CN111601413A - 一种等离子加热净化装置及方法 - Google Patents
一种等离子加热净化装置及方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111601413A CN111601413A CN202010524220.XA CN202010524220A CN111601413A CN 111601413 A CN111601413 A CN 111601413A CN 202010524220 A CN202010524220 A CN 202010524220A CN 111601413 A CN111601413 A CN 111601413A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plasma
- heating
- purified
- heater
- closed cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 32
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 7
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 2
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 2
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 claims 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 3
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 2
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 2
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 description 2
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- IADRPEYPEFONML-UHFFFAOYSA-N [Ce].[W] Chemical compound [Ce].[W] IADRPEYPEFONML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- 238000012824 chemical production Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001595 contractor effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000004093 laser heating Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000013014 purified material Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B7/00—Heating by electric discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
本发明公开一种等离子加热净化装置及方法,其中所述等离子加热净化装置包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。当采用本发明等离子加热净化装置对带净化材料进行净化时,不需要对整个密闭腔体进行加热,只需要采用等离子加热器对待净化材料进行加热,热利用效率高,由于不需要对整个密闭腔体进行加热,所以等离子加热器的整体功率不需要那么大,可以达到节能的目的。
Description
技术领域
本发明涉及材料纯化领域,特别涉及一种等离子加热净化装置及方法。
背景技术
很多新型材料,在实际使用之前,都必须进行去除杂质的操作。现有除杂最常用的办法就是通过高温使杂质部分直接气化,而保留住需要的成分,从而达到去除杂质的目的。
现有技术通常使用高温净化炉装置来对待纯化材料进行加热除杂,所述高温净化炉装置的总体构成是一个密闭腔体中,在纯化过程中需要对整个密闭腔体进行加热,根据实际需要调节温度。
由于现有高温净化炉装置在对待纯化材料进行加热除杂时需要对整个密闭腔体进行加热,这使得现有高温净化炉装置存在高耗能以及热利用率不高的问题。
因此,现有技术还有待于改进和发展。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种等离子加热净化装置及方法,旨在解决现有高温净化炉装置存在高耗能以及热利用率不高的问题。
本发明的技术方案如下:
一种等离子加热净化装置,其中,包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。
所述的等离子加热净化装置,其中,所述等离子加热器为等离子加热枪。
所述的等离子加热净化装置,其中,还包括用于驱动所述等离子加热器移动的驱动结构,所述驱动结构与所述等离子加热器连接。
所述的等离子加热净化装置,其中,所述密闭腔体内还设置有用于承载待净化材料的载物台。
所述的等离子加热净化装置,其中,所述载物台为耐高温金属台。
所述等离子加热净化装置的净化方法,其中,包括步骤:
将待净化材料放置在所述密闭腔体内,并通入惰性气体;
采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热,去除所述待净化材料中的杂质。
所述的净化方法,其中,所述惰性气体为氮气、氩气、氖气和氦气中的一种或多种。
所述的净化方法,其中,所述采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热的步骤包括:
将待净化材料均匀平铺在所述载物台上;
采用所述等离子加热器对平铺在所述载物台表面的所述待净化材料表面进行扫描式运动加热。
所述的净化方法,其中,所述扫描式运动为匀速往返运动。
有益效果:本发明提供的等离子加热净化装置包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。当采用本发明等离子加热净化装置对带净化材料进行净化时,不需要对整个密闭腔体进行加热,只需要采用等离子加热器对待净化材料进行加热,热利用效率高,由于不需要对整个密闭腔体进行加热,所以等离子加热器的整体功率不需要那么大,可以达到节能的目的。
附图说明
图1为本发明一种等离子加热净化装置较佳实施例的结构示意图。
图2为本发明等离子加热枪的结构示意图。
图3为本发明一种基于等离子加热净化装置的净化方法较佳实施例的流程图。
具体实施方式
本发明提供一种等离子加热净化装置及方法,为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下对本发明进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供了一种等离子加热净化装置,如图1所示,其包括密闭腔体100以及设置在所述密闭腔体100内的等离子加热器200。
具体来讲,由于现有高温净化炉装置在对待纯化材料进行加热除杂时需要对整个密闭腔体进行加热,这使得现有高温净化炉装置存在高耗能以及热利用率不高的问题。本实施例通过在密闭腔体100内设置等离子加热器200,当采用本实施例等离子加热净化装置对带净化材料进行净化时,其不需要对整个密闭腔体进行加热,只需要采用等离子加热器对待净化材料直接进行加热,热利用效率高,由于不需要对整个密闭腔体进行加热,所以等离子加热器的整体功率不需要那么大,可以达到节能的目的。
在本实施例中,所述等离子加热器200是利用工作气体电离形成等离子体的高温和等离子体中自由电子与正离子复合时释放的能量进行的电加热,工作气体根据使用要求有氮、氢、氩,或氮和氩、氩和氢的混合气体等。气体电离形成的等离子体是由未电离的气体分子、原子以及总电荷量相等的正离子、自由电子和负离子组成的,其聚集态列在固态、液态和气态之后,称为物质的第四态。等离子体在总体上呈中性,但有较大的导电率,其运动主要受电磁力的支配。等离子体有很高的温度,气体电离的程度愈高,等离子体的温度也愈高。本实施例可根据待净化材料的所需净化程度,调节所述等离子加热器200的加热温度。
在一些实施方式中,采用等离子加热器对待净化材料进行加热具有温度高、功率密度大、热量集中的特点,且等离子体一般呈中性,可避免待净化材料的氧化和还原,还可在真空或惰性气氛中加热,与电子束加热和激光加热相比,设备和生产费用都较低。因此,本实施例采用等离子加热器对待净化材料进行直接加热净化,可有效提升热利用率,从而达到节能的目的。
在一些实施方式中,根据电离度的不同,等离子体分为超高温、超高能量密度的完全电离等离子体(如核聚度)和电离度不足1%的弱电离等离子体(如电弧放电等)两大类,本实施例应用的等离子体属后者,这种弱电离等离子体根据其中性粒子、离子、电子三者之间是否呈热平衡态,又分为平衡等离子体,即高温等离子体和非平衡等离子体(即低温等离子体)两类。高温等离子体的温度很高,约为4500℃至数万摄氏度,热容量也非常大,可用于物料的加热、熔化;低温等离子体是在真空条件下,用高压电场或灯丝电子发射等方法使工作气体电离而成,温度较低,一般不超过1000℃,而且热容量也非常小,主要用于材料表面处理。
在一些实施方式中,所述所述等离子加热器可以为等离子加热枪。所述等离子加热枪包括电弧等离子枪和高频等离子枪两种,所述等离子加热枪的原理为:阴极(通常用钍钨或铈钨电极)与作为阳极的铜喷嘴之间产生由工作气体弧光放电而形成的电弧,电弧等离子体由于工作气体的压力和喷嘴口的压缩而形成小直径的流束,其温度在3000℃以上,气流速率一般在10m/s以上,可高达5000m/s。因为电弧没有转移到被加热物料上,所以叫非转移弧式;若电极与喷嘴之间产生的电弧在生成后即被转移到接电源阳极的物料上,则叫转移弧式。在阴极与物料间的电弧由于机械压缩效应(由喷嘴口引起)、热收缩效应(由于弧柱中心比其外围温度高、电离度高、导电率大,电流自然趋于弧柱中心)和磁压缩效应(由弧柱本身的磁场引起)三者的联合作用,而受到强烈压缩,弧柱变得细长(细如针,也可长到1m以上)。在与弧柱内部膨胀压力保持平衡的条件下,弧柱中心气体高度电离,其温度可达10000~52000℃,气流速度可高达10000m/s。转移弧等离子枪在等离子加热中用得最广。在实际应用中,有时除阴极与物料之间的电弧-主电弧外,仍保留阴极与铜喷嘴间的电弧-维持电弧。
工作气体分别通过高频感应线圈和电容式电极激发电离,所生成的等离子体可经由喷口喷出形成等离子体焰,也可留在工作区内供加热物料用。高频等离子体的优点是不受电极材料的污染,但生产成本高,发生器功率小,用得较少。电弧等离子枪的电源一般用具有陡降外特性的直流电源,正接,也有用三相交流电源的,其空载电压:用于机械加工的一般在75~400V范围内,用于熔炼的可高到3000V以上,高频等离子枪的电源通常用高频电子管振荡器,频率在0.4~75MHz范围内。加热装置随设备用途而异,如等离子熔炼炉具有耐火材料炉衬或水冷结晶器的炉体;等离子切割和喷涂装置的工作台或工作小车;化工生产用的反应罐等。
