CN111485281A - 一种旋转式非等温液桥生成器及其应用 - Google Patents

Abstract

一种旋转式非等温液桥生成器及其应用，本发明属于流体物理学技术领域，为了解决现有液桥生成装置难以调控旋转模式、液桥高度、温差大小以及对振荡热毛细对流抑制效果不理想等问题。本发明旋转式非等温液桥生成器包括液桥生成装置、旋转装置、升降装置和温控装置；所述液桥生成装置包括上、下盘组件；所述旋转装置中上旋转电机安装在支架的顶部，下旋转电机位于支架的下部；所述升降装置可调节液桥高度；所述温控装置中加热片和制冷片分别安装于上、下盘组件的加热槽与制冷槽中。本发明液桥生成器可提供多种旋转模式与转速，有效抑制了液桥内部的振荡热毛细对流，对浮区法制备单晶有显著指导意义。

Description

一种旋转式非等温液桥生成器及其应用

技术领域

本发明属于流体物理学技术领域，具体涉及一种非等温液桥生成器及其应用。

背景技术

浮区法是制备半导体晶体材料的常用方法，其主要原理是送料棒在环形加热器中受提拉运动，位于环形加热器附近区域的固体原料被加热融化形成熔区，熔区远离加热器后冷却结晶。生长晶体的质量受熔区内周期性振荡的热毛细对流影响，会产生微米量级杂质条纹，严重影响了晶体制备的质量。液桥则是以浮区法制备单晶为工程背景，以上盘受热模拟环形加热器，以下盘冷却模拟送料棒的物理实验模型，用以在实验室条件下研究熔区内部的热毛细对流从稳态流到振荡流的转变过程，以及其对晶体表面形状的影响。

目前，用于抑制熔区内部周期性振荡的热毛细对流，较为成熟的手段包括：外加旋转、外加震动、外加磁场、表面敷层和剪切气流等方法。但现有旋转式液桥生成器的旋转模式单一，上、下盘之间的距离不可调控，难以调控旋转、液桥高度以及温差大小等工艺参数，进而导致对振荡热毛细对流的抑制效果不理想。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有液桥生成装置难以调控旋转模式、液桥高度、温差大小以及对振荡热毛细对流的抑制效果不理想等问题，而提供一种旋转式非等温液桥生成器及其应用。

本发明旋转式非等温液桥生成器包括液桥生成装置、旋转装置、升降装置和温控装置；所述的液桥生成装置包括上盘组件和下盘组件，上盘组件为圆柱体，上盘组件的一端为上盘，上盘组件的另一端开有上盘螺纹孔，在上盘组件的圆周方向开有加热槽；下盘组件为圆柱体，下盘组件的一端为下盘，下盘组件的另一端开有下盘螺纹孔，在下盘组件的圆周方向开有制冷槽；上盘和下盘的直径相等；

所述旋转装置包括上旋转电机、下旋转电机、上旋转轴、下旋转轴、上旋转电机卡槽、下旋转电机卡槽和支架，上旋转电机卡槽设置在支架的顶部，下旋转电机卡槽位于支架内的下部；上旋转电机安装在上旋转电机卡槽中，下旋转电机安装在下旋转电机卡槽中；上旋转轴的一端与上旋转电机相连，上旋转轴的另一端插入上盘组件的上盘螺纹孔内通过螺纹连接，下旋转轴的一端与下旋转电机相连，下旋转轴的另一端插入下盘组件的下盘螺纹孔内通过螺纹连接；上盘组件、下盘组件、上旋转轴和下旋转轴的垂直中心线位于同一竖直直线上；

所述升降装置包括滑杆、升降齿条、升降连接件、升降齿轮、齿轮旋钮、齿轮支架、固定齿片和底座，滑杆和齿轮支架竖直固定在底座上；升降齿轮安装在齿轮支架的顶部，升降齿轮与齿轮支架通过轴承连接，齿轮旋钮设置在升降齿轮上；升降齿条套设在滑杆上，下旋转电机卡槽与升降齿条之间通过升降连接件相连接，升降齿轮与升降齿条相啮合；固定齿片穿设在齿轮支架上，固定齿片的齿头与升降齿条相插合，以固定升降齿条的位置；

