CN111429810B

CN111429810B - 可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法

Info

Publication number: CN111429810B
Application number: CN201910020114.5A
Authority: CN
Inventors: 刘会敏; 邢汝博; 翟峰; 王涛; 李旭娜
Original assignee: Kunshan New Flat Panel Display Technology Center Co Ltd; Kunshan Govisionox Optoelectronics Co Ltd
Current assignee: Kunshan New Flat Panel Display Technology Center Co Ltd; Kunshan Govisionox Optoelectronics Co Ltd
Priority date: 2019-01-09
Filing date: 2019-01-09
Publication date: 2022-02-11
Anticipated expiration: 2039-01-09
Also published as: CN111429810A

Abstract

本发明实施例提供一种可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法，所述可拉伸器件包括：第一介质层、第二介质层、防粘层和可拉伸物；所述第一介质层包括凹槽；所述第二介质层设在所述第一介质层上，所述第二介质层包括与所述凹槽连通的通孔；所述防粘层，形成在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域；所述可拉伸物设在所述凹槽内。通过本发明实施例，避免了可拉伸物与凹槽的内壁或第二介质层的底面粘附，减少了对可拉伸物的摩擦，从而延长了可拉伸器件的使用寿命和提高了可拉伸器件的强度。

Description

可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法。

背景技术

随着科学技术的发展，平板显示装置日益深入人们的日常生活中。目前，常用的平板显示装置包括LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示装置)和OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示装置。相比LCD装置，OLED显示具有自发光、可柔性等优点。

近年来，柔性显示(Flexible Display)技术发展十分迅速，各种柔性显示屏发展计划层出不穷，涉及显示、可穿戴式等多个领域。柔性显示具备可拉伸性(stretchable)，对衬底、薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)、发光器件、电路布置等多个方面都提出了特别的要求。比如，对导线进行几何结构设计，如导线布线结构为S型、U型、波浪形及褶皱等，可用作可拉伸导线。

如图1所示，可拉伸导线在外力的作用下拉长，但是可拉伸导线经过多次拉伸之后很容易损坏，使用寿命比较短。

发明内容

本发明实施例提供了一种可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法，能够减少对可拉伸导线的摩擦，从而延长可拉伸导线的使用寿命。

第一方面，本发明实施例提供了一种可拉伸器件，包括：第一介质层、第二介质层、防粘层和可拉伸物；

所述第一介质层包括凹槽；

所述第二介质层设在所述第一介质层上，所述第二介质层包括与所述凹槽连通的通孔；

所述防粘层，形成在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域；

所述可拉伸物设在所述凹槽内。

在本发明的一个实施例中，可拉伸器件还包括：

可拉伸薄膜，压合在所述第二介质层上。

在本发明的一个实施例中，所述通孔的数量为多个，多个所述通孔均匀分布在所述第二介质层上。

在本发明的一个实施例中，所述第一介质层的长度大于所述第二介质层的长度。

第二方面，本发明实施例提供了一种可拉伸器件的制作方法，包括：

形成第一介质层，所述第一介质层包括凹槽；

在所述第一介质层上形成第二介质层，所述第二介质层包括与所述凹槽连通的通孔；

通过所述通孔，在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域形成防粘层；

通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物。

在本发明的一个实施例中，所述在所述第一介质层上形成第二介质层，包括：

在所述凹槽内形成牺牲层；

在所述第一介质层和所述牺牲层上形成图形化层；

在所述图形化层上开孔，暴露出部分的所述牺牲层；

去除所述牺牲层，将包括孔的所述图形化层作为所述第二介质层，将所述图形化层上开的孔作为所述通孔。

在本发明的一个实施例中，所述通过所述通孔，在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域形成防粘层，包括：

通过所述通孔向所述凹槽注入防粘溶液，以使所述防粘溶液对所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域实施浸泡，以在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域形成所述防粘层。

在本发明的一个实施例中，所述通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物，包括：

通过所述通孔，向所述凹槽内喷墨打印导电墨水，所述导电墨水在所述凹槽内固化形成所述可拉伸物。

在本发明的一个实施例中，所述通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物之后，还包括：

将可拉伸薄膜压合在所述第二介质层上。

本发明实施例提供的可拉伸器件及可拉伸器件的制作方法，通过在可拉伸物的周围形成有防粘层，避免了可拉伸物与凹槽的内壁或第二介质层的底面粘附，减少了对可拉伸物的摩擦，从而延长了可拉伸器件的使用寿命和提高了可拉伸器件的强度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了现有技术中可拉伸器件的结构示意图；

图2示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的结构示意图；

图3示出了本发明实施例的另一种可拉伸器件的结构示意图；

图4示出了可拉伸器件与功能器件连接的结构示意图；

图5是图4中可拉伸器件与功能器件的爆炸图；

图6示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的制作方法的流程示意图；

图7至图14示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的制作方法的工艺流程示意图。

上图的附图标记包括：

01第一介质层，011凹槽，02第二介质层，021通孔，03可拉伸物，04防粘层，05牺牲层，06可拉伸薄膜。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行详细描述。应理解，所描述的具体实施例仅用于解释本发明，而并不用于限定本发明。文中的诸如第一、第二等用语仅用来对一个实体(或操作)与另一个实体(或操作)进行区分，而不表示这些实体(或操作)之间存在任何关系或顺序；另外，文中的诸如上、下、左、右、前、后等表示方向或方位的用语，仅表示相对的方向或方位，而非绝对的方向或方位。在没有额外限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在其他要素。

图2示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的结构示意图。如图2所示，该可拉伸器件包括：第一介质层01、第二介质层02、防粘层04和可拉伸物03。

第一介质层01包括凹槽011。

其中，凹槽011可以贯穿第一介质层01的两端。

第二介质层02设在第一介质层01上，第二介质层02包括与凹槽011连通的通孔021。

其中，第一介质层01和第二介质层02可以均是绝缘层。

防粘层04，形成在凹槽011的内壁和第二介质层02的部分底面区域。

需要说明的是，凹槽011的内壁包括凹槽011的底部和凹槽011的两个侧壁。因此，防粘层04形成在凹槽011的底部和第二介质层02的部分底面区域。除此之外，防粘层04还形成在凹槽011的两个侧壁上，只不过图2并未能够示出防粘层04还形成在凹槽011的两个侧壁上。

可拉伸物03设在凹槽011内。

其中，该可拉伸物03可以是可拉伸导线。

在本发明实施例中，可拉伸物03与凹槽011的内壁和第二介质层02的部分底面区域分别接触，通过在凹槽011的内壁和第二介质层02的部分底面区域分别形成防粘层04，通过防粘层04可以减少第一介质层01和第二介质层02对可拉伸物03的摩擦，从而延长可拉伸器件的使用寿命，以及提高了可拉伸器件的强度。

进一步地，在第二介质层02上形成有通孔021，第二介质层02形成了空腔结构。可拉伸物03自身与通孔021无力学依赖关系，减少了可拉伸物03与第二介质层02之间的接触面积，减少了第二介质层02对可拉伸物03的摩擦和挤压。

如图3所示，可拉伸器件还包括：

可拉伸薄膜06，压合在第二介质层02上。

本发明实施例将可拉伸薄膜06压合在第二介质层02上，实现了可拉伸器件的封装。

在本发明的一个实施例中，第一介质层01的长度大于第二介质层02的长度。

其中，如图2所示，从第一介质层01的第一端部开始，预定长度L的第一介质层01上未覆盖第二介质层02，从第一介质层01的第二端部开始，预定长度L的第一介质层01上未覆盖第二介质层02。

本发明实施例中，由于从第一介质层的其中一端的端部开始，预定长度的第一介质层上未覆盖第二介质层，因此，从第一介质层其中一端的端部开始，预定长度的凹槽上未覆盖第二介质层，在设置可拉伸物之前，该预定长度的凹槽暴露在外，可以直接在暴露在外的凹槽内形成可拉伸物，从而方便可拉伸物的形成。

在本发明的一个实施例中，通孔021的数量为多个，多个通孔021均匀分布在第二介质层02上。

需要说明的是，在此并不限定通孔021的形状，该通孔021可以是正方形的通孔021，还可以是长方形的通孔021，还可以是圆形的通孔021，还可以是不规则图形的通孔021。

本发明实施例中，通孔021均匀分布在第二介质层02上，在通过通孔021向凹槽内注入可拉伸物的原料时，使得可拉伸物原料在凹槽内更加均匀，形成的可拉伸物03的粗细更加均匀。

如图4所示，可拉伸器件的两端分别连接功能器件，可拉伸器件为S型的可拉伸器件。

图5是图4的爆炸图，如图5所示，可拉伸器件包括：第一介质层01、第二介质层02和可拉伸物03，可拉伸物03设置在第一介质层01的凹槽011内，第二介质层02上有通孔021。

图6示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的制作方法的流程示意图。该方法包括S101至S104。

S101，形成第一介质层，第一介质层包括凹槽。

其中，在衬底上涂布第一介质层。凹槽可以贯穿第一介质层的两端。

S102，在第一介质层上形成第二介质层，第二介质层包括与凹槽连通的通孔。

需要说明的是，第一介质层和第二介质层可以均是绝缘层。第一介质层和第二介质层的材料包括但不限于光刻胶。第一介质层和第二介质层的材料还可以是其它可图形化的材料。

在此并不限定通孔的密度和形状，只要可以达到可拉伸物独立支撑的效果均属于本发明的范畴。比如通孔可以是正方形的通孔，还可以是长方形的通孔，还可以是圆形的通孔，还可以是不规则图形的通孔。

S103，通过通孔，在凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域形成防粘层。

需要说明的是，形成防粘层的凹槽内壁包括：凹槽的底部和凹槽的两个侧壁。第二介质层的部分底面区域指的是第二介质层的与凹槽对应的区域。

S104，通过通孔，在凹槽内设置可拉伸物。

其中，该可拉伸物可以是可拉伸导线，可拉伸导线包括但不限于：S型导线、U型导线、波浪型导线或者褶皱型导线。

在本发明实施例中，可拉伸物与凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域分别接触，通过在凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域分别形成防粘层，通过防粘层可以减少第一介质层和第二介质层对可拉伸物的摩擦，从而延长可拉伸器件的使用寿命，以及提高了可拉伸器件的强度。

进一步地，在第二介质层上形成有通孔，第二介质层形成了空腔结构。可拉伸物自身与通孔无力学依赖关系，减少了可拉伸物与第二介质层之间的接触面积，减少了第二介质层对可拉伸物的摩擦和挤压。

在本发明的一个实施例中，S102包括：

在凹槽内形成牺牲层；在第一介质层和牺牲层上形成图形化层；在图形化层上开孔，暴露出部分的牺牲层；去除牺牲层，将包括孔的图形化层作为第二介质层，将图形化层上开的孔作为通孔。

本发明实施例中，通过在凹槽内填充牺牲层，当第二介质层形成在第一介质层上之后去除牺牲层，恢复了凹槽的空腔结构。由于通孔与凹槽连通，因此，可以通过通孔在凹槽内形成可拉伸物。

在本发明的一个实施例中，S103包括：

通过通孔向凹槽注入防粘溶液，以使防粘溶液对凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域实施浸泡，以在凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域形成防粘层。

本发明实施例中，通过通孔向凹槽注入防粘溶液，以使防粘溶液对凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域实施浸泡，从而实现了在凹槽的内壁和第二介质层的部分底面区域形成防粘层。

作为一个示例，防粘溶液是低表面能的溶液。其中，低表面能的溶液包括全氟取代辛烷基三氯硅烷(perfluorooctyltrichlorosilane，FOTS)。

在本发明的一个实施例中，S104包括：

通过通孔，向凹槽内喷墨打印导电墨水，导电墨水在凹槽内固化形成可拉伸物。

本发明实施例中，通过喷墨打印导电墨水的方式形成可拉伸物，使得可拉伸物的形成比较简单、方便，不需要经过复杂的流程。

在本发明的一个实施例中，S103之后，该方法还包括：

将可拉伸薄膜压合在第二介质层上。

本发明实施例将可拉伸薄膜压合在第二介质层上，实现了可拉伸器件的封装。

在本发明的一个实施例中，第一介质层的长度大于第二介质层的长度。即第一介质层的一端或两端的部分的区域上没有第二介质层。

本发明实施例中，由于从第一介质层的其中一端的端部开始，预定长度的第一介质层上未覆盖第二介质层，因此，从第一介质层其中一端的端部开始，预定长度的凹槽上未覆盖第二介质层，在设置可拉伸导线之前，该预定长度的凹槽暴露在外，可以直接在暴露在外的凹槽内形成可拉伸物，从而方便可拉伸物的形成。

图7至图14示出了本发明实施例的一种可拉伸器件的制作方法的工艺流程示意图。对于图7至图14中的每一个图，该图中的截面图是沿着该图中俯视图的虚线剖开得到的截面图。

如图7所示，形成第一介质层01。

如图8所示，对第一介质层01开槽，不刻穿第一介质层01的底部，开的槽内有一定厚度，并贯穿第一介质层01的两端，从而在第一介质层01上形成凹槽011。

如图9所示，在凹槽011内填充牺牲层材料，以形成牺牲层05。牺牲层材料可以是能够通过湿法去除的材料。当在凹槽011内填满牺牲层材料时停止填充牺牲层材料，牺牲层材料未覆盖在第一介质层01上。

如图10所示，在第一介质层01上形成图形化层，图形化层的宽度大于凹槽011的宽度，并且图形化层的宽度小于或等于第一介质层01的宽度。在图形化层上开孔，以暴露出部分的牺牲层05。将包括孔的图形化层作为第二介质层02，将图形化层上开的孔作为通孔021。

从第一介质层01的第一端部开始，预定长度L的第一介质层01上未覆盖第二介质层02，从第一介质层01的第二端部开始，预定长度L的第一介质层01上未覆盖第二介质层02。

如图11所示，湿法去除凹槽011内的牺牲层材料，恢复凹槽011的空腔结构。

如图12所示，通过通孔021向凹槽011注入防粘溶液，以使防粘溶液对凹槽011的内壁和第二介质层02的部分底面区域实施浸泡，以在凹槽011的内壁和第二介质层02的部分底面区域形成防粘层04。

形成防粘层04的凹槽011内壁包括：凹槽011的底部和凹槽011的两个侧壁。为了方便说明，图8示出了在凹槽011的两个侧壁上的部分区域形成有防粘层04，当然可以在凹槽011的两个侧壁上的所有区域形成有防粘层04。另外，在第二介质层02的部分底面区域也形成有防粘层04。

如图13所示，通过通孔021，向凹槽011内喷墨打印导电墨水，导电墨水在凹槽011内固化形成可拉伸物03。由于防粘层04的作用，可拉伸物03与凹槽011的内壁之间无粘附作用，可拉伸物03形成独立支撑的导线。

如图14所示，将可拉伸薄膜06热压合在第二介质层02上。

可拉伸薄膜06与顶部的第二介质层02粘附，未与可拉伸导物03粘结，悬于第二介质层02的顶部。

本说明书的各个部分均采用递进的方式进行描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点介绍的都是与其他实施例不同之处。尤其，对于装置和系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例部分的说明即可。

Claims

1.一种可拉伸器件，其特征在于，包括：第一介质层、第二介质层、防粘层和可拉伸物；

所述第一介质层包括凹槽；

所述可拉伸物设在所述凹槽内。

2.根据权利要求1所述的可拉伸器件，其特征在于，还包括：

可拉伸薄膜，压合在所述第二介质层上。

3.根据权利要求1所述的可拉伸器件，其特征在于，所述通孔的数量为多个，多个所述通孔均匀分布在所述第二介质层上。

4.根据权利要求1所述的可拉伸器件，其特征在于，所述第一介质层的长度大于所述第二介质层的长度。

5.一种可拉伸器件的制作方法，其特征在于，包括：

形成第一介质层，所述第一介质层包括凹槽；

通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述在所述第一介质层上形成第二介质层，包括：

在所述凹槽内形成牺牲层；

在所述第一介质层和所述牺牲层上形成图形化层；

在所述图形化层上开孔，暴露出部分的所述牺牲层；

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述通过所述通孔，在所述凹槽的内壁和所述第二介质层的部分底面区域形成防粘层，包括：

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物，包括：

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述通过所述通孔，在所述凹槽内设置可拉伸物之后，还包括：

将可拉伸薄膜压合在所述第二介质层上。

10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一介质层的长度大于所述第二介质层的长度。