CN111183011B

CN111183011B - 聚合物泡沫层及其制备方法

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Publication number: CN111183011B
Application number: CN201880063059.1A
Authority: CN
Inventors: 大卫·F·斯拉玛; 加思·V·安蒂拉; 布伦特·R·汉森; 托马斯·P·汉斯申; 杰伊·M·杰嫩; 杰弗里·P·卡利什; 杜伊·K·莱胡; 杰森·D·麦克纳尔蒂; 凯特琳·E·美瑞; 约瑟夫·D·鲁莱
Original assignee: 3M Innovative Properties Co
Current assignee: 3M Innovative Properties Co
Priority date: 2017-09-29
Filing date: 2018-09-17
Publication date: 2022-05-27
Anticipated expiration: 2038-09-17
Also published as: WO2019064121A1; JP7279029B2; TW201919840A; CN111183011A; JP2020535040A; US20200230911A1; TWI791617B; EP3687755A1

Abstract

本发明公开了聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至多25,700微米的厚度，具有相对的第一主表面和第二主表面，并且包括从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中至少100微米的泡沫特征结构，并且具有在‑125℃至150℃范围内的T_g，其中所述相对的第一主表面和第二主表面不含暴露的内部多孔泡孔(即，所述第一主表面和所述第二主表面中的每一者的表面积的小于10％具有任何暴露的多孔泡孔)，并且其中每个主表面的至少40面积％具有刚固化的表面；以及其制备方法。本文所述的聚合物泡沫层的示例性用途包括用于硅晶片的修整垫和减振。

Description

聚合物泡沫层及其制备方法

相关申请的交叉引用

本申请要求2017年9月29日提交的美国临时专利申请62/565773的权益，该专利申请的公开内容以引用方式全文并入本文。

背景技术

泡沫产品通常通过注塑或通过形成大的泡沫块，并且然后将块切割成片材来制备。诸如盘旋切割、热金属丝、机加工和外形切割的转换工艺通常用于在片材的表面上提供形状。此类成型表面通常表现出开孔。

制备成型泡沫的另一种常见方法是将发泡膜浇铸到浇铸辊上，以形成光滑表面的发泡膜。为了产生三维特征结构，可对膜进行压印，从而压缩膜的各部分。压缩区域中的泡孔被压碎，这永久性地破坏了泡孔结构。

制备成型泡沫的第三种方法是通过型材挤出，其中发泡聚合物通过在模头中切割有所需轮廓形状的型材模头挤出。所得的轮廓化泡沫形状在顺维方向上是连续的。此类成型泡沫的用途包括垫圈密封件。

期望可供选择的聚合物泡沫和/或用于制备聚合物泡沫的方法。

发明内容

在一个方面，本公开描述了聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至多25,700微米(在一些实施方案中，在100微米至1000微米、1000微米至6000微米、6000微米至12,700微米或甚至12,700微米至25,400微米范围内)的厚度，具有相对的第一主表面和第二主表面，并且包括从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中至少100微米(在一些实施方案中，在100微米至1000微米、1000微米至6000微米、6000微米至12,700微米或甚至12,700微米至25,400微米范围内)的泡沫特征结构，并且具有在-125℃至150℃范围内(在一些实施方案中，在-125℃至-10℃、-10℃至80℃、50℃至150℃或甚至50℃至80℃范围内)的玻璃化转变温度T_g，其中所述相对的第一主表面和第二主表面不含暴露的内部多孔泡孔(即，所述第一主表面和所述第二主表面中的每一者的表面积的小于10％具有任何暴露的多孔泡孔)，并且其中每个主表面的至少40(在一些实施方案中，至少55、60、65、70、75、80、85、90、95、96、97、98、99或甚至100)面积％具有刚固化的表面。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第一种方法，所述方法包括：

提供具有主圆周表面的旋转工具辊和挤出模头，所述挤出模头具有在所述工具辊附近间隔的模唇以在所述工具辊与所述挤出模头之间形成间隙；以及

将包含发泡剂的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇以提供所述聚合物泡沫层。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第二种方法，所述方法包括：

将包含气体的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，其中在所述聚合物与所述工具辊的所述主圆周表面的所述部分接触之前或期间中的至少一个时间将气体注入到所述聚合物中，并且其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第三种方法，所述方法包括：

将包含聚合物微球的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法，所述方法包括：

提供具有主圆周表面的旋转工具辊；

提供挤出模头，所述挤出模头具有在所述工具辊附近间隔的模唇以在所述工具辊与所述挤出模头之间形成间隙；

在所述工具辊附近提供压实辊以在所述工具辊与所述压实辊之间形成间隙；

将油注入到聚合物中，所述聚合物在挤出室中包含发泡剂、气体或聚合物微球中的至少一种；以及

将所述聚合物挤出到位于所述挤出模头与所述工具辊之间的所述间隙中，其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法，所述方法包括：

将反应性聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述反应性聚合物发泡并至少部分地聚合以提供所述聚合物泡沫层。

在另一方面，本公开描述了制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法，所述方法包括：

提供连接到所述挤出模头的挤出机；

将反应性单体引入到所述挤出机中，其中所述反应性单体在所述挤出机和所述挤出模头中至少部分地聚合以形成聚合物；以及

将所述聚合物从所述挤出模头引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的一部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

本文所述的聚合物泡沫层的示例性用途包括减振和抛光应用(例如，可用于化学机械平面化(CMP)中的抛光垫)。

附图说明

图1为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第一种方法的示例性设备。

图2为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第二种方法的示例性设备。

图3为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第三种方法的示例性设备。

图4为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的示例性设备。

图5为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的示例性设备。

图6为用于制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的示例性设备。

具体实施方式

本文所述的聚合物泡沫层具有在-125℃至150℃范围内(在一些实施方案中，在-125℃至-10℃、-10℃至80℃、50℃至150℃或甚至50℃至80℃范围内)的玻璃化转变温度T_g。玻璃化转变温度使用差示扫描量热仪(DSC)如下测定，该差示扫描量热仪以商品名“Q2000DSC”购自特拉华州纽卡斯尔的TA仪器公司(TA Instruments,New Castle,DE)。DSC程序如下：将样品冷却至-180℃，以10℃/min的温度斜坡升温至300℃。玻璃化转变温度记录为热流对温度的曲线中的拐点。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含热塑性材料。示例性热塑性材料包括聚碳酸酯、聚丙烯酸类、聚甲基丙烯酸类、弹性体、苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯(SIS)、苯乙烯-乙烯/丁烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚氯丁二烯、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)的无规共聚物、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)的嵌段共聚物、乙烯-丙烯-二烯单体橡胶、天然橡胶、乙烯丙烯橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚苯乙烯-聚乙烯共聚物、聚乙烯基环己烷、聚丙烯腈、聚氯乙烯、热塑性聚氨酯、芳族环氧树脂、无定形聚酯、无定形聚酰胺、半结晶聚酰胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)共聚物、聚苯醚合金、高抗冲聚苯乙烯、聚苯乙烯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、氟化弹性体、聚二甲基硅氧烷、聚醚酰亚胺、无定形含氟聚合物、无定形聚烯烃、聚苯醚、聚苯醚-聚苯乙烯合金或它们的混合物。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含含有至少一种无定形组分的共聚物中的至少一种的混合物。在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚异丁烯、聚烯烃共聚物、聚酰胺(例如聚酰胺6和聚酰胺66)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、含氟聚合物、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚环氧乙烷、官能化聚烯烃、乙烯乙酸乙烯酯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、聚甲醛、聚乙烯醇缩丁醛、它们的共聚物或它们的混合物。在本文所述的聚合物泡沫层的一些实施方案中，热塑性塑料为无定形或半结晶聚合物或共聚物。

在本文所述的聚合物泡沫层的一些实施方案中，聚合物具有在1至95范围内(在一些实施方案中，在1至90、1至85、1至80、1至75、1至70、5至90、5至85、5至80、5至75、5至70、10至90、10至85、10至80、10至75、10至70、20至90、20至85、20至80、20至75、20至70、25至90、25至85、25至80、25至75或甚至25至70范围内)的凝胶含量。聚合物的凝胶含量如下测定：将筛布片(316不锈钢，120×120目；购自伊利诺伊州埃尔姆赫斯特的麦克马斯特公司(McMaster-Carr,Elmhurst,IL))切割成8cm×4cm并对折以制备测量为4cm的正方形。通过在约0.7cm的边缘处折叠网并缝合那些折叠部来闭合该正方形的两个侧面。以此方式，获得在顶部处打开的笼(3cm×4cm)。放置待测试的泡沫样品，称量器在0.18克至0.22克的范围内，并将其密封在笼中。将具有密封在其中的泡沫样品的笼浸没在回流的四氢呋喃中。在24小时之后，取出笼并在真空下于70℃将其干燥四小时。然后称量笼中剩余的样品，并将该重量除以样品的原始重量，以确定泡沫的凝胶含量。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有至少35(在一些实施方案中，至少40、50、60、70、75、80、90或甚至至少100；在一些实施方案中，在35至100、40至80或80至100范围内)的肖氏D值。通过使用肖氏D/肖氏A硬度计标度数字硬度测试仪(以商品名“SHORE D/SHORE A DUROMETER SCALE DIGITAL HARDNESS TESTER”购得)，通过轻轻地将仪器压缩到泡沫中，同时注意不使泡沫表面变形来测定膜的肖氏硬度D。在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有至少1MPa(在一些实施方案中，至少5MPa、10MPa、100MPa、1000MPa或甚至至少6000MPa；在一些实施方案中，在1MPa至50MPa、50MPa至500MPa或甚至500MPa至6000MPa范围内)的压缩应力对压缩应变值。在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有小于1MPa(在一些实施方案中，至少5MPa、10MPa、100MPa、1000MPa或甚至至少6000MPa；在一些实施方案中，在1MPa至50MPa、50MPa至500MPa或甚至500MPa至6000MPa范围内)的压缩应力对压缩应变值。聚合物泡沫的压缩应力和压缩应变使用以商品名“UNIVERSAL TESTING SYSTEMS 3300”购自马萨诸塞州诺伍德的英斯特朗公司(Instron,Norwood,MA)的力学测试机来测定。将圆形或正方形横截面的聚合物泡沫样品放置在力学测试机(“UNIVERSAL TESTING SYSTEMS 3300”)的两个刚性金属板之间。该板以0.1英寸/分钟(2.54毫米/分钟)的速率压缩样品，直至达到75％的压缩应变。在测试期间，经校准的负荷传感器记录压缩样品所需的力，从而产生力对位移(或应力对应变)图。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有至少0.01MPa(在一些实施方案中，至少0.1MPa、0.5MPa、1MPa、5MPa或甚至10MPa；在一些实施方案中，在0.01MPa至0.1MPa、0.1MPa至1MPa或甚至1MPa至100MPa范围内)的屈服应力。在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有小于100MPa(在一些实施方案中，小于10MPa、5MPa、1MPa或甚至0.1MPa；在一些实施方案中，在0.01MPa至1MPa、1MPa至10MPa、或甚至10MPa至100MPa范围内)的屈服应力。通过将点沿着x轴(应变)放置在0.2％应变下，并且然后从该点延伸平行于应力对应变曲线的初始线性部分的线来测定屈服应力。这两条线的交点为屈服应力。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层在肖氏A标度上具有小于20(在一些实施方案中，至少20、15、10或甚至5；在一些实施方案中，在1至5、1至20或甚至1至50范围内)的硬度值。聚合物泡沫的硬度值使用以商品名“SHORE D/SHORE A DUROMETER SCALEDIGITAL HARDNESS TESTER”购得的肖氏D/肖氏A硬度计标度数字硬度测试仪来测定。通过将仪器轻轻地压缩到泡沫中，小心地不使泡沫表面变形来测定硬度。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层能够卷绕在1m(在一些实施方案中，75cm、50cm、25cm、10cm、5cm、1cm、5mm或甚至1mm)直径的杆上而不断裂。

在本文所述的聚合物泡沫层的一些实施方案中，特征结构包括以下形状中的至少一种：圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。在一些实施方案中，特征结构具有呈以下形状中的至少一种的横截面：圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层在其中具有孔隙率，该孔隙率具有在10微米至3000微米(在一些实施方案中，10微米至2000微米、10微米至1000微米、10微米至500微米或甚至10微米至100微米)范围内的平均泡孔尺寸(即，孔径)。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层具有基于聚合物泡沫层的总体积计至少5％(在一些实施方案中，至少10％、20％、25％、30％、40％、50％、60％或甚至至少70％；在一些实施方案中，在10％至70％、10％至60％或甚至10％至50％范围内)的总孔隙率。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含星形聚合物。示例性星形聚合物包括苯乙烯异戊二烯苯乙烯(SIS)、苯乙烯乙烯丙烯苯乙烯(SEPS)、苯乙烯乙烯丁二烯苯乙烯(SEBS)、或苯乙烯丁二烯苯乙烯(SBS)(包括它们的混合物)中的至少一种。合适的星形聚合物可例如以商品名“KRATON”购自德克萨斯州休斯敦的科腾公司(Kraton,Houston,TX)。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含增强材料(例如，织造物、非织造物、纤维、网片或膜)。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含玻璃珠、玻璃泡、玻璃纤维、磨粒、炭黑、碳纤维、金刚石颗粒、复合颗粒、纳米颗粒、矿物油、增粘剂、蜡、橡胶颗粒或阻燃剂中的至少一种。

在一些实施方案中，本文所述的聚合物泡沫层包含导热材料(例如，BN)。

制备本文所述的聚合物泡沫层的第一种方法包括：

在第一种方法的一些实施方案中，压实辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第一种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第一种方法的一些实施方案中，发泡剂包括酸(例如柠檬酸)、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。

参见图1，设备99具有带有主圆周表面111的旋转工具辊110和挤出模头112，该挤出模头具有在工具辊110附近间隔的模唇113以在工具辊110与挤出模头112之间形成间隙115。将包含发泡剂的聚合物117注入到工具辊110的主圆周表面111的部分120上。主圆周表面111的部分120靠近模唇113。聚合物117发泡以提供本文所述的聚合物泡沫层100。

制备本文所述的聚合物泡沫层的第二种方法包括：

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第二种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第二种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第二种方法的一些实施方案中，所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

参见图2，设备199具有带有主圆周表面211的旋转工具辊210和挤出模头212，该挤出模头具有在工具辊210附近间隔的模唇213以在工具辊210与挤出模头212之间形成间隙215。将包含气体的聚合物217注入到工具辊210的主圆周表面211的部分220上。主圆周表面211的部分220靠近模唇213。在聚合物217与工具辊210的主圆周表面211的部分220接触之前或期间中的至少一个时间将气体223注入到聚合物217a中。聚合物217发泡以提供本文所述的聚合物泡沫层200。

制备本文所述的聚合物泡沫层的第三种方法包括：

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第三种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第三种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第三种方法的一些实施方案中，聚合物微球包括膨胀气泡。示例性膨胀气泡可例如以商品名“EXPANCEL”购自荷兰阿姆斯特丹的阿克苏诺贝尔公司(AkzoNobel,Amsterdam,Netherlands)，或以商品名“DUALITE”购自马萨诸塞州韦斯特伍德的蔡斯公司(Chase Corporation,Westwood,MA)。

参见图3，设备299具有带有主圆周表面311的旋转工具辊310和挤出模头312，该挤出模头具有在工具辊310附近间隔的模唇313以在工具辊310与挤出模头312之间形成间隙315。将包含聚合物微球的聚合物317注入到工具辊310的主圆周表面311的部分上。主圆周表面311的部分320靠近模唇313。聚合物317发泡以提供本文所述的聚合物泡沫层300。

制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法包括：

提供具有主圆周表面的旋转工具辊；

将所述聚合物挤出到所述间隙中，其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第四种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，所述油包括羊毛脂、液体聚丙烯酸酯、液体聚丁烯、矿物油或邻苯二甲酸酯中的至少一种。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，发泡剂包括酸(例如柠檬酸)、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，聚合物微球包括膨胀气泡。示例性膨胀气泡可例如以商品名“EXPANCEL”购自阿克苏诺贝尔公司，或以商品名“DUALITE”购自蔡斯公司。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第四种方法的一些实施方案中，所述油处于大于80℃(在一些实施方案中，至少90℃、100℃、125℃、150℃、175℃、或甚至至少200℃；在一些实施方案中，在80℃至250℃、100℃至250℃、或甚至100℃至200℃范围内)的温度。

参见图4，设备399具有带有主圆周表面411的旋转工具辊410和挤出模头412，该挤出模头具有在工具辊410附近间隔的模唇413以在工具辊410与挤出模头412之间形成间隙415。靠近工具辊410的压实辊414在工具辊410与压实辊414之间形成间隙416。将油424注入到聚合物417a中，所述聚合物在挤出室430中包含发泡剂、气体或聚合物微球中的至少一种。将聚合物417挤出到间隙415中。聚合物417发泡以提供本文所述的聚合物泡沫层400。

制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法包括：

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的一些实施方案中，所述反应性聚合物在形成之后反应以增加聚合物泡沫层的分子量。在第五种方法的一些实施方案中，所述反应性聚合物反应以使聚合物泡沫层交联。在第五种方法的一些实施方案中，所述反应性聚合物与水分反应以引起聚合物泡沫层的聚合或交联。在第五种方法的一些实施方案中，所述反应性聚合物包含异氰酸酯官能团、烷氧基硅烷官能团或酮亚胺官能团。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的一些实施方案中，所述反应性聚合物包含(甲基)丙烯酸类官能团、烯丙基官能团或乙烯基官能团中的至少一种。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的一些实施方案中，包括将反应性聚合物暴露于γ辐射、电子束辐射或紫外线辐射中的至少一种，以引起聚合物泡沫层的聚合或交联中的至少一种。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第五种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第五种方法的一些实施方案中，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。参见图5，设备499具有带有主圆周表面511的旋转工具辊510和挤出模头512，该挤出模头具有在工具辊510附近间隔的模唇513以在工具辊510与挤出模头512之间形成间隙515。将反应性聚合物517注入到工具辊510的主圆周表面511的部分520上。主圆周表面511的部分520靠近模唇513。反应性聚合物517发泡并至少部分地聚合以提供本文所述的聚合物泡沫层500。

制备聚合物泡沫层的第六种方法包括：

提供连接到所述挤出模头的挤出机；

将反应性单体引入到所述挤出机中，其中所述反应性单体在所述挤出机和挤出模头中至少部分地聚合以形成聚合物；以及

将所述聚合物从所述挤出模头注入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的一部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供所述聚合物泡沫层。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，还包括将反应性聚合物注入到具有所述反应性单体的挤出机中，其中所述单体具有分子量，并且其中所述单体与所述反应性聚合物至少部分地反应以形成具有比单体的分子量更高的分子量的聚合物。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，所述反应性单体包括多异氰酸酯和多元醇，并且其中由单体和反应性多异氰酸酯的反应形成的聚合物为聚氨酯。在第六种方法的一些实施方案中，所述反应性单体还包括羟基官能化增链剂。在第六种方法的一些实施方案中，按异氰酸酯当量羟基当量数计的比率在1:1.01至1:1.2的范围内(在一些实施方案中，在1:1.01至1:1.1至1:1.05、1:1.05至1:1.0、或1:1.0至1:1.2的范围内)。在第六种方法的一些实施方案中，多元醇或多异氰酸酯中的至少一种具有大于2.0的平均官能度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括腔体阵列。在第六种方法的一些实施方案中，工具辊的主圆周表面包括突起阵列。腔体或突起的尺寸和形状可为所需的。示例性形状可包括圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。示例性横截面可包括圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。示例性尺寸可为在100微米至25,400微米范围内的高度和在100微米至25,400微米范围内的宽度。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，所述聚合物包含发泡剂。在第六种方法的一些实施方案中，所述发泡剂包含聚合物微球。在制备聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，聚合物微球为可膨胀气泡。在第六种方法的一些实施方案中，发泡剂包括酸、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。在第六种方法的一些实施方案中，所述发泡剂包含水和异氰酸酯。

在制备本文所述的聚合物泡沫层的第六种方法的一些实施方案中，所述发泡剂包括气体，所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

参见图6，设备599具有带有主圆周表面611的旋转工具辊610和挤出模头612，该挤出模头具有在工具辊610附近间隔的模唇613以在工具辊610与挤出模头612之间形成间隙615。挤出机640连接到挤出模头612。将反应性单体617a注入到挤出机640中。反应性单体617a在挤出机640和挤出模头612中至少部分地聚合以形成聚合物617。将聚合物617注入到工具辊610的主圆周表面611的一部分上。主圆周表面611的部分620靠近模唇613。聚合物617发泡以提供本文所述的聚合物泡沫层600。

本公开还描述了一种提供制品的方法，所述方法包括；

提供根据任一项A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层；以及

施加热或压力中的至少一种以永久性地使所述聚合物泡沫层的至少一个突起变形。例如，本文所述的聚合物泡沫层可穿过由两个旋转金属辊提供的辊隙，其中聚合物泡沫层的突起卷绕在被加热(例如，电加热)足以使与辊接触的突起变形的压料辊之一上，并且其中另一个压料辊处于较低温度(通常为环境温度)。

所述设备可由本领域已知的用于这些通用类型的设备的常规材料和技术制成。

关于CMP抛光应用，抛光垫厚度可与能够在适当抛光工具上进行抛光的所需厚度一致。在一些实施方案中，抛光垫厚度大于125微米(在一些实施方案中，大于150微米、200微米或甚至大于500微米；在一些实施方案中，小于40,000微米、30,000微米、20,000微米、15,000微米、10,000微米、5,000微米或甚至小于2,500微米)。抛光垫可以为各种形状(例如，圆形、正方形或六边形)中的任一种。垫可被制造成使得垫形状与在使用期间垫将附接的抛光工具的对应压板的形状一致。垫的最大尺寸(例如，圆形垫片的直径)可根据具体应用的需要而变化。在一些实施方案中，垫的最大尺寸为至少10cm(在一些实施方案中，至少20cm、25cm、30cm、40cm、50cm、或甚至至少60cm；在一些实施方案中，小于2米、1.5米、或甚至小于1米)。

在一些抛光垫实施方案中，泡沫特征结构从第一主表面延伸或延伸至第一主表面中至少100微米(在一些实施方案中，至少200微米或甚至至少300微米；在一些实施方案中，至多20,000微米、15,000微米、10,000微米或甚至至多5,000微米)。

抛光垫的聚合物泡沫层还可包括至少一个通道，其中该通道的深度大于泡沫特征结构从第一主表面延伸或延伸至第一主表面中的距离。在一些实施方案中，抛光垫的聚合物泡沫层还可包括至少多个通道，其中所述多个通道的至少一部分的深度大于泡沫特征结构从第一主表面延伸或延伸至第一主表面中的距离。所述至少一个通道可提供改善的抛光溶液分布、聚合物泡沫层柔韧性以及有利于从抛光垫移除切屑。在一些实施方案中，通道不允许流体无限地容纳在通道内(即，流体可在垫的使用期间流出通道)。

在一些实施方案中，所述至少一个通道的宽度为至少10(在一些实施方案中，至少25微米、50微米、75微米、或甚至至少100微米；在一些实施方案中，小于20,000微米、10,000微米、5,000微米、2,000微米、1,000微米、500微米、或甚至小于200微米)。在一些实施方案中，所述至少一个通道的深度为至少125微米(在一些实施方案中，至少200微米、300微米、400微米、500微米、600微米、700微米、800微米、900微米、1,000微米、1500微米、或甚至至少2,000微米；在一些实施方案中，小于25,000微米、20,000微米、15,000微米、10,000微米、8,000微米、5,000微米、3,000微米、或甚至小于1,000微米)。

该通道可通过本领域中的任何已知技术形成在抛光层中，所述技术包括但不限于机加工、压印和模制。该通道可在聚合物泡沫层的形成期间和/或通过用于形成聚合物泡沫层的相同方法形成。由于抛光泡沫层的第一主表面上的改善的表面光洁度(其有助于最小化基底缺陷(例如，在使用期间的刮痕))，压印和模制可为优选的。在一些实施方案中，在用于形成泡沫特征结构的模塑工艺中制成从聚合物泡沫层的第一主表面延伸或延伸至第一主表面中的通道。这通过在工具辊中形成通道的阴模(即，凸起区域)，然后在模制期间在聚合物泡沫层中形成通道自身来实现。这是特别有利的，因为从聚合物泡沫层的第一主表面延伸或延伸至第一主表面中的泡沫特征结构和至少一个通道可在单个工序中被制成抛光泡沫层，从而节省成本和时间。该通道可被制造形成本领域中已知的各种图案(例如，同心环、并行线、径向线、形成栅格阵列的一系列线、人字纹和螺线)。可以使用不同图案的组合。

在另一个实施方案中，本公开的抛光垫可包括子垫，其中子垫与聚合物泡沫层的第二主表面相邻。抛光垫层(例如，聚合物泡沫层和子垫可通过本领域中已知的任何技术(包括使用粘合剂(例如，压敏粘合剂(PSA)、热熔粘合剂和现场固化粘合剂)粘附在一起)。在一些实施方案中，抛光垫包括与聚合物泡沫层的第二主表面相邻的粘合剂层。结合PSA(例如，PSA转印带)使用层合工艺是用于粘附抛光垫和子垫的一种特定工艺。子垫可以是本领域中已知的那些中的任一种。子垫可以是单个层的基本上刚性的材料(例如，聚碳酸酯)或单个层的基本上可压缩的材料(例如，弹性体泡沫)。子垫还可具有至少两个层，并且可包括基本上刚性的层(例如，刚性材料或高模量材料(例如，聚碳酸酯或聚酯))和基本上顺应性的层(例如，弹性体或弹性体泡沫材料)。如果子垫包括基本上顺应性的层(例如，弹性体泡沫层，则顺应性层可具有在20肖氏硬度D至90肖氏硬度D范围内的硬度)。在一些实施方案中，顺应性层具有在125微米至5,000微米范围内(在一些实施方案中，在125微米至1000微米范围内)的厚度。

在包括具有至少一个不透明层的子垫的抛光垫的一些实施方案中，小(例如，1cm至5cm)的孔可被切割到子垫中，从而形成“窗口”。孔可被切割穿透整个子垫或仅穿透至少一个不透明层。将子垫或至少一个不透明层的切割部分从子垫移除，从而允许光传输通过这一区域。孔被重新定位成与抛光工具压板的端点窗口对准并且通过使来自工具的端点检测系统的光能够行进通过抛光垫并接触晶片来利于使用抛光工具的晶片端点检测系统。基于光的端点抛光检测系统是本领域已知的，并且可例如以商品名“MIRRA”和“REFLEXION LKCMP”购自加利福尼亚州圣克拉拉的应用材料公司(Applied Materials,Inc.,SantaClara,CA)。本文所述的抛光垫可被制成在此类工具上运行，并且在抛光垫中可包括被构造成和抛光工具的端点检测系统一起起作用的端点检测窗口。

在一些实施方案中，本文所述的抛光垫包括层合到其的子垫。子垫可包括至少一个刚性层(例如聚碳酸酯)和至少一个顺应性层(例如弹性体泡沫，刚性层的弹性模量大于顺应性层的弹性模量)。通常可通过使用PSA(例如，转印粘合剂或转印带)来将刚性层层合到聚合物泡沫层的第二主表面。顺应性层可以是不透明的并且防止端点检测所需的光传输。在层合之前或之后，可在子垫的不透明顺应性层中例如通过标准吻切方法对孔(例如，至多5cm宽乘以20cm长)进行模切或进行手工切割。将顺应性层的切割区域移除，从而在抛光垫中产生“窗口”。如果粘合剂残留物存在于孔中，那么可例如通过使用例如适当的溶剂和/或用布擦拭来将该残留物移除。抛光垫中的“窗口”被构造成使得当将抛光垫安装到抛光工具压板时，抛光垫的窗口与抛光工具压板的端点检测窗口对准。孔的尺寸通常与压板的端点检测窗口的尺寸在尺寸上相同或类似。

包括聚合物泡沫层、子垫中的任一者、以及它们的任何组合的抛光垫可包括窗口(即，允许光穿过的区域)，以使在抛光工艺中使用的标准端点检测技术(例如，晶片端点检测)成为可能。

本公开还描述了包括至少一个抛光垫和至少一种抛光溶液的抛光系统。合适的抛光溶液是本领域已知的。抛光溶液可以是水性的或非水性的。水性抛光溶液具有至少50重量％的水。非水性溶液具有小于50重量％的水。在一些实施方案中，抛光溶液是浆液(即，包含有机和/或无机磨料颗粒的液体)。抛光溶液中的有机和/或无机磨料颗粒的浓度为所需的。在一些实施方案中，抛光溶液中的有机和/或无机磨料颗粒的浓度为至少0.5重量％(在一些实施方案中，至少1重量％、2重量％、3重量％、4重量％或甚至至少5重量％；在一些实施方案中，小于30重量％、20重量％、15重量％、或甚至小于10重量％)。在一些实施方案中，抛光溶液基本上不含有机和/或无机磨料颗粒。“基本上不含有机或无机磨料颗粒”意思是抛光溶液包含不大于0.5重量％(在一些实施方案中，不大于0.25重量％、0.1重量％、或甚至不大于0.05重量％)的有机和/或无机磨料颗粒。在一些实施方案中，抛光溶液不包含有机磨料颗粒且不包含无机磨料颗粒。抛光系统可包括抛光溶液(例如，用于以下的浆液：氧化硅CMP(例如，浅沟槽隔离CMP)，金属CMP(例如，钨CMP、铜CMP和铝CMP)，阻挡CMP(例如，钽和氮化钽CMP)，以及硬质基底(例如，蓝宝石))。在一些实施方案中，抛光系统还包括待抛光或研磨的基底。

本公开还描述了一种抛光基底的方法，所述方法包括：

提供本文所述的具有工作表面的抛光垫；

提供具有第一表面的基底；

使所述抛光垫的第一工作表面与所述第一基底表面接触；以及

在维持所述抛光垫的所述工作表面与所述第一基底表面之间的接触的同时使所述抛光垫和所述基底相对于彼此移动，

其中在抛光溶液存在的情况下进行抛光。

在一些实施方案中，抛光溶液为如本文先前所述的浆液。在一些实施方案中，基底是半导体晶片。示例性半导体晶片包括介电材料、导电材料、阻挡材料和/或粘附材料或顶盖材料中的至少一种。示例性介电材料包括无机介电材料(例如，玻璃(例如，二氧化硅玻璃))或有机介电材料。示例性导电材料包括金属(例如，铜、钨、铝或银中的至少一种)。示例性顶盖材料包括碳化硅或氮化硅中的至少一种。示例性阻挡材料和/或粘附材料包括钽或氮化钽中的至少一种。抛光方法还可包括垫修整或清洁步骤，该步骤可就地进行(即，在抛光期间进行)。垫修整可使用本领域已知的并且可例如以商品名“3M CMP PAD CONDITIONERBRUSH PB33A”购自明尼苏达州圣保罗的3M公司(3M Company,St.Paul,MN)的任何垫修整器(例如，金刚石垫修整器)或刷子，和/或抛光垫的水或溶剂冲洗液。

在阻尼层合体中存在的动力间隔层在改善耗散层的阻尼性能方面是有效的。减轻重量是许多工业，尤其是运输行业中的主要需求。通过本文所述的聚合物泡沫层的发泡动力间隔件，可实现制造的重量和复杂性二者的降低。虽然刚性泡沫可被机加工成具有间隔元件，但最小化固有的浪费和额外的加工步骤大大简化了此类结构的生产。

交通工具(例如，汽车、飞机和摩托艇)的引擎、传动系和其它部分可产生机械振动，该机械振动作为结构传递噪音通过交通工具的主体传播。此类结构传递噪音可转化成空气传递噪音。在它们的动能作为空气传递噪音辐射到其它交通工具区域(例如，乘客室的内部)中之前，阻尼这些结构振动可为有用的。

通常，将诸如沥青或喷涂的塑料物质的粘弹性材料(即，单层阻尼材料)涂覆或以其它方式施加到，例如用于阻尼这些结构振动的交通工具的主体面板的表面上。主体面板和附接的粘弹性层的变形可导致粘弹性材料内的聚合物链的拉伸和/或压缩，从而导致机械能以例如结构传递振动(例如，来自引擎、轮胎/路面界面、压缩机和风扇)的形式耗散以及阻尼振动。

可通过向阻尼材料添加第二层(约束层(约束层阻尼(CLD))来实现更好的阻尼性能。选择约束层，使得其不像粘弹性材料层一样有弹性，并且可附接在粘弹性材料层或与待阻尼的面板相对的耗散层的顶部上。该约束层可例如由铝制成。当约束层附接在粘弹性材料层的顶部上时，面板的每个变形不仅导致耗散层内的聚合物链的拉伸和压缩，还导致耗散层内的剪切。因此，具有附加的约束层的阻尼材料比仅具有耗散层的阻尼材料更加有效。

用于约束层的材料增加了阻尼材料的重量，当例如在交通工具中使用时这往往不合需要。此类材料还增加了阻尼材料的抗弯刚度，当将CLD材料施加到复杂形状的结构时，这可带来挑战。

当粘弹性阻尼层或耗散层的变形通过“动力间隔件”或“支架”层放大时，还可提高阻尼材料的效率。支架层经常布置在待阻尼的面板与约束层之间，通常在支架层的一侧或两侧上具有粘弹性耗散层。一种改善效率的方式是通过使用动力间隔层来增加(一个或多个)耗散层内的应变。

在一些实施方案中，动力间隔元件具有在0.1mm至15mm范围内的高度。在一些实施方案中，基底层具有在零(无基底层存在)至多3mm范围内的厚度。

在一些实施方案中，动力间隔元件的高度(即，在动力间隔层的厚度方向上)与基底材料的高度或厚度的比率可例如大于1.1:1(在一些实施方案中，大于1.5:1、2:1、3:1、4:1、5:1、10:1、15:1、或甚至大于20:1)。往往期望动力间隔元件具有更大的高度，使得每个间隔元件的至少一个端部嵌入、粘结到、接触或紧邻耗散层。这种布置方式趋于有利于间隔件的移动，从而允许其与耗散层相互作用，使得能量在多层材料内耗散。可期望每个动力间隔元件的高度/宽度纵横比在0.3:1至20:1的范围内。一般来讲，动力间隔层的性能可随着间隔元件的高度/宽度比增加而降低，性能可随着间隔元件的高度/宽度比降低而增加。

示例性实施方案

1A.一种聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至多25,700微米(在一些实施方案中，在100微米至1000微米、1000微米至6000微米、6000微米至12,700微米或甚至12,700微米至25,400微米范围内)的厚度，具有相对的第一主表面和第二主表面，并且包括从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中至少100微米(在一些实施方案中，在100微米至1000微米、1000微米至6000微米、6000微米至12,700微米或甚至12,700微米至25,400微米范围内)的泡沫特征结构，并且具有在-125℃至150℃范围内(在一些实施方案中，在-125℃至-10℃、-10℃至80℃、50℃至150℃或甚至50℃至80℃范围内)的玻璃化转变温度T_g，其中所述相对的第一主表面和第二主表面不含暴露的内部多孔泡孔(即，所述第一主表面和所述第二主表面中的每一者的表面积的小于10％具有任何暴露的多孔泡孔)，并且其中每个主表面的至少40(在一些实施方案中，至少55、60、65、70、75、80、85、90、95、96、97、98、99或甚至100)面积％具有刚固化的表面。

2A.根据示例性实施方案1A所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含热塑性材料。

3A.根据示例性实施方案2A所述的聚合物泡沫层，其中所述热塑性材料包括聚碳酸酯、聚丙烯酸类、聚甲基丙烯酸类、弹性体、苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯(SIS)、苯乙烯-乙烯/丁烯-苯乙烯嵌段共聚物(SEBS)、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚氯丁二烯、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)的无规共聚物、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)的嵌段共聚物、乙烯-丙烯-二烯单体橡胶、天然橡胶、乙烯丙烯橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚苯乙烯-聚乙烯共聚物、聚乙烯基环己烷、聚丙烯腈、聚氯乙烯、热塑性聚氨酯、芳族环氧树脂、无定形聚酯、无定形聚酰胺、半结晶聚酰胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)共聚物、聚苯醚合金、高抗冲聚苯乙烯、聚苯乙烯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、氟化弹性体、聚二甲基硅氧烷、聚醚酰亚胺、无定形含氟聚合物、无定形聚烯烃、聚苯醚、聚苯醚-聚苯乙烯合金或它们的混合物。

4A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含至少一种含有至少一种无定形组分的共聚物。

5A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚异丁烯、聚烯烃共聚物、聚酰胺(例如聚酰胺6和聚酰胺66)、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、含氟聚合物、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚环氧乙烷、官能化聚烯烃、乙烯乙酸乙烯酯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、聚甲醛、聚乙烯醇缩丁醛、它们的共聚物或它们的混合物。

6A.根据示例性实施方案2A至5A中任一项所述的聚合物泡沫层，其中所述热塑性材料为无定形或半结晶聚合物或共聚物。

7A.根据示例性实施方案1A所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含聚合物，所述聚合物具有在1至95范围内(在一些实施方案中，在1至90、1至85、1至80、1至75、1至70、5至90、5至85、5至80、5至75、5至70、10至90、10至85、10至80、10至75、10至70、20至90、20至85、20至80、20至75、20至70、25至90、25至85、25至80、25至75或甚至25至70范围内)的凝胶含量。

8A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至少35(在一些实施方案中，至少40、50、60、70、75、80、90、或甚至100；在一些实施方案中，在35至100、40至80或80至100范围内)的肖氏D值。

9A.根据示例性实施方案6A所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至少1MPa(在一些实施方案中，至少5MPa、10MPa、100MPa、1000MPa、或甚至6000MPa；在一些实施方案中，在1MPa至50MPa、50MPa至500MPa或甚至500MPa至6000MPa范围内)的压缩应力对压缩应变值。

10A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至少0.01MPa(在一些实施方案中，至少0.1MPa、0.05MPa、1MPa、5MPa、或甚至10MPa；在一些实施方案中，在0.01MPa至0.1MPa、0.1MPa至1MPa、或甚至至少1MPa至100MPa范围内)的屈服应力。

11A.根据示例性实施方案1A至8A中任一项所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有小于20(在一些实施方案中，小于20、15、10、或甚至小于5；在一些实施方案中，在1至5、1至20或甚至1至50范围内)的硬度值。

12A.根据示例性实施方案1A至7A或10A中任一项所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有小于1MPa(在一些实施方案中，至少5MPa、10MPa、100MPa、1000MPa、或甚至小于6000MPa；在一些实施方案中，在1MPa至50MPa、50MPa至500MPa或甚至500MPa至6000MPa范围内)的压缩应力对压缩应变值。

13A.根据示例性实施方案1A、11A或12A中任一项所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有小于100MPa(在一些实施方案中，小于10MPa、5MPa、1MPa、或甚至小于0.1MPa；在一些实施方案中，在0.01MPa至1MPa、1MPa至10MPa、或甚至10MPa至100MPa范围内)的屈服应力。

14A.根据示例性实施方案1A至8A或11A至13A中任一项所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层能够卷绕在1m(在一些实施方案中，75cm、50cm、25cm、10cm、5cm、1cm、5mm、或甚至1mm)直径的杆上而不断裂。

15A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，其中所述特征结构包括以下形状中的至少一种：圆锥体、立方体、棱锥体、连续导轨、连续多向导轨、半球、圆柱体或多叶圆柱体。

16A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，其中所述特征结构具有呈以下形状中的至少一种的横截面：圆形、正方形、矩形、三角形、五边形、其他多边形、正弦、人字形或多叶形。

17A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层在其中具有孔隙率，所述孔隙率具有在10微米至3000微米(在一些实施方案中，10微米至200微米、10微米至1000微米、10微米至5000微米、或甚至10微米至1000微米)范围内的平均泡孔尺寸(即，孔径)。

18A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有基于所述聚合物泡沫层的总体积计至少5％(在一些实施方案中，至少10％、20％、25％、30％、40％、50％、60％、或甚至至少70％；在一些实施方案中，在10％至70％、10％至60％或甚至10％至50％范围内)的总孔隙率。

19A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层还包括在所述泡沫特征结构上的聚合物层，其中所述聚合物层包含聚合物，所述聚合物不同于构成所述聚合物泡沫层的聚合物。

20A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含星形聚合物。

21A.根据示例性实施方案20A所述的聚合物泡沫层，其中所述星形聚合物包括苯乙烯异戊二烯苯乙烯(SIS)、苯乙烯乙烯丙烯苯乙烯(SEPS)、苯乙烯乙烯丁二烯苯乙烯(SEBS)、或苯乙烯丁二烯苯乙烯(SBS)中的至少一种。

22A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含增强材料(例如，织造物、非织造物、纤维、网片或膜)。

23A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含玻璃珠、玻璃泡、玻璃纤维、磨粒、炭黑、碳纤维、金刚石颗粒、复合颗粒、纳米颗粒、矿物油、增粘剂、蜡、橡胶颗粒或阻燃剂中的至少一种。

24A.根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含导热材料(例如，BN)。

1B.一种减振层合体，所述减振层合体包括动力间隔件，所述动力间隔件包含根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

1C.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含发泡剂的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述挤出模唇以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2C.根据示例性实施方案1C所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

3C.根据任一项前述C示例性实施方案所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

4C.根据任一项前述C示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

5C.根据任一项前述C示例性实施方案所述的方法，其中所述发泡剂包括酸(例如柠檬酸)、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。

1D.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含气体的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，其中在所述聚合物与所述工具辊的所述主圆周表面的所述部分接触之前或期间中的至少一个时间将气体注入到所述聚合物中，并且其中所述聚合物发泡以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2D.根据示例性实施方案1D所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

3D.根据任一项前述D示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

4D.根据任一项前述D示例性实施方案所述的方法，其中所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

1E.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含聚合物微球的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2E.根据示例性实施方案1E所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

3E.根据任一项前述E示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

4E.根据任一项前述E示例性实施方案所述的方法，其中所述聚合物微球包括膨胀气泡。

1F.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

提供具有主圆周表面的旋转工具辊；

将所述聚合物挤出到位于所述挤出模头与所述工具辊之间的所述间隙中，其中所述聚合物发泡以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2F.根据示例性实施方案1F所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

3F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

4F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在所述挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。

5F.根据示例性实施方案4F所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

6F.根据示例性实施方案4F或5F所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

7F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述油包括羊毛脂、液体聚丙烯酸酯、液体聚丁烯、矿物油或邻苯二甲酸酯中的至少一种。

8F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述发泡剂包括酸(例如柠檬酸)、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。

9F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

10F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述聚合物微球包括膨胀气泡。

11F.根据任一项前述F示例性实施方案所述的方法，其中所述油处于大于80℃(在一些实施方案中，至少90℃、100℃、125℃、150℃、175℃、或甚至至少200℃；在一些实施方案中，在80℃至250℃、100℃至250℃、或甚至100℃至200℃范围内)的温度。

1G.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将反应性聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述反应性聚合物发泡并至少部分地聚合以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2G.根据示例性实施方案1G所述的方法，其中所述反应性聚合物在形成之后反应以增加所述聚合物泡沫层的分子量。

3G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述反应性聚合物反应以交联所述聚合物泡沫层。

4G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述反应性聚合物与水分反应以引起所述聚合物泡沫层的聚合或交联。

5G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述反应性聚合物包含异氰酸酯官能团、烷氧基硅烷官能团或酮亚胺官能团。

6G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述反应性聚合物包含(甲基)丙烯酸类官能团、烯丙基官能团或乙烯基官能团中的至少一种。

7G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，所述方法包括将所述反应性聚合物暴露于γ辐射、电子束辐射或紫外线辐射中的至少一种，以引起所述聚合物泡沫层的聚合或交联中的至少一种。

8G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

9G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

10G.根据任一项前述G示例性实施方案所述的方法，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在所述挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。

11G.根据示例性实施方案1G至7G中任一项所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

12G.根据示例性实施方案10G或11G所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

1H.一种制备聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

提供连接到所述挤出模头的挤出机；

将所述聚合物从所述挤出模头注入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的一部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2H.根据示例性实施方案1H所述的方法，所述方法还包括将反应性聚合物注入到具有所述反应性单体的挤出机中，其中所述单体具有分子量，并且其中所述单体与所述反应性聚合物至少部分地反应以形成具有比单体的分子量更高的分子量的聚合物。

3H.根据示例性实施方案2H所述的方法，其中所述反应性单体包括多异氰酸酯和多元醇，并且其中由所述单体和所述反应性多异氰酸酯的反应形成的聚合物为聚氨酯。

4H.根据示例性实施方案3H所述的方法，其中所述反应性单体还包括羟基官能化增链剂。

5H.根据示例性实施方案3H或4H所述的方法，其中按异氰酸酯当量羟基当量数计的比率在1:1.01至1:1.2的范围内(在一些实施方案中，在1:1.01至1:1.1至1:1.05、1:1.05至1:1.0、或1:1.0至1:1.2的范围内)。

6H.根据示例性实施方案3H至5H中任一项所述的方法，其中所述多元醇或所述多异氰酸酯中的至少一种具有大于2.0的平均官能度。

7H.根据任一项前述H示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

8H.根据任一项前述H示例性实施方案所述的方法，其中所述工具辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

9H.根据任一项前述H示例性实施方案所述的方法，所述方法还包括压实辊，所述压实辊具有在所述挤出模头附近顺维定位的主圆周表面。

10H.根据示例性实施方案9H所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括腔体阵列。

11H.根据示例性实施方案9H或10H所述的方法，其中所述压实辊的所述主圆周表面包括突起阵列。

12H.根据任一项前述H示例性实施方案所述的方法，其中所述聚合物包含发泡剂。

13H.根据示例性实施方案12H所述的方法，其中所述发泡剂包含聚合物微球。

14H.根据示例性实施方案13H所述的方法，其中所述聚合物微球为可膨胀气泡。

15H.根据示例性实施方案12H至14H中任一项所述的方法，其中所述发泡剂包括酸(例如柠檬酸)、碳酸氢盐、偶氮二甲酰胺、改性的偶氮二甲酰胺、酰肼、碳酸氢钠和柠檬酸共混物、二亚硝基五亚甲基四胺、对甲苯磺酰基酰肼、4-4’-氧基双酰肼、偶氮二甲酰胺、对甲苯磺酰基氨基脲、5-苯基四唑、5-苯基四唑类似物、肼二羧酸二异丙酯、5-苯基-3,6-二氢-1,3,4-噁二嗪-2-酮或硼氢化钠中的至少一种。

16H.根据示例性实施方案12H至15H中任一项所述的方法，其中所述发泡剂包含水和异氰酸酯。

17H.根据示例性实施方案12H至15H中任一项所述的方法，其中所述发泡剂包含气体，所述气体包括氩气、二氧化碳、氮气、丁烷(例如，正丁烷和异丁烷)、庚烷(例如，正庚烷、异庚烷和环庚烷)、己烷(例如，正己烷、新己烷、异己烷和环己烷)、辛烷(例如，正辛烷和环辛烷)、或戊烷(例如，正戊烷、环戊烷、新戊烷和异戊烷)中的至少一种。

1I.一种多层阻尼材料，所述多层阻尼材料包括：

至少一个约束层；

至少一个耗散层；以及

至少一个动力间隔层，所述至少一个动力间隔层包含至少一个根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

1J.一种提供制品的方法，所述方法包括；

提供根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层；

以及施加热或压力中的至少一种以永久性地使所述聚合物泡沫层的至少一个突起变形。

1K.一种抛光垫，所述抛光垫包括根据任一项前述A示例性实施方案所述的聚合物泡沫层。

2K.根据示例性实施方案1K所述的抛光垫，其中所述聚合物泡沫层还包括至少一个通道，其中所述通道的深度大于泡沫特征结构从第一主表面延伸或延伸至第一主表面中的距离。

3K.根据示例性实施方案1K或2K所述的抛光垫，所述抛光垫还包括子垫，其中所述子垫与所述聚合物泡沫层的第二主表面相邻。

4K.根据任一项前述K示例性实施方案所述的抛光垫，所述抛光垫具有泡沫特征结构，所述泡沫特征结构从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中(在一些实施方案中，在100微米至20,000微米的范围内)这两者中的至少一种情况。

5K.根据示例性实施方案4K所述的抛光垫，其中所述聚合物泡沫层包括从所述第一主表面延伸的泡沫特征结构。

1L.一种抛光系统，所述抛光系统包括抛光溶液和根据任一项前述K示例性实施方案所述的抛光垫。

2L.根据示例性实施方案1L所述的抛光系统，其中所述抛光溶液为浆液。

1M.一种抛光基底的方法，所述方法包括：

提供根据任一项前述K示例性实施方案所述的具有工作表面的抛光垫；

提供具有第一表面的基底；以及

使所述抛光垫的所述工作表面与所述第一基底表面接触；

在维持所述抛光垫的所述工作表面与所述第一基底表面之间的接触的同时使所述抛光垫和所述基底相对于彼此移动；以及

其中在抛光溶液存在的情况下进行抛光。

2M.根据示例性实施方案1M所述的抛光基底的方法，其中所述基底为半导体晶片。

以下实施例进一步说明了本发明的优点和实施方案，但是这些实施例中所提到的具体材料及其量以及其它条件和细节均不应被解释为是对本发明的不当限制。除非另外指明，否则所有份数和百分比均按重量计。

实施例1

使用如图1中大致所示的设备制备实施例1。挤出模头为20.3cm(8英寸)宽(以商品名“MASTERFLEX”(型号LD-40)得自德克萨斯州奥兰治的科罗炼公司(Cloeren,Orange,TX))，该挤出模头被构造成具有在上死点处定位在工具辊的顶部上的模头。将模头取向成使得模头的底部位于工具辊的后缘上。底部模唇具有3.18mm(0.125英寸)的着陆区。挤出机为3.2cm(1.25英寸)单螺杆挤出机(以商品名“KILLION”得自康涅狄格州波卡塔克的戴维斯-标准公司(Davis-Standard,Pawcatuck,CT))。所用的模头温度设定点示于下表1中。

表1

使用单个工具辊工位，其中模头安装在该辊的上死点处。将模头安装在线性滑动件上以在上下方向上移动。辊的标称直径为30.5cm(12英寸)，具有40.6cm(16英寸)的面宽。所述工具辊具有带有螺旋卷绕的内部通道的内部水冷。将32.4cm(12.75英寸)外径的铝工具壳体安装到外表面辊上。

模头的线性运动由线性致动器控制，以移动模头并控制模唇与工具辊之间的间隙。工具辊具有穿过铝壳钻孔的通孔。所述孔在所述表面处的直径为1.55mm(0.061英寸)，并且沿着所述孔的壁以6度角渐缩。该孔在中心沿两个方向间隔开3.8mm(0.15英寸)。将工具辊设定为15.6℃(60℉)的冷却温度设定点。将模唇与工具辊表面之间的间隙设定为127微米(0.005英寸)。线速度为1.5米(5英尺)每分钟。

在将聚合物进料到挤出机中之前，将其手动预混。所述聚合物为97重量％的聚丙烯(以商品名“C700-35N”得自密歇根州米德兰的陶氏化学公司(Dow Chemical,Midland,Mi))和得自新泽西州罗克威的保利菲尔公司(Polyfil Corporation,Rockaway,NJ)的3重量％的发泡剂“ECOCELL H”的树脂共混物。

将聚合物泡沫层制备成具有7mm高的发泡杆和密度减小为30％的泡沫背衬。复制未完全填充工具，因此杆顶部被倒圆。

实施例2

如实施例1中所述制备实施例2，不同的是聚合物为97重量％(以商品名“ZYTEL101”得自陶氏化学公司)和3重量％的发泡剂(“ECOCELL H”)的树脂共混物，将模唇与工具辊表面之间的间隙设定为241微米(0.0095英寸)，线速度为2.3米(7.5英尺)每分钟，并且模头温度设定点如下表2中所示。

表2

将聚合物泡沫层制备成具有3mm(0.118英寸)高的发泡杆和密度减小为30％的130微米(0.005英寸)的泡沫背衬。

实施例3

使实施例2的聚合物泡沫层通过由两个旋转金属辊提供的辊隙。聚合物泡沫层的突起在15英寸(381mm)直径的设定为420℉(216℃)的电加热辊上具有180度的包裹物。将直径为11.4英寸(290mm)的第二辊设定为70℉(21℃)。线速度为1米/分钟。辊隙间隙为0.89密耳(2.3mm)。将倒圆突起从3.6mm的高度减小至具有2.6mm高度的平坦顶部突起。此外，突起的顶部在穿过辊隙之后具有比该突起在穿过辊隙之前的直径更大的直径。

在不脱离本发明的范围和实质的情况下，本公开的可预知的变型和更改对本领域的技术人员来说将显而易见。本发明不应受限于本申请中为了说明目的所示出的实施方案。

Claims

1.一种聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至多25,700微米的厚度，具有相对的第一主表面和第二主表面，并且包括从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中至少100微米的泡沫特征结构，具有至少0.01MPa的屈服应力并且具有在-125℃至150℃范围内的玻璃化转变温度T_g，其中所述相对的第一主表面和第二主表面不含暴露的内部多孔泡孔，并且其中每个主表面的至少40面积％具有刚固化的表面。

2.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含热塑性材料。

3.根据权利要求2所述的聚合物泡沫层，其中所述热塑性材料包括聚碳酸酯、聚丙烯酸类、聚甲基丙烯酸类、弹性体、苯乙烯嵌段共聚物、苯乙烯-异戊二烯-苯乙烯、苯乙烯-乙烯/丁烯-苯乙烯嵌段共聚物、聚丁二烯、聚异戊二烯、聚氯丁二烯、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶的无规共聚物、苯乙烯和二烯苯乙烯-丁二烯橡胶的嵌段共聚物、乙烯-丙烯-二烯单体橡胶、天然橡胶、乙烯丙烯橡胶、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚苯乙烯-聚乙烯共聚物、聚乙烯基环己烷、聚丙烯腈、聚氯乙烯、热塑性聚氨酯、芳族环氧树脂、无定形聚酯、无定形聚酰胺、半结晶聚酰胺、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物、聚苯醚合金、高抗冲聚苯乙烯、聚苯乙烯共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、氟化弹性体、聚二甲基硅氧烷、聚醚酰亚胺、无定形含氟聚合物、无定形聚烯烃、聚苯醚、聚苯醚-聚苯乙烯合金或它们的混合物。

4.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含聚乙烯、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚异丁烯、聚烯烃共聚物、聚酰胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯共聚物、含氟聚合物、聚乙酸乙烯酯、聚乙烯醇、聚环氧乙烷、官能化聚烯烃、乙烯乙酸乙烯酯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚四氟乙烯、聚甲醛、聚乙烯醇缩丁醛、它们的共聚物或它们的混合物。

5.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层包含聚合物，所述聚合物具有在1至95范围内的凝胶含量。

6.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至少35的肖氏D值。

7.根据权利要求6所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有至少1MPa的压缩应力对压缩应变值。

8.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层具有小于20的硬度值。

9.根据权利要求1所述的聚合物泡沫层，所述聚合物泡沫层能够卷绕在1m直径的杆上而不断裂。

10.一种多层阻尼材料，所述多层阻尼材料包括：

至少一个约束层；

至少一个耗散层；以及

至少一个动力间隔层，所述至少一个动力间隔层包括至少一个根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

11.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含发泡剂的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

12.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含气体的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，其中在所述聚合物与所述工具辊的所述主圆周表面的所述部分接触之前或期间中的至少一个时间将气体注入到所述聚合物中，并且其中所述聚合物发泡以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

13.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将包含聚合物微球的聚合物引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

14.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

提供具有主圆周表面的旋转工具辊；

将所述聚合物挤出到位于所述挤出模头与所述工具辊之间的所述间隙中，其中所述聚合物发泡以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

15.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

将反应性聚合物注入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的所述部分靠近所述模唇，并且其中所述反应性聚合物发泡并至少部分地聚合以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

16.一种制备根据权利要求1所述的聚合物泡沫层的方法，所述方法包括：

提供连接到所述挤出模头的挤出机；

将所述聚合物从所述模头引入到所述工具辊的所述主圆周表面的一部分上，其中所述主圆周表面的一部分靠近所述模唇，并且其中所述聚合物发泡以提供根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

17.一种抛光垫，所述抛光垫包括根据权利要求1所述的聚合物泡沫层。

18.根据权利要求17所述的抛光垫，其中所述聚合物泡沫层还包括至少一个通道，其中所述通道的深度大于所述泡沫特征结构从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中的距离。

19.根据权利要求17所述的抛光垫，所述抛光垫还包括子垫，其中所述子垫与所述聚合物泡沫层的所述第二主表面相邻。

20.根据权利要求17所述的抛光垫，所述抛光垫具有泡沫特征结构，所述泡沫特征结构为从所述第一主表面延伸或延伸至所述第一主表面中这两者中的至少一种情况。

21.一种抛光系统，所述抛光系统包括抛光溶液和根据权利要求17所述的抛光垫。

22.根据权利要求21所述的抛光系统，其中所述抛光溶液为浆液。

23.一种抛光基底的方法，所述方法包括：

提供根据权利要求17所述的抛光垫；

提供具有第一表面的基底；以及

使所述抛光垫的工作表面与所述基底的所述第一表面接触；

在维持所述抛光垫的所述工作表面与所述基底的所述第一表面之间的接触的同时，使所述抛光垫和所述基底相对于彼此移动；并且

其中在抛光溶液存在的情况下进行抛光。