所述温控装置包括加热片和制冷片，加热片安装于上盘组件的加热槽内，制冷片安装于下盘组件的制冷槽内。

与现有技术相比，本发明所述的旋转式非等温液桥生成器主要包括以下有益效果：

本发明旋转式非等温液桥生成器的结构简单、功能多样，与传统液桥生成器相比，可实现多种旋转模式，还可以根据实验需要调节不同的转速。本发明上、下盘温差的实现可以根据实验要求精确控制，且可以提供包括临界温差在内的大范围温差，便于研究由稳态流向振荡流过度的整个过程。可以更换不同直径的上、下盘，以及连续调节上、下盘之间的高度以提供不同高径比和体积比的液桥。

本发明应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法按照下列步骤实现：

一、选择相同直径的液桥上盘和下盘，通过升降装置调节上盘和下盘之间的距离，以获得液桥高径比为0.5-2；

二、使用微型注射泵将硅油注入到上盘与下盘之间，调控液桥体积比为0.6-1.5；

三、控制上盘的温度为40-70℃，下盘的温度为0-10℃；

四、开启上旋转电机和下旋转电机，控制上盘与下盘同步转动(同向且同速)，上盘和下盘的转速为20-40转/分钟，以抑制液桥内部的振荡热毛细对流，生成高质量的液桥。

本发明应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法通过调控上、下盘转动模式，上、下盘转速，液桥高径比，液桥体积比，上盘和下盘温差等工艺条件，使液桥内部的振荡热毛细对流得到有效抑制，同时，优化了液桥自由表面的形状，提升了(硅)晶体制备的质量。

本发明综合考虑各因素对液桥生成过程的影响，较现有液桥生成器所获得的数据全面、稳定、可靠，对研究浮区晶体生长过程具有重要意义。

附图说明

图1是本发明的旋转式非等温液桥生成器的结构示意图；

图2是本发明上盘组件的结构示意图；

图3是本发明下盘组件的结构示意图；

图4a是本发明单盘旋转模式中上盘旋转，下盘不动的示意图；

图4b是本发明单盘旋转模式中上盘不动，下盘旋转的示意图；

图5a是本发明双盘旋转模式中上、下盘同向旋转的示意图；

图5b是本发明双盘旋转模式中上、下盘异向旋转的示意图；

图6是本发明温控装置电路示意图；

图7是本发明测量液桥内部流场的实验装置示意图；

图8是本发明测量液桥自由表面形状的实验装置示意图；

图9a是实施例中未施加旋转时，t＝1.21s时刻液桥内部振荡热毛细对流的实验结果图；

图9b是实施例中未施加旋转时，t＝1.57s时刻液桥内部振荡热毛细对流的实验结果图；

图9c是实施例中未施加旋转时，t＝1.92s时刻液桥内部振荡热毛细对流的实验结果图；

图10是实施例中施加同步旋转时，液桥内部振荡热毛细对流受抑制的实验结果图；

图11是实施例中施加同步旋转时，液桥自由表面形状的实验结果图；

图中：1、上盘组件，1-1、上盘，1-2、加热槽，1-3、上盘螺纹孔；2、下盘组件，2-1、下盘，2-2、制冷槽，2-3、下盘螺纹孔；3、支架；4、上旋转电机；5、下旋转电机；6、上旋转轴；7、下旋转轴；8、上旋转电机卡槽；9、下旋转电机卡槽；10、滑杆；11、升降齿条；12、升降连接件；13、升降齿轮；14、齿轮旋钮；15、齿轮支架；16、固定齿片；17、固定插件；18、底座；19、加热片；20、制冷片；21、温控器；22、继电器；23、变压器；24、热电偶；25、高速摄像机；26、激光片光源；27、背光灯；28、散光板；29、图像处理系统；30、液桥。

具体实施方式

具体实施方式一：本实施方式旋转式非等温液桥生成器，其结构如图1所示，包括液桥生成装置、旋转装置、升降装置和温控装置；所述的液桥生成装置包括上盘组件1和下盘组件2，上盘组件1为圆柱体，上盘组件1的一端为上盘1-1，上盘组件1的另一端开有上盘螺纹孔1-3，在上盘组件1的圆周方向开有加热槽1-2，其结构如图2所示；下盘组件2为圆柱体，下盘组件2的一端为下盘2-1，下盘组件2的另一端开有下盘螺纹孔2-3，在下盘组件2的圆周方向开有制冷槽2-2，其结构如图3所示；上盘1-1和下盘2-1的直径相等；

所述旋转装置包括上旋转电机4、下旋转电机5、上旋转轴6、下旋转轴7、上旋转电机卡槽8、下旋转电机卡槽9和支架3，上旋转电机卡槽8设置在支架3的顶部，下旋转电机卡槽9位于支架3内的下部；上旋转电机4安装在上旋转电机卡槽8中，下旋转电机5安装在下旋转电机卡槽9中；上旋转轴6的一端与上旋转电机4相连，上旋转轴6的另一端插入上盘组件1的上盘螺纹孔1-3内通过螺纹连接，下旋转轴7的一端与下旋转电机5相连，下旋转轴7的另一端插入下盘组件2的下盘螺纹孔2-3内通过螺纹连接；上盘组件1、下盘组件2、上旋转轴6和下旋转轴7的垂直中心线位于同一竖直直线上；

所述升降装置包括滑杆10、升降齿条11、升降连接件12、升降齿轮13、齿轮旋钮14、齿轮支架15、固定齿片16和底座18，滑杆10和齿轮支架15竖直固定在底座18上；升降齿轮13安装在齿轮支架15的顶部，升降齿轮13与齿轮支架15通过轴承连接，齿轮旋钮14设置在升降齿轮13上；升降齿条11套设在滑杆10上，下旋转电机卡槽9与升降齿条11之间通过升降连接件12相连接，升降齿轮13与升降齿条11相啮合；固定齿片16穿设在齿轮支架15上，固定齿片16的齿头与升降齿条11相插合，以固定升降齿条11的位置；

所述温控装置包括加热片19和制冷片20，加热片19安装于上盘组件1的加热槽1-2内，制冷片20安装于下盘组件2的制冷槽2-2内。

本实施方式提供一种旋转式非等温液桥生成器，所述液桥生成器功能多样：通过上旋转电机4控制上盘1-1的旋转，通过下旋转电机5控制下盘2-1的旋转，可实现多种旋转模式与转速。还能通过升降装置调整上、下盘之间的距离，可连续调控液桥的高度；通过温控装置对上盘1-1加热，对下盘2-1冷却可实现上、下盘大范围可控温差；通过更换不同直径的上盘1-1及下盘2-1(上盘1-1和下盘2-1的直径相同)实现不同直径的液桥。

具体实施方式二：本实施方式与具体实施方式一不同的是加热片19与加热槽1-2之间涂覆有润滑油，制冷片20与制冷槽2-2之间涂覆有润滑油。

本实施方式涂覆润滑油以防止加热片19和制冷片20跟随上、下盘转动。

具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式一或二不同的是上盘组件1和下盘组件2的材质为铜或铜合金。

本实施方式上盘组件1和下盘组件2采用导热性能良好的材质制作。

具体实施方式四：本实施方式与具体实施方式一至三之一不同的是在齿轮支架15侧面还设置有固定插件17，固定齿片16侧面设置有安装孔，当固定齿片16的齿头与升降齿条11相插合时，固定插件17从侧向插入固定齿片16的安装孔内以固定升降齿条11的位置。

具体实施方式五：本实施方式与具体实施方式一至四之一不同的是上旋转电机4和下旋转电机5通过电脑控制转速。

具体实施方式六：本实施方式与具体实施方式一至五之一不同的是上盘1-1和下盘2-1的旋转模式包含两类：

1)、单盘转动模式，包括上盘1-1旋转，下盘2-1不动(如图4a所示)；上盘1-1不动，下盘旋转2-1(如图4b所示)；

2)、双盘转动模式，包括上盘1-1、下盘2-1同向旋转(如图5a所示)；上盘1-1、下盘2-1异向旋转(如图5b所示)。

具体实施方式七：本实施方式应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法按照下列步骤实现：

一、选择相同直径的液桥上盘1-1和下盘2-1，通过升降装置调节上盘1-1和下盘2-1之间的距离，以获得液桥高径比为0.5-2；

二、使用微型注射泵将硅油注入到上盘1-1与下盘2-1之间，调控液桥体积比为0.6-1.5；

三、控制上盘1-1的温度为40-70℃，下盘2-1的温度为0-10℃；

四、开启上旋转电机4和下旋转电机5，控制上盘1-1与下盘2-1同步转动(同向且同速)，上盘1-1和下盘2-1的转速为20-40转/分钟，以抑制液桥内部的振荡热毛细对流，生成高质量的液桥。

