CN111469005A - 一种切割刀片背面刮痕处理装置 - Google Patents

一种切割刀片背面刮痕处理装置 Download PDF

Info

Publication number
CN111469005A
CN111469005A CN202010434373.5A CN202010434373A CN111469005A CN 111469005 A CN111469005 A CN 111469005A CN 202010434373 A CN202010434373 A CN 202010434373A CN 111469005 A CN111469005 A CN 111469005A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cutting blade
seat
cutter
processing
workbench
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202010434373.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN111469005B (zh
Inventor
聂伟
许秀真
孟强
丁培杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jiangsu Union Semiconductor Co Ltd
Original Assignee
Jiangsu Union Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Union Semiconductor Co Ltd filed Critical Jiangsu Union Semiconductor Co Ltd
Priority to CN202010434373.5A priority Critical patent/CN111469005B/zh
Publication of CN111469005A publication Critical patent/CN111469005A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN111469005B publication Critical patent/CN111469005B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/10—Single-purpose machines or devices
    • B24B7/16—Single-purpose machines or devices for grinding end-faces, e.g. of gauges, rollers, nuts, piston rings
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/02—Frames; Beds; Carriages
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/10—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces
    • B24B47/12—Drives or gearings; Equipment therefor for rotating or reciprocating working-spindles carrying grinding wheels or workpieces by mechanical gearing or electric power
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/20—Drives or gearings; Equipment therefor relating to feed movement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/22—Equipment for exact control of the position of the grinding tool or work at the start of the grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/04—Protective covers for the grinding wheel

