CN111290333A

CN111290333A - 制造装置的数据收集装置

Info

Publication number: CN111290333A
Application number: CN201911241886.8A
Authority: CN
Inventors: 井上祥吾
Original assignee: Fanuc Corp
Current assignee: Fanuc Corp
Priority date: 2018-12-10
Filing date: 2019-12-06
Publication date: 2020-06-16
Anticipated expiration: 2039-12-06
Also published as: JP6927951B2; US20200183375A1; CN111290333B; JP2020095343A; DE102019218146A1

Abstract

本发明提供一种制造装置的数据收集装置，其能够收集将制造装置中周期性产生的数据汇总在一起而发送的批量传送的数据以及将零散产生的数据每次都发送的流式传送的数据，按照产生多种数据的时刻来进行汇集。数据收集装置(10)具有：第1数据收集部(111a)，其接收将多个周期性取得的第1数据汇总在一起的批量数据；第2数据收集部(111b)，其接收零散取得的第2数据即流式数据；数据汇集部(112)，其将汇总接收到的批量数据中包含的多个第1数据分解为单个的数据，对各个第1数据赋予时间戳，并且对各个第2数据赋予时间戳；以及时间序列数据排列部(113)，其根据时间戳来排列双方的数据。

Description

制造装置的数据收集装置

技术领域

本发明涉及一种制造装置的数据收集装置。

背景技术

以往，为了对机床、工业机械、机器人等工业用机械以及包含该工业用机械的数值控制装置等的制造装置的动作状況进行解析，存在以特定的周期从制造装置收集数据的数据收集装置。

具体来说，例如已知分别将数值控制装置与多个机床对应起来，取得与自身对应的机床的状态数据的技术。

例如，为了掌握机床的动作状況，以短周期取得与机床中的主轴的转矩指令、主轴的转速、主轴旋转的开/关信号、振动(加速度)、冷却剂的开/关信号等有关的时间序列数据的数值控制装置，在将取得的时间序列数据暂时存储在存储装置(缓冲区)后，将暂时存储在存储装置中的时间序列数据发送给数据收集装置。

另一方面，在从温度传感器、电压传感器、照度传感器、图像传感器、振动传感器等各种传感器，以每一分钟、每一秒钟等的周期取得时间序列数据时，将该时间序列数据每次都发送给数据收集装置。

关于这一点，例如专利文献1公开了如下技术：在机床中将来自部件传感器的状态数据存储在存储器中，在蓄积了某种程度的状态数据时，将蓄积的状态数据汇总在一起发送给主计算机。

为了掌握制造装置的动作状況，需要取得各种数据，但是因数据的种类，制造装置侧的数据的取得时间日期，例如数值控制装置取得的与各种控制量以及状态量有关的数据或由设置在机床的各种传感器以及各种监视装置所取得的数据的取得周期不同。

在这样的情况下，在数据收集装置的侧接收将在制造装置侧取得的周期性的数据汇总在一起而发送的批量数据以及将在制造装置侧取得的零散的数据每次都发送的流式数据，目前难以按照产生双方数据的时刻进行汇集。

专利文献1：日本专利第4763811号公报

发明内容

本发明的目的在于提供一种数据收集装置，其能够收集将制造装置中周期性产生的数据汇总在一起而发送的批量传送的数据以及将零散产生的数据每次都发送的流式传送的数据，按照产生多种数据的时刻来进行汇集。

(1)本发明的数据收集装置具有：第1数据收集部，其接收将多个由制造装置周期性取得的第1数据汇聚在一起而批量传送的批量数据；第2数据收集部，其接收将所述制造装置零散取得的第2数据每次都流式传送的流式数据；数据汇集部，其将汇总接收到的批量数据中包含的多个第1数据分解为单个的数据，对各个所述第1数据赋予时间戳，并且对各个所述第2数据赋予时间戳；以及时间序列数据排列部，其根据所述时间戳来排列所述第1数据以及所述第2数据，由此变换为时间序列数据。

