大带来的实验结果的不确定的度增加。

Claims (8)

1.一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：
步骤(1)：在标准材料台阶表面右侧确定基准点T1；
步骤(2)：采用白光干涉仪提取标准材料台阶的有效区域A；
步骤(3)：在待测材料薄膜表面右侧确定基准点T2；
步骤(4)：采用白光干涉仪提取待测材料薄膜的有效区域B；
步骤(5)：将待测材料薄膜的有效区域B装配至标准材料台阶的有效区域A内；
步骤(6)：将有效区域A与有效区域B的重合区域作为激光作用有效区域C；其中，所述的步骤(6)具体为，待测材料薄膜装配到标准材料台阶上后，激光有效作用区域C为待测材料有效区域B垂直于标准材料台阶边界线一直延伸至标准材料台阶有效区域A的边界为止的区域。
2.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，所述的步骤(1)、步骤(3)中基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶表面、待测材料薄膜表面分别粘接金属薄膜作为标记片，在各标记片上分别取任意一点作为基准点T1、T2。
3.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，所述的步骤(1)、步骤(3)中基准点的确定方法具体为，在标准材料台阶表面、待测材料薄膜表面采用飞秒激光在样品表面加工一定大小的圆点，分别作为基准点T1、T2。
4.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，步骤(2)所述的标准材料台阶的有效区域A的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量标准材料台阶表面轮廓，以基准点T1为起点，选取一定距离D，采用白光干涉仪分析标准材料台阶的表面轮廓，每间隔距离ΔD，提取n条材料厚度一致的轮廓曲线，并在各条轮廓曲线上选取长度为L1的有效区段，构成长为L1、宽为ΔD×(n-1)的标准材料台阶有效区域A。
5.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，步骤(4)所述的待测材料薄膜的有效区域B的提取方法具体为，采用白光干涉仪测量待测材料薄膜表面轮廓，以基准点T2为起点，选取一定距离d，采用白光干涉仪分析待测材料薄膜的表面轮廓，每间隔距离Δd，提取m条材料厚度一致的轮廓曲线，并在所述的m条轮廓曲线上选取长度为L2的有效区段，构成长为L2、宽为Δd×(m-1)的待测材料有效区域B。
6.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，所述的步骤(5)具体为，当D小于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料台阶置于显微镜视场内，待测材料薄膜的基准点T2位于标准材料基准点T1右侧，将待测材料薄膜放置于其基准点T2距标准材料台阶的基准点T1距离为小于等于(d-D)、大于等于(d-D)-ΔD×(n-1)+Δd×(m-1)的位置处，同时保证待测材料薄膜与标准材料台阶样品的台阶边界线距离为H。
7.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，所述的步骤(5)具体为，当D大于d，阻抗匹配靶装配方法为：将标准材料置于显微镜视场内，待测材料的基准点T2位于标准材料基准点T1左侧，将待测材料放置于其基准点T2距标准材料的基准点T1距离为大于等于(D-d)，小于等于(D-d)+ΔD×(n-1)-Δd×(m-1)的位置处，同时保证待测材料与标准材料台阶的台阶边界线距离为H。
8.根据权利要求1所述的阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法，其特征在于，所述的步骤(6)中，阻抗匹配靶的激光作用有效区域C为长L3，宽为Δd×(m-1)。
CN202010556547.5A 2020-06-18 2020-06-18 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法 Active CN111637859B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010556547.5A CN111637859B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010556547.5A CN111637859B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111637859A CN111637859A (zh) 2020-09-08
CN111637859B true CN111637859B (zh) 2022-02-08

Family

ID=72330724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010556547.5A Active CN111637859B (zh) 2020-06-18 2020-06-18 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111637859B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996003751A1 (en) * 1994-07-21 1996-02-08 Gregory Lowell Millspaugh Method of and system for controlling energy, including in fusion reactors
CN104553223A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 迎辉科技股份有限公司 影像对位贴合方法
CN110846633A (zh) * 2019-11-13 2020-02-28 中国工程物理研究院材料研究所 激光状态方程实验用阻抗匹配靶的聚焦离子束制备方法
CN110858404A (zh) * 2018-08-22 2020-03-03 福州瑞芯微电子股份有限公司 一种基于区域偏移的识别方法及终端

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1996003751A1 (en) * 1994-07-21 1996-02-08 Gregory Lowell Millspaugh Method of and system for controlling energy, including in fusion reactors
CN104553223A (zh) * 2013-10-29 2015-04-29 迎辉科技股份有限公司 影像对位贴合方法
CN110858404A (zh) * 2018-08-22 2020-03-03 福州瑞芯微电子股份有限公司 一种基于区域偏移的识别方法及终端
CN110846633A (zh) * 2019-11-13 2020-02-28 中国工程物理研究院材料研究所 激光状态方程实验用阻抗匹配靶的聚焦离子束制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
阻抗匹配靶制备及靶参数精密测量;叶君建等;《原子能科学技术》;20080930;第42卷(第9期);正文第2.2 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN111637859A (zh) 2020-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11009340B2 (en) Film thickness measuring method and film thickness measuring apparatus
CN106017352B (zh) 一种蜂窝芯面形的测量方法
US10534143B1 (en) Methods for optical system manufacturing
CN111637859B (zh) 一种阻抗匹配靶的激光作用有效区域的确定方法
US7564044B2 (en) Method of inspecting thin film magnetic head element using scanning electron microscope, and inspecting holding jig
US6906808B2 (en) Methods and apparatus for measuring a surface contour of an object
CN112945693B (zh) 一种控制单搭结构胶粘接厚度的拉伸剪切制样装置
CN106091954A (zh) 利用介质薄膜控制Otto结构中空气隙厚度的方法
CN205352314U (zh) 一种新型激光测距仪检测装置
CN106524927A (zh) 一种自动校正路线的在线测量电池极板厚度的系统及方法
CN108825448B (zh) 静态变形的检测方法和检测系统
CN112666118B (zh) 一种热防粘接层太赫兹检测灵敏度的测定方法
CN109737885A (zh) 一种复合材料零件的变形量检测方法
EP3835760A1 (en) Systems and methods of assessing a coating microstructure
CN114216403A (zh) 基于红外和可见光双光相机的非连续变形测量方法
CN106500642A (zh) 一种沿预定路线在线测量电池板厚度的方法
CN109781759A (zh) 一种电子枪束斑尺寸的测量装置及方法
CN110726611A (zh) 脆性材料带孔板应力集中试验装置及试验方法
CN210719635U (zh) 一种相位延迟测量用样品
CN109839398B (zh) 一种用于同步辐射共聚焦荧光实验的标样制备方法
DE102020109264B3 (de) Verfahren zur Erzeugung eines Dehnungsmessstreifens auf einem Maschinenelement
KR102226993B1 (ko) 소절재의 휨 측정방법
JP4453560B2 (ja) レーザ加工方法
KR20230063097A (ko) 슬롯 다이의 단차 측정 장치 및 방법
CN115979142A (zh) 一种面向椭偏仪的光斑大小测量装置及测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant