CN111174971A - 一种检测组件及压力传感器校准设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检测组件及其压力传感器校准设备，检测组件适用于校准至少两种压力传感器，其特征在于，该检测组件包括：第一检测站，用于校准第一压力传感器，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；以及第二检测站，用于校准第二压力传感器，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件；其中，该第一压力传感器与该第二压力传感器相异，该第一探针组件与该第二探针组件相异，且该第一密封组件与该第二密封组件相异。上述校准设备适用于对多种不同类型的压力传感器设备进行校准。

Description

一种检测组件及压力传感器校准设备

技术领域

本发明涉及压力传感器校准技术领域，特别涉及一种适用于校准压力传感器的校准设备。

背景技术

目前，压力传感器的大批量生产，在出厂前需要对其性能进行测试校准。现有的测试校准流程包括：常温测试、高温测试、次品分选、成品打码、冷却等过程。在上述过程中，传统作业方式是采用单一测试设备，依次进行单工位的测试与操作，造成工人劳动强度高，测试校准效率十分低下。且，由于不具有低温检测工位和复测工位，导致测试校准的准确度不高。

现有的单机校准设备主要采用高低温冲击机对少数器件进行测试，通过在一个密封腔体中进行高低温转换而实现。但，测试校准过程中对密封性要求较高，因此，需要工人时刻关注设备，造成测试校准容易出现异常。

另外，单机校准设备与单工位测试的测试过程可控性差、生产测试数据的可追溯性差，而且不同类型的产品需要不同的测试设备去测试，测试成本较高，且不同的测试设备占用较大的空间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测组件及其压力传感器校准设备，其能够兼容多种压力传感器的校准。

本发明提供一种检测组件，适用于校准至少两种压力传感器，该检测组件包括：第一检测站，用于校准第一压力传感器，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；以及第二检测站，用于校准第二压力传感器，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件；其中，该第一压力传感器与该第二压力传感器相异，该第一探针组件与该第二探针组件相异，且该第一密封组件与该第二密封组件相异。

作为可选的技术方案，该第一压力传感器为差压压力传感器。

作为可选的技术方案，该第一探针组件为差压探针组件，该第一载具组件为差压载具组件，该第一密封组件为差压密封组件，其中，该差压载具组件包括差压压力传感器料盘，该差压压力传感器料盘包括多个差压压力传感器芯片；该差压密封组件包括多个气接头，该多个气接头与该多个差压压力传感器芯片一一对应，校准压力经由该气接头进入对应的该差压压力传感器芯片中。

作为可选的技术方案，该差压探针组件包括第一定位柱，该差压载具组件包括第一定位孔，该第一定位柱插入该第一定位孔中，该差压探针组件与该差压载具组件相对准。

作为可选的技术方案，该差压探针组件包括第一底面，该第一底面朝向该差压载具组件，该第一底面形成内凹的第一容置腔，该第一容置腔包括第一针板，多个第一探针与多个第一预压块分别突出于该第一针板，其中，该多个第一预压块与该多个差压压力传感器芯片一一对应，该第一预压块压抵对应的该差压压力传感器芯片，避免对应的该差压压力传感器芯片晃动。

作为可选的技术方案，该第二压力传感器为绝压压力传感器。

作为可选的技术方案，该第二探针组件为绝压探针组件，该第二载具组件为绝压载具组件，该第二密封组件为绝压密封组件，其中，该绝压载具组件包括绝压压力传感器料盘，该绝压压力传感器料盘包括多个绝压压力传感器芯片；该绝压密封组件包括气腔，该气腔的一侧设置进气口，气腔的另一侧设置出气口，该另一侧朝向该绝压载具组件，校准压力自该进气口进入气腔中，经由出气口传导至该多个绝压压力传感器芯片上。

