CN111462650A - 成像组件及成像装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种成像组件及成像装置，所述成像组件包括光源本体，所述成像组件沿所述光源本体的出光方向还包括聚焦镜组以及转动设置的扫描镜，所述光源本体发出的光束经过所述聚焦镜组后传输至所述扫描镜，以通过所述扫描镜的转动调整所述聚焦镜组的出射光的出射方向。本发明提供一种成像组件及成像装置，旨在解决现有技术中Micro LED组装的显示装置进行显示成像时，分辨率较低的问题。

Description

成像组件及成像装置

技术领域

本发明涉及成像显示技术领域，尤其涉及一种成像组件及成像装置。

背景技术

微型发光二极管(Micro Light-Emitting Diode，Micro LED)指的是在一个芯片上集成的微小尺寸的LED阵列。Micro LED的耗电量远小于液晶显示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)，相比液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)，MicroLED能够自发光且不需要背光源，具有耗能更低、结构简单、体积小等优势，但是由于Micro LED的组装难度，现有使用Micro LED的显示面板还无法进行高分辨率的成像，从而导致由Micro LED组装的显示装置的成像分辨率较低。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明提供一种成像组件及成像装置，旨在解决现有技术中Micro LED组装的显示装置进行显示成像时，分辨率较低的问题。

为实现上述目的，本发明提出了一种成像组件，所述成像组件包括光源本体，所述成像组件沿所述光源本体的出光方向还包括聚焦镜组以及转动设置的扫描镜，所述光源本体发出的光束经过所述聚焦镜组后传输至所述扫描镜，以通过所述扫描镜的转动调整所述聚焦镜组的出射光的出射方向。

可选的，所述成像组件包括多个光源本体，多个所述光源本体并排设置，并且多个所述光源本体发出的光束均穿过所述聚焦镜组射向所述扫描镜。

可选的，所述成像组件包括多个所述光源本体，多个所述光源本体呈阵列分布，多个所述光源本体发出的光束均穿过所述聚焦镜组射向所述扫描镜。

可选的，所述扫描镜包括反射镜以及第一驱动器，所述第一驱动器用于驱动所述反射镜沿第一方向进行摆动。

可选的，所述扫描镜还包括第二驱动器，所述第二驱动器用于驱动所述反射镜沿第二方向进行摆动，所述第二方向与所述第一方向不同。

可选的，所述聚焦镜组沿光线传输方向依次包括第四透镜、第三透镜、第二透镜以及第一透镜，所述第一透镜至所述第四透镜均具有正光焦度。

可选的，所述第一透镜的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构；

所述第二透镜的入光面为凹面结构，出光面为凸面结构；

所述第三透镜的入光面为凸面结构，出光面为凹面结构；

所述第四透镜的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构。

可选的，所述聚焦镜组为双高斯结构镜组。

可选的，所述聚焦镜组的焦距大于或等于9.2mm，并且小于或等于12mm。

可选的，所述聚焦镜组包括多个透镜，所述成像组件还包括第一移动组件，所述第一移动组件与多个所述透镜连接，所述第一移动组件用于控制所述聚焦镜组中的多个所述透镜移动，以调整所述聚焦镜组的聚焦程度。

可选的，所述成像组件还包括扩束系统，所述扩束系统设于所述扫描镜的出光侧。

可选的，所述光源本体为发光二极管、微型有机发光半导体、微型发光二极管、迷你发光二极管以及液晶显示器中的至少一个。

可选的，所述扫描镜为微机电扫描镜。

为实现上述目的，本申请提出一种成像装置，所述成像装置包括如上述任一项实施方式所述的成像组件。

可选的，所述成像装置还包括第二移动组件，所述第二移动组件与所述成像组件连接，所述第二移动组件用于调整所述成像组件在所述成像装置中的位置。

可选的，所述成像装置为投影装置、增强现实装置或虚拟现实装置。

本发明提出一种成像组件，所述成像组件包括光源本体，聚焦镜组以及转动设置的扫描镜，所述光源本体发出的光束穿过所述聚焦镜组后，传输至所述扫描镜，以通过所述扫描镜的转动调整所述聚焦镜组的出射光的出射方向。在通过所述成像组件显示图像时，通过所述光源本体间隔地输出不同的光束，并且配合所述扫描镜按照一定频率进行摆动，使光源本体输出的光束能够在按照摆动频率在成虚像面显示图像内容，相较于所述光源本体的照射范围，通过所述光源本体的间隔输出光束以及所述扫描镜摆动的方式，增大了所述光源本体投射显示图像的显示范围，从而现有技术中了Micro LED组装的显示装置进行显示成像时，分辨率较低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1是本发明成像组件第一实施例的结构示意图；

