CN111538360B - 温控系统及温控方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及温控系统及温控方法温控系统，温控系统包括控制器、冷却水回路和循环液回路，冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的热交换器的放热通路和用于储存循环液的循环液箱，循环液箱的进液管路与热交换器的放热通路的出液管路连通；阀体设置于热交换器的吸热通路的出水管路上，第一温度传感器设置于循环液箱的进液管路上，第一温度传感器通过控制器与阀体通信连接，以通过第一温度传感器的检测信息控制阀体的开度。实现精确控制循环液箱的循环液入口温度以满足不同温度的工况，保证系统运行在稳定可靠的状态下满足晶圆或面板生产工艺的需求。

Description

温控系统及温控方法

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及温控系统及温控方法。

背景技术

目前，半导体温控装置作为生产半导体的辅助设备，在晶圆和液晶面板的制程工艺中需要输出不同的温度，设备在实际工艺中需要保持恒定的输出温度，同时在维持温度的过程中有些加工设备需要控制一定的制冷量以抵消工艺过程中的热负荷（例如，半导体加工反应腔、液晶面板加工反应腔）。由于制程工艺的不同，现有的半导体加工所需的温控装置无法提供制程工艺要求的高精度、稳定的循环液入口温度。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种温控系统，通过控制器、第一温度传感器和阀体配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制循环液箱的循环液入口温度以满足不同温度的工况，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。本发明的温控系统结构简单，安装方便，可操作性强，输出模拟量信号，控制精度高，控制灵活，响应速度快，调节速度迅速，控制器可根据第一温度传感器检测到的温度变化通过实时连续精确调节阀体的流量，温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

本发明还提出一种温控方法。

根据本发明第一方面实施例温控系统，包括控制器、冷却水回路和循环液回路，所述冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，所述循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的所述热交换器的放热通路和用于储存所述循环液的循环液箱，所述循环液箱的进液管路与所述热交换器的放热通路的出液管路连通；所述阀体设置于所述热交换器的吸热通路的出水管路上，所述第一温度传感器设置于所述循环液箱的进液管路上，所述第一温度传感器通过所述控制器与所述阀体通信连接，以通过所述第一温度传感器的检测信息控制所述阀体的开度。

根据本发明的一个实施例，所述循环液回路还包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置于所述循环液箱的出液管路上，所述循环液箱内设有加热器，所述第二温度传感器通过所述控制器与所述加热器通信连接，以通过所述第二温度传感器的检测信息控制所述加热器的加热温度。

根据本发明的一个实施例，所述循环液回路还包括泵体和流量传感器，所述泵体和所述流量传感器沿所述循环液的流向依次设置于所述循环液箱的出液管路上，且均位于所述循环液箱与所述第二温度传感器之间，所述流量传感器通过所述控制器与所述泵体通信连接，以通过所述流量传感器的检测信息控制所述泵体的泵送频率。

根据本发明的一个实施例，所述循环液回路还包括负载装置和第三温度传感器，所述负载装置的进液口与所述循环液箱的出液管路的末端连通，所述负载装置的出液口与所述热交换器的放热通路的进液管路连通，所述第三温度传感器设置于所述热交换器的放热通路的进液管路上，所述第三温度传感器与所述控制器通信连接。

根据本发明的一个实施例，所述循环液回路还包括压力传感器和电阻率传感器，所述压力传感器和所述电阻率传感器沿所述循环液的流向依次设置于所述循环液箱的出液管路上，且均位于所述第三温度传感器与所述负载装置之间。

根据本发明的一个实施例，所述控制器包括PID模块、变频器和继电器，所述PID模块控制所述阀体，所述PID模块通过所述变频器控制所述泵体，所述PID模块通过所述继电器控制所述加热器。

根据本发明的一个实施例，所述阀体为电动两通阀。

根据本发明第二方面实施例的应用上述温控系统的温控方法，包括：

获取第一温度传感器的第一检测信息；

将第一预设温度值与所述第一检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制阀体的开度。

根据本发明的一个实施例，还包括：

获取第二温度传感器的第二检测信息；

将第二预设温度值与所述第二检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制加热器的加热温度。

根据本发明的一个实施例，还包括：

获取流量传感器的第三检测信息；

将预设流量值与所述第三检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制泵体的泵送频率。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果：本发明实施例的温控系统，一侧为冷却水回路，另一侧为循环液回路，两套回路通过热交换器连接，冷却水回路的冷却水流过热交换器时吸热，循环液回路的循环液携带热量流过热交换器时放热，冷却水将循环液的热量吸收，使循环液温度降低达到预设温度。第一温度传感器设置在循环液箱的进液管路上，阀体设置在热交换器的冷却水的出水管路上，控制器通过获得第一温度传感器的温度变化的检测信息，从而控制阀体的开度来精确驱动控制冷却水流量输出。即，若检测到流入循环液箱的循环液的温度大于预设温度，则控制阀体开度增大，加大热交换器内冷却水的流量提高与循环液的换热量，若检测到流入循环液箱的循环液的温度小于预设温度，则控制阀体开度减小，减小热交换器内冷却水的流量，降低与循环液的换热量。