(2)在(1)所记载的数据收集装置中，所述第1数据的时间戳可以是在所述制造装置中取得该第1数据的时刻的时间戳。

(3)在(1)或(2)所记载的数据收集装置中，所述第2数据的时间戳可以是在所述制造装置中取得该第2数据的时刻的时间戳。

(4)在(1)或(2)所记载的数据收集装置中，所述第2数据的时间戳可以是在该数据收集装置中接收到该第2数据的时刻的时间戳。

(5)(1)～(4)所记载的数据收集装置还可以具有时间序列数据发送部，该时间序列数据发送部将所述时间序列数据发送给显示所述时间序列数据的显示装置。

(6)(1)～(5)所记载的数据收集装置还可以具有时间序列数据保存部，该时间序列数据保存部保存所述时间序列数据。

根据本发明，能够收集将制造装置中周期性产生的数据汇总在一起而发送的批量传送的数据以及将零散产生的数据每次都发送的流式传送的数据，汇集多个种类的数据。

附图说明

图1是本发明的实施方式的数据收集系统的整体结构图。

图2是本发明的实施方式的数据收集装置的功能框图。

图3表示本发明的实施方式的赋予时间戳的示例。

图4是本发明的实施方式的数据收集装置的数据处理方法的概略图。

图5是表示本发明的实施方式的数据收集装置的动作的流程图。

图6A表示本发明的实施方式的数据收集装置的动作的具体例。

图6B表示本发明的实施方式的数据收集装置的动作的具体例。

符号说明

1 数据收集系统

10 数据收集装置

11 控制部

15 时间序列数据保存部

20 制造装置

21 数值控制装置

22 机床

23 传感器

24 状态监视设备

111a 第1数据收集部

111b 第2数据收集部

111n 第n数据收集部

112 数据汇集部

113 时间序列数据排列部

114 时间序列数据发送部

具体实施方式

以下，参照图1～图6B对本发明的实施方式进行说明。

[整体结构]

图1是本实施方式的数据收集系统1的整体结构图。数据收集系统1具有数据收集装置10与制造装置20。这里，制造装置20具有数值控制装置21与机床22，在机床22设置有传感器23以及状态监视设备24。另外，制造装置20不限于此。例如，制造装置20也可以是具有控制工业机械的PLC(Program Logic Control：可编程序逻辑控制)装置以及工业机械、控制机器人的RC(Robot Control：机器人控制)装置以及机器人的制造装置。

另外，在图1中示出了1台数据收集装置10与1台制造装置20连接的方式，更详细说，示出了1台数据收集装置10与制造装置20中包含的1台数值控制装置21和在1台机床22中设置的1台传感器23以及1台状态监视设备24连接的方式，这是一例但不限于此。数据收集装置10能够与任意台数的制造装置20，即任意台数的数值控制装置21、任意台数的机床22中设置的任意台数的传感器23以及任意台数的状态监视设备24连接。

此外，数据收集装置10、数值控制装置21、传感器23以及状态监视设备24可相互通信地直接连接，也可以经由网络连接。

并且，还可以在数值控制装置21中具备构成数据装置10的控制部11和时间序列数据保存部15。

另外，以下对数据收集装置10收集与制造装置20中包含的数值控制装置21的控制量以及状态量有关的数据、与机床22的状态量有关的数据的示例进行说明，但是不限于此。

数据收集装置10从数值控制装置21收集由该数值控制装置21取得的与状态量有关的数据、与该数值控制装置21的控制量有关的数据，并且为了掌握机床22的动作状況，从该机床22中设置的传感器23以及状态监视设备24收集与状态量有关的数据。另外，对于数据收集装置10的结构，参照图2在后面进行描述。

数值控制装置21是通过控制各机床22的驱动部(电动机)的驱动来实现基于加工程序的预定加工的NC(Numerical Control)装置。数值控制装置21通过反馈控制来控制各机床22的驱动部。

此外，数值控制装置21与该控制并行地取得运转状态信息。取得的运转状态信息例如是沿着时间序列的主轴或进给轴的电动机控制数据，具体来说是电动机电流的指令值、电动机电流的实际测量值、电动机转速的指令值、电动机转速的实际测量值以及电动机的转矩的实际测量值等。

另外，这些数据不过只是例示，此外，也可以将向机床输出的动作指令中包含的位置指令、与反馈控制相关的信息作为运转状态信息。例如，也可以将位置反馈、从位置指令中减去位置反馈所得到的位置偏差等作为运转状态信息。此外，还可以将从外部设备针对数值控制装置21输入输出的信号作为运转状态信息。例如，为了对机床22进行顺序控制，可以将通过被称为梯形语言的语言所记述的信号(以下，称为“PMC信号”。)作为运转状态信息。

机床22是根据数值控制装置21输出的动作指令，对工件进行切削加工等预定加工的机床。机床22具有运算处理装置和存储装置、作业员的输入输出装置等，可通过软件进行控制。另外，在图1中通过一个功能块来表示机床22，但是机床22也可以是机床与控制该机床的数值控制装置的组合这样的多个装置的组合。另外，作为机床22，例如列举出车床、铣床、放电加工机、磨床、加工中心、激光加工机等。

传感器23是直接设置在机床22或设置在其附近，对机床22的各种状态量进行测定的设备。能够将该传感器23的测定值设为运转状态信息。另外，作为传感器23，例如除了对机床22自身特定部位或机床22附近的振动量进行检测的CCLD型振动传感器或电荷型振动传感器、检测温度的温度传感器、在机床22的主轴或电动机轴承的附近设置的测定主轴或电动机附近的声音来进行输出的收音麦克风、检测向机床22的电动机或激光二极管供给的驱动电流的电流量的电流传感器、检测供给电压的电压传感器之外，还列举照度传感器、图像传感器等。根据机床22的种类、形状以及结构等，将这些传感器设置在最佳位置。

状态监视设备24具有1台或多台传感器，使用这些传感器来始终监视机床22的运转状态，由此例如预测机床22的故障，通知保养周期。状态监视设备24例如在转矩传感器检测出的干扰转矩、传感器的输出数据的振动的振幅超过预先决定的阈值时，判定为发生了故障。此外，状态监视设备24可以根据在机床22中存储的控制软件的内部数据，判定为机床22发生了故障。具体来说，状态监视设备24例如检测机床22的工具缺损，进行送风机/鼓风机的监视或趋势管理，在三个方向同时监视主轴或砂轮轴的振动，检测冲压模具的裂纹。

从制造装置20向数据收集装置10传送各种数据。

更详细来说，关于例如以数毫秒间隔这样的比较短的间隔取得的周期性数据，制造装置20将多个数据汇集在一起批量传送给数据收集装置10。

作为批量传送的批量数据，例如列举主轴的转矩指令、主轴的转速、主轴旋转的开/关信号、制造装置20的特定部位或者附近的振动值(加速度值)、冷却剂的开/关信号、激光的输出指令值、激光的实际输出值等。

另一方面，关于例如以数百毫秒～数秒间隔这样的比较长的间隔取得的零散的数据，在每次取得数据时，制造装置20都流式传送给数据收集装置10。

作为流式传送的流式数据，例如列举温度的测量值、温度的测量值超过阈值的警告、电流的测量值、电流的测量值超过阈值的警告、主轴或进给轴的位置(移位)、执行中的程序信息、进行了加工的部件数、切削时间等加工信息、自动操作中·手动动作中·已停止等动作状态、绝缘劣化·电池电压低下等的警告信息、冷却风扇的转速·状态、冷却水的温度的测量值等。

[数据收集装置的结构]

图2是数据收集装置10的功能框图。数据收集装置10具有控制部11和时间序列数据保存部15。

控制部11是控制整个数据收集装置10的部分，从ROM、RAM、闪速存储器或硬盘(HDD)等存储区域适当读出各种程序来执行，由此实现本实施方式中的各种功能。控制部11可以是CPU。控制部11具有：第1数据收集部111a、第2数据收集部111b…第n数据收集部111n、数据汇集部112、时间序列数据排列部113、以及时间序列数据发送部114。对于这些功能的详细内容在后面进行描述。

此外，除此之外，控制部11还具有用于控制整个数据收集装置10的功能块、用于进行通信的功能块这样的一般的功能块。其中，对于这些一般的功能块，该领域技术人员非常了解，因此省略图示以及说明。

第1数据收集部111a、第2数据收集部111b…第n数据收集部111n接收制造装置20发送的数据。对应于制造装置20发送的数据的各类别，可以在控制部11中具备这些第1数据收集部111a、第2数据收集部111b…第n数据收集部111n中的各个数据收集部。

数据汇集部112将批量数据中包含的多个周期性的数据分解为单个的数据，对这些单个的数据赋予时间戳。更详细来说，当在制造装置20中取得了这些周期性的数据时，赋予与取得的时刻对应的时间戳，关于数据汇集部112，根据由制造装置20赋予的时间戳，在由制造装置20对于各个周期性的数据赋予的时间戳是表示相对于先前数据的取得时刻的相对时刻的时间戳时，数据汇集部112使用表示相对时刻的时间戳计算周期性的数据各自的取得时刻，可以对各个周期性的数据赋予表示取得时刻自身的时间戳。