图2是本发明成像组件第一实施例的侧视图；

图3是本发明成像组件第二实施例的结构示意图；

图4是本发明成像组件第三实施例的结构示意图；

图5是本发明成像组件第五实施例的一结构示意图；

图6是本发明成像组件第五实施例的另一结构示意图；

图7是本发明成像组件第四实施例的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				10	光源本体	23	第三透镜
20	聚焦镜组	24	第四透镜
				21	第一透镜	30	扫描镜
22	第二透镜	40	成像面

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

本发明提出一种成像组件及成像装置。

请参照图1与图2，在第一实施例中，所述成像组件包括光源本体10，所述成像组件沿所述光源本体10的出光方向还包括聚焦镜组20以及转动设置的扫描镜30，所述光源本体10发出的光束经过所述聚焦镜组20后传输至所述扫描镜30，以通过所述扫描镜30的转动调整所述聚焦镜组20的出射光的出射方向。

本发明提出一种成像组件，所述成像组件包括光源本体10，聚焦镜组20以及转动设置的扫描镜30，所述光源本体10发出的光束穿过所述聚焦镜组20后，传输至所述扫描镜30，以通过所述扫描镜30的转动调整所述聚焦镜组20的出射光的出射方向。在通过所述成像组件显示图像时，通过所述光源本体10间隔地输出不同的光束，并且配合所述扫描镜30按照一定频率进行摆动，使光源本体10输出的光束能够在按照摆动频率在成虚像面显示图像内容，相较于所述光源本体10的照射范围，通过所述光源本体10的间隔输出光束以及所述扫描镜30摆动的方式，增大了所述光源本体10投射显示图像的显示范围，从而现有技术中了Micro LED组装的显示装置进行显示成像时，分辨率较低的问题。

在一具体的实施方式中，由于所述光源本体10发出的光束的光束发散角较大，为了增加所述光源本体10发出的光束的传输效果，在所述光源本体10的出光方向上设置所述聚焦镜组20，发散的光束经过所述聚焦镜组20后光束发散角变小，优选实施方式中，所述光源本体10发出的光束经过所述聚焦镜组20后形成准直光，从而避免多个所述光源本体10同时发出光束时，不同的光束发生互相干扰。

在可选的实施方式中，所述成像组件包括多个所述光源本体10，具体的，在通过所述光源本体10与所述扫描镜30配合显示所述待显示图像时，为了能够使人眼观察到完整的所述待显示图像，需要提高所述光源本体10输出光束的输出频率以及所述扫描镜30的摆动频率，但是在显示过程中会降低所述待显示图像的显示亮度，为了增加所述待显示图像的显示亮度，可以设置多个所述光源本体10共同工作，每个所述光源本体10显示不同的图像内容，多个所述光源本体10显示的所述图像内容组成所述待显示图像，从而使每个所述光源本体10能够降低输出频率，从而提高所述光源本体10显示所述图像内容的亮度。

请参照图3，在第二实施例中，所述成像组件包括多个光源本体10，多个所述光源本体10并排设置，并且多个所述光源本体10发出的光束均穿过所述聚焦镜组20射向所述扫描镜30。具体的，多个所述光源本体10并排设置后形成条形光源，所述条形光源发出的光束共同经过所述聚焦镜组20后后转变为平行的准直光束，所述准直光束照射到所述扫描镜30后，被所述扫描镜30反射投射至所述成像面40，由于用于成像的所述光束为条形光束，所述条形光束在所述成像面40上形成的图像内容为条形图像，当需要通过多个所述光源本体10进行图像显示时，可以通过多个所述光源本体10按照输出频率输出光束，并且所述扫描镜30按照摆动频率进行摆动，所述输出频率与所述摆动频率相等，从而保证每次所述光源本体10输出不同的光束时，光束能够在所述扫描镜30的反射下传输至所述成像面40的不同位置。

请参照图4，在第三实施例中，所述成像组件包括多个所述光源本体10，多个所述光源本体10呈m*n二维阵列分布，m与n均为正整数，多个所述光源本体10发出的光束均穿过所述聚焦镜组20射向所述扫描镜30。所述成像组件中包括的多个所述光源本体10呈二维阵列分布，具体的，用于显示所述待显示图像的所述光源本体10可以与所述待显示图像的尺寸相关联，在一具体的实施方式中，当所述待显示图像的尺寸为200*50像素时，所述待显示图像的长宽比例为4:1，当所述成像组件中包括8*8个所述光源本体10时，可以选择所述成像组件中的8*2个所述光源本体10对所述待显示图像进行显示，从而避免了每个所述光源本体10显示的图像内容过多，导致显示的所述图像内容亮度降低的问题。