本发明通过控制器、第一温度传感器和阀体配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制循环液箱的循环液入口温度以满足不同温度的工况，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。本发明的温控系统结构简单，安装方便，可操作性强，输出模拟量信号，控制精度高，控制灵活，响应速度快，调节速度迅速，控制器可根据第一温度传感器检测到的温度变化通过实时连续精确调节阀体的流量，温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例温控系统的结构示意图；

图2是本发明实施例温控系统的控制器控制循环液箱的进液口温度的原理图；

图3是本发明实施例温控系统的控制器控制循环液箱的出液口温度的原理图；

图4是本发明实施例温控系统的控制器控制循环液箱的出液口流量的原理图；

图5是本发明实施例温控方法的流程图；

图6是本发明实施例温控系统在25℃的预设温度下，阀体的开度曲线图；

图7是本发明实施例温控系统在25℃的预设温度下，加热器的加热量输出曲线图；

图8是本发明实施例温控系统在25℃的预设温度下，循环液箱的出液口流量曲线图。

附图标记：

1：冷却水回路；11：阀体；12：进水管路；13：出水管路；

2：循环液回路；21：第一温度传感器；22：第二温度传感器；23：循环液箱；24：泵体；25：流量传感器；26：负载装置；27：第三温度传感器；28：压力传感器；29：电阻率传感器；231：加热器；

3：热交换器；

41：PID模块；42：变频器；43：继电器；44：PLC；45：温度模块；46：流量模块；

51：进液管路；52：出液管路。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

如图1所示，本发明实施例提供的温控系统，包括控制器、冷却水回路1和循环液回路2，冷却水回路1包括阀体11和用于冷却水流通的热交换器3的吸热通路，循环液回路2包括第一温度传感器21、用于循环液流通的热交换器3的放热通路和用于储存循环液的循环液箱23，循环液箱23的进液管路51与热交换器3的放热通路的出液管路52连通；阀体11设置于热交换器3的吸热通路的出水管路13上，第一温度传感器21设置于热交换器3的放热通路的出液管路52上，第一温度传感器21通过控制器与阀体11通信连接，以通过第一温度传感器21的检测信息控制阀体11的开度。

本发明实施例的温控系统，一侧为冷却水回路1，另一侧为循环液回路2，两套回路通过热交换器3连接，冷却水回路1的冷却水流过热交换器3时吸热，循环液回路2的循环液携带热量流过热交换器3时放热，冷却水将循环液的热量吸收，使循环液温度降低达到预设温度。第一温度传感器21设置在热交换器3的循环液的出液管路52上，阀体11设置在热交换器3的冷却水的出水管路13上，控制器通过获得第一温度传感器21的温度变化的检测信息，从而控制阀体11的开度来精确驱动控制冷却水流量输出。即，若检测到流入循环液箱23的循环液的温度大于预设温度，则控制阀体11开度增大，加大热交换器3内冷却水的流量，提高与循环液的换热量，若检测到流入循环液箱23的循环液的温度小于预设温度，则控制阀体11开度减小，减小热交换器3内冷却水的流量，降低与循环液的换热量。

本发明通过控制器、第一温度传感器21和阀体11配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制循环液箱23的循环液入口温度以满足不同温度的工况，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。本发明的温控系统结构简单，安装方便，可操作性强，输出模拟量信号，控制精度高，控制灵活，响应速度快，调节速度迅速，控制器可根据第一温度传感器21检测到的温度变化通过实时连续精确调节阀体11的流量，温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

本实施例中，热交换器3具有冷却水的进水口与出水口和循环液的进液口与出液口，进水管路12与热交换器3的进水口连通，出水管路13与热交换器3的出水口连通，进液管路51与热交换器3的进液口连通，出液管路52与热交换器3的出液口连通，进液管路51与出液管路52上连接循环液回路2的具体组成装置，第一温度传感器21作为循环液箱进液口温度传感器设置在循环液箱23的进液管路51上。

