CN111306902A - 一种槽盖热风循环烘箱 - Google Patents

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Abstract

本发明适用于光伏用硅片加工技术领域,提供了一种槽盖热风循环烘箱,包括烘箱外壳,其内设有隔板,将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道,烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖,所述风道内安装有加热装置,槽盖上设有若干出风口,所述出风口与所述烘干腔位置相对;硅片定位装置,设置在所述烘箱外壳的烘干腔内,用于对硅片进行装夹定位;以及风循环装置,用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动,本发明的有益效果是:热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内,并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行,且能根据气流角度对硅片的角度进行调整,不易造成硅片被吹碎的情况。

Description

一种槽盖热风循环烘箱
技术领域
本发明涉及光伏用硅片加工技术领域,尤其涉及一种槽盖热风循环烘箱。
背景技术
单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热 等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。
在硅片的烘干作业中,由于硅片又脆又薄,原有的热风循环烘箱内各个地方出风不均匀,使得吹向硅片的风不均匀,有的地方风力大有的地方风力小,导致有的硅片烘不干,有的硅片被循环风吹碎。
发明内容
本发明实施例的目的在于提供一种槽盖热风循环烘箱,旨在解决背景技术中提出的技术问题。
本发明实施例是这样实现的,一种槽盖热风循环烘箱,包括:
烘箱外壳,其内设有隔板,将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道,烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖,所述风道内安装有加热装置,槽盖上设有若干出风口,所述出风口与所述烘干腔位置相对;
硅片定位装置,设置在所述烘箱外壳的烘干腔内,用于对硅片进行装夹定位;以及
风循环装置,用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动。
作为本发明进一步的方案:所述硅片定位装置上设有万向夹装件,所述万向夹装件用于插放所述硅片,且调节所述硅片,使得硅片所在平面与热风出风方向保持平行。
作为本发明再进一步的方案:所述万向夹装件包括底座、万向球座和万向球,所述万向球座通过底座安装在所述硅片定位装置上,万向球与所述万向球座活动配合,所述万向球上开设有定位槽。
作为本发明再进一步的方案:所述硅片定位装置固定在所述放置板上,所述放置板上设有若干开孔,放置板与所述烘箱外壳抽拉配合。
作为本发明再进一步的方案:所述放置板的出风端处连接有回风滤网,所述回风滤网稳定风场,使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。
作为本发明再进一步的方案:所述风循环装置包括扇叶和电机,所述扇叶处于风道与所述烘干腔的连接处,所述扇叶由电机驱动转动。
作为本发明再进一步的方案:所述隔板在靠近所述槽盖的位置还开设有若干副出风口,所述副出风口的出风量小于所述出风口的出风量。
作为本发明再进一步的方案:还包括控制装置,所述控制装置与加热装置和风循环装置连接,用于控制所述加热装置和所述风循环装置连接。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:空气经过加热装置的加热之后进入到槽盖内,热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内,并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行,且能根据气流角度对硅片的角度进行调整,不易造成硅片被吹碎的情况,热风将硅片上的水分烘干后,再经过风循环装置进入到风道内被加热装置所加热,硅片烘干效率高,碎片率低。
附图说明
图1为一种槽盖热风循环烘箱的结构示意图。
图2为一种槽盖热风循环烘箱中万向夹装件的结构示意图。
附图中:1-烘箱外壳、2-烘干腔、3-槽盖、4-隔板、5-扇叶、6-电机、7-风道、8-加热装置、9-放置板、10-硅片定位装置、11-万向夹装件、111-底座、112-万向球座、113-万向球、114-定位槽、12-硅片、13-出风口、14-回风滤网。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行详细描述。
如图1所示,为本发明一个实施例提供的一种槽盖热风循环烘箱的结构图,包括烘箱外壳1、硅片定位装置10和风循环装置,所述烘箱外壳1内设有隔板4,将所述烘箱外壳1分隔成烘干腔2和风道7,烘箱外壳1上设有与所述风道7连通的槽盖3,所述风道7内安装有加热装置8,槽盖3上设有若干出风口13,所述出风口13与所述烘干腔2位置相对,即出风方向与硅片12的所在平面平行;所述硅片定位装置10设置在所述烘箱外壳1的烘干腔2内,用于对硅片12进行装夹定位;所述风循环装置,用于使热风在所述烘干腔2和风道7之间循环运动。
在实际应用时,空气经过加热装置8的加热之后进入到槽盖3内,此处,所述的加热装置8可以为加热管、电热丝等,在此不进行具体的限定,热风从槽盖3上设置的出风口13均匀的进入到烘干腔2内,并且,热风的出风方向与硅片12的所在平面保持平行,不易造成硅片12被吹碎的情况,热风将硅片12上的水分烘干后,再经过风循环装置进入到风道7内被加热装置8所加热。
如图1~2所示,作为本发明一个优选的实施例,所述硅片定位装置10上设有万向夹装件11,所述万向夹装件11用于插放所述硅片12,且调节所述硅片12,使得硅片12所在平面与热风出风方向保持平行。
由于在正常情况在,热风气流易出现紊乱的状况,导致硅片12和气流之间易存在相对角度,而通过设置的万向夹装件11,其能根据气流角度对硅片12的角度进行调整,避免硅片12出现被吹碎的问题。
如图1~2所示,作为本发明另一个优选的实施例,所述万向夹装件11包括底座111、万向球座112和万向球113,所述万向球座112通过底座111安装在所述硅片定位装置10上,万向球113与所述万向球座112活动配合,所述万向球113上开设有定位槽114。
一般情况来说,一个硅片12的两侧均设有若干万向夹装件11,因为硅片12发生运动时,硅片12与万向球113的接触处易发生破碎,所以,万向球113优选使用相对柔软、具有弹性的塑料制成。
如图1所示,作为本发明另一个优选的实施例,所述硅片定位装置10固定在所述放置板9上,所述放置板9上设有若干开孔,放置板9与所述烘箱外壳1抽拉配合。
放置板9与所述烘箱外壳1采用抽拉配合的方式,使得放置板9与硅片定位装置10能较为方便的从烘箱外壳1抽出,便于更换新的硅片12,当然,烘箱外壳1的对应位置处是设有开口或者箱门的;放置板9上的开孔是为了方便热风顺利的再次进入到风道7内。
如图1所示,作为本发明另一个优选的实施例,所述放置板9的出风端处连接有回风滤网14,所述回风滤网14稳定风场,使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。
回风滤网14由网孔板焊接而成,回风滤网可以有效避免风循环装置回风的风场紊乱,使吹向硅片12的风更均匀,同时也能对空气进行过滤。
如图1所示,作为本发明另一个优选的实施例,所述风循环装置包括扇叶5和电机6,所述扇叶5处于风道7与所述烘干腔2的连接处,所述扇叶5由电机驱动转动。
扇叶5的主要作用是将烘干腔2内的热风(回风)吹入到风道7内进行再次加热,以实现空气的循环流动。
如图1所示,作为本发明另一个优选的实施例,所述隔板4在靠近所述槽盖3的位置还开设有若干副出风口,所述副出风口的出风量小于所述出风口13的出风量。即:热风进入到烘干腔2内时,是以出风口13为主,副出风口为辅的。
如图1所示,作为本发明另一个优选的实施例,还包括控制装置,所述控制装置与加热装置8和风循环装置连接,用于控制所述加热装置8和所述风循环装置连接。
控制装置可以控制加热装置8和风循环装置的启停,同时也可以控制加热装置8的发热温度和风循环装置中电机的转速。
本发明上述实施例提供了一种槽盖热风循环烘箱,空气经过加热装置8的加热之后进入到槽盖3内,热风从槽盖3上设置的出风口13均匀的进入到烘干腔2内,并且热风的出风方向与硅片12的所在平面保持平行,且能根据气流角度对硅片12的角度进行调整,不易造成硅片12被吹碎的情况,热风将硅片12上的水分烘干后,再经过风循环装置进入到风道7内被加热装置8所加热,硅片烘干效率高,碎片率低。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,包括:
烘箱外壳,其内设有隔板,将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道,烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖,所述风道内安装有加热装置,槽盖上设有若干出风口,所述出风口与所述烘干腔位置相对;
硅片定位装置,设置在所述烘箱外壳的烘干腔内,用于对硅片进行装夹定位;以及
风循环装置,用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动。
2.根据权利要求1所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述硅片定位装置上设有万向夹装件,所述万向夹装件用于插放所述硅片,且调节所述硅片,使得硅片所在平面与热风出风方向保持平行。
3.根据权利要求2所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述万向夹装件包括底座、万向球座和万向球,所述万向球座通过底座安装在所述硅片定位装置上,万向球与所述万向球座活动配合,所述万向球上开设有定位槽。
4.根据权利要求1或2或3所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述硅片定位装置固定在所述放置板上,所述放置板上设有若干开孔,放置板与所述烘箱外壳抽拉配合。
5.根据权利要求4所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述放置板的出风端处连接有回风滤网,所述回风滤网稳定风场,使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。
6.根据权利要求1所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述风循环装置包括扇叶和电机,所述扇叶处于风道与所述烘干腔的连接处,所述扇叶由电机驱动转动。
7.根据权利要求1所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,所述隔板在靠近所述槽盖的位置还开设有若干副出风口,所述副出风口的出风量小于所述出风口的出风量。
8.根据权利要求1所述的一种槽盖热风循环烘箱,其特征在于,还包括控制装置,所述控制装置与加热装置和风循环装置连接,用于控制所述加热装置和所述风循环装置连接。
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