作为可选的技术方案，该绝压探针组件包括第二定位柱，该绝压载具组件包括第二定位孔，该第二定位柱插入该第二定位孔中，该绝压探针组件与该绝压载具组件相对准。

作为可选的技术方案，该绝压探针组件包括第二底面，该第二底面朝向该绝压载具组件，该第二底面形成内凹的第二容置腔，该第二容置腔包括第二针板，多个第二探针与多个第二预压块分别突出于该第二针板，其中，该多个第二预压块与该多个绝压压力传感器芯片一一对应，该第二预压块压抵对应的该绝压压力传感器芯片，避免对应的该绝压压力传感器芯片晃动。

本发明还另外提供一种压力传感器校准设备，该压力传感器校准设备包括至少一个检测工位，该至少一个检测工位具有如上所述的检测组件。

与现有技术相比，本发明提供一种检测组件及其压力传感器校准设备，适用于对多种不同类型的压力传感器设备进行校准，对应于不同的待检测的压力传感器，每一检测工位中的检测站包括两种相异的检测站，扩大了校准设备的检测范围，提高校准兼容性。

以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。

附图说明

图1为本发明的传感器校准设备的整体示意图。

图2为图1中传感器校准设备的常温检测工位的示意图。

图3为图2中检测工位的差压检测站的分解示意图。

图4为图2中差压检测工位的差压检测探针组的示意图。

图5为图2中检测工位的绝压检测站的分解示意图。

图6为图2中绝压检测站的绝压检测探针组的示意图。

图7为低温箱的示意图。

图8为高温箱的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合实施例及附图，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

图1为本发明的传感器校准设备的整体示意图。

本发明提供一种压力传感器校准设备100，适用于同时对多种不同类型的压力传感器进行校准，其包括至少一个检测工位，至少一个检测工位对不同类型的压力传感器进行校准。

如图1所示，压力传感器校准设备100依序包括上料工位1、常温检测工位2、至少一个低温箱3、低温检测工位31、至少一个高温箱4、高温检测工位41、至少一个降温箱5、复测工位6、打标工位7以及下料工位8；其中，输送轨道9贯穿整个压力传感器校准设备10，待检测的产品装载于载具中，载具沿着输送轨道依次经过常温检测工位2、至少一个低温箱3、低温检测工位31、至少一个高温箱4、高温检测工位41、至少一个降温箱5、复测工位6、打标工位7，最后，从下料工位8中流出。

本实施例中，压力传感器校准设备100的至少一个检测工位包括依序设置的常温检测工位2、低温检测工位31、高温检测工位41及复测工位6。

上料工位1包括一个4轴机器人、一条水平输送带和多个待检测的产品料盒，产品料盒经由水平输送带在压力传感器校准设备100中输入与输出。

而，为了实现压力传感器校准设备100能够同时对多种不同类型的压力传感器进行校准，常温检测工位2、低温检测工位31、高温检测工位41及复测工位6分别设置一种检测组件，所述检测组件能够对至少两种不同的压力传感器进行检测。

以常温检测工位2为例，检测组件至少包括第一检测站与第二检测站，第一检测站校准第一压力传感器，第二检测站校准第二压力传感器，第一压力传感器与第二压力传感器相异，第一检测站与第二检测站相异。当然，检测站的类型与数量不以两个为限，可依序实际的生产需求而设定。

第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件，其中，第一密封组件与第二密封组件相异，且第一探针组件与第二探针组件相异。

第一密封组件用于对第一压力传感器提供校准压力，第一探针组件对应第一压力传感器的第一引脚；第二密封组件用于第二压力传感器提供校准压力，第二探针组件对应第二压力传感器的第二引脚；校准时，第一探针组件被第一上增压气缸及第一上浮动组件带动朝向第一载具组件的第一侧移动并贴合于第一侧上，第一探针组件接触第一引脚，第一密封组件被第一下增压气缸及第一下浮动组件带动朝向第一载具组件的第二侧移动并贴合于第二侧，第一校准压力经由第一密封腔被传送至第一载具组件中的第一压力传感器中；第二探针组件被第二上增压气缸及第二上浮动组件带动朝向第二载具组件的第三侧移动并贴合于第三侧上，第二探针组件接触第二引脚，第二密封组件被第二下增压气缸及第二下浮动组件带动朝向第二载具组件的第四侧移动并贴合于第四侧，第二校准压力经由第二密封腔被传送至第二载具组件中的第二压力传感器中。

继续参照图1与图7，至少一个低温箱3用于提供低温测试环境，对待测产品料盒暴露在低温环境后的性能进行校准。至少一个低温箱3的数量为3个，包括第一、第二、第三低温箱，第一个低温箱用于提供第一低温温度区间，第二低温箱用于提供第二低温温度区间，第三低温箱用于提供第三低温温度区间，其中，第一低温温度区间至第三低温温度区间的温度依次增大，即，第一低温箱至第三低温箱内的温度依次升高。第一低温箱靠近常温检测工位2，第三低温箱靠近低温检测工位31。采用多个低温箱，对低温温度区间进行分段控制，避免低温测试是产品料盒表面因低温出现结霜的问题。此外，基于温度控制原理，从低温朝向高温升温较高温朝向低温降温要快，低温箱的温度依次增大，有利于提高压力传感器校准设备100整体的校准效率。

此外，低温箱3中设置窗口32，传送轨道9设置于低温箱3中并经由窗口32延伸进入下一检测工位。其中，传送轨道9包括滑槽91，绝压载具组件、差压载具组件分别嵌设于滑槽91中，并可在滑槽中滑动。进一步，传送轨道9包括多个区段，多个区段之间通过连接件92进行拼接，连接件92对应设置固定凹部，各区段的一端卡入固定凹部中，再通过螺丝锁固的方式进行固定。

低温检测工位31与至少一个低温箱3紧靠设置，低温检测工位31用以对降温操作后的压力传感器进行校准，其中，低温检测工位31中的检测站的结构与常温检测工位的2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。此外，低温检测工位31设置低温密封箱，低温密封箱将上述第一、第二检测站密封于其中，使得测试时，待测产品料盒维持在相对低的温度下进行校准。

继续参照图1与图8，至少一个高温箱4设置于低温检测工位31之后，至少一个高温箱4用于提供高温环境，待测产品料盒暴露于高温测试环境中。至少一个高温箱4的数量为3个，包括第一、第二、第三高温箱。第一个高温箱用于提供第一高温温度区间；第二高温箱用于提供第二高温温度区间；第三高温箱用于提供第三高温温度区间；其中，第一高温温度区间至第三高温温度区间依次降低，即，第一高温箱至第三高温箱中的温度区间依次降低。第一高温箱靠近低温检测工31，第三高温箱靠近高温检测工位41。由于三个高温箱中的温度区间依次降低，在温度控制上更容易实现，此外，也有利于提高压力传感器校准设备100整体的校准效率。

高温检测工位41与至少一个高温箱4紧靠设置，高温检测工位41用以对升温操作后的压力传感器进行校准，其中，高温检测工位41中的检测站的结构与常温检测工位的2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。高温检测工位41包括高温密封箱42，高温密封箱42将上述检测站密封于其中，使得待检测产品料盒维持在较高的温度进行校准。此外，高温密封箱42上设置窗口43，传送轨道9自窗口43中伸出延伸进入下一检测工位。

高温检测工位41之后设置至少一个降温箱5，至少一个降温箱5用于对经过高温检测工位41后的产品料盒进行降温操作。本实施例中，至少一个降温箱5的数量为4个，其包括若干个离子风机和若干钣金件组件，通过离子风机对产品料盒进行风冷操作。

复测工位6设置于至少一个降温箱5之后，复测工位6的检测站与常温检测工位2中的检测站的结构相似，可参照常温检测工位2的相关说明。

此外，压力传感器校准设备100还包括打标工位7与下料工位8，其中，打标工位7包括一台激光打标机、一台工控机、一个显示器；下料工位8与上料工位1相邻，两者共同使用一个4轴机器人，配合输送线对产品实现上下料的功能。

为使更清晰的理解本发明的压力传感器校准设备100的校准不同类型的压力传感器操作过程，以下以压力传感器校准设备100能够实现校准差压型压力传感器与绝压型压力传感器为例进行说明。

需要说明是，本发明提供的压力传感器校准设备100不以能够校准差压型压力传感器与绝压型压力传感器为限，通过更换对应的探针组件与密封组件可使得压力传感器校准设备100校准多种不同类型的压力传感器。

图2为图1中传感器校准设备的常温检测工位的示意图；图3为图2中检测工位的差压检测站的分解示意图；图4为图2中差压检测工位的差压检测探针组的示意图。

本发明中，以压力传感器校准设备100对差压型压力传感器102和绝压型压力传感器202的校准为例进行说明，其中，常温检测工位2、低温检测工位31、高温检测工位41以及复测工位6中任一检测工位中的检测组件均分别包括差压型检测站A与绝压型检测站B。

以下将以常温检测工位2的检测组件中差压检测站A与绝压型检测站B为例进行说明，检测站的结构及校准过程。

如图2所示，差压型检测站A与绝压型检测站B及围绕差压型检测站A与绝压型检测站B设置的常温箱体(未图示)，即，差压型检测站A与绝压型检测站B设置于常温箱体的内部。本实施例中，差压型检测站A与绝压型检测站B平行设置。

差压型检测站A自上而下包括第一上增压气缸10、第一上浮动组件11、第一导轴12、第一直线轴承13、差压探针组件14、差压载具组件15、差压密封组件16、第一下浮动组件17以及第一下增压气缸18；其中，第一上增压气缸10、第一导轴12、第一直线轴承13及差压探针组件14依次连接，差压探针组件14在第一上增压气缸10、第一导轴12及第一直线轴承13的共同作用下可相对差压载具组件15的第一侧进行往复移动；差压密封组件16、第一下浮动组件17及第一下增压气缸18依次连接，差压密封组件16在第一下浮动组件17及第一下增压气缸18的共同作用下可相对差压载具组件15的第二侧进行往复移动，第二侧与第一侧相背。

绝压型检测站B自上而下包括第二上增压气缸20、第二上浮动组件、第二导轴、第二直线轴承、绝压探针组件24、绝压载具组件25、绝压密封组件26、第二下浮动组件17以及第二下增压之28；其中，第二上增压气缸20、第二导轴、第二直线轴承及绝压探针组件24依次连接，绝压探针组件24在第二上增压气缸、第二导轴及第二直线轴承的共同作用下可相对绝压载具组件25的第三侧进行往复移动；绝压密封组件26、第二下浮动组件27及第二下增压气缸28依次连接，绝压密封组件26在第二下浮动组件27及第二下增压气缸28的共同作用下可相对绝压载具组件25的第四侧进行往复移动，第三侧与第四侧相背。

继续参照图2，第一上增压气缸10及第二上增压气缸20分别连接于上固定板30；上固定板30的下方设置上支撑板50，上支撑板50的下方设置连接板40，第一导轴12与第二导轴分别穿设于连接板40中并分别与对应的第一探针组件14及第二探针组件24相互连接。第一上浮动组件11与第二上浮动组件(未图示)设置于上固定板30与连接板40之间。

固定底板60设置在连接板40的下方，中间支撑板70设置于连接板40与固定底板60之间，其中，连接板40与固定底板60之间的空间用于对压力传感器进行校准操作，具体的，差压探针组件14、差压载具组件15及差压密封组件16，绝压探针组件24、绝压载具组件25及绝压密封组件26分别位于上述空间中。

下固定板80设置在固定底板60的下方，下固定板80与固定底板60之间设置下支撑板90，其中，第一下浮动组件17与第二下浮动组价(未图示)分别位于固定底板60与下固定板80之间。第一下增压气缸18与第二下增压气缸28分别固定于下固定板80远离固定底板60的一侧。

另外，差压探针组件14与差压密封组件15之间以及绝压探针组件24与绝压密封组件25之间设置传送轨道9，差压载具组件15及绝压载具组件25分别嵌设于传送轨道9的滑槽91中(如图7所示)，并可沿着滑槽91滑动，以实现待校准料盘的输入与输出。

图3为图2中检测工位的差压检测站的分解示意图；图4为图2中差压检测工位的差压检测探针组的示意图。

如图3及图4所示，差压探针组件14包括第一定位柱141，第一定位柱141对应于差压载具组件15上第一定位孔151，当差压探针组件14朝向差压载具组件15的第一侧移动并贴合于第一侧的过程中，第一定位柱141进入第一定位孔151，使得差压探针组件14与差压载具组件15对准。较佳的，第一定位柱141设置于差压探针组件14的对角线上，以提高差压探针组件14与差压载具15的对准精度。

差压探针组件14的第一底面142朝向差压载具组件15，第一底面142上形成有内凹的第一容置腔143，当差压探针组件14贴合于差压载具组件101的第一侧，差压传感器料盒101的差压传感器芯片102部分进入第一容置腔143中。

第一容置腔143具有第一针板1431，多个第一探针144与多个第一预压块145分别突出于第一针板1431，其中，每一个差压压力传感器芯片102通过一个第一预压块145压抵，以避免第一探针144与第一引脚1021接触时，差压压力传感器芯片102晃动，造成接触不良。本实施例中，每一个第一预压块145对应两排第一探针144，每一排第一探针144的数量为3个。在本发明其他实施例中，第一探针144的数量可以依据产品的结构进行调整，不以上述为限。

另外，第一容置腔143中还包括第一密封槽1432，第一探针144顶部齐平或者略低于第一密封槽1432的顶部，第一密封槽1432高于第一针板1431。本实施例中，第一密封槽1432围绕第一探针144与第一预压块145设置，但不以此为限。第一密封槽1432用以避免差压探针组件14朝向差压载具组件15移动的过程中，第一探针144撞击第一引脚1021导致差压压力传感器芯片102损伤。第一密封槽1432例如可以是弹性材料。另外，差压探针组件14贴于差压载具组件14的第一侧，第一密封槽1432用于对差压压力传感器料盒101进行密封。

差压载具组件15包括载板及设置在载板上的差压压力传感器料盒101，载板包括多个第一容置孔152，多个第一容置孔152与差压压力传感器料盒101中差压传感器芯片102一一对应，差压压力传感器芯片102的下端1022穿过第一容置孔152朝向差压密封组件16延伸。此外，差压载具组件15的载板上设置第一料盒定位柱153，对应的差压压力传感器料盒101上设置第一料盒定位孔(未图示)，第一料盒定位柱153与第一料盒定位孔相互配合辅助差压载具组件15的载板与差压压力传感器料盒101组装定位。

差压密封组件16包括多个气接头，多个气接头与多个差压压力传感器芯片102一一对应，每一气接头的出口161与每一压压力传感器芯片102的下端1022相对应，下端1022部分进入出口161中，气接头的入口162与外界相互连通，外界的校准压力通过入口162进入气接头中经由出口161进入差压压力传感器芯片102的下端1022，进而将外界的校准压力传递至差压压力传感器芯片102的内部进行校准。

本实施例中，差压密封组件16中提供的多个气接头对应于差压压力传感器料盒101上的多个差压压力传感器芯片102，即，每一差压压力传感器芯片102的校准压力通过一个单独的气接头与外界的校准压力连通。

差压检测站A对差压压力传感器芯片102校准时，首先，第一下增压气缸18与第一下浮动组件17相互作用，带动差压密封组件16朝向载具组件15的第二侧移动并贴合于第二侧，差压密封组件16中的出口161套设于差压传感器芯片102的下端1022上；其次，第一上增压气缸10与第一上浮动组件11等相互作用，带动差压探针组件14朝向差压载具组件15的第一侧移动并贴合于第一侧，第一定位柱141插入第一定位孔151中，差压探针组件14与差压载具组件15相互对准，差压压力传感器料盒101部分进入第一容置腔143中，第一预压块144压低差压压力传感器芯片102上，探针145接触第一引脚1022；然后，将外界的校准压力通过差压密封组件16的气接头的入口162中导入气接头，经由出口161进入差压压力传感器102的下端1022中，继续进入差压压力传感器102的内部；最后，通电状态下，差压压力传感器102将校准压力所产生的压力信号转换为电信号并经由第一引脚1021输出，再通过电子设备对电信号判断，以获得校准结果。

测试完成后，第一下增压气缸18与第一下浮动组件17相互作用，带动差压密封组件16朝向远离差压载具组件15的第二侧移动；以及，第一上增压气缸10与第一上浮动组件11等相互作用，带动差压探针组件14朝向远离差压载具组件15的第一侧移动；使得差压载具组件15在传送带的作用下可沿着滑槽92移动进入下一校准步骤，例如低温箱中，进行降温操作。

本发明中定义，差压密封组件16朝向或者远离差压载具组件15移动的过程为“往复移动”，同样的，差压探针组件14朝向或者远离差压载具组件15移动的过程为“往复移动”。

图5为图2中检测工位的绝压检测站的分解示意图；图6为图2中绝压检测站的绝压检测探针组的示意图。

如图5及图6所示，绝压探针组件24包括第二定位柱241，第二定位柱241对应于绝压载具组件25上第二定位孔251，当绝压探针组件24朝向绝压载具组件25的第三侧移动并贴合于第三侧的过程中，第二定位柱241进入第二定位孔251，使得绝压探针组件24与绝压载具组件25对准。较佳的，第二定位柱241设置于绝压探针组件24的对角线上，以提高绝压探针组件24与绝压绝压载具25的对准精度。

绝压探针组件24的第二底面242朝向绝压载具组件25，第二底面242上形成有内凹的第二容置腔243，当绝压探针组件24贴合于绝压载具组件25的第三侧，绝压压力传感器料盒201的上侧的第二引脚2021进入第二容置腔243中。

第二容置腔243具有第二针板2431，多个第二探针244与多个第二预压块245分别突出于第二针板2431，其中，每一个绝压压力传感器芯片202通过一个第二预压块245压抵，以避免第二探针244与第二引脚2021接触时，绝压压力传感器芯片202晃动，造成接触不良。本实施例中，每一个第二预压块245对应两排第二探针244，每一排第二探针244的数量为3个。第二探针244的数量可以依据产品的结构进行调整。

另外，第二容置腔243中还包括第二密封槽2432，第二探针244顶部齐平或者略低于第二密封槽2432的顶部，第二密封槽2432高于第二针板1431。本实施例中，第一密封槽1432围绕第二探针244与第二预压块245设置，但不以此为限。第二密封槽2432用以避免绝压探针组件24朝向绝压载具组件25移动的过程中，第二探针244撞击第二引脚2021导致绝压压力传感器芯片202损伤。第二密封槽2432例如可以是弹性材料。另外，绝压探针组件24贴于绝压载具组件24的第三侧，第二密封槽2432用于对绝压压力传感器料盒201进行密封。

绝压载具组件25包括载板及设置在载板上的绝压压力传感器料盒201，载板包括多个第二容置孔252，多个第二容置孔252与绝压压力传感器料盒201中绝压传感器芯片202一一对应，绝压压力传感器芯片202的上部嵌设于第二容置孔252中，第二引脚2021叠置于绝压载具组件25的第三侧上。此外，绝压载具组件25的载板上设置第二料盒定位柱253，对应的绝压压力传感器料盒201上设置第二料盒定位孔(未图示)，第二料盒定位柱253与第一料盒定位孔相互配合辅助绝压载具组件25的载板与绝压压力传感器料盒201组装定位。第二容置孔252例如为贯穿槽，其与绝压密封组件26上侧的内凹槽262相互连通。