根据本发明的一个实施例，循环液回路2还包括第二温度传感器22，第二温度传感器22设置于循环液箱23的出液管路52上，循环液箱23内设有加热器231，第二温度传感器22通过控制器与加热器231通信连接，以通过第二温度传感器22的检测信息控制加热器231的加热温度。本实施例中，由热交换器3的放热通路内换热降温后流出的循环液，通过热交换器3的出液管路52进入循环液箱23的进液管路51后流入循环液箱23内，循环液箱23内设置加热器231，可对循环液箱23内的循环液进行加热，循环液通过出液管路52流出循环液箱23，从而流经循环液回路2的后续装置，第二温度传感器22设置在循环液箱23的出液管路52上，控制器通过获得第二温度传感器22的温度变化的检测信息，从而控制加热器231的加热温度来精确控制循环液箱23中循环液的温度。即，若检测到流出循环液箱23的循环液的温度大于预设温度，则控制加热器231减小加热量，降低对循环液箱23内的循环液的加热温度，若检测到流出循环液箱23的循环液的温度小于预设温度，则控制加热器231增大加热量，提高对循环液箱23内的循环液的加热温度。

本实施例通过控制器、第二温度传感器22和加热器231配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制循环液箱23的循环液出口温度维持在一定的温度范围内，以满足不同温度的工况，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。控制器可根据第二温度传感器22检测到的温度变化通过实时连续精确调节循环液流出循环液箱23的温度，从而调节温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

本实施例中，循环液箱23具有循环液的进液口和出液口，热交换器3的出液口与循环液的进液口通过热交换器3的出液管路52和循环液箱23的进液管路51连通，循环液箱23的出液口通过循环液箱23的出液管路52连接循环液回路2的其它具体组成装置，第二温度传感器22作为循环液出口温度传感器设置在循环液箱23的出液管路52上。

根据本发明的一个实施例，循环液回路2还包括泵体24和流量传感器25，泵体24和流量传感器25沿循环液的流向依次设置于循环液箱23的出液管路52上，且均位于循环液箱23与第二温度传感器22之间，流量传感器25通过控制器与泵体24通信连接，以通过流量传感器25的检测信息控制泵体24的泵送频率。本实施例中，由循环液箱23的加热升温后流出的循环液，通过循环液箱23的出液管路52进入泵体24，泵体24将循环液泵入后续的出液管路52，从而为循环液提供其在循环液回路2中的流动力，流量传感器25设置在循环液流出泵体24后的出液管路52上，控制器通过获得流量传感器25的流量变化的检测信息，从而控制泵体24的泵送频率来精确控制流出循环液箱23的循环液的流量。即，若检测到流出循环液箱23的循环液的流量大于预设流量，则控制泵体24减小泵送频率，降低流出循环液箱23的循环液的流量，若检测到流出循环液箱23的循环液的流量小于预设流量，则控制泵体24增大泵送频率，提高流出对循环液箱23的循环液的流量。

本实施例通过控制器、流量传感器25和泵体24配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制循环液箱23的循环液出口流量维持在一定的流量范围内，以满足不同温度的工况下通过循环液流量控制对系统整体温度调整的需求，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。控制器可根据流量传感器25检测到的流量变化通过实时连续精确调节循环液流出循环液箱23的流量，从而调节温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

本实施例中，循环液箱23的出液口通过循环液箱23的出液管路52与泵体24的进液口连通，泵体24的出液口通过出液管路52连接循环液回路2的其它具体组成装置，流量传感器25设置在泵体24后续的出液管路52上。本实施例的泵体24采用水泵，在本发明的温控系统中，循环液回路2内的循环液流量属于大流量，控制水泵能力及控制要求较高。

根据本发明的一个实施例，循环液回路2还包括负载装置26和第三温度传感器27，负载装置26的进液口与循环液箱23的出液管路52的末端连通，负载装置26的出液口与热交换器3的放热通路的进液管路51连通，第三温度传感器27设置于热交换器3的放热通路的进液管路51上，第三温度传感器27与控制器通信连接。本实施例中，循环液箱23内的循环液通过泵体24泵出至循环液箱23的出液管路52后，进入负载装置26，循环液在经过负载装置26的过程吸热升温，再由负载装置26流出，循环液通过热交换器3的循环液的进液管路51流回至热交换器3内，第三温度传感器27设置在循环液流出负载装置26后的热交换器3的进液管路51上，控制器可获得第三温度传感器27的温度变化的检测信息，从而获得负载装置26的放热情况，再以第三温度传感器27的检测信息相应调整进入循环液箱23的循环液的预设温度，即循环液箱23的进液管路51内循环液的预设温度，再结合第一温度传感器21的检测信息控制阀体11的开度，从而精确控制流经热交换器3的冷却水的流量，使温控系统平衡控制温度，最终输出可控的高精度循环液出口温度。即，若检测到流出负载装置26的循环液的温度大于预设温度，则控制阀体11增大开度，提高流出热交换器3的冷却水的流量，若检测到流出负载装置26的循环液的温度小于预设温度，则控制阀体11减小开度，减少流入热交换器3的冷却水的流量。