在一些具体的实施方式中,如图2所示,所述等离子加热枪可包括挡板1、电动推杆2、活塞杆3、铰接件4、负极连接端5、密封件6、外套7、进气环8、阴极棒9、阳极喷嘴10、出气孔11、正极连接端12、进气嘴13、底座14、绝缘板15和拉杆16,所述电动推杆2下方设有绝缘板15,所述绝缘板15与底座14固定连接,所述电动推杆2一侧设有挡板1,所述挡板1与底座14垂直连接,所述电动推杆2另一侧设有活塞杆3,所述活塞杆3通过铰接件4与拉杆16的一端连接,拉杆16上依次设有进气嘴13、负极连接端5和出气孔11,所述拉杆16的另一端与阴极棒9连接,所述阴极棒9与拉杆16的连接处设有进气环8,所述阴极棒9的另一端设有阳极喷嘴10,所述进气环8外侧设有外套7,所述外套7的一端与阳极喷嘴10连接,所述外套7的另一端设有密封件6,密封件6置于外套7和拉杆16之间,所述密封件6左侧的底座14上设有正极连接端12。使用该设备,首先设定加热温度,让负极连接端5和正极连接端12触碰打火,打完火设备运行时,电动推杆2根据炉内的温度自动调节阴极棒9和阳极喷嘴10之间的间距,电动推杆2带动阴极棒9远离阳极喷嘴10,使得阴极棒9和阳极喷嘴10之间形成等离子电弧,阴极棒9和阳极喷嘴10之间充满高压空气,高压空气通过进气嘴13进入到阴极棒9和阳极喷嘴10之间,阴极棒9和阳极喷嘴10离得越远,阳极喷嘴10所放出的等离子电弧越大,温度越高,进气环8和出气孔11会调节设备内部气体的气压平衡,设备在运行的过程中除必要时无需人工干预。
在一些实施方式中,所述等离子加热净化装置还包括用于驱动所述等离子加热器移动的驱动结构,所述驱动结构与所述等离子加热器连接;所述密闭腔体内还设置有用于承载待净化材料的载物台。作为举例,所述载物台为耐高温金属台,例如金属铜台。
在一些实施方式中,还提供一种基于所述等离子加热净化装置的净化方法,如图3所示,其包括步骤:
S10、将待净化材料放置在所述密闭腔体内,并通入惰性气体;
S20、采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热,去除所述待净化材料中的杂质。
具体来讲,将待净化材料均匀平铺在所述密闭腔体内的载物台上,向所述密闭腔体内通入惰性气体,采用所述等离子加热器对平铺在所述载物台表面的所述待净化材料表面进行扫描式运动加热,去除所述待净化材料中的杂质。本实施例通过在密闭腔体内设置等离子加热器,当采用本实施例等离子加热净化装置对带净化材料进行净化时,其不需要对整个密闭腔体进行加热,只需要采用等离子加热器对待净化材料直接进行加热,热利用效率高,由于不需要对整个密闭腔体进行加热,所以等离子加热器的整体功率不需要那么大,可以达到节能的目的。
在一些具体的实施方式中,所述惰性气体为氮气、氩气、氖气和氦气中的一种或多种,但不限于此。
在一些具体的实施方式中,为保证得到均匀除杂后的净化材料,所述扫描式运动为匀速往返运动。
综上所述,本发明提供的等离子加热净化装置包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。当采用本发明等离子加热净化装置对带净化材料进行净化时,不需要对整个密闭腔体进行加热,只需要采用等离子加热器对待净化材料进行加热,热利用效率高,由于不需要对整个密闭腔体进行加热,所以等离子加热器的整体功率不需要那么大,可以达到节能的目的。
应当理解的是,本发明的应用不限于上述的举例,对本领域普通技术人员来说,可以根据上述说明加以改进或变换,所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (9)
1.一种等离子加热净化装置,其特征在于,包括密闭腔体以及设置在所述密闭腔体内的等离子加热器。
2.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置,其特征在于,所述等离子加热器为等离子加热枪。
3.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置,其特征在于,还包括用于驱动所述等离子加热器移动的驱动结构,所述驱动结构与所述等离子加热器连接。
4.根据权利要求1所述的等离子加热净化装置,其特征在于,所述密闭腔体内还设置有用于承载待净化材料的载物台。
5.根据权利要求4所述的等离子加热净化装置,其特征在于,所述载物台为耐高温金属台。
6.一种基于权利要求1-5任一所述等离子加热净化装置的净化方法,其特征在于,包括步骤:
将待净化材料放置在所述密闭腔体内,并通入惰性气体;
采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热,去除所述待净化材料中的杂质。
7.根据权利要求6所述的净化方法,其特征在于,所述惰性气体为氮气、氩气、氖气和氦气中的一种或多种。
8.根据权利要求6所述的净化方法,其特征在于,所述采用所述等离子加热器对所述待净化材料进行加热的步骤包括:
将待净化材料均匀平铺在所述载物台上;
采用所述等离子加热器对平铺在所述载物台表面的所述待净化材料表面进行扫描式运动加热。
9.根据权利要求8所述的净化方法,其特征在于,所述扫描式运动为匀速往返运动。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010524220.XA CN111601413A (zh) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | 一种等离子加热净化装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010524220.XA CN111601413A (zh) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | 一种等离子加热净化装置及方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111601413A true CN111601413A (zh) | 2020-08-28 |
Family
ID=72191593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010524220.XA Pending CN111601413A (zh) | 2020-06-10 | 2020-06-10 | 一种等离子加热净化装置及方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111601413A (zh) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102448881A (zh) * | 2009-04-27 | 2012-05-09 | 优慕科技术股份有限公司 | 硅的精制方法以及精制装置 |