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

本发明公开了半导体加工领域内的一种切割刀片背面刮痕处理装置，包括水平设置的矩形工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支撑腿，工作台上竖直贯穿开设有加工槽，加工槽下方设置有与支撑架，支撑架上转动连接有竖直的主转轴，主转轴与旋转驱动机构传动连接，切割刀片固定在主转轴上端，切割刀片呈圆形，切割刀片的轴线竖直设置；所述工作台上对应加工槽设置有可纵向移动的移动座，移动座上设置有可横向移动的横移座，横移座上设置有可上下移动的刀具座，刀具座上安装有加工刀具，所述加工刀具与切割刀片相对应设置；与所述工作台相对应地设置有上下料机构。本发明能够方便地将切割刀片的表面研磨平整，使得切割刀片的再利用率提高。

Description

一种切割刀片背面刮痕处理装置
技术领域
本发明属于半导体加工领域，特别涉及一种切割刀片背面刮痕处理装置。
背景技术
现有技术中，晶圆经过若干次横向、纵向切割后变成多个IC产品，晶圆切割采用的切割机具有一根旋转的主轴，主轴上固定连接有法兰，法兰中心开设有法兰孔，切割刀片的中心孔通过螺栓与法兰相固定连接，螺栓穿过切割刀片的中心孔与法兰的中心孔螺纹连接，螺栓压紧切割刀片设置。
切割机的主轴法兰为刚性件，刀片为铝件容易磨损，如果刚性法兰的表面不平整，会对切割刀片表面产生刮痕，安装切割刀片到主轴上时会因为切割刀片表面不平整的刮痕导致切割刀片不能很好地贴合在法兰面上。切割刀片与法兰面不贴合会导致切割晶圆时产生的刀痕变宽，与正常的晶圆被切割刀痕有区别，影响正常切割，因此切割刀片表面产生刮痕后将不再适用于该晶圆产品，切割刀片就会无法投入使用。切割刀片不能使用主要因为刀片背面刮痕导致，目前的应对方法是：人员手动使用细砂纸对刮痕打磨处理，不仅打磨效率较低，而且在研磨刀片时有损伤切割刀片的外周边缘刀刃的风险，如果刀刃损伤，人员和机台检查不出切割刀片的刀刃异常，会造成切割出的IC产品有异常发生。
发明内容
本发明的目的是提供一种切割刀片背面刮痕处理装置，能够方便地将切割刀片的表面研磨平整，自动化程度较高，保证研磨后的切割刀片安装端面平整，使得切割刀片的再利用率提高，降低切割刀片成本，提高了对晶圆产品的切割效率。
本发明的目的是这样实现的：一种切割刀片背面刮痕处理装置，包括水平设置的矩形工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支撑腿，工作台上竖直贯穿开设有加工槽，加工槽下方设置有与工作台相固定连接的U形支撑架，支撑架上转动连接有竖直的主转轴，主转轴与旋转驱动机构传动连接，切割刀片固定在主转轴上端，所述切割刀片呈圆形，切割刀片的轴线竖直设置；所述工作台上对应加工槽设置有可纵向移动的移动座，移动座上设置有可横向移动的横移座，横移座上设置有可上下移动的刀具座，刀具座上安装有加工刀具，所述加工刀具与切割刀片相对应设置；与所述工作台相对应地设置有上下料机构。
本发明工作时，表面有刮痕的切割刀片收集并存放在待加工区，上下料机构工作将切割刀片从待加工区送至工作台上的加工槽下方，将切割刀片固定在主转轴上端，然后移动座纵向移动到靠近切割刀片的位置，刀具座下降到加工刀具与切割刀片相对应的位置，旋转驱动机构带动主转轴转动，主转轴带动切割刀片转动，横移座移动使得加工刀具对切割刀片的上端面进行2微米左右的打磨加工，将刮痕磨平；打磨加工完成后，上下料机构将加工后的切割刀片送至加工完成区。与现有技术相比，本发明的有益效果在于：能够方便地将切割刀片的表面研磨平整，自动化程度较高，保证研磨后的切割刀片安装端面平整，使得切割刀片的再利用率提高，降低切割刀片成本，提高了对晶圆产品的切割效率。
作为本发明的进一步改进，所述支撑腿设置有四个，各支撑腿的下方水平设置有底板，每个支撑腿下端与底板相固定连接。通过四个支撑腿保证对工作台形成平稳支撑。
作为本发明的进一步改进，所述加工槽包括矩形主体槽和刀具槽一，主体槽的宽度大于刀具槽一的宽度，主体槽内设置有上下对应分布的滑动盖板和导向板，滑动盖板的前后两侧均与相应主体槽侧壁滑动连接，所述导向板与主体槽内壁相固定，滑动盖板向右移动至与主体槽右侧壁相贴靠时，切割刀片位于滑动盖板的垂直向下投影区域之内；滑动盖板上对应切割刀片竖直贯穿开设有刀具槽二，刀具槽一和刀具槽二均对应加工刀具设置。加工刀具对切割刀片进行打磨之前，滑动盖板与切割刀片相错开；切割刀片安装在主转轴上后，滑动盖板移动到可遮挡住切割刀片的位置，加工刀具沿着刀具槽一、刀具槽二移动并对切割刀片进行打磨加工；加工过程中，滑动盖板起到遮挡保护作用，避免飞屑乱蹦。
作为本发明的进一步改进，所述工作台上对应滑动盖板横向设置有丝杠座一，丝杠座一的左右两端均设置有轴承座，两个轴承座之间可转动地水平设置有丝杠一，丝杠一上设置有丝杠螺母一，丝杠螺母一下侧设置有滑块一，丝杠座上设置有与丝杠一相平行的导轨一，滑块一与导轨一相滑动连接，所述丝杠螺母一经L形连接件与滑动盖板相连接，丝杠一的一端与电机或手轮相传动连接。电机或手轮带动丝杠一转动，丝杠螺母一通过连接件驱动滑动盖板移动。
作为本发明的进一步改进，所述旋转驱动机构包括对应主转轴设置在支撑架下方的主电机，主电机的竖直输出端与主减速器的输入端相传动连接，主减速器的输出端与主转轴相传动连接，切割刀片通过弹簧夹头固定在主转轴上。主电机经主减速器减速后，驱动主转轴转动，带动切割刀片转动。
作为本发明的进一步改进，所述主转轴上端竖直开设有螺纹孔，紧固螺栓穿过切割刀片的中心孔并与螺纹孔相螺纹连接，紧固螺栓的螺栓座压紧切割刀片。紧固螺栓将切割刀片与主转轴固定，也可以通过环形工件定位夹具来固定切割刀片。
作为本发明的进一步改进，所述工作台上对应移动座设置有两根相互平行的纵向导轨，移动座下侧设置有至少两个纵向滑块，每个纵向滑块与对应纵向导轨滑动连接，工作台上位于移动座的左右两侧均设置有纵移驱动机构，所述纵移驱动机构包括两个前后对应的轴承座，两个轴承座之间可转动地纵向设置有丝杠二，丝杠二上设置有丝杠螺母二，丝杠螺母二经联接件与移动座相连接，丝杠二的一端经减速器一与电机一传动连接；所述移动座上设置有电液比例伺服缸，电液比例伺服缸的工作端与横移座相传动连接，移动座上设置有横向导轨，横移座与横向导轨滑动连接，横移座呈L形，所述刀具座经滑块与横移座上的竖直导轨相滑动连接，刀具座上设置有U形刀具架，加工刀具的上端向上穿过刀具架的矩形孔，紧固件将刀具架与加工刀具固定连接，刀具座上还设置有用于调节刀具座上下位置的千分尺。电机一经减速器一减速后带动丝杠二转动，丝杠螺母二带动移动座沿着纵向导轨移动，电液比例伺服缸带动横移座沿着横向导轨移动，刀具座沿着竖直导轨上下移动，通过高精度千分尺对刀具座的竖直位置进行微调。
作为本发明的进一步改进，所述上下料机构包括机架，机架包括两根相互平行的顶部导轨，顶部导轨纵向设置，每根顶部导轨的下方沿长度方向间隔设置有至少三根竖直的支撑柱，支撑柱下端设有与地面接触的支座，两根所述顶部导轨之间设置有移动支架，移动支架的轴线与顶部导轨相垂直，移动支架的左右两端均设置有滚轮架，滚轮架的前后两侧分别可转动地设置有前滚轮和后滚轮，移动支架的中部竖直设置有驱动电机二，驱动电机二的输出轴向下设置，移动支架上对应驱动电机二设置有减速器二，减速器二上设置有两个左右对应分布的输出轴，驱动电机二的输出轴与减速器二的输入轴传动连接，移动支架上位于减速器二的左右两侧均设置有转轴，移动支架的左右两端均设置有支撑座，所述转轴朝外的一端可转动地支撑在支撑座上，转轴的另一端与减速器二的对应输出轴传动连接，转轴朝外的一端延伸到支撑座的另一侧并设有链轮一，滚轮架上可转动地设置有滚轮轴，滚轮轴与转轴相平行，滚轮轴的两端分别设置有链轮二和主动滚轮，链轮一经链条和链轮二传动连接，主动滚轮、前滚轮和后滚轮相互对应设置且均与顶部导轨相接触，移动支架上设置有调整机构，调整机构上设置有升降机构，升降机构上设置有抓取机构。驱动电机二通过减速器二带动两侧的转轴转动，转轴带动链轮一转动，链轮一带动链轮二转动，主动滚轮获得动力，两侧的滚轮架通过主动滚轮、前滚轮和后滚轮沿着顶部导轨移动，移动支架就可以纵向移动。
作为本发明的进一步改进，所述调整机构包括与移动支架滑动连接的调整座，调整座包括水平部和竖直部，调整座水平部上固定安装有电机三，移动支架下侧沿长度方向设置有齿条，电机三的输出端与齿条相垂直，电机三的输出端设置有齿轮，齿轮与齿条相啮合连接，所述升降机构包括滑动连接在调整座竖直部上的升降架，调整座竖直部位于升降架的左右两侧均竖直设有升降气缸，升降气缸的活塞杆伸出端通过连接座与升降架的对应一侧相连接，升降架的下端设置有竖直的升降臂，升降臂的横截面积小于升降架的横截面积。电机三带动齿轮沿着齿条移动，调整座就可以沿着移动支架长度方向横向移动，升降气缸活塞杆伸出端驱动升降架上下移动，调整抓取机构的上下位置。
作为本发明的进一步改进，所述切割刀片包括环形切割部和轮毂部，轮毂部和切割部同轴设置，轮毂部外径小于切割部外径，切割部外周设置有刀刃，轮毂部和切割部的中心孔孔径相等，抓取机构包括若干设置在升降臂下端的真空吸盘，真空吸盘的横截面积为1~2cm2，各真空吸盘设置有至少两圈，每圈真空吸盘环绕分布在切割部中心孔的外周。升降臂上的各真空吸盘吸附固定住切割刀片的环形切割部端面，实现带动切割刀片自由移动位置；也可以通过机械手来带动切割刀片移动。
附图说明
图1为本发明的立体结构图。
图2为移动支架的立体结构图。
图3为链轮一和链轮二的传动关系图。
图4为移动支架的立体结构图。
图5为齿轮和齿条的位置关系图。
图6为齿条安装在移动支架上的结构示意图。
图7为工作台的结构示意图。
图8为工作台的放大图。
图9为图8的局部放大图。
图10为工作台的剖视图。
图11为切割刀片的剖视图。
图12为真空吸盘吸附固定切割刀片的结构示意图。
其中，1工作台，2支撑腿，3支撑架，4主转轴，5切割刀片，5a切割部，5b轮毂部，6移动座，7横移座，8刀具座，8a加工刀具，9底板，10加工槽，10a主体槽，10b刀具槽一，11滑动盖板，11a刀具槽二，12导向板，13丝杠座一，13a轴承座，14丝杠一，14a丝杠螺母一，15滑块一，16连接件，17主电机，18主减速器，19纵向导轨，19a纵向滑块，20轴承座，21丝杠二，21a丝杠螺母二，22联接件，23减速器一，24电机一，25电液比例伺服缸，26横向导轨，27竖直导轨，28刀具架，29千分尺，30顶部导轨，31支撑柱，31a支座，32移动支架， 33滚轮架，33a前滚轮，33b后滚轮， 34驱动电机二，35减速器二，36转轴，37支撑座，38链轮一，39滚轮轴，40链轮二，41主动滚轮，42调整座，42a水平部，42b竖直部，43电机三，44齿轮，45齿条，46升降架，47升降气缸，48升降臂，49真空吸盘。
具体实施方式
如图1-12所示，为一种切割刀片背面刮痕处理装置，包括水平设置的矩形工作台1，工作台1下侧设置有若干竖直的支撑腿2，工作台1上竖直贯穿开设有加工槽10，加工槽10下方设置有与工作台1相固定连接的U形支撑架3，支撑架3上转动连接有竖直的主转轴4，主转轴4与旋转驱动机构传动连接，切割刀片5固定在主转轴4上端，切割刀片5呈圆形，切割刀片5的轴线竖直设置；工作台1上对应加工槽10设置有可纵向移动的移动座6，移动座6上设置有可横向移动的横移座7，横移座7上设置有可上下移动的刀具座8，刀具座8上安装有加工刀具8a，加工刀具8a与切割刀片5相对应设置；与工作台1相对应地设置有上下料机构。支撑腿2设置有四个，各支撑腿2的下方水平设置有底板9，每个支撑腿2下端与底板9相固定连接。加工槽10包括矩形主体槽10a和刀具槽一10b，主体槽10a的宽度大于刀具槽一10b的宽度，主体槽10a内设置有上下对应分布的滑动盖板11和导向板12，滑动盖板11的前后两侧均与相应主体槽10a侧壁滑动连接，导向板12与主体槽10a内壁相固定，滑动盖板11向右移动至与主体槽10a右侧壁相贴靠时，切割刀片5位于滑动盖板11的垂直向下投影区域之内；滑动盖板11上对应切割刀片5竖直贯穿开设有刀具槽二11a，刀具槽一10b和刀具槽二11a均对应加工刀具8a设置。工作台1上对应滑动盖板11横向设置有丝杠座一13，丝杠座一13的左右两端均设置有轴承座13a，两个轴承座13a之间可转动地水平设置有丝杠一14，丝杠一14上设置有丝杠螺母一14a，丝杠螺母一14a下侧设置有滑块一15，丝杠座上设置有与丝杠一14相平行的导轨一，滑块一15与导轨一相滑动连接，丝杠螺母一14a经L形连接件16与滑动盖板11相连接，丝杠一14的一端与电机或手轮相传动连接。所述旋转驱动机构包括对应主转轴4设置在支撑架3下方的主电机17，主电机17的竖直输出端与主减速器18的输入端相传动连接，主减速器18的输出端与主转轴4相传动连接，切割刀片5通过弹簧夹头固定在主转轴4上。切割刀片5也可以采用另一种方式固定，主转轴4上端竖直开设有螺纹孔，紧固螺栓穿过切割刀片5的中心孔并与螺纹孔相螺纹连接，紧固螺栓的螺栓座压紧切割刀片5。工作台1上对应移动座6设置有两根相互平行的纵向导轨19，移动座6下侧设置有至少两个纵向滑块19a，每个纵向滑块19a与对应纵向导轨19滑动连接，工作台1上位于移动座6的左右两侧均设置有纵移驱动机构，所述纵移驱动机构包括两个前后对应的轴承座20，两个轴承座20之间可转动地纵向设置有丝杠二21，丝杠二21上设置有丝杠螺母二21a，丝杠螺母二21a经联接件22与移动座6相连接，丝杠二21的一端经减速器一23与电机一24传动连接；移动座6上设置有电液比例伺服缸25，电液比例伺服缸25的工作端与横移座7相传动连接，移动座6上设置有横向导轨26，横移座7与横向导轨26滑动连接，横移座7呈L形，刀具座8经滑块与横移座7上的竖直导轨27相滑动连接，刀具座8上设置有U形刀具架28，加工刀具8a的上端向上穿过刀具架28的矩形孔，紧固件将刀具架28与加工刀具8a固定连接，刀具座8上还设置有用于调节刀具座8上下位置的千分尺29。所述上下料机构包括机架，机架包括两根相互平行的顶部导轨30，顶部导轨30纵向设置，每根顶部导轨30的下方沿长度方向间隔设置有至少三根竖直的支撑柱31，支撑柱31下端设有与地面接触的支座31a，两根顶部导轨30之间设置有移动支架32， 移动支架32的轴线与顶部导轨30相垂直，移动支架32的左右两端均设置有滚轮架33，滚轮架33的前后两侧分别可转动地设置有前滚轮33a和后滚轮33b，移动支架32的中部竖直设置有驱动电机二34，驱动电机二34的输出轴向下设置，移动支架32上对应驱动电机二34设置有减速器二35，减速器二35上设置有两个左右对应分布的输出轴，驱动电机二34的输出轴与减速器二35的输入轴传动连接，移动支架32上位于减速器二35的左右两侧均设置有转轴36，移动支架32的左右两端均设置有支撑座37，转轴36朝外的一端可转动地支撑在支撑座37上，转轴36的另一端与减速器二35的对应输出轴传动连接，转轴36朝外的一端延伸到支撑座37的另一侧并设有链轮一38，滚轮架33上可转动地设置有滚轮轴39，滚轮轴39与转轴36相平行，滚轮轴39的两端分别设置有链轮二40和主动滚轮41，链轮一38经链条和链轮二40传动连接，主动滚轮41、前滚轮33a和后滚轮33b相互对应设置且均与顶部导轨30相接触，移动支架32上设置有调整机构，调整机构上设置有升降机构，升降机构上设置有抓取机构。所述调整机构包括与移动支架32滑动连接的调整座42，调整座42包括水平部42a和竖直部42b，调整座42水平部42a上固定安装有电机三43，移动支架32下侧沿长度方向设置有齿条45，电机三43的输出端与齿条45相垂直，电机三43的输出端设置有齿轮44，齿轮44与齿条45相啮合连接，所述升降机构包括滑动连接在调整座42竖直部42b上的升降架46，调整座42竖直部42b位于升降架46的左右两侧均竖直设有升降气缸47，升降气缸47的活塞杆伸出端通过连接座与升降架46的对应一侧相连接，升降架46的下端设置有竖直的升降臂48，升降臂48的横截面积小于升降架46的横截面积。切割刀片5包括环形切割部5a和轮毂部5b，轮毂部5b和切割部5a同轴设置，轮毂部5b外径小于切割部5a外径，切割部5a外周设置有刀刃，轮毂部5b和切割部5a的中心孔孔径相等，抓取机构包括若干设置在升降臂48下端的真空吸盘49，真空吸盘49的横截面积为1~2cm2，各真空吸盘49设置有至少两圈，每圈真空吸盘49环绕分布在切割部5a中心孔的外周。
本发明工作时，表面有刮痕的切割刀片5收集并存放在待加工区，上下料机构工作将切割刀片5从待加工区送至工作台1上的加工槽10下方，加工刀具8a对切割刀片5进行打磨之前，滑动盖板11与切割刀片5相错开，将切割刀片5固定在主转轴4上端，然后移动座6纵向移动到靠近切割刀片5的位置，刀具座8下降到加工刀具8a与切割刀片5相对应的位置，滑动盖板11移动到可遮挡住切割刀片5的位置，旋转驱动机构带动主转轴4转动，主转轴4带动切割刀片5转动，电液比例伺服缸25带动横移座7沿着横向导轨26移动， 横移座7移动使得加工刀具8a对切割刀片5的上端面进行2微米左右的打磨加工，将刮痕磨平；对于不同外径尺寸的切割刀片5，其环形表面积也不相同，移动座6可以通过纵向移动，以适应切割刀片5的外径尺寸，加工刀具8a沿着刀具槽一10b、刀具槽二11a移动并对切割刀片5进行打磨加工，加工过程中，滑动盖板11起到遮挡保护作用，避免飞屑乱蹦；打磨加工完成后，上下料机构将加工后的切割刀片5送至加工完成区。
驱动电机二34通过减速器二35带动两侧的转轴转动，转轴带动链轮一38转动，链轮一38带动链轮二40转动，主动滚轮41获得动力，两侧的滚轮架33通过主动滚轮41、前滚轮33a和后滚轮33b沿着顶部导轨30移动，移动支架32就可以纵向移动；电机三43带动齿轮44沿着齿条45移动，调整座42就可以沿着移动支架32长度方向横向移动，升降气缸47活塞杆伸出端驱动升降架46上下移动，调整抓取机构的上下位置，就可以实现对切割刀片5自由上下料。
本发明的优点在于：能够方便地将切割刀片5的表面研磨平整，自动化程度较高，保证研磨后的切割刀片5安装端面平整，使得切割刀片5的再利用率提高，降低切割刀片5成本，提高了对晶圆产品的切割效率。
本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，包括水平设置的矩形工作台，工作台下侧设置有若干竖直的支撑腿，工作台上竖直贯穿开设有加工槽，加工槽下方设置有与工作台相固定连接的U形支撑架，支撑架上转动连接有竖直的主转轴，主转轴与旋转驱动机构传动连接，切割刀片固定在主转轴上端，所述切割刀片呈圆形，切割刀片的轴线竖直设置；所述工作台上对应加工槽设置有可纵向移动的移动座，移动座上设置有可横向移动的横移座，横移座上设置有可上下移动的刀具座，刀具座上安装有加工刀具，所述加工刀具与切割刀片相对应设置；与所述工作台相对应地设置有上下料机构。
2.根据权利要求1所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述支撑腿设置有四个，各支撑腿的下方水平设置有底板，每个支撑腿下端与底板相固定连接。
3.根据权利要求1或2 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述加工槽包括矩形主体槽和刀具槽一，主体槽的宽度大于刀具槽一的宽度，主体槽内设置有上下对应分布的滑动盖板和导向板，滑动盖板的前后两侧均与相应主体槽侧壁滑动连接，所述导向板与主体槽内壁相固定，滑动盖板向右移动至与主体槽右侧壁相贴靠时，切割刀片位于滑动盖板的垂直向下投影区域之内；滑动盖板上对应切割刀片竖直贯穿开设有刀具槽二，刀具槽一和刀具槽二均对应加工刀具设置。
4.根据权利要求3 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述工作台上对应滑动盖板横向设置有丝杠座一，丝杠座一的左右两端均设置有轴承座，两个轴承座之间可转动地水平设置有丝杠一，丝杠一上设置有丝杠螺母一，丝杠螺母一下侧设置有滑块一，丝杠座上设置有与丝杠一相平行的导轨一，滑块一与导轨一相滑动连接，所述丝杠螺母一经L形连接件与滑动盖板相连接，丝杠一的一端与电机或手轮相传动连接。
5.根据权利要求1或2 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述旋转驱动机构包括对应主转轴设置在支撑架下方的主电机，主电机的竖直输出端与主减速器的输入端相传动连接，主减速器的输出端与主转轴相传动连接，切割刀片通过弹簧夹头固定在主转轴上。
6.根据权利要求1或2 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述主转轴上端竖直开设有螺纹孔，紧固螺栓穿过切割刀片的中心孔并与螺纹孔相螺纹连接，紧固螺栓的螺栓座压紧切割刀片。
7.根据权利要求1或2 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述工作台上对应移动座设置有两根相互平行的纵向导轨，移动座下侧设置有至少两个纵向滑块，每个纵向滑块与对应纵向导轨滑动连接，工作台上位于移动座的左右两侧均设置有纵移驱动机构，所述纵移驱动机构包括两个前后对应的轴承座，两个轴承座之间可转动地纵向设置有丝杠二，丝杠二上设置有丝杠螺母二，丝杠螺母二经联接件与移动座相连接，丝杠二的一端经减速器一与电机一传动连接；所述移动座上设置有电液比例伺服缸，电液比例伺服缸的工作端与横移座相传动连接，移动座上设置有横向导轨，横移座与横向导轨滑动连接，横移座呈L形，所述刀具座经滑块与横移座上的竖直导轨相滑动连接，刀具座上设置有U形刀具架，加工刀具的上端向上穿过刀具架的矩形孔，紧固件将刀具架与加工刀具固定连接，刀具座上还设置有用于调节刀具座上下位置的千分尺。
8.根据权利要求1或2 所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述上下料机构包括机架，机架包括两根相互平行的顶部导轨，顶部导轨纵向设置，每根顶部导轨的下方沿长度方向间隔设置有至少三根竖直的支撑柱，支撑柱下端设有与地面接触的支座，两根所述顶部导轨之间设置有移动支架， 移动支架的轴线与顶部导轨相垂直，移动支架的左右两端均设置有滚轮架，滚轮架的前后两侧分别可转动地设置有前滚轮和后滚轮，移动支架的中部竖直设置有驱动电机二，驱动电机二的输出轴向下设置，移动支架上对应驱动电机二设置有减速器二，减速器二上设置有两个左右对应分布的输出轴，驱动电机二的输出轴与减速器二的输入轴传动连接，移动支架上位于减速器二的左右两侧均设置有转轴，移动支架的左右两端均设置有支撑座，所述转轴朝外的一端可转动地支撑在支撑座上，转轴的另一端与减速器二的对应输出轴传动连接，转轴朝外的一端延伸到支撑座的另一侧并设有链轮一，滚轮架上可转动地设置有滚轮轴，滚轮轴与转轴相平行，滚轮轴的两端分别设置有链轮二和主动滚轮，链轮一经链条和链轮二传动连接，主动滚轮、前滚轮和后滚轮相互对应设置且均与顶部导轨相接触，移动支架上设置有调整机构，调整机构上设置有升降机构，升降机构上设置有抓取机构。
9.根据权利要求8所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述调整机构包括与移动支架滑动连接的调整座，调整座包括水平部和竖直部，调整座水平部上固定安装有电机三，移动支架下侧沿长度方向设置有齿条，电机三的输出端与齿条相垂直，电机三的输出端设置有齿轮，齿轮与齿条相啮合连接，所述升降机构包括滑动连接在调整座竖直部上的升降架，调整座竖直部位于升降架的左右两侧均竖直设有升降气缸，升降气缸的活塞杆伸出端通过连接座与升降架的对应一侧相连接，升降架的下端设置有竖直的升降臂，升降臂的横截面积小于升降架的横截面积。
10.根据权利要求9所述的一种切割刀片背面刮痕处理装置，其特征在于，所述切割刀片包括环形切割部和轮毂部，轮毂部和切割部同轴设置，轮毂部外径小于切割部外径，切割部外周设置有刀刃，轮毂部和切割部的中心孔孔径相等，抓取机构包括若干设置在升降臂下端的真空吸盘，真空吸盘的横截面积为1~2cm2，各真空吸盘设置有至少两圈，每圈真空吸盘环绕分布在切割部中心孔的外周。
CN202010434373.5A 2020-05-21 2020-05-21 一种切割刀片背面刮痕处理装置 Active CN111469005B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010434373.5A CN111469005B (zh) 2020-05-21 2020-05-21 一种切割刀片背面刮痕处理装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010434373.5A CN111469005B (zh) 2020-05-21 2020-05-21 一种切割刀片背面刮痕处理装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN111469005A true CN111469005A (zh) 2020-07-31
CN111469005B CN111469005B (zh) 2024-07-26

Family

ID=71763278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202010434373.5A Active CN111469005B (zh) 2020-05-21 2020-05-21 一种切割刀片背面刮痕处理装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111469005B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113020810A (zh) * 2021-01-27 2021-06-25 四川恒格光电科技有限公司 一种九合一透镜组切割装置
CN114211377A (zh) * 2021-12-17 2022-03-22 钟伟 一种由3d打印的金属产品侧面粗糙度处理装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203993415U (zh) * 2014-05-23 2014-12-10 山西大华玻璃实业有限公司 一种切割平磨一体机
CN206286939U (zh) * 2016-12-20 2017-06-30 宝鸡新泰精密设备制造有限公司 吸盘式金属分切刀具抛光装置
WO2018055187A1 (de) * 2016-09-26 2018-03-29 Trumpf Werkkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Werkzeug und werkzeugmaschine sowie verfahren zum bearbeiten von plattenförmigen werkstücken
CN212286974U (zh) * 2020-05-21 2021-01-05 江苏汇成光电有限公司 一种切割刀片背面刮痕处理装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203993415U (zh) * 2014-05-23 2014-12-10 山西大华玻璃实业有限公司 一种切割平磨一体机
WO2018055187A1 (de) * 2016-09-26 2018-03-29 Trumpf Werkkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg Werkzeug und werkzeugmaschine sowie verfahren zum bearbeiten von plattenförmigen werkstücken
CN206286939U (zh) * 2016-12-20 2017-06-30 宝鸡新泰精密设备制造有限公司 吸盘式金属分切刀具抛光装置
CN212286974U (zh) * 2020-05-21 2021-01-05 江苏汇成光电有限公司 一种切割刀片背面刮痕处理装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113020810A (zh) * 2021-01-27 2021-06-25 四川恒格光电科技有限公司 一种九合一透镜组切割装置
CN113020810B (zh) * 2021-01-27 2023-03-24 重庆恒格光电科技有限公司 一种九合一透镜组切割装置
CN114211377A (zh) * 2021-12-17 2022-03-22 钟伟 一种由3d打印的金属产品侧面粗糙度处理装置
CN114211377B (zh) * 2021-12-17 2024-03-12 钟伟 一种由3d打印的金属产品侧面粗糙度处理装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111469005B (zh) 2024-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109909842B (zh) 一种大型圆柱形铝铸件浇冒口切割打磨装置
CN112207691A (zh) 一种机电加工用金属管段除毛刺装置
CN109702489B (zh) 一种铝轮毂全自动切钻一体机
CN111376393A (zh) 一种单硅晶棒切磨一体机
CN111469005A (zh) 一种切割刀片背面刮痕处理装置
CN212471980U (zh) 一种单硅晶棒切磨一体机
CN113232180A (zh) 一种超薄硅片生产用硅棒切割设备
CN108340243B (zh) 一种全自动数控复合内表面磨床
CN212286974U (zh) 一种切割刀片背面刮痕处理装置
CN209986688U (zh) 机器人去毛刺抛光设备
CN115139205A (zh) 一种精雕抛光一体机
CN220196530U (zh) 一种零件加工切削机床
CN110695852B (zh) 一种异形玻璃水刀切割生产线的操作方法
CN211219198U (zh) 一种批量切割金刚石片的限位装置
CN115229500B (zh) 一体式卡钳加工中心
CN205551985U (zh) 一种立式车铣磨柔性加工单元
CN202097626U (zh) 一种磨边装置
CN114290548A (zh) 一种超薄硅片生产用硅棒切割设备
CN212918699U (zh) 一种卧式圆柱加工中心
CN111922803A (zh) 一种卧式圆柱加工中心及其加工方法
CN105196424A (zh) 条石切割生产线
CN221088410U (zh) 一种切割磨边机
CN220806569U (zh) 一种刀片磨削加工磨床
CN219254505U (zh) 一种可调节产品平面度的钢网切割机
CN221516112U (zh) 一种大型无心车床

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant