CN111473722A - 一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法，所述传感器，包括PDMS层和导电物质层，PDMS层的顶面有裂缝一，底面有裂缝二，裂缝二贯穿导电物质层，PDMS层设置裂缝一的顶面上溅射金属层，裂缝一、裂缝二逐一对应。所述制备方法，包含以下步骤：PDMS预聚体、固化剂、正己烷搅拌，溶液真空干燥，得到PDMS旋涂剂；取导电物质水分散液加去离子水稀释，抽滤，取出滤膜；将滤膜固定在圆玻璃片上，旋涂PDMS旋涂剂，真空干燥固化；取出除去滤膜，得到覆盖导电物质层的PDMS层，雕刻裂缝一、裂缝二；将PDMS层溅射金属层；将铜箔固定，引出导线，得到双裂缝结构的柔性形变传感器。本发明的传感器，能够保证小形变下检测的高敏感度，提高传感器应变的稳定性。

Description

一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法
技术领域
本发明属于传感器领域，具体为一种双裂缝结构的柔性形变传感器及其制备方法。
背景技术
柔性电子以大面积、可变形、便携性和多功能集成为主要特征，在信息、能源、医疗、国防等领域具有广泛应用前景，正在创造并将继续创造出许多前所未有的新型器件，如可卷曲放入笔筒的显示器、可根据教具自动调节的人造柔性视网膜、可植入人体的可降解电子器件以及可随身携带的电子纹身等。
目前，许多智能化的检测设备已经大量地采用了各种各样的传感器，其应用早已渗透到诸如工业生产、海洋探测、环境保护、医学诊断、生物工程、宇宙开发、智能家居等方方面面。但随着信息时代的应用需求越来越高，对被测量信息的范围、精度和稳定情况等各性能参数的期望值和理想化要求逐步提高。针对特殊环境与特殊信号下气体、压力、湿度的测量需求，对普通硬质传感器提出了新的挑战。人们希望传感器能够具有透明、柔韧、延展、可自由弯曲甚至折叠、便于携带、可穿戴等特点。在这种条件下，柔性传感器便应运而生了。
柔性传感器是指采用柔性材料制成的传感器，具有良好的柔韧性、延展性、甚至可自由弯曲甚至折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意布置，能够非常方便地对复杂被测量进行检测。柔性传感器的优势让它有非常好的应用前景，包括在医疗电子、环境监测和可穿戴等领域。例如在环境监测领域，科学家将制作成的柔性传感器置于设备中，可监测台风和暴雨的等级；在可穿戴方面，柔性的电子产品更易于测试皮肤的相关参数，因为人的身体不是平面的。柔性传感器作为柔性电子器件中重要的一部分受到了海内外专家学者的关注。
但是柔性传感器依然存在一些问题，比如对于小形变的响应不够灵敏，Han等人设计了一种基于纳米材料和导电液体的复合结构应变传感器，可应对4％至400％以上的多尺度应变，但在4％以下小形变不具有高灵敏度和耐用性。Liu等人通过制备具有逐层结构的石墨烯膜，获得了在0-50kPa范围内敏感的压力传感器，但是实现的是线性变化，电信号和检测的特征量呈现出正相关的变化关系，却无法表征导通与闭合的开关特性。因此，现有的技术制造出在小形变情况下高度敏感的、具有稳定开关特性的柔性传感器还是一个挑战。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明目的是提供一种能够保证在小形变下高敏感度检测、具有开关特性的双裂缝结构的柔性形变传感器，本发明的另一目的是提供一种可行性高、特征可控的双裂缝结构的柔性形变传感器的其制备方法。
技术方案：本发明所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器，包括PDMS层和导电物质层，PDMS层的顶面设置裂缝一，底面设置裂缝二，裂缝二贯穿导电物质层，PDMS层设置裂缝一的顶面上溅射金属层，裂缝一、裂缝二逐个对应。
其中，裂缝一、裂缝二的数量均为5～20条，宽度均为50～200nm。金属层的厚度为20～100nm。金属层由金、银、铜、铂中的任意一种材料制成。导电物质层由石墨烯、碳纳米管、炭黑、MXene中任意一种材料制成。
上述双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，包含以下步骤：
步骤一，称取1～5份PDMS预聚体和0.1～0.5份四甲基四乙烯基环四硅氧烷固化剂混合，再滴入0.01～0.1份正己烷，搅拌3～10min，再将混合好的PDMS溶液放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境5～20min，得到PDMS旋涂剂；
步骤二，取1～5份导电物质水分散液放置于烧杯中，加入50～100份去离子水稀释，再将稀释后浓度为5～7mg/mL的导电物质水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有导电物质的滤膜；
步骤三，将滤膜固定在预处理后的圆玻璃片上，在50～300rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在60～120℃真空环境下固化0.5～2h；
步骤四，将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，得到覆盖导电物质层的PDMS层，在PDMS层上下两侧雕刻若干裂缝一、裂缝二；
步骤五，将PDMS层没有覆盖导电物质层的一面放在溅射仪中溅射，至表面覆盖一层金属层；
步骤六，将铜箔固定在PDMS层两侧，使得导电物质层和金属层连接，从两端的铜箔上引出导线，得到双裂缝结构的柔性形变传感器。
其中，导电物质水分散液为石墨烯水分散液、碳纳米管水分散液、炭黑水分散液、MXene水分散液中的任意一种。
工作原理：柔性形变传感器的表面裂缝结构，当传感器在小形变情况下工作时，由于形变优先作用在裂缝上，使得裂缝一、裂缝二处的连接点断裂，导致金属层阻值发生明显地改变，从而准确地反映出小形变。并且，柔性形变传感器的双裂缝结构，PDMS层两侧形成对称的裂缝一、裂缝二，在应变情况下会减弱柔性基体PDMS层粘弹性的影响，从而提高器件应变的稳定性。
有益效果：本发明和现有技术相比，具有如下显著性特点：
1、通过本发明的制备方法制得的双裂缝结构的柔性形变传感器，能够保证小形变下检测的高敏感度，提高传感器应变的稳定性；
2、制备的柔性形变传感器具有开关特性，其低阻由金属层决定难以改变，其高阻由导电物质层决定，通过改变导电物质的量以及裂缝规格可以控制高阻的大小，有利于拓宽其应用；
3、本发明中的传感器采用并联电路结构，形变只会分别改变两层的电阻值，并不影响之间连接的铜箔，因此不会在电路结构的层面上对器件性能产生影响；
4、制备方法可控性好，采用分层制造的方法，有利于大规模生产，导电物质层、PDMS层和金属层分别进行制备，互不影响，制备过程中出现问题可单独修正，节约成本。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明A-A面的剖视图；
图3是本发明的制备原理图。
具体实施方式
以下各实施例中，原料和试验装置均为直接购买使用。固化剂均为四甲基四乙烯基环四硅氧烷。
实施例1
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量1份PDMS预聚体、0.1份固化剂、0.01份正己烷、1份MXene水分散液、50份去离子水；将1份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.1份固化剂混合，再滴入0.01份正己烷，用玻璃棒搅拌3min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境5min，得到PDMS旋涂剂；取1份浓度为5mg/mL的MXene水分散液放置于烧杯中，加入50份去离子水稀释，再将稀释后的MXene水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有MXene片材的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在50rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在60℃真空环境下固化0.5h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻5条宽度为50nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入MXene的一面放在溅射仪中溅射金，至表面覆盖一层厚度为20nm的金金属层3，从而构建出“MXene层-PDMS层-金金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得MXene导电物质层2和金金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器，如图1～2所示。
实施例2
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量3份PDMS预聚体、0.3份固化剂、0.05份正己烷、3份MXene水分散液、80份去离子水；将3份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.3份固化剂混合，再滴入0.05份正己烷，用玻璃棒搅拌5min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境10min，得到PDMS旋涂剂；取3份浓度为6mg/mL的MXene水分散液放置于烧杯中，加入80份去离子水稀释，再将稀释后的MXene水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有MXene片材的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在150rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在85℃真空环境下固化1h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻10条宽度为100nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入MXene的一面放在溅射仪中溅射金，至表面覆盖一层厚度为50nm的金金属层3，从而构建出“MXene层-PDMS层-金金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得MXene导电物质层2和金金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器。
实施例3
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量5份PDMS预聚体、0.5份固化剂、0.1份正己烷、5份MXene水分散液、100份去离子水；将5份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.5份固化剂混合，再滴入0.1份正已烷，用玻璃棒搅拌10min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境20min，得到PDMS旋涂剂；取5份浓度为7mg/mL的MXene水分散液放置于烧杯中，加入100份去离子水稀释，再将稀释后的MXene水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有MXene片材的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在300rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在120℃真空环境下固化2h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻20条宽度为200nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入MXene的一面放在溅射仪中溅射金，至表面覆盖一层厚度为100nm的金金属层3，从而构建出“MXene层-PDMS层-金金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得MXene导电物质层2和金金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器。
实施例4
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量3份PDMS预聚体、0.3份固化剂、0.05份正己烷、3份石墨烯水分散液、80份去离子水；将3份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.3份固化剂混合，再滴入0.05份正己烷，用玻璃棒搅拌5min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境10min，得到PDMS旋涂剂；取3份浓度为5mg/mL的石墨烯水分散液放置于烧杯中，加入80份去离子水稀释，再将稀释后的石墨烯水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有石墨烯的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在150rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在85℃真空环境下固化1h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻10条宽度为100nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入石墨烯的一面放在溅射仪中溅射银，至表面覆盖一层厚度为50nm的银金属层3，从而构建出“石墨烯层-PDMS层-银金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得石墨烯导电物质层2和银金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器。
实施例5
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量3份PDMS预聚体、0.3份固化剂、0.05份正己烷、3份碳纳米管水分散液、80份去离子水；将3份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.3份固化剂混合，再滴入0.05份正己烷，用玻璃棒搅拌5min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境10min，得到PDMS旋涂剂；取3份浓度为5mg/mL的碳纳米管水分散液放置于烧杯中，加入80份去离子水稀释，再将稀释后的碳纳米管水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有碳纳米管的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在150rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在85℃真空环境下固化1h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻10条宽度为100nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入他纳米管的一面放在溅射仪中溅射铜，至表面覆盖一层厚度为50nm的铜金属层3，从而构建出“碳纳米管层-PDMS层-铜金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得碳纳米管导电物质层2和铜金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器。
实施例6
如图3，按重量份数记，用电子天平分别称量3份PDMS预聚体、0.3份固化剂、0.05份正己烷、3份炭黑水分散液、80份去离子水；将3份聚二甲基硅氧烷(PDMS)预聚体和0.3份固化剂混合，再滴入0.05份正已烷，用玻璃棒搅拌5min，再将混合好的PDMS放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境10min，得到PDMS旋涂剂；取3份浓度为5mg/mL的炭黑水分散液放置于烧杯中，加入80份去离子水稀释，再将稀释后的炭黑水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有炭黑的滤膜；
将滤膜固定在直径为10cm，厚度为3mm且事先清洗、干燥等预处理后的圆玻璃片上，在150rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉，在85℃真空环境下固化1h；将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，可以得到覆盖导电物质层2的PDMS层1，在PDMS膜两侧利用雕刻机分别雕刻10条宽度为100nm的裂缝一4、裂缝二5；将PDMS膜没有嵌入炭黑的一面放在溅射仪中溅射铂，至表面覆盖一层厚度为50nm的铂金属层3，从而构建出“炭黑层-PDMS层-铂金属层”的结构；将铜箔固定在PDMS层1两侧，使得MXene导电物质层2和铂金属层3连接，从两端的铜箔上引出导线，构成了基于双裂缝结构的柔性形变传感器。

Claims (10)

1.一种双裂缝结构的柔性形变传感器，其特征在于：包括PDMS层(1)和导电物质层(2)，所述PDMS层(1)的顶面设置裂缝一(4)，底面设置裂缝二(5)，所述裂缝二(5)贯穿导电物质层(2)，所述PDMS层(1)设置裂缝一(4)的顶面上溅射金属层(3)，所述裂缝一(4)、裂缝二(5)逐个对应。
2.根据权利要求1所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器，其特征在于：所述裂缝一(4)、裂缝二(5)的数量均为5～20条，宽度均为50～200nm。
3.根据权利要求1所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器，其特征在于：所述金属层(3)的厚度为20～100nm。
4.根据权利要求1所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器，其特征在于：所述导电物质层(2)由石墨烯、碳纳米管、炭黑、MXene中任意一种材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器，其特征在于：所述金属层(3)由金、银、铜、铂中的任意一种材料制成。
6.一种双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，其特征在于包含以下步骤：
步骤一，称取1～5份PDMS预聚体和0.1～0.5份固化剂混合，再滴入0.01～0.1份正己烷，搅拌3～10min，再将混合好的PDMS溶液放置于真空干燥炉，室温下抽气，保持真空环境5～20min，得到PDMS旋涂剂；
步骤二，取1～5份导电物质水分散液放置于烧杯中，加入50～100份去离子水稀释，再将稀释后的导电物质水分散液倒入抽滤装置中进行抽滤，待水抽滤干后取出沉积有导电物质的滤膜；
步骤三，将滤膜固定在预处理后的圆玻璃片上，在50～300rpm的速率下旋涂PDMS旋涂剂，将旋涂好的圆玻璃片放置于真空干燥炉固化；
步骤四，将固化好的PDMS膜取出，除去其中的滤膜，得到覆盖导电物质层(2)的PDMS层(1)，在PDMS层(1)上下两侧雕刻若干裂缝一、裂缝二；