本实施例通过控制器、第三温度传感器27和阀体11配合，使温控系统平衡控制温度，实现精确连续控制热交换器3的冷却水出口流量，以满足不同温度的工况需求，同时保证系统运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。控制器可根据第三温度传感器27检测到的温度变化通过实时连续精确调节热交换器3流出冷却水的流量，从而调节温控系统运行满足目标温度的同时，输出能耗较小且节能。

本实施例中，负载装置26具有进液口和出液口，循环液箱23的出液管路52与负载装置26的进液口连通，负载装置26的出液口与热交换器3的进液口通过热交换器3的进液管路51连通，第三温度传感器27设置在热交换器3的进液管路51上。第三温度传感器27作为循环液入口温度传感器设置在热交换器3的进液管路51上。本发明的温控系统控温精度高，控制负载较大，通过控制阀体11开度、加热器231加热量、泵体24流量以及第三温度传感器27的判定负载，综合计算判定来控制第二温度传感器22处检测的循环液温度，实现循环液高精度、稳定输出，满足控温需求。

根据本发明的一个实施例，循环液回路2还包括压力传感器28和电阻率传感器29，压力传感器28和电阻率传感器29沿循环液的流向依次设置于循环液箱23的出液管路52上，且均位于第三温度传感器27与负载装置26之间。本实施例中，压力传感器28检测循环液回路2上循环液在循环液箱23的出液管路52上的压力值，电阻率传感器29检测检测循环液回路2上循环液在循环液箱23的出液管路52上的电阻率。

根据本发明的一个实施例，控制器包括PID（比例积分微分）模块41、变频器42和继电器43，PID模块41控制阀体11，PID模块41通过变频器42控制泵体24，PID模块41通过继电器43控制加热器231。本实施例中，通过PLC（可编程控制器）44的编程程序和PID模块41、变频器42和继电器43综合合理控制阀体11开度、加热器231的加热量及循环液箱23的循环液流量来平衡系统，最终满足预设温度的恒定输出。本实施例中，继电器43采用固态继电器。

其中，如图2所示，通过PLC44的温度模块45采集第一温度传感器21的检测信息，即采集循环液箱23的进液口温度，通过PLC44的PID模块41运算得到输出对应的值，即通过第一预设温度和第一温度传感器21的实时测量值获得差值，输出范围是0-100的值，进一步运算后通过模拟量信号控制阀体11的输出开度大小来控制冷却水的流量，从而控制循环液箱23的进液口温度。如图6所示，在第一预设温度为25℃时，阀体11的开度曲线图。

其中，如图3所示，通过PLC44的温度模块45采集第二温度传感器22的检测信息，即采集循环液箱23的出液口温度，通过PLC44的PID模块41运算得到输出对应的值，即通过第二预设温度和第二温度传感器22的实时测量值获得差值，进一步运算后通过固态继电器控制加热器231的加热量大小，从而控制循环液箱23的出液口温度。如图7所示，在第二预设温度为25℃时，加热器231的加热量输出曲线图。

其中，如图4所示，通过PLC44的流量模块46采集流量传感器25的检测信息，即采集循环液箱23的出液口流量，通过PLC44的PID模块41运算得到输出对应的值，即通过预设流量和流量传感器25的实时测量值获得差值，进一步运算后通过变频器42控制泵体24的泵送量，从而控制循环液箱23的出液口流量。如图8所示，在第三预设温度为25℃时，循环液箱23的出液口流量曲线图。

根据本发明的一个实施例，阀体11为电动两通阀。本实施例中，半导体生产用温控系统中PID模块41实时调节阀体11开度量，阀体11采用电动两通阀可靠稳定，噪音小，控制灵活，响应速度快，使用使命长。在其它实施例中，不限定上述阀体11是截止阀、电动阀、电磁阀或其他形式可通断的阀类。

如图5所示，本发明实施例提供的应用上述实施例的温控系统的温控方法，包括：

获取第一温度传感器21的第一检测信息；

将第一预设温度值与第一检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制阀体11的开度。

本发明实施例的温控方法，提出一种阀体11开度的控制方法，通过第一温度传感器21检测的循环液回路2中循环液流出热交换器3时的温度变化，输出至PID模块41精确连续控制冷却水回路1上阀体11的开度，从而调节冷却水回路1中冷却水流出热交换器3的流量大小，从而控制循环液回路2中循环液温度。