图3表示根据表示相对时刻的时间戳而赋予的表示数据的取得时刻的时间戳的示例。

关于由制造装置20赋予的时间戳，对于先前数据(d1)，时间戳为数据(d1)的取得时刻，例如为“2019/07/17 09：12：34.123”，对于数据(d2)～(d5)，时间戳是相对于数据(d1)的取得时刻的相对时刻，为“10”，“20”，“30”，“40”。另外，这些数字的单位是毫秒。

因此，作为表示数据的取得时刻的时间戳，数据汇集部112对于数据(d1’)直接使用数据(d1)的时间戳，另一方面，对于数据(d2’)～(d5’)，对表示数据(d1)的取得时刻的时间戳分别加上10毫秒、20毫秒、30毫秒、40毫秒。结果，向数据(d2’)赋予的时间戳为“2019/07/17 09：12：34.133”，向数据(d3’)赋予的时间戳为“2019/07/17 09：12：34.143”，向数据(d4’)赋予的时间戳为“2019/07/17 09：12：34.153”，向数据(d5’)赋予的时间戳为“2019/07/17 09：12：34.163”。

此外，数据汇集部112对各个流式数据即各个零散的数据赋予时间戳。该时间戳可以是表示在制造装置20中取得各个零散的数据的时刻的时间戳，也可以是表示数据收集装置10接收到各个零散的数据的时刻的时间戳。

另外，数据汇集部112可以将赋予了时间戳后的单个的周期性的数据以及零散的数据存储到后述的时间序列数据保存部15中。

时间序列数据排列部113根据向周期性的数据赋予的时间戳以及向零散的数据赋予的时间戳，将周期性的数据与零散的数据汇总排列，由此变换为时间序列数据。

图4是表示数据汇集部112与时间序列数据排列部113的功能的示意图。如图3的(a1)所示，将多个周期性的数据汇总在一起进行批量传送。另外，在图3中，作为示例，设为在一个批量数据(a1)中包含三个周期性的数据(a1-1) ～(a1-3)。

此外，在图4中，作为零散的数据，将第1零散的数据(b1)～(b2)、第2零散的数据(c1)～(c2)流式传送。

数据汇集部112将批量数据(a1)分解为单个的周期性的数据(a1-1)～(a1-3)，并分别赋予时间戳。此外，数据汇集部112对第1零散的数据(b1)～(b2)中的各个数据以及第2零散的数据(c1)～(c2)中的各个数据赋予时间戳。

时间序列数据排列部113根据分别赋予的时间戳，将周期性的数据(a1-1)～(a1-3)、第1零散的数据(b1)～(b2)、第2零散的数据(c1)～(c2)汇总排列，由此变换为时间序列数据。在图4所示的示例中，时间序列数据排列部113以(a1-1)、(c1)、(b1)、(a1-2)、(c2)、(b2)、(a1-3)的顺序进行排列，由此变换为时间序列数据。

以下同样地，数据汇集部112将批量数据(a2)分解为单个的周期性的数据(a2-1)～(a2-3)，并分别赋予时间戳。此外，数据汇集部112对第1零散的数据(b3)～(b4)中的各个数据以及第2零散的数据(c3)～(c4)中的各个数据赋予时间戳。

时间序列数据排列部113根据分别赋予的时间戳，将周期性的数据(a2-1)～(a2-3)、第1零散的数据(b3)～(b4)、第2零散的数据(c3)～(c4)汇总排列，由此变换为时间序列数据。即，时间序列数据排列部113在图4所示的示例中，以(a2-1)、(c3)、(b3)、(a2-2)、(c4)、(b4)、(a2-3)的顺序进行排列，由此变换为时间序列数据。

时间序列数据发送部114将时间序列数据发送到数据收集装置10的外部。例如，时间序列数据发送部114能够将时间序列数据发送给以纵轴或横轴为时刻来一览显示时间序列数据的显示装置。

时间序列数据保存部15保存时间序列数据。另外，数据收集装置10可以不将时间序列数据保存部15设为必须的结构要素。

[数据收集装置的动作]

图5是表示数据收集装置10的动作的流程图。另外，这里，数据收集装置10可以只具有第1数据收集部111a与第2数据收集部111b这两个数据收集部，但是不限于此。

在步骤S11中，第1数据收集部111a收集批量传送来的批量数据。

在步骤S12中，数据汇集部112将批量数据分解为单个的周期性的数据。

在步骤S13中，数据汇集部112对单个的周期性的数据赋予时间戳。

在步骤S21中，第2数据收集部111b收集流式传送来的流式数据。

在步骤S22中，数据汇集部112对各个流式数据即各个零散的数据赋予时间戳。

在步骤S31中，时间序列数据排列部113根据分别赋予的时间戳，按时间序列将单个的周期性的数据与零散的数据汇总排列，由此变换为时间序列数据。

在步骤S32中，时间序列数据保存部15保存时间序列数据。

在步骤S33中，时间序列数据发送部114将保存在时间序列数据保存部15中的时间序列数据发送给数据收集装置10的外部装置，例如显示装置。

另外，在图5的流程图中，示出了并行执行步骤S11～S13的处理和步骤S21～S22的处理，但是不限于此。例如，能够线性执行步骤S11～S13的处理和步骤S21～S22的处理。

此外，在图5的流程图中，作为步骤S32示出了将时间序列数据保存在时间序列数据保存部15的处理，但不限于此。例如，也可以省略步骤S32，通过时间序列数据排列部113，将单个的周期性的数据与零散的数据变换为时间序列数据，不将变换后的时间序列数据保存在时间序列数据保存部15，而由时间序列数据发送部114将时间序列数据发送到数据收集装置10的外部装置。

[具体例]

图6A以及图6B表示数据收集装置10的动作的具体例。

数据(A)是由第1数据收集部111a收集的批量数据中包含的周期性的数据的示例。在图6A所示的示例中，数据(A)包含表示主轴的振动的位置数据、表示冷却剂的开/关的数据、表示主轴的旋转的开/关的数据，将数据(A)与分别向各个数据赋予的表示相对于初次的数据的取得时刻的相对时刻的时间戳一起从制造装置20批量传送至第1数据收集部111a。

数据(B)是由第2数据收集部111b收集的第1零散的数据的示例。在图6A所示的示例中，数据(B)是表示主轴温度的变化量的数据，不赋予时间戳从制造装置20流式传送至第2数据收集部111b。

数据(C)是由第3数据收集部111c收集的第2零散的数据的示例。在图6A所示的示例中，数据(C)是表示警报的数据，该警报用于报知主轴温度超过或低于预定范围，不赋予时间戳从制造装置20流式传送至第3数据收集部111c。

数据汇集部112将数据(A)分解为单个的周期性的数据，并且使用在制造装置20中向各数据赋予的表示相对时刻的时间戳，对单个的数据赋予表示在制造装置20中取得各数据的取得时刻自身的时间戳。

并且，数据汇集部112对数据(B)以及数据(C)赋予表示在数据收集装置10的接收时刻的时间戳。

时间序列数据排列部113通过根据时间戳来汇总排列单个的周期性的数据以及零散的数据，由此变换为时间序列数据即数据(D)。在图6A所示的示例中，将零散的数据(B)以及数据(C)插入到这些收集时刻与数据(A)中包含的单个的周期性的数据的取得时刻一致的部位，但是不限于此。例如，在零散的数据(B)以及数据(C)的收集时刻处于连续的两个周期性的数据的取得时刻的中间时，可以将零散的数据(B)以及数据(C)插入到这些连续的两个周期性的数据之间。

时间序列数据发送部114将时间序列数据即数据(D)发送到数据收集装置10的外部装置。在图6B所示的示例中，时间序列数据发送部114将数据(D)发送到在数据收集装置10的外部存在的显示装置。结果，如图6B所示，在该显示装置中，在将时刻设为横轴后一览显示作为周期性的数据的表示振动的位置数据、表示冷却剂的开/关的数据以及表示主轴的旋转的开/关的数据、作为零散的数据的表示主轴温度的数据以及表示温度警报的数据。

[实施方式起到的效果]

本实施方式有关的数据收集装置10具有：第1数据收集部111a，其接收将多个周期性取得的数据汇总在一起而批量传送的批量数据；第2数据收集部111b，其接收将零散取得的数据每次都流式传送的流式数据；数据汇集部112，其将汇总接收到的批量数据中包含的多个数据分解为单个的数据，对各个周期性的单个的数据赋予时间戳，并且对各个流式数据即各个零散的数据赋予时间戳；以及时间序列数据排列部113，其根据时间戳将周期性的单个的数据以及零散的数据汇总排列，由此变换为时间序列数据。

由此，能够汇集多个种类的数据，该多个种类的数据具有将制造装置中周期性产生的数据汇总在一起发送的批量传送的数据以及将零散产生的数据每次都发送的流式传送的数据。

并且，成为根据时间戳将从制造装置收集到的批量数据与流式数据进行排列而得到的时间序列数据，由此容易将纵轴或横轴设为时刻来实时绘制出传感器数据用于监视用途，或者进行调查一定时间内的各种传感器值的相关的分析。

此外，在数据收集装置10中，批量数据中包含的周期性取得的数据被赋予的时间戳是在制造装置中取得的时刻的时间戳。

由此，能够在掌握数据的收集源即制造装置的动作状況后根据有用的时间戳来汇集数据。

此外，在数据收集装置10中，作为流式数据的零散取得的数据被赋予的时间戳是在制造装置中取得数据的时刻的时间戳。

此外，在数据收集装置10中，作为流式数据的零散取得的数据被赋予的时间戳是在数据收集装置10中接收到数据的时刻的时间戳。

由此，当在制造装置侧未对零散的数据赋予时间戳时，也能够按照时间序列来排列批量数据与流式数据进行汇集。

此外，数据收集装置10还具有时间序列数据发送部114，该时间序列数据发送部114将时间序列数据发送给显示时间序列数据的显示装置。

由此，能够一览显示作为时间序列数据而汇集的批量数据与流式数据。

此外，数据收集装置10还具有时间序列数据保存部115，该时间序列数据保存部115保存时间序列数据。

由此，数据收集装置10在不需要将批量数据与流式数据变换为时间序列数据之后立即发送给外部装置时，能够暂时保存时间序列数据。

上述数据收集装置10以及数据收集系统1中包含的各结构部分可以通过硬件、软件或它们的组合来实现。此外，通过上述数据收集装置10以及数据收集系统1中包含的各结构要素的协作而进行的数据收集方法也可通过硬件、软件或者它们的组合来实现。这里，所谓通过软件来实现表示通过计算机读入并执行程序来实现。

可以使用各种类型的非暂时性的计算机可读介质(non-transitory computerreadable medium)存储程序来将程序提供给计算机。非暂时性的计算机可读介质包含各种类型的有实体的存储介质(tangible storage medium)。关于非暂时性的计算机可读介质的例子，包含磁存储介质(例如，软盘、磁带、硬盘驱动器)、光磁存储介质(例如，光磁盘)、CD-ROM(Read Only Memory：只读存储器)、CD-R、CD-R/W、半导体存储器(例如，掩膜ROM、PROM(Programmable ROM)、EPROM(Erasable PROM)、闪速ROM、RAM(random access memory：随机存取存储器))。此外，可以通过各种类型的暂时性的计算机可读介质(transitorycomputer readable medium)将程序提供给计算机。关于暂时性的计算机可读介质的例子，包含电信号、光信号以及电磁波。暂时性的计算机可读介质可经由电线和光纤等有线通信路或无线通信路将程序提供给计算机。

Claims

1.一种数据收集装置，其特征在于，具有：

第1数据收集部，其接收将多个由制造装置周期性取得的第1数据汇聚在一起而批量传送的批量数据；

第2数据收集部，其接收将所述制造装置零散取得的第2数据每次都流式传送的流式数据；

数据汇集部，其将汇总接收到的批量数据中包含的多个第1数据分解为单个的数据，对各个所述第1数据赋予时间戳，并且对各个所述第2数据赋予时间戳；以及

时间序列数据排列部，其根据所述时间戳对所述第1数据以及所述第2数据进行排列，由此变换为时间序列数据。

2.根据权利要求1所述的数据收集装置，其特征在于，

所述第1数据的时间戳是在所述制造装置中取得了该第1数据的时刻的时间戳。

3.根据权利要求1或2所述的数据收集装置，其特征在于，

所述第2数据的时间戳是在所述制造装置中取得了该第2数据的时刻的时间戳。

4.根据权利要求1或2所述的数据收集装置，其特征在于，

所述第2数据的时间戳是在该数据收集装置中接收到该第2数据的时刻的时间戳。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的数据收集装置，其特征在于，

所述数据收集装置还具有时间序列数据发送部，该时间序列数据发送部将所述时间序列数据发送给显示所述时间序列数据的显示装置。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的数据收集装置，其特征在于，

所述数据收集装置还具有时间序列数据保存部，该时间序列数据保存部保存所述时间序列数据。