步骤五，将PDMS层(1)没有覆盖导电物质层(2)的一面放在溅射仪中溅射，至表面覆盖一层金属层(3)；
步骤六，将铜箔固定在PDMS层(1)两侧，使得导电物质层(2)和金属层(3)连接，从两端的铜箔上引出导线，得到双裂缝结构的柔性形变传感器。
7.根据权利要求6所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，其特征在于：所述固化剂为四甲基四乙烯基环四硅氧烷。
8.根据权利要求6所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤二中，导电物质水分散液为石墨烯水分散液、碳纳米管水分散液、炭黑水分散液、MXene水分散液中的任意一种。
9.根据权利要求8所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，其特征在于：所述导电物质水分散液的浓度为5～7mg/mL。
10.根据权利要求6所述的一种双裂缝结构的柔性形变传感器的制备方法，其特征在于：所述步骤三中，在60～120℃真空环境下固化0.5～2h。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113720254A (zh) * 2021-08-27 2021-11-30 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种强度线型双响应的柔性应变传感器及其制备方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1902673A (zh) * 2003-11-14 2007-01-24 单方图素显示股份有限公司 在显示器中的简单矩阵寻址
CN101666692A (zh) * 2009-09-23 2010-03-10 东南大学 一种应力传感测试结构
CN105783697A (zh) * 2016-05-18 2016-07-20 郑州大学 具有裂纹结构的柔性应变传感器及其制备方法
CN107830795A (zh) * 2017-11-09 2018-03-23 广西交通科学研究院有限公司 裂缝宽度变化量测试装置及其应变片组合结构
CN108267078A (zh) * 2018-03-18 2018-07-10 吉林大学 一种柔性可穿戴电阻式应变传感器及其制备方法
CN108332648A (zh) * 2018-02-07 2018-07-27 东莞市微应变传感科技有限公司 常温电阻应变计及其制备方法
JP2018169356A (ja) * 2017-03-30 2018-11-01 株式会社共和電業 き裂監視機能を備えた応力拡大係数測定用ひずみゲージ、応力拡大係数算出方法およびき裂監視方法
CN109405729A (zh) * 2018-09-13 2019-03-01 东南大学 桥梁病害裂缝长期监测的无线传感器、传感方法及系统
CN109631742A (zh) * 2018-12-25 2019-04-16 东南大学 一种基于碳纳米管的柔性应变传感器及其制备方法
CN109855526A (zh) * 2019-02-28 2019-06-07 吉林大学 一种基于干燥介导自组装的电阻式柔性应变传感器及其制备方法
CN109883315A (zh) * 2019-03-22 2019-06-14 中国科学院力学研究所 一种双面电阻式应变传感器及应变测量方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1902673A (zh) * 2003-11-14 2007-01-24 单方图素显示股份有限公司 在显示器中的简单矩阵寻址
CN101666692A (zh) * 2009-09-23 2010-03-10 东南大学 一种应力传感测试结构
CN105783697A (zh) * 2016-05-18 2016-07-20 郑州大学 具有裂纹结构的柔性应变传感器及其制备方法
JP2018169356A (ja) * 2017-03-30 2018-11-01 株式会社共和電業 き裂監視機能を備えた応力拡大係数測定用ひずみゲージ、応力拡大係数算出方法およびき裂監視方法
CN107830795A (zh) * 2017-11-09 2018-03-23 广西交通科学研究院有限公司 裂缝宽度变化量测试装置及其应变片组合结构
CN108332648A (zh) * 2018-02-07 2018-07-27 东莞市微应变传感科技有限公司 常温电阻应变计及其制备方法
CN108267078A (zh) * 2018-03-18 2018-07-10 吉林大学 一种柔性可穿戴电阻式应变传感器及其制备方法
CN109405729A (zh) * 2018-09-13 2019-03-01 东南大学 桥梁病害裂缝长期监测的无线传感器、传感方法及系统
CN109631742A (zh) * 2018-12-25 2019-04-16 东南大学 一种基于碳纳米管的柔性应变传感器及其制备方法
CN109855526A (zh) * 2019-02-28 2019-06-07 吉林大学 一种基于干燥介导自组装的电阻式柔性应变传感器及其制备方法
CN109883315A (zh) * 2019-03-22 2019-06-14 中国科学院力学研究所 一种双面电阻式应变传感器及应变测量方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PING LIU等: "A highly adhesive flexible strain sensor based on ultra-violet adhesive filled by graphene and carbon black for wearable monitoring", 《COMPOSITES SCIENCE AND TECHNOLOGY》 *
关永胜等: "新型路面结构监测传感器应用技术研究", 《第四届全国公路科技创新高层论坛工程科技Ⅱ辑》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113720254A (zh) * 2021-08-27 2021-11-30 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种强度线型双响应的柔性应变传感器及其制备方法

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