CN111413653A - 磁场传感器结构及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种磁场传感器结构及制备方法，磁场传感器结构包括：衬底结构；至少一个驱动电极组件，包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，悬空设置于衬底结构上；谐振结构组件，包括谐振结构部及至少一个梳齿部，均悬空设置于衬底结构上，梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，第二梳齿单元与第一梳齿单元交叉间隔设置；感应线圈组件，至少对应设置于谐振结构部上。本发明的磁场传感器结构基于电磁感应进行磁场测量，具有功耗低、线性度好及检测电路设计简单的优点，采用梳齿单元驱动，降低了空气阻尼，解决了现有技术中的吸合问题，并使得器件无需真空封装也具有较高的灵敏度，可以实现磁场的面内测量，进行实现三轴磁场测量。

Description

磁场传感器结构及其制备方法

技术领域

本发明属于传感器技术领域，特别是涉及一种磁场传感器结构及其制备方法。

背景技术

磁场传感器广泛应用在航空航天，地质勘探，汽车工业，医疗成像等领域，是一类采用相关物理原理将磁信号转换为电信号从而实现磁场测量的器件，常见的敏感机制有霍尔效应、电磁感应原理、磁通门和磁阻等。

上世纪九十年代以来，以IC工艺为基础发展起来的微机械加工工艺得到了快速发展，将微机械与微电子结合得到的微机电系统(Microelectromechnical System，MEMS)应运而生，并受到了广大研究者的关注。将微机械结构作为敏感单元，并配合相关检测电路，可以得到许多新型的传感器，比如加速度计，陀螺仪，压力传感器和硅麦克风等。近年来，科研人员提出了一种基于洛伦兹力原理的MEMS磁场传感器。在可动结构上制作通电线圈，当外部磁场存在时，可动结构受到洛伦兹力的作用而发生形变，当线圈电流频率与可动结构的谐振频率相同时，器件处于谐振状态，形变量最大。通过检测形变量的大小间接得到被测磁场的强度。常见的检测方式有电容检测，压阻检测和光学检测。基于洛伦兹力的磁场传感器具有体积小，重量轻，成本低，不存在磁滞和磁饱和，以及与IC工艺兼容等优点，逐渐成为传统磁场传感器的潜在竞争者。但是此类器件存在一些固有的缺点：为了提高灵敏度通常需要增大线圈中的电流，电流产生的焦耳热会使得温度稳定性和线性度变差，同时增大了功耗；另外，由于大气下较低的Q值，通常需要进行真空封装，这又增加了工艺复杂度并降低了成品率。针对上述问题，科研人员提出了一种采用静电驱动，电磁感应敏感的新型MEMS磁场传感器，该器件主要包括工作在收缩扩张模态的谐振结构和位于谐振结构之上的感应线圈。器件工作时通过闭合线圈的磁通量发生变化，根据电磁感应定律，线圈两端会产生与被测磁场成正比的感应电动势，通过检测感应电动势即可得到被测磁场的大小。由工作原理可以看到，此类传感器除了具有洛伦兹力传感器的优点外还具有功耗低，线性度好，检测电路设计简单等优点。但是目前该类传感器只能测量沿z轴方向上的磁场，为了实现三轴磁场测量，研究一种测量面内x，y轴磁场的MEMS磁场传感器是本领域研究人员亟需解决的问题。因此，如何提供一种磁场传感器结构及制备方法以解决现有技术中的上述问题实属必要。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种磁场传感器结构及其制备方法，用于解决现有技术中功耗大、线性度差、灵敏度差、封装工艺复杂、成品率低等问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种磁场传感器结构，包括：

衬底结构；

至少一个驱动电极组件，设置于所述衬底结构上，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，且所述第一梳齿单元悬空设置于所述衬底结构上；

谐振结构组件，设置于所述衬底结构上，所述谐振结构组件包括谐振结构部及与所述谐振结构部连接设置的至少一个梳齿部，所述梳齿部及所述谐振结构部均悬空设置于所述衬底结构上，其中，所述梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，所述第二梳齿单元与所述第一梳齿单元交叉间隔设置；以及

感应线圈组件，至少对应设置于所述谐振结构部上。

作为本发明的一种可选方案，所述驱动电极组件还包括第一支撑连接部，其中，所述第一支撑连接部设置于所述衬底结构上，所述第一梳齿单元设置于所述第一支撑连接部上。

作为本发明的一种可选方案，所述驱动电极组件还包括第一固定部，其中，所述第一固定部设置于所述衬底结构上，所述第一支撑连接部与所述第一固定部相连接，所述第一支撑连接部对称设置在所述第一固定部两侧，所述第一梳齿单元对称设置在所述第一固定部两侧。

作为本发明的一种可选方案，所述驱动电极组件的数量包括四个，四个所述驱动电极组件两两对应设置，且分别对应设置于所述谐振结构部相对两侧的外围；或者，所述驱动电极组件的数量包括两个，两个所述驱动电极组件的所述第一梳齿单元相对设置，且所述谐振结构部环绕所述驱动电极组件设置；或者，所述驱动电极组件的数量包括两个，两个所述驱动电极组件的所述第一梳齿单元相对设置，且两个所述驱动电极组件分别设置于所述谐振结构部相对两侧的外围。

作为本发明的一种可选方案，所述谐振结构组件还包括至少一个第二固定部及至少一个第二支撑连接部，所述第二固定部设置于所述衬底结构上，所述第二支撑连接部包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端与对应的所述第二固定部相连接，所述第二端与所述谐振结构部相连接，且所述梳齿部设置于所述第二支撑连接部及所述谐振结构部中的至少一者上。

作为本发明的一种可选方案，所述梳齿部设置于所述第二支撑连接部上，其中，所述第二支撑连接部的数量包括两个，所述梳齿部的数量包括四个，四个所述梳齿部分别设置于两个所述第二支撑连接部相对的两侧。

作为本发明的一种可选方案，所述梳齿部设置于所述谐振结构部上，且所述梳齿部对应设置于所述谐振结构部相对两侧的外围。

作为本发明的一种可选方案，所述第二固定部的数量包括两个，所述第二支撑连接部的数量包括两个，两个所述第二固定部分别设置于所述谐振结构部相对两侧的外围，并分别通过两个所述第二支撑连接部与所述谐振结构部相连接；或者，所述第二固定部的数量包括一个，所述第二支撑连接部的数量包括两个，两个所述第二支撑连接部均与所述第二固定部相连接并关于所述第二固定部对称设置，且所述谐振结构部环绕所述第二固定部及所述第二支撑连接部设置。

作为本发明的一种可选方案，所述感应线圈组件对应设置于所述谐振结构部及至少一个所述第二支撑连接部上，其中，与设置有所述感应线圈组件的所述第二支撑连接部相连接的所述第二固定部上设置有至少两个线圈电极焊盘，所述感应线圈组件与对应的所述线圈电极焊盘电连接。

作为本发明的一种可选方案，所述谐振结构组件还包括支撑梁结构，所述第二支撑连接部的所述第一端通过所述支撑梁结构与所述第二固定部相连接，其中，所述支撑梁结构的形状包括L型、S型以及W型。

作为本发明的一种可选方案，所述谐振结构部的形状包括环形，所述环形包括方形环、矩形环及圆形环中的任意一种；所述驱动电极组件基于所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元以静电驱动的方式至少驱动所述谐振结构部工作在扭转模态，其中，所述静电驱动方式包括单端驱动或推挽驱动。

作为本发明的一种可选方案，所述感应线圈组件包括至少一层感应线圈层，单层所述感应线圈层中包括至少一匝感应线圈。

作为本发明的一种可选方案，单层所述感应线圈层中所述感应线圈的匝数为至少两匝，且同一层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向相同；所述感应线圈层为至少两层，且各层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向均相同。

作为本发明的一种可选方案，所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元的设置方式包括所述第一梳齿单元的下表面与所述第二梳齿单元的下表面以及所述第一梳齿单元的上表面与所述第二梳齿单元的上表面二者中至少一者位于不同的水平面上的设置方式。

本发明还提供一种磁场传感器结构的制备方法，包括如下步骤：

提供衬底结构；

于所述衬底结构上制备至少一个驱动电极组件，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，且所述第一梳齿单元悬空设置于所述衬底结构上；

于所述衬底结构上制备谐振结构组件，所述谐振结构组件包括谐振结构部及与所述谐振结构部连接设置的至少一个梳齿部，所述梳齿部及所述谐振结构部均悬空设置于所述衬底结构上，其中，所述梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，所述第二梳齿单元与所述第一梳齿单元交叉间隔设置；以及

于所述谐振结构上制备感应线圈组件，且至少对应制备于所述谐振结构部上。

作为本发明的一种可选方案，于所述谐振结构上制备所述感应线圈组件之前还包括步骤：于所述谐振结构上形成绝缘材料层，所述感应线圈组件制备于所述绝缘材料层上。

如上所述，本发明的磁场传感器结构及其制备方法，磁场传感器结构基于电磁感应进行磁场测量，具有功耗低、线性度好以及检测电路设计简单的优点，同时，采用梳齿单元驱动，降低了空气阻尼，解决了现有技术中的吸合问题，并使得器件无需真空封装也具有较高的灵敏度，另外，可以实现磁场的面内测量，进行实现三轴磁场测量。

附图说明

图1显示为本发明提供的磁场传感器结构的实施例1的结构示意图。

图2显示为本发明提供的磁场传感器结构的实施例2的结构示意图。

图3显示为本发明提供的磁场传感器结构的实施例3的结构示意图。

图4显示为本发明提供的磁场传感器结构的实施例4的结构示意图。

图5显示为本发明提供的磁场传感器结构的实施例5的结构示意图。

图6显示为本发明提供的磁场传感器结构第一梳齿单元与第二梳齿单元设置方式图示。

图7显示为本发明提供的磁场传感器结构的制备工艺流程图。

图8显示为本发明提供的磁场传感器结构制备中制备形成驱动电极组件及谐振结构组件沿图1中AA方向的截面示意图。

图9显示为本发明提供的磁场传感器结构制备中制备形成驱动电极组件及谐振结构组件沿图1中BB方向的截面示意图。

图10显示为本发明提供的磁场传感器结构制备中制备形成感应线圈组件沿图1中AA方向的截面示意图。

图11显示为本发明提供的磁场传感器结构一示例中受静电扭矩作用原理示意图。

元件标号说明

100 衬底结构

101 驱动电极组件

102 第一梳齿单元

103 谐振结构组件

104 谐振结构部

105 梳齿部

106 第二梳齿单元

107 感应线圈组件

108 第一支撑连接部

109 第一固定部

110 第二固定部

111 第二支撑连接部

111a 第一端

111b 第二端

112 线圈电极焊盘

113 驱动电极焊盘

114 支撑梁结构

115 绝缘材料层

S1～S4 步骤

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图10。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，虽图示中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。

如图1-6所示，参见图7-10，本发明提供一种磁场传感器结构，包括：

衬底结构100；

至少一个驱动电极组件101，设置于所述衬底结构100上，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元102，且所述第一梳齿单元102悬空设置于所述衬底结构100上；

谐振结构组件103，设置于所述衬底结构100上，所述谐振结构组件103包括谐振结构部104及与所述谐振结构部104连接设置的至少一个梳齿部105，所述梳齿部105及所述谐振结构部104均悬空设置于所述衬底结构100上，其中，所述梳齿部105包括若干个间隔排布的第二梳齿单元106，所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102交叉间隔设置；及

感应线圈组件107，至少对应设置于所述谐振结构部104上。

具体的，本发明提供一种磁场传感器结构，可以用于进行磁场测量，在本发明的磁场传感器结构的工作中，可以基于电磁感应原理工作，驱动电极组件101可以提供驱动信号，在第一梳齿单元102与第二梳齿单元106之间产生作用力，如静电驱动力，此时，所述谐振结构组件103在所述作用力的激励下进行工作，可以至少使所述谐振结构部104处于扭转谐振模态，即所述驱动电极组件103可以基于所述第一梳齿单元102及所述第二梳齿单元106驱动所述谐振结构部104扭转，在一示例中，扭转如图1中的箭头所示，进一步，位于所述谐振结构部104上的感应线圈组件107可以切割磁感线产生感应电动势，从而通过测量感应电动势实现对磁场的测量，在所述扭转谐振模态下，感应线圈的闭合面积(对于面内磁场，x或y轴，图1以x轴为例)随时间变化从而产生感应电压。

具体的，所述磁场传感器结构包括一衬底结构100，以在所述衬底结构100上制备各功能部件，在一示例中，所述衬底结构100可以是玻璃衬底，但并不以此为限。另外，所述磁场传感器结构包括至少一个所述驱动电极组件101，可以对所述驱动电极组件101施加驱动信号，以产生驱动力，其材料包括但不限于硅。其中，所述驱动电极组件101中包括若干个间隔排布的第一梳齿单元102，所述第一梳齿单元102悬空设置于所述衬底结构100上，与所述衬底结构100表面之间的间距可以依据实际设备及需求进行选择，另外，所述第一梳齿单元102可以通过固定结构悬空设置在所述衬底结构100上，如可以是所述固定结构直接设置在所述衬底结构100表面，所述第一梳齿单元102设置在所述固定结构上，以实现悬空设置在所述衬底结构100上，但并不以此方式为限。

作为示例，所述驱动电极组件101基于所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元以静电驱动的方式至少驱动所述谐振结构部104工作在扭转模态，所述静电驱动方式包括单端驱动或推挽驱动。

具体的，在一示例中，所述驱动电极组件101基于所述第一梳齿单元102及所述第二梳齿单元106以静电驱动的方式至少驱动所述谐振结构部104工作，如扭转，其中，当存在一个所述驱动电极组件101时，可以采用单端驱动的方式形成静电驱动，如在所述驱动电极组件101上同时施加直流驱动信号和交流的驱动信号，二者的叠加用于产生驱动力，另外，当存在两个所述驱动电极组件101时，可以采用单端驱动或推挽驱动的方式形成静电驱动，其中，当所述静电驱动方式为单端驱动时，在两个所述驱动电极组件101中的任一个所述驱动电极组件101上施加直流加交流的驱动信号，另外一个所述驱动电极组件101不施加驱动信号或者接地；当所述静电驱动方式为推挽驱动时，在两个所述驱动电极组件101上同时施加直流加交流的驱动信号，其中，两个所述驱动电极组件101上的交流信号的相位相反。当存在两个以上的所述驱动电极组件101时，可以依据实际需求进行上述驱动方式的组合。

另外，所述磁场传感器结构还包括谐振结构组件103，其材料包括但不限于硅，所述谐振结构组件103至少包括谐振结构部104及包括若干个间隔排布的第二梳齿单元106的梳齿部105，所述谐振结构部104与所述梳齿部105连接设置，二者可以是直接连接，也可以是通过其他过渡结构实现相互连接，其中，所述第二梳齿单元106与所述谐振结构部104均悬空设置于所述衬底结构100上，二者与所述衬底结构100之间的间距可以依据实际设备及需求进行选择，另外，所述第二梳齿单元106及所述谐振结构部104可以通过固定结构悬空设置在所述衬底结构100上，如可以是所述固定结构直接设置在所述衬底结构100表面，所述第二梳齿单元106及所述谐振结构部104设置在所述固定结构上，以实现悬空设置在所述衬底结构100上，但并不以此方式为限。

其中，本发明的磁场传感器结构中，所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102交叉间隔设置，在一可选示例中，所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106均匀交叉间隔设置，即每两个所述第一梳齿单元102之间设置一个所述第二梳齿单元106，每两个所述第二梳齿单元106之间设置一个所述第一梳齿单元102，其中，两种梳齿单元中，相邻的梳齿单元之间的间距可以依据实际需求进行选择，另外，所述谐振结构部104与所述第二梳齿单元106连接设置，从而在所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106之间作用产生的静电驱动力的作用下带动所述谐振结构部104进行工作，在一示例中，所述谐振结构部104在上述静电驱动力的作用下处于谐振扭转模态进行扭转，以带动所述感应线圈组件107切割面内磁场产生感应电动势，通过测量感应电动势实现对磁场的测量，器件工作时通过闭合线圈的磁通量发生变化，根据电磁感应定律，线圈两端会产生与被测磁场成正比的感应电动势，通过检测感应电动势即可得到被测磁场的大小。本发明的方案中，所述第一梳齿单元102及所述第二梳齿单元106交叉间隔设置，从而可以在相邻的第一梳齿单元102和第二梳齿单元106之间产生静电驱动力，可以是垂直于所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106共同构成的平面的静电驱动力，垂直方向上的静电力产生一个扭转力矩，在一示例中，转轴为支撑梁结构，从而使得谐振结构工作在扭转模态，如在一示例中，产生的所述静电驱动力是垂直于所述衬底结构100表面的静电驱动力，谐振结构组件在垂直方向上运动，以切割面内沿x或y方向的磁感线，。另外，采用梳齿电极驱动可降低空气阻尼的影响，同时，还可以避免平板驱动方式中造成的吸合现象，有利于防止所述驱动电极组件与所述谐振结构部之间的吸合发生。通过本发明的上述结构及方案，该磁场传感器结构具有极佳的线性度和极低的功耗，并且检测电路设计简单，同时，使得本发明的器件结构无需真空封装也具有较高的灵敏度。其中，传感器的敏感机制采用电磁感应原理，器件的输出和被测磁场应呈现极佳的线性关系，器件采用静电驱动，器件本身的功耗仅来源于电极间的动态电流，该电流一般在nA量级，乘以直流偏置电压后功耗在几μW，而另外一类基于洛伦兹力原理的MEMS磁场传感器，器件工作时需要提供较大的激励电流，功耗一般都在几百μW以上，器件采用梳齿电极驱动，由于其较低的阻尼系数在大气下工作时灵敏度已与平板电极驱动方式相当，无需真空封装也可以实现较高的灵敏度。另外，本发明的磁场传感器结构，可以实现面内磁场的测量，如本申请的MEMS磁场传感器结构可以测量面内x，y轴磁场的，在一示例中，可以通过本发明的磁场传感器结构首先进行x轴磁场的测量，再将所述磁场传感器结构进行转动以实现y轴磁场的测量，从而实现面内两轴磁场的测量，该器件可测量面内x或y轴磁场，通过旋转器件，可实现对两轴磁场的测量，另外，还可以进行z轴(面外)磁场测量，当然，也可以采用其他器件进行z轴磁场测量，依据实际情况选择。

具体的，在一示例中，谐振结构受到静电扭矩可以表示为：

其中，参阅图11的示意图所示，表示为，式中，C代表第一梳齿与第二梳齿间的电容，θ代表第二梳齿单元以第二支撑部为转轴的扭转角度，ε₀代表真空介电常数常数，n_gap为梳齿间(所述第一梳齿单元与所述第二梳齿单元之间)空气间隙的数目，l为梳齿(所述第一梳齿单元与所述第二梳齿单元的长度，在该示例中，二者的长度相同)长度，d为梳齿(即所述第一梳齿单元之间以及所述第二梳齿单元之间的间隙)间隙，V_d和V_a分别为直流偏置电压和交流驱动电压。

作为示例，所述感应线圈组件107包括至少一层感应线圈层，单层所述感应线圈层中包括至少一匝感应线圈。

作为示例单层所述感应线圈层中所述感应线圈的匝数为至少两匝，且同一层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向相同；

作为示例，所述感应线圈层为至少两层，且各层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向均相同。

具体的，对于所述感应线圈组件107，包括至少一层感应线圈层，所述感应线圈层中所述感应线圈的匝数为至少一匝，如图1所示，在一示例中，所述感应线圈组件107包括一层所述感应线圈层，其中，在这一感应线圈层中包括一匝感应线圈。所述感应线圈组件107的层数以及每一层感应线圈层中的感应线圈的匝数均可以依据实际需求进行设置，另外，所述感应线圈与与其相邻的结构层之间还可以设置有绝缘材料层以实现电学绝缘，如在所述感应线圈层与所述谐振结构组件103的谐振结构部104之间形成有一层绝缘材料层115，所述绝缘材料层的材料包括但不限于氧化硅，当存在至少两层所述感应线圈层时，相邻的所述感应线圈层之间也设置有实现隔离的绝缘材料层。

具体的，在一可选示例中，单一所述感应线圈层中的感应线圈的匝数至少为两匝时，这一层的感应线圈的绕向相同，进一步，当所述感应线圈层进一步为至少两层时，各层上的感应线圈的绕向相同，即在一示例中，所述感应线圈组件107中的所有感应线圈的绕向均相同，例如，可以是逆时针绕向，但并不以此为限，多个感应线圈绕向相同，进一步有利于保证每层感应线圈层产生的感应电动势相互叠加。

作为示例，所述驱动电极组件101还包括第一支撑连接部108，所述第一支撑连接部108设置于所述衬底结构100上，所述第一梳齿单元102设置于所述第一支撑连接部108上。

作为示例，所述驱动电极组件101还包括第一固定部109，其中，所述第一固定部109设置于所述衬底结构100上，所述第一支撑连接部108与所述第一固定部109相连接，且所述第一支撑连接部108对称设置在所述第一固定部109两侧，所述第一梳齿单元102对称设置在所述第一固定部109两侧。

具体的，在一示例中，所述驱动电极组件101还包括第一支撑连接部108，参见图1-4所示，所述第一支撑连接部108设置于所述衬底结构100上，各所述第一梳齿单元102均设置于所述第一支撑连接部108上，在一示例中，各所述第一梳齿单元102在所述第一支撑连接结构的同一侧均匀间隔排布。

另外，在一可选示例中，参见图1-3所示，所述驱动电极组件101还包括一第一固定部109，所述第一固定部109直接设置于所述衬底结构100上，所述第一支撑连接部108与所述第一固定部109相连接，所述第一支撑连接部108可以与所述衬底结构100表面相接触，也可以悬空在所述衬底结构100上，在一示例中，所述第一固定部109及所述第一支撑连接部108均直接设置在所述衬底结构100表面，在另一可选示例中，所述第一固定部109及所述第一支撑连接部108可以是一体成型的结构，另外，在一示例中，所述第一支撑连接部108关于所述第一固定部109对称设置，且所述第一固定部109凸出于所述第一支撑连接部108的一侧，在进一步可选示例中，所述第一固定部109与所述第一梳齿单元102位于所述第一支撑连接部108的同一侧，在一示例中，所述第一梳齿单元102关于所述第一固定部109对称设置，且两侧的所述第一梳齿单元102的数量相同。

具体的，在一示例中，当所述驱动电极组件101包括所述第一固定部109时，还在所述第一固定部109上形成驱动电极焊盘113，用于为所述驱动电极组件101提供驱动信号，另外，在其他可选示例中，所述驱动电极焊盘113也可以设置于所述第一支撑连接部108或者其他结构上，以提供驱动信号，实现所述谐振结构部工作。

作为示例，所述驱动电极组件101的数量包括四个，四个所述驱动电极组件101两两对应设置，且分别对应设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围；

作为示例，所述驱动电极组件101的数量包括两个，两个所述驱动电极组件101的所述第一梳齿单元102相对设置，且所述谐振结构部104环绕所述驱动电极组件101设置；

作为示例，所述驱动电极组件101的数量包括两个，两个所述驱动电极组件101的所述第一梳齿单元102相对设置，且两个所述驱动电极组件101分别设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围。

具体的，对于所述驱动电极组件101的数量，可以依据实际的器件结构进行设置，以实现所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106之间的配合，例如，可以是四个，四个所述驱动电极组件101两两构成一组，每一组中，两个所述驱动电极组件101的所述第一梳齿单元相对设置，分别与不同的梳齿部进行配合工作以实现谐振结构部的扭转；在另一示例中，所述驱动电极组件的数量可以是两个，在进一步可选示例中，两个所述驱动电极组件的所述第一梳齿单元相对设置，其中，所述谐振结构部104可以布置在所述第一梳齿单元及与其配合的所述第二梳齿单元的外围，也可以是所述谐振结构部104布置在所述第一梳齿单元及与其配合的所述第二梳齿单元之间，具体布置方式可以依据实际需求进行设置。

作为示例，所述谐振结构组件103还包括至少一个第二固定部110及至少一个第二支撑连接部111，其中，所述第二固定部110设置于所述衬底结构100上，所述第二支撑连接部111包括相对设置的第一端111a及第二端111b，所述第一端111a与对应的所述第二固定部110相连接，所述第二端111b与所述谐振结构部104相连接，且所述梳齿部105设置于所述第二支撑连接部111及所述谐振结构部104中的至少一者上。

具体的，在一示例中，对于所述谐振结构组件103，所述梳齿部105与所述谐振结构部104通过所述第二支撑连接部111实现连接，在一示例中，所述第二支撑连接部111悬空设置于所述衬底结构100上，另外，所述谐振结构组件103还包括第二固定部110，该示例中，所述第二固定部110直接设置于所述衬底结构100上，所述第二支撑连接部111设置在所述第二固定部110与所述谐振结构部104之间，以将所述谐振结构部104悬空设置在所述衬底结构100上，另外，所述梳齿部105可以布置在所述第二支撑连接部111上，也可以布置在所述谐振结构部104上，与所述第一梳齿单元102配合。

作为示例，所述感应线圈组件107对应设置于所述谐振结构部104及至少一个所述第二支撑连接部111上，其中，与设置有所述感应线圈组件107的所述第二支撑连接部111相连接的所述第二固定部110上设置有至少两个线圈电极焊盘112，所述感应线圈组件107与对应的所述线圈电极焊盘112电连接。

具体的，当所述谐振结构组件103包括所述第二支撑连接部111时，在一示例中，所述感应线圈组件107还设置在至少一个所述第二支撑连接部111上，其感应线圈的布置形状可以依据实际进行选择，在另一可选示例中，当所述谐振结构组件103还包括所述第二固定部110时，在所述第二固定部110上还设置有线圈电极焊盘112，其中，所述感应线圈组件107中的感应线圈的两个端部设置在对应的线圈电极焊盘112上，以进行测试，其中，当包括至少两条感应线圈时，两条感应线圈对应的端部可以设置在同一线圈电极焊盘112上，从而可以实现各线圈产生的感应电动势的相互叠加。

作为示例，所述梳齿部105设置于所述第二支撑连接部111上；

作为示例，所述第二支撑连接部111的数量包括两个，所述梳齿部105的数量包括四个，四个所述梳齿部105分别设置于两个所述第二支撑连接部111相对的两侧。

作为示例，所述梳齿部105设置于所述谐振结构部104上，且所述梳齿部105对应设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围。

作为示例，所述第二固定部110的数量包括两个，所述第二支撑连接部111的数量包括两个，两个所述第二固定部110分别设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围，并分别通过两个所述第二支撑连接部111与所述谐振结构部104相连接；

作为示例，所述第二固定部110的数量包括一个，所述第二支撑连接部111的数量包括两个，两个所述第二支撑连接部111均与所述第二固定部110相连接并关于所述第二固定部110对称设置，且所述谐振结构部104环绕所述第二固定部及所述第二支撑连接部设置。

具体的，在一示例中，所述梳齿部105设置于所述第二支撑连接部111上，从而基于所述第二支撑连接部111上的所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102进行配合，其中，在一可选示例中，所述第二支撑连接部111的数量包括两个，所述梳齿部105的数量包括四个，四个所述梳齿部105分别设置于两个所述第二支撑连接部111相对的两侧，即所述梳齿部105分成两组，每组梳齿部设置在同一个所述第二支撑连接部上，进一步，每组中的两个所述梳齿部设置在所述第二支撑连接部相对的两侧，各梳齿部中的第二梳齿单元相背离进行延伸；另外，在一示例中，所述梳齿部还可以设置在所述谐振结构部上，从而基于所述谐振结构部104上的所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102进行配合，其中，在一可选示例中，所述梳齿部105对应设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围，各梳齿部中的第二梳齿单元相背离进行延伸。

另外，对于所述第二固定部110及所述第二支撑连接部111的数量也可以依据实际的结构进行设置，所述第二固定部110可以为一个，此时，所述第二支撑连接部111可以均与所述第二固定部110相连接，所述谐振结构部104环绕所述第二固定部及所述第二支撑连接部设置，此时，所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元可以是位于所述谐振结构部的外围设置，也可以是所述谐振结构部同时环绕所述第一梳齿单元及第二梳齿单元进行设置；另外，在一示例中，所述第二固定部110的数量也可以是两个或者更多，当为两个时，对应包括至少两个第二支撑连接部，分别与两个所述第二固定部相连接，此时，两个所述第二固定部110可以被所述谐振结构部104包围，也可以位于所述谐振结构部的外围，依据实际情况进行选择，在一示例中，分别设置在所述谐振结构部104相对两侧的外围对称设置。

作为示例，所述谐振结构组件103还包括支撑梁结构114，所述第二支撑连接部111的所述第一端111a通过所述支撑梁结构114与所述第二固定部110相连接，其中，所述支撑梁结构114的形状包括L型、S型以及W型中的任意一种，但并不局限于此。