在可选的实施方式中，所述扫描镜30包括反射镜以及第一驱动器，所述第一驱动器用于驱动所述反射镜沿第一方向进行摆动。具体的，所述第一驱动器与所述反射镜连接，并且能够驱动所述反射镜沿第一方向高速摆动，在显示所述待显示图像时，所述反射镜在所述第一驱动器的带动下沿第一方向高速摆动，所述反射镜的摆动频率与所述光源本体10输出光束的输出频率相等，从而保证所述光源本体10输出的光束能够准确的被所述反射镜反射。

在可选的实施方式中，所述扫描镜30还包括第二驱动器，具体的，所述第二驱动器用于驱动所述反射镜沿第二方向进行摆动，所述第二方向与所述第一方向不同，优先实施方式中，所述第二方向与所述第一方向垂直，当需要通过所述光源本体10沿水平方向以及竖直方向分别进行输出光束时，可以通过所述反射镜的摆动角度调节所述光束的投射位置。

具体的，所述反射镜在所述第一驱动器与所述第二驱动器的带动下，可以沿水平方向以及竖直方向进行摆动，当所述反射镜的预设摆动顺序为先从左到右，再从上到下时，可以向通过所述第一驱动器控制所述反射镜在水平方向进行摆动，当所述反射镜在水平方向上从水平初始角度摆动至水平终止角度后，其中，所述水平初始角度表示所述光源本体10在开始显示所述图像内容的一端时沿水平方向的摆动角度，所述水平终止角度表示所述图像内容的另一端时沿水平方向的摆动角度，同理可知，所述竖直初始角度表示所述光源本体10在开始显示所述图像内容的一端时沿竖直方向的摆动角度，所述竖直终止角度表示所述图像内容的另一端时沿竖直方向的摆动角度。所述反射镜在水平方向上恢复至水平初始角度后，通过所述第二驱动器将所述反射镜沿竖直方向沿竖直初始角度想竖直终止角度的方向进行摆动，在竖直方向上调节所述反射镜的摆动角度后，再重复通过所述第一驱动器控制所述反射镜在水平方向进行摆动，直至所述反射镜摆动至竖直终止角度及水平终止角度，表示所述光源本体10对所述图像内容完成显示。

请参照图7，在第四实施例中，所述聚焦镜组主要用于对所述光源本体10发出的光线进行聚焦，其中，所述聚焦镜组包括四个透镜，四个所述透镜沿光线传输方向依次为第四透镜24、第三透镜23、第二透镜22以及第一透镜21，其中，所述第一透镜21、所述第二透镜22、所述第三透镜23以及所述第四透镜24的光轴共线。所述光源本体10的发光面的面积大于所述扫描镜30的反射面积。

在可选实施方式中，所述第一透镜21至所述第四透镜24均具有正光焦度。优选的，所述第一透镜21的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构；所述第二透镜22的入光面为凹面结构，出光面为凸面结构；所述第三透镜23的入光面为凸面结构，出光面为凹面结构；所述第四透镜24的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构。

具体的，所述第一透镜21至所述第四透镜24均为球面结构，可以理解的是，所述第一透镜21至所述第四透镜24的入光面与出光面还可以为非球面结构，其中，非球面结构相比于球面结构，能够有效的减小镜片的边缘像差，提高所述光学系统的性能，从而减少镜片的需求数量，缩短所述光学系统的总长。通过非球面结构，有效地实现多个球面透镜校正像差的效果，有利于实现所述光学系统的小型化。

优选实施方式中，为了降低所述聚焦镜组中多个透镜的组装难度，所述聚焦镜组采用双高斯结构，其中，所述第一透镜21与所述第四透镜24的具有相同的光焦度，所述第二透镜22与所述第三透镜23具有相同的光焦度，并且所述第一透镜21与所述第四透镜24相对设置，所述第二透镜22与所述第三透镜23对称设置。在一具体实施方式中，所述第一透镜21与所述第四透镜24均为双凸形透镜，所述第二透镜22与所述第三那透镜均为弯月形凹凸透镜。