根据本发明的一个实施例，本发明实施例的温控方法还包括：

获取第二温度传感器22的第二检测信息；

将第二预设温度值与第二检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制加热器231的加热温度。

本实施例提出一种加热器231加热量的控制方法，通过第二温度传感器22检测的循环液回路2中循环液流出循环液箱23时的温度变化，输出至PID模块41精确连续控制循环液箱23内的加热器231的加热温度，从而调节循环液回路2中循环液流出循环液箱23的温度。结合上述的阀体11开度控制方法，本实施例的温控方法使温控系统的温度调控更加精准高效，半导体生产系统运行更加稳定。

根据本发明的一个实施例，本发明实施例的温控方法还包括：

获取流量传感器25的第三检测信息；

将预设流量值与第三检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制泵体24的泵送频率。

本实施例提出一种循环液流量的控制方法，通过流量传感器25检测的循环液回路2中循环液流出循环液箱23时的流量变化，输出至PID模块41精确连续控制循环液回路2上泵体24的泵送频率，从而调节循环液回路2中循环液流出循环液箱23的流量。结合上述的阀体11开度控制方法和加热器231加热量控制方法，本实施例的温控方法使温控系统的温度调控更加精准高效，半导体生产系统运行更加稳定。

在一个实施例中，第二预设温度值为循环液回路2中所需的循环液温度，若第二预设温度值为10℃，则第一预设温度值可为9℃，可预先将整个温控系统的循环液温度通过控制阀体11稳定在10℃以下，而后再通过加热器231进行精度调整，当循环液流经负载装置26进行热交换升温后，第三温度传感器27检测到的温度必然大于10℃，此时，为了经一步维护系统热交换的稳定，可对第一预设温度值进行实时调整。

Claims (7)

1.一种温控系统，其特征在于：包括控制器、冷却水回路和循环液回路，所述冷却水回路包括阀体和用于冷却水流通的热交换器的吸热通路，所述循环液回路包括第一温度传感器、用于循环液流通的所述热交换器的放热通路和用于储存所述循环液的循环液箱，所述循环液箱的进液管路与所述热交换器的放热通路的出液管路连通；所述阀体设置于所述热交换器的吸热通路的出水管路上，所述第一温度传感器设置于所述循环液箱的进液管路上，所述第一温度传感器通过所述控制器与所述阀体通信连接，以通过所述第一温度传感器的检测信息控制所述阀体的开度；所述循环液回路还包括第二温度传感器，所述第二温度传感器设置于所述循环液箱的出液管路上，所述循环液箱内设有加热器，所述第二温度传感器通过所述控制器与所述加热器通信连接，以通过所述第二温度传感器的检测信息控制所述加热器的加热温度；所述循环液回路还包括负载装置和第三温度传感器，所述负载装置的进液口与所述循环液箱的出液管路的末端连通，所述负载装置的出液口与所述热交换器的放热通路的进液管路连通，所述第三温度传感器设置于所述热交换器的放热通路的进液管路上，所述第三温度传感器与所述控制器通信连接；所述循环液回路还包括压力传感器和电阻率传感器，所述压力传感器和所述电阻率传感器沿所述循环液的流向依次设置于所述循环液箱的出液管路上，且均位于所述第三温度传感器与所述负载装置之间。

2.根据权利要求1所述的温控系统，其特征在于：所述循环液回路还包括泵体和流量传感器，所述泵体和所述流量传感器沿所述循环液的流向依次设置于所述循环液箱的出液管路上，且均位于所述循环液箱与所述第二温度传感器之间，所述流量传感器通过所述控制器与所述泵体通信连接，以通过所述流量传感器的检测信息控制所述泵体的泵送频率。

3.根据权利要求2所述的温控系统，其特征在于：所述控制器包括PID模块、变频器和继电器，所述PID模块控制所述阀体，所述PID模块通过所述变频器控制所述泵体，所述PID模块通过所述继电器控制所述加热器。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的温控系统，其特征在于：所述阀体为电动两通阀。

5.一种应用上述权利要求1至4任意一项所述的温控系统的温控方法，其特征在于：包括：

获取第一温度传感器的第一检测信息；

将第一预设温度值与所述第一检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制阀体的开度。

6.根据权利要求5所述的温控方法，其特征在于：还包括：

获取第二温度传感器的第二检测信息；

将第二预设温度值与所述第二检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制加热器的加热温度。

7.根据权利要求6所述的温控方法，其特征在于：还包括：

获取流量传感器的第三检测信息；

将预设流量值与所述第三检测信息进行差值计算；

根据计算结果控制泵体的泵送频率。

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