具体的，如图5所示，在一示例中，所述谐振结构组件103还包括一支撑梁结构114，其中，所述支撑梁结构114设置在所述第二支撑连接部111与所述第二固定部110之间，可视情况需要调节谐振频率。可选地，所述支撑梁结构114悬空设置于所述衬底结构100上。另外，所述支撑梁结构114的形状可以依据实际进行选择，图5显示为多个L型结构构成的支撑梁结构114，当然，也可以是其他实现连接的结构。进一步，在一示例中，当存在所述支撑梁结构114时，所述感应线圈组件中的感应线圈还可以进一步布置在所述支撑梁结构114上。

作为示例，所述谐振结构部104的形状包括环形，所述环形包括方形环、矩形环及圆形环中的任意一种。具体的，对于所述谐振结构部104的形状，可以依据实际传感器结构的设置进行选择，如可以是环形设置，如方形环、矩形环、圆形环、椭圆形环等，形状可以依据实际磁场测定进行设置。

作为示例，所述第一梳齿单元102及所述第二梳齿单元106的设置方式包括所述第一梳齿单元102的下表面与所述第二梳齿单元106的下表面以及所述第一梳齿单元102的上表面与所述第二梳齿单元106的上表面二者中至少一者位于不同的水平面上的设置方式。

具体的，如图6所示，该示例中，提供所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106之间的布置情况，其中，该示例中，至少这两种梳齿单元的一个表面不在同一水平面上，以产生沿垂直方向上的静电驱动力，该示例中，梳齿电极(包括固定电极和可动电极，即所述第一梳齿单元102和所述第二梳齿单元106)在垂直方向上相互交错，该示例中，相互交错意味着固定电极和可动电极的上下表面至少有一面不共面，以产生沿垂直方向的静电驱动力。即可以是所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106的下表面不在同一水平面上，二者的上表面在同一水平面上，如图6(a)所示，或者是，所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106的上表面不在同一水平面上，二者的下表面在同一水平面上，如图6(b)所示，还可以是所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106的上表面和下表面均不在同一水平面上，如图6(c)和6(d)所示。另外，对于所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106的截面高度，也即二者在垂直于所述衬底结构表面的方向上的厚度，如图6(c)和6(d)所示，二者的高度可以相同，也可以不同，依据实际需求进行设置，但是必须相互交错以产生沿垂直方向上的静电驱动力。

其中，参见图1所示，给出一种采用本发明的磁场传感器结构进行x方向磁场测量的示意图，在x-y平面内，B_x代表沿x方向的磁场，当给所述驱动电极组件101施加驱动信号时，所述第一梳齿单元102与所述第二梳齿单元106之间产生静电驱动力，驱动所述谐振结构部104运动，其中，该示例中的图示时刻，左侧边框垂直纸面向外运动，右侧边框垂直纸面向里运动，从而带动所述感应线圈组件107切割磁感线产生感应电动势，进而实现磁场测量，其中，图中沿所述谐振结构部104外围的带箭头的虚线表示感应电动势的方向。

另外，如图1及图7-10所示，本发明还提供一种磁传感器结构的制备方法，其中，本实施例中的所述磁传感器结构优选采用本发明提供的制备方法制备得到，所述磁场传感器结构的制备方法，包括如下步骤：

提供衬底结构100；

于所述衬底结构100上制备至少一个驱动电极组件101，所述驱动电极组件101包括若干个间隔排布的第一梳齿单元102，所述第一梳齿单元102悬空设置于所述衬底结构100上；

于所述衬底结构100上制备谐振结构组件103，所述谐振结构组件103包括谐振结构部104及与所述谐振结构部104连接设置的至少一个梳齿部105，所述梳齿部105及所述谐振结构部104均悬空设置于所述衬底结构100上，所述梳齿部105包括若干个间隔排布的第二梳齿单元106，所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102交叉间隔设置；以及

于所述谐振结构上制备感应线圈组件107，且至少对应制备于所述谐振结构部104上。

具体的，上述各步骤的磁传感器结构的制备步骤的顺序可以依据实际制备进行选择，下面提供一种示例，以详细说明本发明的磁场传感器结构的制备工艺。

如图7中的S1及图8所示，其中，图8显示为沿图1中AA方向截面示意图，提供衬底结构100，所述衬底结构100包括但不限于玻璃衬底，在一示例中，所述衬底结构100包括相对设置的上表面和下表面，本示例中，在所述衬底结构100上表面上制备各器件结构层。

接着，如图7中的S2及图1及图8-9所示，图9显示为沿图1中BB方向截面示意图，于所述衬底结构100上制备至少一个驱动电极组件101，所述驱动电极组件101包括若干个间隔排布的第一梳齿单元102，所述第一梳齿单元102悬空设置于所述衬底结构100上；

继续，如图7中的S3及图1及图8-9所示，于所述衬底结构100上制备谐振结构组件103，所述谐振结构组件103包括谐振结构部104及与所述谐振结构部104连接设置的至少一个梳齿部105，所述梳齿部105及所述谐振结构部104均悬空设置于所述衬底结构100上，所述梳齿部105包括若干个间隔排布的第二梳齿单元106，所述第二梳齿单元106与所述第一梳齿单元102交叉间隔设置。

具体的，可以在所述衬底结构100上分别制备所述驱动电极组件101和所述谐振结构组件103，也可以在所述衬底结构100上同时制备所述驱动电极组件101和所述谐振结构组件103，在一示例中，基于同一工艺程序制备所述驱动电极组件101和所述谐振结构组件103，在一示例中，如图8-9所示，在所述衬底结构100表面形成一初始材料层，如可以是硅材料层，但并不局限于此，并采用刻蚀的工艺形成驱动电极组件101的各结构，如在一示例中，可以包括第一梳齿单元102、第一支撑连接部109、第一固定部108，并刻蚀形成谐振结构组件103的各结构，在一示例中，可以包括第二梳齿单元106、第二支撑连接部111、谐振结构部104以及第二固定部110，各结构的尺寸等参数可以依据实际需求设置，各结构的形成顺序也可以依据实际实验条件进行选择

最后，如图7中的S4及图1及图10所示，于所述谐振结构上制备感应线圈组件107，且至少对应制备于所述谐振结构部104上。

具体的，在一示例中，形成好所述驱动电极组件101及所述谐振结构组件103之后，形成所述感应线圈组件107，可以采用铝材料制备，进一步，在一示例中，还可以同时形成线圈电极焊盘112及驱动电极焊盘113，可以采用铝材料，另外，二者可以基于同一材料层刻蚀形成，当然所述材料层的材料可以是铝材料层，但不局限于此。

作为示例，于所述谐振结构上制备所述感应线圈组件107之前还包括步骤：于所述谐振结构上形成绝缘材料层115，所述感应线圈组件107制备于所述绝缘材料层115上。

具体的，所述感应线圈与与其相邻的结构层之间还可以设置有绝缘材料层以实现电学绝缘，参见图10所示，如在所述感应线圈层与所述谐振结构组件103的谐振结构部104之间形成有一层绝缘材料层115，所述绝缘材料层的材料包括但不限于氧化硅，当存在至少两层所述感应线圈层时，相邻的所述感应线圈层之间也设置有实现隔离的绝缘材料层，当单层所述感应线圈层中包括至少两匝感应线圈时，各匝感应线圈之间也通过绝缘材料实现电学绝缘。

下面结合具体附图提供几种本发明的磁场传感器结构的实施例，以更好的说明其结构。

实施例1：

如图1所示，本实施例提供一种磁场传感器结构，该实施例中，所述驱动电极组件101包括所述第一梳齿单元102、所述第一连接支撑部108以及所述第一固定部109，所述驱动电极组件101的数量包括两个，各所述驱动电极组件101的所述第一梳齿单元102相对设置，且所述谐振结构部104环绕所述驱动电极组件101设置；另外，本实施例中，所述谐振结构组件103包括一个所述第二固定部110、两个所述第二支撑连接部111、四个所述梳齿部105以及所述谐振结构部104，其中，所述梳齿部105设置于所述第二支撑连接部111上，四个所述梳齿部105分别设置于两个所述第二支撑连接部111相对的两侧，所述谐振结构部104的形状呈方环形设置，并包围所述电极驱动组件及所述梳齿部105、所述第二支撑连接部111、所述第二固定部110以及所述第一驱动电极组件101。

实施例2：

如图2所示，本实施例提供一种磁场传感器结构，该实施例中，所述磁场传感器结构与实施例1中的所述磁场传感器结构的各结构设置大致相同，二者的区别在于：实施例1中所述谐振结构部104的形状呈方环形设置，本实施例2中所述谐振结构部104的形状呈圆环形，其他结构的设置可以参考实施例1的说明。

实施例3：

如图3所示，本实施例提供一种磁场传感器结构，该实施例中，所述驱动电极组件101包括所述第一梳齿单元102、所述第一连接支撑部108以及所述第一固定部109，所述驱动电极组件101的数量包括两个，各所述驱动电极组件101的所述第一梳齿单元102相对设置，且所述驱动电极组件101设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围；另外，本实施例中，所述谐振结构组件103包括一个所述第二固定部110、两个所述第二支撑连接部111、四个所述梳齿部105以及所述谐振结构部104，其中，所述梳齿部105设置于所述谐振结构部104上，且所述梳齿部105对应设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围，所述谐振结构部104的形状呈矩形环设置，所述驱动电极组件101及所述梳齿部105设置于所述谐振结构部104的外侧，本实施例中，设置在所述谐振结构部104相对的两侧的外部。

实施例4：

如图4所示，本实施例提供一种磁场传感器结构，该实施例中，所述驱动电极组件101包括所述第一梳齿单元102以及所述第一连接支撑部108，所述驱动电极组件101的数量为四个，且四个所述驱动电极组件101两两对应设置，构成两组，分别位于所述谐振结构部104相对两侧的外围；另外，所述谐振结构组件103包括两个所述第二固定部110、两个所述第二支撑连接部111、四个所述梳齿部105及所述谐振结构部104，其中，两个所述第二固定部110分别设置于所述谐振结构部104相对两侧的外围，并通过所述第二支撑连接部111与所述谐振结构部104相连接，每一个所述第二支撑连接部111与一组所述驱动电极组件101对应设置，即四个所述梳齿部分成两组，每一组设置在同一所述第二支撑连接部上，相设置在所述第一支撑连接部相对的两侧，形成的所述第二梳齿单元与每一组中的第一梳齿单元对应。

实施例5：

如图5所示，本实施例提供一种磁场传感器结构，该实施例中，所述磁场传感器结构与实施例1中的所述磁场传感器结构的各结构设置大致相同，二者的区别在于：实施例1中，所述第二支撑连接部111直接设置在所述第二固定部110上，本实施例中，所述第二支撑连接部111的第一端通过所述支撑梁结构114与所述第二固定部110相连接。

综上所述，本发明提供一种磁场传感器结构及制备方法，磁场传感器结构包括：衬底结构；至少一个驱动电极组件，设置于所述衬底结构上，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，且所述第一梳齿单元悬空设置于所述衬底结构上；谐振结构组件，设置于所述衬底结构上，所述谐振结构组件包括谐振结构部及与所述谐振结构部连接设置的至少一个梳齿部，所述梳齿部及所述谐振结构部均悬空设置于所述衬底结构上，其中，所述梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，所述第二梳齿单元与所述第一梳齿单元交叉间隔设置；以及感应线圈组件，至少对应设置于所述谐振结构部上。本发明的磁场传感器结构及其制备方法，磁场传感器结构基于电磁感应进行磁场测量，具有功耗低、线性度好以及检测电路设计简单的优点，采用梳齿单元驱动，降低了空气阻尼，解决了现有技术中的吸合问题，并使得器件无需真空封装也具有较高的灵敏度，另外，可以实现磁场的面内测量，进行实现三轴磁场测量。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (16)

1.一种磁场传感器结构，其特征在于，所述磁场传感器结构包括：

衬底结构；

至少一个驱动电极组件，设置于所述衬底结构上，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，且所述第一梳齿单元悬空设置于所述衬底结构上；

谐振结构组件，设置于所述衬底结构上，所述谐振结构组件包括谐振结构部及与所述谐振结构部连接设置的至少一个梳齿部，所述梳齿部及所述谐振结构部均悬空设置于所述衬底结构上，其中，所述梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，所述第二梳齿单元与所述第一梳齿单元交叉间隔设置；以及

感应线圈组件，至少对应设置于所述谐振结构部上。

2.根据权利要求1所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述驱动电极组件还包括第一支撑连接部，其中，所述第一支撑连接部设置于所述衬底结构上，所述第一梳齿单元设置于所述第一支撑连接部上。

3.根据权利要求2所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述驱动电极组件还包括第一固定部，其中，所述第一固定部设置于所述衬底结构上，所述第一支撑连接部与所述第一固定部相连接，且所述第一支撑连接部对称设置在所述第一固定部两侧，所述第一梳齿单元对称设置在所述第一固定部两侧。

4.根据权利要求1所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述驱动电极组件的数量包括四个，四个所述驱动电极组件两两对应设置，且分别对应设置于所述谐振结构部相对两侧的外围；或者，所述驱动电极组件的数量包括两个，两个所述驱动电极组件的所述第一梳齿单元相对设置，且所述谐振结构部环绕所述驱动电极组件设置；或者，所述驱动电极组件的数量包括两个，两个所述驱动电极组件的所述第一梳齿单元相对设置，且两个所述驱动电极组件分别设置于所述谐振结构部相对两侧的外围。

5.根据权利要求1所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述谐振结构组件还包括至少一个第二固定部及至少一个第二支撑连接部，其中，所述第二固定部设置于所述衬底结构上，所述第二支撑连接部包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端与对应的所述第二固定部相连接，所述第二端与所述谐振结构部相连接，且所述梳齿部设置于所述第二支撑连接部及所述谐振结构部中的至少一者上。

6.根据权利要求5所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述梳齿部设置于所述第二支撑连接部上，其中，所述第二支撑连接部的数量包括两个，所述梳齿部的数量包括四个，四个所述梳齿部分别设置于两个所述第二支撑连接部相对的两侧。

7.根据权利要求5所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述梳齿部设置于所述谐振结构部上，且所述梳齿部对应设置于所述谐振结构部相对两侧的外围。

8.根据权利要求5所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述第二固定部的数量包括两个，所述第二支撑连接部的数量包括两个，两个所述第二固定部分别设置于所述谐振结构部相对两侧的外围，并分别通过两个所述第二支撑连接部与所述谐振结构部相连接；或者，所述第二固定部的数量包括一个，所述第二支撑连接部的数量包括两个，两个所述第二支撑连接部均与所述第二固定部相连接并关于所述第二固定部对称设置，且所述谐振结构部环绕所述第二固定部及所述第二支撑连接部设置。

9.根据权利要求5所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述感应线圈组件对应设置于所述谐振结构部及至少一个所述第二支撑连接部上，其中，与设置有所述感应线圈组件的所述第二支撑连接部相连接的所述第二固定部上设置有至少两个线圈电极焊盘，所述感应线圈组件与对应的所述线圈电极焊盘电连接。

10.根据权利要求5所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述谐振结构组件还包括支撑梁结构，所述第二支撑连接部的所述第一端通过所述支撑梁结构与所述第二固定部相连接，其中，所述支撑梁结构的形状包括L型、S型以及W型。

11.根据权利要求1所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述谐振结构部的形状包括环形，所述环形包括方形环、矩形环及圆形环中的任意一种；所述驱动电极组件基于所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元以静电驱动的方式至少驱动所述谐振结构部工作在扭转模态，其中，所述静电驱动方式包括单端驱动或推挽驱动。

12.根据权利要求1所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述感应线圈组件包括至少一层感应线圈层，单层所述感应线圈层中包括至少一匝感应线圈。

13.根据权利要求12所述的磁场传感器结构，其特征在于，单层所述感应线圈层中所述感应线圈的匝数为至少两匝，且同一层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向相同；所述感应线圈层为至少两层，且各层所述感应线圈层中的所述感应线圈的绕向均相同。

14.根据权利要求1-13中任意一项所述的磁场传感器结构，其特征在于，所述第一梳齿单元及所述第二梳齿单元的设置方式包括所述第一梳齿单元的下表面与所述第二梳齿单元的下表面以及所述第一梳齿单元的上表面与所述第二梳齿单元的上表面二者中至少一者位于不同的水平面上的设置方式。

15.一种磁场传感器结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供衬底结构；

于所述衬底结构上制备至少一个驱动电极组件，所述驱动电极组件包括若干个间隔排布的第一梳齿单元，且所述第一梳齿单元悬空设置于所述衬底结构上；

于所述衬底结构上制备谐振结构组件，所述谐振结构组件包括谐振结构部及与所述谐振结构部连接设置的至少一个梳齿部，所述梳齿部及所述谐振结构部均悬空设置于所述衬底结构上，其中，所述梳齿部包括若干个间隔排布的第二梳齿单元，所述第二梳齿单元与所述第一梳齿单元交叉间隔设置；以及

于所述谐振结构上制备感应线圈组件，且至少对应制备于所述谐振结构部上。

16.根据权利要求15所述的磁场传感器结构的制备方法，其特征在于，于所述谐振结构上制备所述感应线圈组件之前还包括步骤：于所述谐振结构上形成绝缘材料层，所述感应线圈组件制备于所述绝缘材料层上。

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