具体的，所述第一透镜21至所述第四透镜24均为光学玻璃材质。由于所述聚焦镜组与设于所述光源本体10与所述扫描镜30之间，在所述成像组件工作过程中，所述光源本体10发出光线时会产生热量，当所述第一透镜21至所述第四透镜24均为光学塑料材质时，所述光源本体10工作时发出的热量会影响所述第一透镜21至所述第四透镜24的光学性能，从而导致所述聚焦镜组出现跑焦或其他性能问题。当所述第一透镜21至所述第四透镜24均为光学玻璃材质时，由于光学玻璃材质相比与光学塑料材质的热稳定性更好，在所述成像组件工作时，所述第一透镜21至所述第四透镜24在受到所述光源本体10的发热作用时，所述第一透镜21至所述第四透镜24的光学性能保持稳定，从而不会受到所述光源本体10的工作温度影响。

优选实施方式中，所述聚焦镜组的焦距大于或等于9.2mm，并且小于或等于12mm。

在第四实施例中，所述成像组件的设计数据如表1所示：

表1

其中，所述聚焦镜组的有效孔径为4mm；

所述第一透镜21至所述第四透镜24均为球面结构；

所述成像组件的总长小于31mm；

所述聚焦镜组的焦距大于或等于9.2mm，并且小于或等于12mm；

所述聚焦镜组的最大视场角为40°；

在第四实施例中，所述聚焦镜组在每毫米100线对数的条件下，所述成像组件在各视场的调制传递函数值(Modulation Transfer Function，MTF)均大于0.5。其中，MTF值用于表示调制度与图像内每毫米线对数之间的关系，用于评价对景物细部还原能力。调制传递函数的纵轴数值越高表示成像分辨率越高。

在所述第四实施例中，所述聚焦镜组的主光线角(Chief Ray Angle，CRD)度小于2.5°

在所述第四实施例中，所述光源本体10投影图像的像素大小为5μm，所述聚焦镜组的垂轴色差小于0.5个像素，其中，垂轴色差是指又称为倍率色差，主要是指物方的一根复色主光线，因折射系统存在色散，在像方出射时变成多根光线，氢蓝光与氢红光在像面上的焦点位置的差值。

在所述第一实施方式中，对所述光源本体10投射后的图像的照度进行归一化处理，所述光源本体10投射后的图像，不同区域的相对照度均大于0.8。

在可选的实施方式中，所述成像组件还包括第一移动组件，所述第一移动组件与多个所述透镜连接，所述第一移动组件用于控制所述聚焦镜组20中的多个所述透镜移动，以调整所述聚焦镜组20的聚焦程度。具体的，所述光源本体10发出的光束经过所述聚焦镜组20后进行聚焦，优选实施方式中，所述光源本体10发出的光束经过所述聚焦镜组20后形成准直光束，当所述聚焦镜组20与所述光源本体10的位置过近或过远时，所述光源本体10在所述成像面40无法形成清晰的图像，因此可以通过所述第一移动组件对所述聚焦镜组20中的透镜位置进行位置调节，从而控制所述聚焦镜组20的聚焦程度，可以理解的是，当需要通过增大所述光源本体10在所述成像面40的投射图像大小时，可以通过所述第一移动组件调节所述聚焦镜组20中的透镜位置，从而控制经过所述聚焦镜组20的光束与所述聚焦镜组20的光轴成锐角夹角，从而该光束在经过所述反射镜反射后，相比于所述准直光束经过所述反射镜反射，发散的光束能够在所述成像面40上投射出更大的图像内容，从而方便用户对所述待显示图像进行观察。

在可选的实施方式中，所述成像组件还包括扩束系统，所述扩束系统设于所述扫描镜30的出光侧。具体的，所述扩束系统用于将经过所述扫描镜30反射的光束进行扩束，从而增大所述成像组件的显示图像的尺寸。在一具体的实施方式中，为了增大所述成像组件的显示画面的尺寸，可以通过所扩束系统增大光斑的方式调节增大所述光源本体10的预设照射范围，从而在保证所述成像组件的分辨率的情况下，增大图像的显示范围，可以理解的是，当多个所述成像组件均通过所述扩束系统增大图像的显示范围时，可以调节多个所述成像组件的位置，从而避免相邻的所述成像组件的图像出现互相干扰的问题。

在可选的实施方式中，所述光源本体10可以为发光二极管(Light EmittingDiode，LED)或有机发光二极管(Organic Light Emitting Display，OLED)或微型发光二极管(Micro Light-Emitting Diode，Micro LED)或迷你发光二极管(Mini Light-EmittingDiode，Micro LED)或液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)。可以理解的是，所述光源本体10还可以为不同波长的激光光源或其他能够发出光束的光源体。

在可选的实施方式中，所述扫描镜30为微机电(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)扫描镜。可以理解的是，所述扫描镜30的选择不限于此，于其他实施例中，所述扫描镜30还可以为多面扫描镜30或其他能够实现高速振动的反射镜。

为实现上述目的，本发明还提出一种成像装置，所述成像装置包括如上述任一实施方式所述的成像组件，该成像组件的具体结构参照上述实施例，由于该成像组件采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。

请参照图5与图6，在第五实施例中，所述成像装置包括多个所述成像组件，所述成像装置还包括第二移动组件，所述第二移动组件与所述成像组件连接，所述第二移动组件用于调整所述成像组件在所述成像装置中的位置。具体的，当需要调节每个所述光源本体10显示的图像内容时，或者需要增大所述待显示图像的显示尺寸，可以通过所述第二移动组件调节每个所述光源本体10的位置，从而避免所述光源本体10在增加图像内容的尺寸时与相邻的所述光源本体10投射的所述图像内容干扰，在一具体实施方式中，所述第二移动组件能水平方向与竖直方向带动所述光源本体10进行运动，在另一具体实施方式中，所述成像装置中可以将多个所述光源本体10进行连接，并通过所述第二移动组件共同带动相连接的多个所述光源本体10进行移动。

在可选的实施方式中，所述成像装置可以为投影装置或增强现实装置或虚拟现实装置，可以理解的是，所述成像装置的使用范围不限于此，于其他实施方式中，所述成像装置还可以应用于电视或显示屏或带有交互功能的屏幕或投影装置。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (16)

1.一种成像组件，其特征在于，所述成像组件包括光源本体，所述成像组件沿所述光源本体的出光方向还包括聚焦镜组以及转动设置的扫描镜，所述光源本体发出的光束经过所述聚焦镜组后传输至所述扫描镜，以通过所述扫描镜的转动调整所述聚焦镜组的出射光的出射方向。

2.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述成像组件包括多个光源本体，多个所述光源本体并排设置，并且多个所述光源本体发出的光束均穿过所述聚焦镜组射向所述扫描镜。

3.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述成像组件包括多个所述光源本体，多个所述光源本体呈阵列分布，多个所述光源本体发出的光束均穿过所述聚焦镜组射向所述扫描镜。

4.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述扫描镜包括反射镜以及第一驱动器，所述第一驱动器用于驱动所述反射镜沿第一方向进行摆动。

5.如权利要求4所述的成像组件，其特征在于，所述扫描镜还包括第二驱动器，所述第二驱动器用于驱动所述反射镜沿第二方向进行摆动，所述第二方向与所述第一方向不同。

6.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述聚焦镜组沿光线传输方向依次包括第四透镜、第三透镜、第二透镜以及第一透镜，所述第一透镜至所述第四透镜均具有正光焦度。

7.如权利要求6所述的成像组件，其特征在于，

所述第一透镜的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构；

所述第二透镜的入光面为凹面结构，出光面为凸面结构；

所述第三透镜的入光面为凸面结构，出光面为凹面结构；

所述第四透镜的入光面为凸面结构，出光面为凸面结构。

8.如权利要求6所述的成像组件，其特征在于，所述聚焦镜组为双高斯结构镜组。

9.如权利要求6所述的成像组件，其特征在于，所述聚焦镜组的焦距大于或等于9.2mm，并且小于或等于12mm。

10.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述聚焦镜组包括多个透镜，所述成像组件还包括第一移动组件，所述第一移动组件与多个所述透镜连接，所述第一移动组件用于控制所述聚焦镜组中的多个所述透镜移动，以调整所述聚焦镜组的聚焦程度。

11.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述成像组件还包括扩束系统，所述扩束系统设于所述扫描镜的出光侧。

12.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述光源本体为发光二极管、微型有机发光半导体、微型发光二极管、迷你发光二极管以及液晶显示器中的至少一个。

13.如权利要求1所述的成像组件，其特征在于，所述扫描镜为微机电扫描镜。

14.一种成像装置，其特征在于，所述成像装置包括如权利要求1-13任一项所述的成像组件。

15.如权利要求14所述的成像装置，其特征在于，所述成像装置还包括第二移动组件，所述第二移动组件与所述成像组件连接，所述第二移动组件用于调整所述成像组件在所述成像装置中的位置。

16.如权利要求14所述的成像装置，其特征在于，所述成像装置为投影装置、增强现实装置或虚拟现实装置。

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