CN111286394A - 适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及其制备方法。硅片切削液包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1‑1％、抑泡剂0.1‑5％、无泡乳化剂0.05‑5％、杀菌抑菌剂0.1‑5％、聚乙二醇5‑40％、无泡渗透剂1‑20％、低泡清洗剂5‑10％和余量的去离子水；其中，所述抑泡剂为炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合；所述无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合。本发明的硅片切削液具有优异的抑泡作用，在循环使用过程中，不需要外加消泡剂的条件下，可以抑制泡沫的产生和较快消散泡沫，提高循环使用效果。

Description

适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及制备方法
技术领域
本发明涉及硅片切削液技术领域，更具体地说，本发明涉及一种适用于在线回收及供给循环系统的金刚线切割硅片的切削液及其制备方法。
背景技术
光伏硅片切割技术迅猛发展，电镀金刚线切割已经取代传统碳化硅刃料切割，新技术解决了碳化硅酱料的处理难题，促进了电镀金刚线切割的发展。硅片切割企业多采用大循环系统集中供液和集中处理废液措施，大循环系统具有节约切削液、统一处理废液等优点，但是大循环系统对切削液性能要求更加严格，希望在大循环系统中，经过在线过滤去除渣滓后，回收循环利用，但是普通切削液在在线回收及供给大循环系统中，过滤后循环使用，容易冒泡且消泡速度变慢，需要额外添加消泡剂，额外添加的消泡剂对循环管路容易堵塞，同时容易引起硅片脏污等问题，影响大循环的运行和硅片切割质量。
发明内容
本发明的一个目的是解决至少上述缺陷，并提供至少后面将说明的优点。
本发明的目的是解决以往金刚线切割硅片的切削液在大循环系统中，长期循环使用会导致起泡量大，泡沫消除慢，影响切割性能的问题。
为了实现根据本发明的这些目的和其它优点，本发明提供了一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1-1％、抑泡剂0.1-5％、无泡乳化剂0.05-5％、杀菌抑菌剂0.1-5％、聚乙二醇5-40％、无泡渗透剂1-20％、低泡清洗剂5-10％和余量的去离子水；
其中，所述抑泡剂为炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合；所述无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合。
优选的是，杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮、均三嗪、有机胍类杀菌剂、低毒酚类杀菌剂中的一种或者几种混合。
优选的是，无泡渗透剂为陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20、低泡脂肪醇聚氧烷基醚Plurafac LF 221中的一种或者几种混合。
优选的是，低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602、有机胺酯TPP中的一种或者两种混合。
优选的是，所述聚乙二醇为聚乙二醇200、聚乙二醇300或者聚乙二醇400中的一种。
本发明还有一个目的是提供一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液的制备方法，其采用上述的重量百分比的组分，在低于60℃的环境下，将聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌均匀，然后加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌均匀，最后加入去离子水，搅拌均匀，得到清澈溶液即为切削液。
优选的是，聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌的时间为30分钟；加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌时间为1小时；加入去离子水搅拌为1小时。
本发明至少包括以下有益效果：
一、本发明通过使用不含硅油的抑泡剂、无泡润滑剂、无泡乳化剂、无泡渗透剂、杀菌抑菌剂和低泡清洗剂，从根源上降低起泡量，并且通过无泡润滑剂三乙醇胺硼酸酯与不含硅油的抑泡剂(炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合)和无泡乳化剂(异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合)结合，具有优异的抑泡作用，在循环使用过程中，不需要外加消泡剂的条件下，可以抑制泡沫的产生和较快消散泡沫，提高在线过滤回收并循环使用效果。
二、本发明添加杀菌抑菌剂可以减少菌类腐败起泡和变质，有效延长切割液工作时间，在常温状态下，可以保持一个月不发生腐败。
三、本发明的不含硅油的抑泡剂、无泡润滑剂、无泡乳化剂、无泡渗透剂、杀菌抑菌剂、聚乙二醇和低泡清洗剂均为低电导率产品，并且在水中的溶解度非常高，使得反复使用后，有效成分损失较少，电导率变化相对缓慢，利于在线过滤除渣滓后，回收循环使用。
本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
需要说明的是，下述实施方案中所述实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，所用材料或试剂，如无特殊说明，均可从商业途径获得。
实施例和对比例中所使用设备如下：搅拌反应釜(带有自动控温装置，冷却控温装置，可调速搅拌装置，滴加装置等)。
使用前，将搅拌反应釜擦拭干净，确保没有影响反应的杂质。
实施例1
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇5％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水88.65％；
其中，抑泡剂为炔二醇和异辛醇按质量1:1混合得到；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005和FT62按质量1:1混合得到；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮和均三嗪按质量1:1混合得到；
无泡渗透剂为陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20和低泡脂肪醇聚氧烷基醚PlurafacLF 221按质量1:1:1混合得到；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602和有机胺酯TPP按质量1:1混合得到。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯、低泡清洗剂、无泡渗透剂、抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释切削液的浓度为1％，相当于用纯水稀释100倍。
实施例2
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇5％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水88.65％；
其中，抑泡剂为炔二醇和异辛醇按质量1:2混合得到；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005和FT62按质量1:2混合得到；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮和均三嗪按质量1:2混合得到；
无泡渗透剂为陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20和低泡脂肪醇聚氧烷基醚PlurafacLF 221按质量1:2:2混合得到；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602和有机胺酯TPP按质量1:1混合得到。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯、低泡清洗剂、无泡渗透剂、抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例3
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇5％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水88.65％；
其中，抑泡剂为异辛醇；
无泡乳化剂为FT625；
杀菌抑菌剂为均三嗪；
无泡渗透剂为陶氏TRITON DF-20；
低泡清洗剂为有机胺酯TPP。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例4
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇5％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水88.65％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例5
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.65％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；
聚乙二醇为聚乙二醇200。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例6
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯1％、抑泡剂5％、无泡乳化剂5％、杀菌抑菌剂5％、聚乙二醇40％、无泡渗透剂20％、低泡清洗剂10％和去离子水14％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；
聚乙二醇为聚乙二醇200。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌30min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌60min，最后加入去离子水，再搅拌60min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例7
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.5％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.25％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；
聚乙二醇为聚乙二醇200。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例8
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.5％、抑泡剂5％、无泡乳化剂5％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水58.4％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；
聚乙二醇为聚乙二醇200。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
实施例9
一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.5％、抑泡剂5％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水63.35％；
其中，抑泡剂为炔二醇；
无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；
杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；
无泡渗透剂为陶氏EH-9；
低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；
聚乙二醇为聚乙二醇200。
适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液通过如下的方法制备：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
对比例1
与实施例5中的组分和制备方法基本相同，唯一不同的是不包括三乙醇胺硼酸酯，使用去离子水代替其用量。具体为：包括抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.75％；其中，抑泡剂为炔二醇；无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；无泡渗透剂为陶氏EH-9；低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；聚乙二醇为聚乙二醇200。
制备方法为：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇200，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
对比例2：
与实施例5中的组分和制备方法基本相同，唯一不同的是不包括无泡乳化剂，使用去离子水代替其用量。具体为：包括三乙醇胺硼酸酯0.1％、抑泡剂0.1％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.7％；其中，抑泡剂为炔二醇；杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；无泡渗透剂为陶氏EH-9；低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；聚乙二醇为聚乙二醇200。
制备方法为：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇200，去离子水，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入三乙醇胺硼酸酯、低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
对比例3：
与实施例5中的组分和制备方法基本相同，唯一不同的是不包括三乙醇胺硼酸酯、抑泡剂和无泡乳化剂，使用去离子水代替其用量。具体为：包括杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.9％；其中，杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；无泡渗透剂为陶氏EH-9；低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；聚乙二醇为聚乙二醇200。
制备方法为：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，去离子水，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入低泡清洗剂、无泡渗透剂和杀菌抑菌剂去离子水搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
对比例4：
与实施例5中的组分和制备方法基本相同，唯一不同的是将三乙醇胺硼酸酯替换为蓖麻油聚氧乙烯醚，其包括:：蓖麻油聚氧乙烯醚0.1％、抑泡剂0.1％、无泡乳化剂0.05％、杀菌抑菌剂0.1％、聚乙二醇25％、无泡渗透剂1％、低泡清洗剂5％和去离子水68.65％；其中，抑泡剂为炔二醇；无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005；杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮；无泡渗透剂为陶氏EH-9；低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602；聚乙二醇为聚乙二醇200。
制备方法为：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，采用上述的重量百分比的组分，在反应釜中加入聚乙二醇，无泡乳化剂，搅拌25min，搅拌均匀后，再加入蓖麻油聚氧乙烯醚、低泡清洗剂、无泡渗透剂、抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌50min，最后加入去离子水，再搅拌70min，得到清澈溶液为切削液。使用时，用纯水稀释到切削液的浓度为1％。
对比例5：
使用前一代的切割液，其包括原料：仲辛醇聚氧乙烯醚0.1斤、蓖麻油聚氧乙烯醚1斤、烷基酚聚氧乙烯醚0.05斤、聚乙二醇PEG200 5斤、聚醚改性硅氧烷0.01斤、丙二醇嵌段聚醚1份和脂肪醇聚氧乙烯醚20斤。
制备方法为：启动反应釜，并打开温控装置控制温度在60℃内，将上述原料混合搅拌1小时，混合均匀得到均匀淡黄色粘稠液体的切削液。使用时，用纯水稀释100倍。
测试试验：
取实施例1-9的切削液和对比例1-5的切削液，用于同批次的单晶硅片切割，通过国标GB_T6144_2010方法测试其消泡性能、PH和表面张力，未使用的产品稀释1％测试的数据参见表1；实施例1-9的切削液和对比例2、4和5的切削液产品稀释1％后，应用在在线回收及供给大循环系统中，使用两周测试的数据参见表2；使用1个月测试的数据参见表3。
电导率测试是使用电导率仪进行测量，电导率仪的型号为DDS-11A，测量在标准室温(25℃)下进行，测量每一实施例和对比例制备得到的切削液按比例稀释后的电导率为产品电导率。现场试用切削液后，循环系统的浆液进行PH和电导率进行检测。
表1：未使用的产品稀释1％的测试数据如下
Figure BDA0002412756100000121
Figure BDA0002412756100000131
表2：系统使用本产品两周后，现场测试浆液的相关数据如下
Figure BDA0002412756100000132
表3：使用系统运行1个月，现场测试浆液的相关数据如下
Figure BDA0002412756100000141
结论：通过表1-3的数据可知，本发明的组分得到的切削液在反复长期使用中，电导率变化缓慢，消泡速度快，利用大循环系统反复长期使用。实施例5、实施例7、实施例8和实施例9的组分中聚乙二醇用量增加，在线回收及供给大循环系统反复长期使用中，电导率变化更为缓慢，在保持有三乙醇胺硼酸酯、抑泡剂和无泡乳化剂的搭配下，消泡速度快，更利于循环使用。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用。它完全可以被适用于各种适合本发明的领域。对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改。

Claims (7)

1.适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1-1％、抑泡剂0.1-5％、无泡乳化剂0.05-5％、杀菌抑菌剂0.1-5％、聚乙二醇5-40％、无泡渗透剂1-20％、低泡清洗剂5-10％和余量的去离子水；
其中，所述抑泡剂为炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合；所述无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合。
2.如权利要求1所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮、均三嗪、有机胍类杀菌剂、低毒酚类杀菌剂中的一种或者几种混合。
3.如权利要求2所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述无泡渗透剂为陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20、低泡脂肪醇聚氧烷基醚Plurafac LF 221中的一种或者几种混合。
4.如权利要求3所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602、有机胺酯TPP中的一种或者两种混合。
5.如权利要求4所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述聚乙二醇为聚乙二醇200、聚乙二醇300或者聚乙二醇400中的一种。
6.适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液的制备方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项的重量百分比的组分，在低于60℃的环境下，将聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌均匀，然后加入三乙醇胺磷酸酯、低泡清洗剂、无泡渗透剂、抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌均匀，最后加入去离子水，搅拌均匀，得到清澈溶液即为切削液。
7.如权利要求6所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液的制备方法，其特征在于，所述聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌的时间为30分钟；加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌时间为1小时；加入去离子水搅拌为1小时。
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