本实施方式液桥高径比的计算式为：

式中，A为液桥高径比，H为液桥高度，即上、下盘之间的垂直距离，R为上、下盘半径。

本实施方式液桥体积比的计算式为：

式中V为液桥体积比，V₀为上下盘之间圆柱体的体积，V₁为实际注入液桥的体积。

本实施方式通过调控上、下盘转动模式，上、下盘转速，液桥高径比，液桥体积比，上盘和下盘温差等工艺条件，使液桥内部的振荡热毛细对流得到有效抑制，同时，优化了液桥自由表面的形状，提升了晶体制备的质量。

具体实施方式八：本实施方式与具体实施方式七不同的是步骤一中调节液桥高径比为0.8-1。

具体实施方式九：本实施方式与具体实施方式七或八不同的是步骤二中调控液桥体积比为0.8-0.9。

具体实施方式十：本实施方式与具体实施方式七至九之一不同的是步骤三中控制上盘1-1的温度为45-55℃，下盘2-1的温度为0-2℃。

具体实施方式十一：本实施方式与具体实施方式七至十之一不同的是步骤四中上盘1-1和下盘2-1的转速为30转/分钟。

实施例：本实施例旋转式非等温液桥生成器，其结构如图1所示，包括液桥生成装置、旋转装置、升降装置和温控装置；所述的液桥生成装置包括上盘组件1和下盘组件2，上盘组件1为圆柱体，上盘组件1的一端为上盘1-1，上盘组件1的另一端开有上盘螺纹孔1-3，在上盘组件1的圆周方向开有加热槽1-2，其结构如图2所示；下盘组件2为圆柱体，下盘组件2的一端为下盘2-1，下盘组件2的另一端开有下盘螺纹孔2-3，在下盘组件2的圆周方向开有制冷槽2-2，其结构如图3所示；上盘1-1和下盘2-1的直径相等；

所述旋转装置包括上旋转电机4、下旋转电机5、上旋转轴6、下旋转轴7、上旋转电机卡槽8、下旋转电机卡槽9和支架3，上旋转电机卡槽8设置在支架3的顶部，下旋转电机卡槽9位于支架10内的下部；上旋转电机4安装在上旋转电机卡槽8中，下旋转电机5安装在下旋转电机卡槽9中；上旋转轴6的一端与上旋转电机4相连，上旋转轴6的另一端插入上盘组件1的上盘螺纹孔1-3内通过螺纹连接，下旋转轴7的一端与下旋转电机5相连，下旋转轴7的另一端插入下盘组件2的下盘螺纹孔2-3内通过螺纹连接；上盘组件1、下盘组件2、上旋转轴6和下旋转轴7的垂直中心线位于同一竖直直线上；

所述升降装置包括滑杆10、升降齿条11、升降连接件12、升降齿轮13、齿轮旋钮14、齿轮支架15、固定齿片16和底座18，滑杆10和齿轮支架15竖直固定在底座18上；升降齿轮13安装在齿轮支架15的顶部，升降齿轮13与齿轮支架15通过轴承连接，齿轮旋钮14设置在升降齿轮13上；升降齿条11套设在滑杆10上，下旋转电机卡槽9与升降齿条11之间通过升降连接件12相连接，升降齿条11和升降连接件12为一体结构呈L形，升降齿轮13与升降齿条11相啮合；固定齿片16穿设在齿轮支架15上，固定齿片16的齿头与升降齿条11相插合，在齿轮支架15侧面还设置有固定插件17，固定齿片16侧面设置有安装孔，固定插件17从侧向插入固定齿片16的安装孔内，以固定升降齿条11的位置；

所述温控装置，其结构如图1和图6所示，包括加热片19、制冷片20、温控器21、两个继电器22、两个变压器23和两个热电偶24，加热片19安装于上盘组件1的加热槽1-2中与变压器23，继电器22连接形成加热回路，加热片19与加热槽1-2之间涂覆润滑油；制冷片20安装于下盘组件2的制冷片槽2-2中，与变压器23，继电器22连接形成制冷回路，制冷片20与冷片槽2-2之间涂覆润滑油；温控器21与继电器22，热电偶24连接形成控制回路，两个热电偶24分别紧贴于上盘1-1和下盘2-1。

本实施例的温控装置可以分别设置需要对上盘1-1加热的温度和对下盘2-1冷却的温度，又可以同时检测上盘1-1和下盘2-1的温度。当上、下盘没有达到既定温度时，加热回路和制冷回路中的继电器22闭合，上盘1-1保持加热状态，下盘2-1保持制冷状态。当上、下盘达到既定温度时，加热回路和制冷回路中的继电器22断开，上盘1-1停止加热，下盘2-1停止制冷。当上盘1-1温度低于既定温度或者下盘2-1温度高于既定温度时，继电器22又会闭合，上盘1-1又进行加热，下盘2-1又进行制冷。如此反复以实现对上、下盘温度的精确控制。

本实施例中，将固定插件17抽离固定齿片16，再将固定齿片16抽离升降齿条11，旋转齿轮旋钮14，通过升降齿轮13的转动调节升降齿条11的高度，获取实验所需的液桥高度之后，将固定插件17再插入固定齿片16的安装孔内，以固定液桥高度。

应用实施例：应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法按照下列步骤实现：

一、选择相同直径的液桥上盘1-1和下盘2-1，通过升降装置调节上盘1-1和下盘2-1之间的距离，以获得液桥高径比为0.8；

二、使用微型注射泵将10号硅油注入到上盘1-1与下盘2-1之间形成液桥，调控液桥体积比为0.8；

三、控制上盘1-1的温度为50℃，下盘2-1的温度为0℃；

四、开启上旋转电机4和下旋转电机5，控制上盘1-1与下盘2-1同步转动(同向且同速)，上盘1-1和下盘2-1的转速为30转/分钟，以抑制液桥内部的振荡热毛细对流。

具体的测量方案有两种：1)、测量液桥内部的热毛细对流；如图7所示，液桥生成器、高速摄像机25和激光片光源26三者垂直放置，使如刀片一样薄的激光片光源26能够沿液桥30中轴穿透液桥30而照亮激光片光源26所在二维平面，该二维平面内的示踪粒子(可采用10μm的铝粉)被激光照亮后会将光线反射出去被高速摄像机25所捕捉，从而获得液桥内部的流动状态；2)、测量液桥自由表面的动态变形；如图8所示，液桥生成器、高速摄像机25、背光灯27和散光板28在同一直线上，通过高速摄像机25捕捉液桥自由表面的动态变形。

通过上述测量方案可得，在没有施加旋转的条件下，液桥内部出现了左右振荡的振荡热毛细对流，如图9所示；在施加旋转后，液桥内部的振荡热毛细对流得到有效抑制，转变为左右对称的稳态对流，如图10所示；同时，优化了液桥自由表面的形状(如图11所示)，提升了晶体制备的质量。

Claims (10)

1.旋转式非等温液桥生成器，其特征在于该旋转式非等温液桥生成器包括液桥生成装置、旋转装置、升降装置和温控装置；所述的液桥生成装置包括上盘组件(1)和下盘组件(2)，上盘组件(1)为圆柱体，上盘组件(1)的一端为上盘(1-1)，上盘组件(1)的另一端开有上盘螺纹孔(1-3)，在上盘组件(1)的圆周方向开有加热槽(1-2)；下盘组件(2)为圆柱体，下盘组件(2)的一端为下盘(2-1)，下盘组件(2)的另一端开有下盘螺纹孔(2-3)，在下盘组件(2)的圆周方向开有制冷槽(2-2)；上盘(1-1)和下盘(2-1)的直径相等；

所述旋转装置包括上旋转电机(4)、下旋转电机(5)、上旋转轴(6)、下旋转轴(7)、上旋转电机卡槽(8)、下旋转电机卡槽(9)和支架(3)，上旋转电机卡槽(8)设置在支架(3)的顶部，下旋转电机卡槽(9)位于支架(3)内的下部；上旋转电机(4)安装在上旋转电机卡槽(8)中，下旋转电机(5)安装在下旋转电机卡槽(9)中；上旋转轴(6)的一端与上旋转电机(4)相连，上旋转轴(6)的另一端插入上盘组件(1)的上盘螺纹孔(1-3)内通过螺纹连接，下旋转轴(7)的一端与下旋转电机(5)相连，下旋转轴的另一端插入下盘组件(2)的下盘螺纹孔(2-3)内通过螺纹连接；上盘组件(1)、下盘组件(2)、上旋转轴(6)和下旋转轴(7)的垂直中心线位于同一竖直直线上；

所述升降装置包括滑杆(10)、升降齿条(11)、升降连接件(12)、升降齿轮(13)、齿轮旋钮(14)、齿轮支架(15)、固定齿片(16)和底座(18)，滑杆(10)和齿轮支架(15)竖直固定在底座(18)上；升降齿轮(13)安装在齿轮支架(15)的顶部，升降齿轮(13)与齿轮支架(15)通过轴承连接，齿轮旋钮(14)设置在升降齿轮(13)上；升降齿条(11)套设在滑杆(10)上，下旋转电机卡槽(9)与升降齿条(11)之间通过升降连接件(12)相连接，升降齿轮(13)与升降齿条(11)相啮合；固定齿片(16)穿设在齿轮支架(15)上，固定齿片(16)的齿头与升降齿条(11)相插合，以固定升降齿条(11)的位置；

所述温控装置包括加热片(19)和制冷片(20)，加热片(19)安装于上盘组件(1)的加热槽(1-2)内，制冷片(20)安装于下盘组件(2)的制冷槽(2-2)内。

2.根据权利要求1所述的旋转式非等温液桥生成器，其特征在于加热片(19)与加热槽(1-2)之间涂覆有润滑油，制冷片(20)与制冷槽(2-2)之间涂覆有润滑油。

3.根据权利要求1所述的旋转式非等温液桥生成器，其特征在于上盘组件(1)和下盘组件(2)的材质为铜或铜合金。

4.根据权利要求1所述的旋转式非等温液桥生成器，其特征在于在齿轮支架(15)侧面还设置有固定插件(17)，固定齿片(16)侧面设置有安装孔，当固定齿片(16)的齿头与升降齿条(11)相插合时，固定插件(17)从侧向插入固定齿片(16)的安装孔内以固定升降齿条(11)的位置。

5.根据权利要求1所述的旋转式非等温液桥生成器，其特征在于上盘(1-1)和下盘(2-1)的旋转模式包含两类：

1)、单盘转动模式，包括上盘(1-1)旋转，下盘(2-1)不动；上盘(1-1)不动，下盘(2-1)旋转；

2)、双盘转动模式，包括上盘(1-1)、下盘(2-1)同向旋转；上盘(1-1)、下盘(2-1)异向旋转。

6.应用如权利要求1所述的旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法，其特征在于该方法按照下列步骤实现：

一、选择相同直径的液桥上盘(1-1)和下盘(2-1)，通过升降装置调节上盘(1-1)和下盘(2-1)之间的距离，以获得液桥高径比为0.5-2；

二、使用微型注射泵将硅油注入到上盘(1-1)与下盘(2-1)之间形成液桥，调控液桥体积比为0.6-1.5；

三、控制上盘(1-1)的温度为40-70℃，下盘(2-1)的温度为0-10℃；

四、开启上旋转电机(4)和下旋转电机(5)，控制上盘(1-1)与下盘(2-1)同步转动，上盘(1-1)和下盘(2-1)的转速为20-40转/分钟，以抑制液桥内部的振荡热毛细对流，生成高质量的液桥。

7.根据权利要求6所述的应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法，其特征在于步骤一中调节液桥高径比为0.8-1.0。

8.根据权利要求6所述的应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法，其特征在于步骤二中调控液桥体积比为0.8-0.9。

9.根据权利要求6所述的应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法，其特征在于步骤三中控制上盘(1-1)的温度为45-55℃，下盘(2-1)的温度为0-2℃。

10.根据权利要求6所述的应用旋转式非等温液桥生成器生成液桥的方法，其特征在于步骤四中上盘(1-1)和下盘(2-1)的转速为30转/分钟。

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