CN111239084A - 一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,该系统可以同时监测固体脉冲激光器能量和光束质量,系统包括固体脉冲激光器,比例分光镜,光束质量分析仪,比例分光镜,能量计,聚焦透镜,样品靶材,光纤耦合镜,光纤调整架,带接口的光纤,ICCD光谱仪,光谱仪控制线缆,计算机,激光器控制线缆,该系统通过分析固体脉冲激光器的稳定性,剔除固体脉冲激光器能量或光束质量波动较大时得出的实验结果,可以有效提高元素定量探测的稳定性和准确度。
Description
技术领域
本发明涉及一种激光光谱探测系统,具体涉及一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱(Laser-Induced Breakdown Spectroscopy,简称LIBS)探测系统。
背景技术
激光诱导击穿光谱(LIBS)是一种采用高能脉冲激光照射样品材料,使材料表面形成高温、高密度的等离子体,通过探测等离子体发出的光谱组成及强度,实现材料元素定性和定量分析的光谱检测技术。
传统的纳秒LIBS探测方法利用纳秒脉冲激光器作为激励源,在脉冲与样品相互作用时,通过等离子体发射谱线强度来对元素进行定量分析,由于脉冲激光的冲能量或光束质量的波动,会影响等离子体发射谱线强度的稳定性,使LIBS光谱信号重复性较差,严重影响LIBS定量探测精度。
为提高LIBS对元素的定量探测稳定性,在已公开的实验中,通过监测激励源能量,提高等离子体发射光谱稳定性,本专利提出一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱(LIBS)探测系统,通过同时监测激励源能量和光束质量,可以进一步降低激励源波动对LIBS进行元素定量分析的影响,获得更准确的元素量化结果。
发明内容
本专利目的在于提供一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱(LIBS)探测系统,该系统以固体脉冲激光器作为激励源,通过同时监测固体脉冲激光器能量和光束质量,剔除固体脉冲激光器能量或光束质量波动较大的实验结果,提高LIBS探测系统的定量探测稳定性和准确度。
为实现本发明的目的,具体技术解决方案是:
一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,包括固体脉冲激光器、比例分光镜、光束质量分析仪、能量计、聚焦透镜、光纤耦合镜、光纤调整架、ICCD光谱仪和计算机。
固体脉冲激光器前有45°放置的比例分光镜A,45°放置的比例分光镜A旁边有45°放置的比例分光镜B,45°放置的比例分光镜B前有能量计,45°放置的比例分光镜A、45°放置的比例分光镜B和能量计三者共线,45°放置的比例分光镜B旁边有光束质量分析仪,45°放置的比例分光镜A前有聚焦透镜,聚焦透镜焦点处放置样品靶材,聚焦透镜旁边有光纤耦合镜,光纤耦合镜装配在光纤调整架上,使用带接口的光纤将光纤耦合镜和ICCD光谱仪相连,使用光谱仪控制线缆将ICCD光谱仪和计算机相连,使用激光器控制线缆将固体脉冲激光器和计算机相连。
装置中:45°放置的比例分光镜A镀有近红外膜层,膜层使入射光按一定比例透射和反射;45°放置的比例分光镜B镀有近红外膜层,膜层使入射光按一定比例透射和反射;聚焦透镜镀有近红外波段的高透膜;光纤耦合镜镀有可见光波段的高透膜。
本专利是这样来实现的,其方法步骤为:
固体脉冲激光器发出脉冲激光,经过比例分光镜A分为两路:
第一路为光束稳定性分析光路,经比例分光镜A反射的第一路脉冲激光,再经过比例分光镜B按比例分为两路,其中一路经比例分光镜B反射进入光束质量分析仪,获得光束质量M2因子;另一路穿过比例分光镜B入射到能量计。
第二路为探测光路,穿过比例分光镜A的第二路脉冲激光,经聚焦透镜会聚,打到样品靶材表面,聚焦透镜的焦距等于它到样品靶材表面的距离。靶材表面产生的等离子主要由可见光波段光谱组成,经光纤耦合镜、带接口的光纤进入ICCD光谱仪,由ICCD光谱仪采集光谱传入计算机。根据靶材谱线特征,调整ICCD光谱仪与固体脉冲激光器的延迟时间。
本发明的优点在于:通过同时监测固体脉冲激光器能量和光束质量,剔除固体脉冲激光器能量或光束质量波动较大时得出的实验结果,达到了提高LIBS探测系统的定量探测稳定性和准确度的目的。