DE102013112855A1 (de) * | 2013-11-21 | 2015-05-21 | Aixtron Se | Vorrichtung und Verfahren zum Fertigen von aus Kohlenstoff bestehenden Nanostrukturen |
CN105050306A (zh) * | 2015-06-16 | 2015-11-11 | 天津赛金节能科技有限公司 | 一种自动控制的等离子加热枪 |
CN106683969A (zh) * | 2015-11-06 | 2017-05-17 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 一种等离子处理装置运行方法 |
CN108031855A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-05-15 | 北京金物科技发展有限公司 | 一种感应加热与射频等离子联合雾化制粉系统 |
-
2020
- 2020-06-10 CN CN202010524220.XA patent/CN111601413A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102448881A (zh) * | 2009-04-27 | 2012-05-09 | 优慕科技术股份有限公司 | 硅的精制方法以及精制装置 |
DE102013112855A1 (de) * | 2013-11-21 | 2015-05-21 | Aixtron Se | Vorrichtung und Verfahren zum Fertigen von aus Kohlenstoff bestehenden Nanostrukturen |
CN105050306A (zh) * | 2015-06-16 | 2015-11-11 | 天津赛金节能科技有限公司 | 一种自动控制的等离子加热枪 |
CN106683969A (zh) * | 2015-11-06 | 2017-05-17 | 中微半导体设备(上海)有限公司 | 一种等离子处理装置运行方法 |
CN108031855A (zh) * | 2018-01-17 | 2018-05-15 | 北京金物科技发展有限公司 | 一种感应加热与射频等离子联合雾化制粉系统 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
《中国电力百科全书》编辑委员会编: "中国电力百科全书 用电卷", 中国电力出版社 * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3793179A (en) | Apparatus for metal evaporation coating | |
CN111479376B (zh) | 基于预电离点火装置的大气压射频热等离子体发生器 | |
JPH08500079A (ja) | フラーレンを製造する方法および装置 | |
US20230405674A1 (en) | Continuous low-temperature plasma powder treatment and ball-milling production device and method thereof | |
WO2012067546A2 (en) | Device for producing of fullerene-containing soot | |
CN103269558A (zh) | 一种超音速等离子体喷枪的阳极及超音速等离子体喷枪 | |
CN106937470B (zh) | 基于等离子弧的加热方法、加热装置及应用 | |
CN109943801B (zh) | 一种气体弧光放电装置、与真空腔体的耦合系统及离子渗氮工艺 | |
CN111545766A (zh) | 一种制备高纯球形金属粉体的设备及方法 | |
CN111872406A (zh) | 一种电感耦合等离子体粉体生产设备及生产工艺 | |
JP2009509130A (ja) | 熱エネルギーの生成方法 | |
CN111278206A (zh) | 一种介质阻挡放电串联微波放电的等离子体发生装置 | |
CN111601413A (zh) | 一种等离子加热净化装置及方法 | |
CN212310397U (zh) | 一种等离子快速高效处理飞灰系统 | |
CN210505592U (zh) | 使用压缩电弧制备富勒烯的装置 | |
CN104540313B (zh) | 大气压中空基底电极等离子体射流发生装置 | |
CN210030866U (zh) | 一种气体弧光放电装置以及与真空腔体的耦合系统 | |
CN201742637U (zh) | 大气压介质阻挡空气冷等离子体射流装置 | |
CN111500888B (zh) | 一种石墨烯复合金属材料及其制备方法与生产设备 | |
CN217989275U (zh) | 一种热等离子体反应器保护装置 | |
CN114999883A (zh) | 一种电弧增强等离子体SiC材料加工系统 | |
CN110294468B (zh) | 使用压缩电弧制备富勒烯的装置及方法 | |
CN1074247A (zh) | 管状阴极长电弧等离子体蒸发源 | |
CN111661845A (zh) | 一种高温喷射纯化石墨粉的设备及方法 | |
CN202587573U (zh) | 一种高频感应等离子发生器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20200828 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |