CN111218674B - Pecvd射频馈入电极系统及pecvd装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极与第二电极的沿延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，可实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向第一电极或第二电极的单独连通，可有效提高工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及化学气相沉积技术领域，尤其涉及一种PECVD射频馈入电极系统。
背景技术
目前PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积)射频馈入电极系统采用的工作电极的延伸方向通常为同一方向，较为常见的是处为水平方向或垂直方向。如若需要使PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换，需要将当前的工作电极拆卸，并更换为相应的的另一工作电极，步骤比较繁琐，且生产效率低下。
发明内容
本发明的目的在于：提供一种PECVD射频馈入电极系统及PECVD装置，以解决相关技术中的PECVD射频馈入电极系统的工作电极在不同角度之间切换时拆装步骤繁琐，且效率低下的问题。
一方面，本发明提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；
所述通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个所述静触端均与所述射频电极片连接，且两个所述动触端分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接；
所述动触端具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端连接，以驱动所述动触端在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端位于所述第一位置时，所述动触端与所述静触端连接，当所述动触端位于所述第二位置时，所述动触端与所述静触端分离。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述通断控制组件还包括与所述静触端连接的馈入电极，两个所述馈入电极分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端均与所述射频电极片连接。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座，各个所述馈入电极均固定于所述底座。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端与所述静触端面接触。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述动触端和所述静触端中的一个包括插片，另一个包括插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，所述插片与所述插槽插接，且所述插片与所述插槽的槽壁贴合。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述插槽由间隔且相对设置的两个弹性片形成，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弹性片均能够抵紧所述插片。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述弹性片包括支撑片，以及连接于所述支撑片的弧形片，两个所述弹性片的所述弧形片之间形成所述插槽，当所述动触端位于所述第一位置时，两个所述弧形片均能够抵紧所述插片。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，两个所述动触端均能与所述射频电极片连接，且两个所述静触端分别与所述第一电极和第二电极连接，所述通断控制组件还包括弹性连接件，所述弹性连接件分别与所述动触端连接和所述射频电极片连接。
作为PECVD射频馈入电极系统的优选技术方案，所述弹性连接件呈几字形且由金属片折弯而成，所述弹性连接件的两个自由端中的一个与所述射频电极片，另一个与对应的所述动触端连接。
另一方面，本发明提供一种PECVD装置，包括上述任一方案中的PECVD射频馈入电极系统。
本发明的有益效果为：
本发明提供一种PECVD射频馈入电极系统，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，第一电极的延伸方向与第二电极的延伸方向呈夹角设置；通断控制组件包括静触端、动触端和驱动件，两个静触端均与射频电极片连接，且两个动触端分别与第一电极和第二电极连接，或者两个动触端均与射频电极片连接，且两个静触端分别与第一电极和第二电极连接；驱动件驱动动触端在第一位置和第二位置之间切换，实现动触端与静触端连接或分离，因此通过对两个通断控制组件的动触端与静触端进行控制，无需拆装，即可使射频电极片与不同延伸方向的第一电极或第二电极单独连通，可有效提高工作效率。
附图说明
图1为本发明实施例中PECVD射频馈入电极系统的结构示意图；
图2为本发明实施例中底座与馈入电极的结构示意图一。
图3为本发明实施例中底座与馈入电极的结构示意图二
图4为本发明实施例中底座与馈入电极的结构示意图三。
图中：
1、静触端；11、第二底座；12、弹性片；121、支撑片；122、弧形片；13、插槽；
2、动触端；21、插片；211、导向面；22、第一底座；
3、气缸；
4、射频电极片；41、第一片体；42、第二片体；
5、馈入电极；
6、弹性连接件；
7、连接片；
8、底座。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
本实施例提供一种PECVD装置，用于在基材表面镀膜。该PECVD装置包括PECVD射频馈入电极系统，如图1所示，该PECVD射频馈入电极系统包括射频电极片4、第一电极(附图中未示出)、第二电极(附图中未示出)和两个通断控制组件，第一电极的延伸方向与第二电极的延伸方向呈夹角设置，其中，第一电极和第二电极用于在基材表面的镀膜，通断控制组件用于控制射频电极片4与第一电极，和/或射频电极片4与第二电极的连通与断开。
具体地，通断控制组件包括静触端1、动触端2和驱动件。本实施例中，两个动触端2均与射频电极片4连接，且两个静触端1分别与第一电极和第二电极连接，动触端2具有第一位置和第二位置，驱动件与动触端2连接，以驱动动触端2在第一位置和第二位置之间切换，当动触端2位于第一位置时，动触端2与静触端1连接，此时，射频电极片4与该动触端2对应的第一电极或第二电极连通；当动触端2位于第二位置时，动触端2与静触端1分离，此时，射频电极片4与该动触端2对应的第一电极或第二电极断开。从而，当两个通断控制组件的动触端2均位于第一位置时，射频电极片4同时与第一电极和第二电极连通，当仅与第一电极对应的通断控制组件的动触端2位于第一位置时，射频电极片4仅与第一电极连通，当仅与第二电极对应的通断控制组件的动触端2位于第一位置时，射频电极片4仅与第二电极连通，如此可实现第一电极与第二电极的单独开启或同时开启。由于第一电极和第二电极的延伸方向呈夹角设置，因此无需拆装即可使两个不同延伸方向的工作电极实现切换，有利于提高生产效率。
可以理解是，射频电极片4、动触端2和静触端1均由导电金属材料制成，从而能够实现电路导通。需要注意的是，在其他实施例中，也可以使两个静触端1均与射频电极片4连接，且两个动触端2分别与第一电极和第二电极连接。本实施例中，第一电极的延伸方向与第二电极的延伸方向之间的夹角大于零度且小于等于九十度，优选地，第一电极的延伸方向沿水平方向，第二电极的延伸方向沿垂直方向。当然，也可以根据需要设置第一电极的延伸方向和第二电极的延伸方向。
具体地，当动触端2位于第一位置时，动触端2与静触端1面接触，此时，射频电极片4与第一电极或第二电极导通；当动触端2位于第二位置时，动触端2与静触端1分离，此时，射频电极片4与第一电极或第二电极断开。本实施例中，当动触端2位于第一位置时，由于动触端2与静触端1面接触，因而能够保证动触端2和静触端1具有较大的接触面积，保证接触良好。
本实施例中，驱动件能够驱动动触端2于第一位置和第二位置之间往复运动。驱动件优选为气缸3，在其他的实施例中，气缸3还可替代为电推杆或者液压油缸等，需要注意的是，气缸3与动触端2之间绝缘。
具体地，气缸3具体为双作用气缸，气缸3包括缸体和与缸体滑动配合的活塞杆，缸体内部设置空腔，活塞杆的活塞端滑动位于空腔中，活塞杆的杆部伸出活塞腔并与动触端2固定连接，活塞端将缸体内部的空腔分隔为有杆腔和无杆腔。当无杆腔内通入高压气体时，有杆腔则相应地排出气体，活塞杆带动动触端2由第二位置向第一位置移动；当有杆腔中通入高压气体时，无杆腔则相应地排出气体，活塞杆带动动触端2由第一位置向第二位置移动。当然，在其他的实施例中，气缸3也可以采用单作用气缸，有杆腔中设置压簧，通过压簧驱动活塞杆带动动触端2由第一位置向第二位置移动。
优选地，活塞部设有磁环，气缸3的缸体上间隔设有两个磁感应开关(附图中未示出)，两个磁感应开关均用于感应磁环的位置，且分别对应第一位置和第二位置。以动触端2向第一位置移动为例，在动触端2在进行位置切换的过程中，当与第一位置对应的磁感应开关感应到磁环时，表明动触端2移动到位，该磁感应开关将信号发送给控制器，以停止给无杆腔充入高压气体。优选地，磁感应开关上设有LED灯，磁感应开关感应到磁环时，LED灯将会点亮，当与第一位置对应的磁感应开关的LED灯点亮，则代表动触端2已经准确移动至第一位置，动触端2和静触端1已经良好接触。
为了保证动触端2与静触端1面接触时连接的稳定性，本实施例中，动触端2包括插片21，静触端1设有插槽13，动触端2位于第一位置时，插片21与插槽13插接，且插片21与插槽13的槽壁贴合，当动触端2位于第二位置时，插片21与插槽13分离。当然，在其他的实施例中，也可以在动触端2上设置插槽13，在静触端1上设置插片21。
可选地，静触端1包括与第一电极或第二电极连接的第二底座11，和间隔且相对设置于第二底座11上的两个弹性片12，两个弹性片12之间形成插槽13，当动触端2位于第一位置时，两个弹性片12均能够抵紧插片21，如此可进一步增强动触端2与静触端1连接的稳定性。当然，在其他的实施例中，插槽13也可以为设置于静触端1的一侧表面的沉槽。
本实施例中，动触端2还包括设置于驱动件上的第一底座22，插片21设置于第一底座22上，第一底座22能与射频电极片4连接。优选地，插片21具有与第一底座22固接的第一端和用于和插槽13插接的第二端，为了便于插片21与插槽13顺利插接，第二端设有能引导第二端进入插槽13的导向面211。在导向面211的引导下，便于插片21顺利地插入至插槽13并使两个弹性片12张开，同时还可在一定程度上降低对插片21与插槽13安装位置的精度要求。需要注意的是，导向面211可设置为为弧面或斜面。
优选地，弹性片12包括与第二底座11连接的支撑片121，以及连接于支撑片121的弧形片122，两个弹性片12的弧形片122之间形成插槽13，当动触端2位于第一位置时，两个弧形片122均能够抵紧插片21。通过设置弧形片122，在当插片21插入插槽13时，同样能够对插片21的插接方向起到引导作用。可以理解的，当插片21未插入插槽13时，插槽13的槽宽小于插片21的厚度，当插片21插入插槽13时，两个弧形片122将产生弹性形变并被插片21向两侧挤压，以使插槽13的槽宽尺寸扩张至能够容纳插片21插入，同时，由于两个弧形片122弹性形变，弧形片122可与插片21面接触。
可选地，两个支撑片121之间的间距在沿插片21插入插槽13的方向上逐渐变大。如此设置，两个支撑片121在插槽13的入口处的间距最小，且当支撑片121在受到插片21的挤压向外侧变形时，能够提供较大的夹紧力。以保证动触端2与静触端1的插接稳定性。当然，在其他的实施例中，两个支撑片121也可平行设置。
可选地，通断控制组件还包括金属材质的弹性连接件6，两个弹性连接件6与两个动触端2一一对应设置，弹性连接件6连接动触端2和射频电极片4，具体地，连接件6连接第一底座22，弹性连接件6具有驱动动触端2由第一位置向第二位置移动的趋势。具体地，弹性连接件6呈几字形且由金属片折弯而成，几字形的开口沿插片21退出插槽13的方向开设，弹性连接件6的两个自由端中的一个与射频电极片4连接，另一个与第一底座22连接。
可选地，该通断控制组件还包括金属材质的馈入电极5和金属材质的连接片7，本实施例中，连接片7与第二底座11连接，馈入电极5与连接片7连接，且两个馈入电极5分别与第一电极和第二电极连接。PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座8，各个馈入电极5均固定于所述底座8。如图2至图4所示，馈入电极5穿设于底座8。需要注意的是，本实施例对于设置于连接片7上的馈入电极5的数量不做限定，如图1中所示，其中一个连接片7上设有两个馈入电极5，另一个连接片7上设有一个馈入电极5，但各个连接片7上设置至少一个馈入电极5。优选地，底座8具有间隔设置的第一面和第二面，设置于其中一个连接片7上的馈入电极5穿设于第一面且不超过第二面，设置于另一个连接片7上的馈入电极5穿设于第二面，如此设置，能够避免馈入第一电极和第二电极中的一个工作时，两个连接片7上的馈入电极5在较高的电压差的作用下，击穿空气而导通。
可选地，射频电极片4呈L形且由片材折弯而成，射频电极片4包括垂直连接的第一片体41和第二片体42，两个通断控制组件的弹性连接件6均与第一片体41连接，第二片体42沿插片21插入插槽13的方向延伸，并且，当两个动触端2均位于第二位置时，第一片体41和第二片体42垂直。从而，气缸3驱动对应的动触端2向第一位置移动时，弹性连接件6能够弹性形变，避免折损。
该PECVD射频馈入电极系统的工作原理如下：
两个通断控制组件的气缸3的初始位置均位于第二位置，仅当与第一电极对应的通断控制组件的气缸3驱动动触端2移动至第一位置时，此时插片21插入插槽13且被两个弹性片12抱紧，射频电极片4与第一电极导通且与第二电极断开；仅当与第二电极对应的通断控制组件的气缸3驱动动触端2移动至第一位置时，此时插片21插入插槽13且被两个弹性片12抱紧，射频电极片4与第一电极断开且与第二电极导通；当与第一电极对应的通断控制组件的气缸3驱动动触端2移动至第一位置，且与第二电极对应的通断控制组件的气缸3驱动动触端2移动至第一位置时，此时各插片21均插入对应的插槽13且被两个弹性片12抱紧，射频电极片4同时与第一电极和第二电极导通。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，包括射频电极片(4)、第一电极、第二电极和两个通断控制组件，所述第一电极的延伸方向与所述第二电极的延伸方向呈夹角设置；
所述通断控制组件包括静触端(1)、动触端(2)和驱动件，两个所述静触端(1)均与所述射频电极片(4)连接，且两个所述动触端(2)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，或者两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接；
所述动触端(2)具有第一位置和第二位置，所述驱动件与所述动触端(2)连接，以驱动所述动触端(2)在所述第一位置和所述第二位置之间切换，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)连接，当所述动触端(2)位于所述第二位置时，所述动触端(2)与所述静触端(1)分离。
2.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述通断控制组件还包括与所述静触端(1)连接的馈入电极(5)，两个所述馈入电极(5)分别与所述第一电极和所述第二电极连接，两个所述动触端(2)均与所述射频电极片(4)连接。
3.根据权利要求2所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述PECVD射频馈入电极系统还包括绝缘材质制成的底座(8)，各个所述馈入电极(5)均固定于所述底座(8)。
4.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(2)与所述静触端(1)面接触。
5.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述动触端(2)和所述静触端(1)中的一个包括插片(21)，另一个包括插槽(13)，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，所述插片(21)与所述插槽(13)插接，且所述插片(21)与所述插槽(13)的槽壁贴合。
6.根据权利要求5所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述插槽(13)由间隔且相对设置的两个弹性片(12)形成，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，两个所述弹性片(12)均能够抵紧所述插片(21)。
7.根据权利要求6所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述弹性片(12)包括支撑片(121)，以及连接于所述支撑片(121)的弧形片(122)，两个所述弹性片(12)的所述弧形片(122)之间形成所述插槽(13)，当所述动触端(2)位于所述第一位置时，两个所述弧形片(122)均能够抵紧所述插片(21)。
8.根据权利要求1所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，两个所述动触端(2)均能与所述射频电极片(4)连接，且两个所述静触端(1)分别与所述第一电极和第二电极连接，所述通断控制组件还包括弹性连接件(6)，所述弹性连接件(6)分别与所述动触端(2)连接和所述射频电极片(4)连接。
9.根据权利要求8所述的PECVD射频馈入电极系统，其特征在于，所述弹性连接件(6)呈几字形且由金属片折弯而成，所述弹性连接件(6)的两个自由端中的一个与所述射频电极片(4)，另一个与对应的所述动触端(2)连接。
10.一种PECVD装置，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的PECVD射频馈入电极系统。
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