附图说明
图1为本专利的原理图,图中:1-固体脉冲激光器;2-比例分光镜A;3-光束质量分析仪;4-比例分光镜B;5-能量计;6-聚焦透镜;7-样品靶材;8-光纤耦合镜;9-光纤调整架;10-带接口的光纤;11-ICCD光谱仪;12-光谱仪控制线缆;13-计算机;14-激光器控制线缆。
具体实施方式
本专利如图1所示,一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统包括:固体脉冲激光器1,比例分光镜A2,光束质量分析仪3,比例分光镜B4,能量计5,聚焦透镜6,样品靶材7,光纤耦合镜8,光纤调整架9,带接口的光纤10,ICCD光谱仪11,光谱仪控制线缆12,计算机13,激光器控制线缆14。
固体脉冲激光器1发出脉冲激光,经过比例分光镜A2分为两路:
第一路为光束稳定性分析光路,经比例分光镜A2反射的第一路脉冲激光,再经过比例分光镜B4按比例分为两路,其中一路经比例分光镜B4反射进入光束质量分析仪3,获得光束质量M2因子;另一路穿过比例分光镜B4入射到能量计5。
第二路为探测光路,穿过比例分光镜A2的第二路脉冲激光,经聚焦透镜6会聚,打到样品靶材7表面,聚焦透镜6的焦距等于它到样品靶材7表面的距离。靶材7表面产生的等离子主要由可见光波段光谱组成,经光纤耦合镜8、带接口的光纤10进入ICCD光谱仪11,由ICCD光谱仪11采集光谱传入计算机13。根据靶材7谱线特征,调整ICCD光谱仪11与固体脉冲激光器1的延迟时间。通过同时监测固体脉冲激光器能量和光束质量,剔除固体脉冲激光器能量或光束质量波动较大时得出的实验结果,达到了提高LIBS探测系统的定量探测稳定性和准确度的目的。
Claims (5)
1.一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,它包括固体脉冲激光器(1),45°放置的比例分光镜A(2),光束质量分析仪(3),45°放置的比例分光镜B(4),能量计(5),聚焦透镜(6),光纤耦合镜(8),光纤调整架(9),ICCD光谱仪(11),计算机(12),其特征在于:固体脉冲激光器(1)出光口前方设有与出射光路成45°角放置的比例分光镜A(2),45°放置的比例分光镜A(2)旁边有与比例分光镜A(2)反射光路成45°角放置的比例分光镜B(4),45°放置的比例分光镜B(4)前方设有能量计(5),45°放置的比例分光镜A(2)、45°放置的比例分光镜B(4)和能量计(5)光入口三者几何中心共线,透过比例分光镜B(4)光进入能量计(5);45°放置的比例分光镜B(4)旁边设有接收比例分光镜B(4)反射光的光束质量分析仪(3),45°放置的比例分光镜A(2)前方设有用于聚集透过比例分光镜A光束的聚焦透镜(6),位于聚焦透镜(6)远离比例分光镜A一侧的聚焦透镜(6)焦点处放置样品靶材(7),聚焦透镜旁边设有光纤耦合镜(8),使用带接口的光纤(10)将光纤耦合镜(8)和ICCD光谱仪(11)相连,样品反射的光经光纤耦合镜传输至ICCD光谱仪,使用光谱仪控制线缆(12)将ICCD光谱仪(11)和计算机(13)相连,使用激光器控制线缆(14)将固体脉冲激光器(1)和计算机(13)相连。
2.根据权利要求1所述的一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,其特征在于:所述的45°放置的比例分光镜A(2)镀有近红外膜层,膜层使入射光按一定比例透射和反射。
3.根据权利要求1所述的一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,其特征在于:所述的45°放置的比例分光镜B(4)镀有近红外膜层,膜层使入射光按一定比例透射和反射。
4.根据权利要求1所述的一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,其特征在于:所述的聚焦透镜(6)镀有近红外波段的高透膜。
5.根据权利要求1所述的一种带有光束稳定性分析的激光诱导击穿光谱探测系统,其特征在于:所述的光纤耦合镜(8)装配在光纤调整架(9)上。
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