绝压密封组件26包括气腔，气腔的一侧设置进气口264，气腔的另一侧设置出气口(未图示)，出气口通常设置气腔朝向绝压载具组件25的一侧。本实施例中，出气口设置于绝压密封组件26的顶面261上，顶面261朝向绝压载具组件25。顶面261上设置内凹槽262，出气口位于内凹槽262的底部。此外，内凹槽262中设置多个导流块263，导流块263将出气口中的气压均匀的导向绝压压力传感器料盒201中绝压压力传感器202。此外，内凹槽262的顶部与绝压载具组件25的第四侧相互贴合，使得绝压密封组件26与绝压载具组件25的第四侧之间形成密封状态。

本实施例中，多个导流块263之间间隔设置，并实行多个导流通道，进而将出气口中的压力均匀的分配至绝压压力传感器202中。

本实施例中，绝压密封组件26中通过一个气腔朝向绝压压力传感器料盒201中的多个绝压压力传感器芯片202提供校准压力。

绝压检测站B对绝压压力传感器芯片202校准时，首先，第二下增压气缸28与第二下浮动组件27相互作用，带动绝压密封组件26朝向绝压载具组件25的第四侧移动并贴合于第四侧；其次，第二上增压气缸20与第二上浮动组件等相互作用，带动绝压探针组件24朝向绝压载具组件25的第三侧移动并贴合于第三侧，第二定位柱241插入第二定位孔251中，绝压探针组件24与绝压载具组件25相互对准，绝压压力传感器料盒201上的第二引脚2021进入第二容置腔243中，第二预压块244压低绝压压力传感器芯片202上，第二探针245接触第二引脚2021；然后，将外界的校准压力通过绝压密封组件26的进气口264中导入，经由出气口导出至内凹槽262中，藉由导流块263将压力均匀的导向至绝压压力传感器202；最后，通电状态下，绝压压力传感器202将校准压力所产生的压力信号转换为电信号并经由第二引脚2021输出，再通过电子设备对电信号判断，以获得校准结果。

测试完成后，第二下增压气缸28与第二下浮动组件27相互作用，带动绝压密封组件26朝向远离绝压载具组件25的第四侧移动；以及，第二上增压气缸20与第二上浮动组件等相互作用，带动绝压探针组件24朝向远离绝压载具组件25的第三侧移动；使得绝压载具组件25在传送带的作用下可沿着滑槽92移动进入下一校准步骤，例如低温箱中，进行降温操作。

本发明中定义，绝压密封组件26朝向或者远离绝压载具组件25移动的过程为“往复移动”，同样的，绝压探针组件24朝向或者远离绝压载具组件25移动的过程为“往复移动”。

综上，本发明提供一种检测组件及其压力传感器校准设备，适用于对多种不同类型的压力传感器设备进行校准，对应于不同的待检测的压力传感器，每一检测工位中的检测站包括两种相异的检测站，扩大了校准设备的检测范围，提高校准兼容性。

当然，本发明还可有其他多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种检测组件，适用于校准至少两种压力传感器，其特征在于，该检测组件包括：

第一检测站，用于校准第一压力传感器，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；以及

第二检测站，用于校准第二压力传感器，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件；

其中，该第一压力传感器与该第二压力传感器相异，该第一探针组件与该第二探针组件相异，且该第一密封组件与该第二密封组件相异。

2.如权利要求1所述的检测组件，其特征在于，该第一压力传感器为差压压力传感器。

3.如权利要求2所述的检测组件，其特征在于，该第一探针组件为差压探针组件，该第一载具组件为差压载具组件，该第一密封组件为差压密封组件，其中，该差压载具组件包括差压压力传感器料盘，该差压压力传感器料盘包括多个差压压力传感器芯片；该差压密封组件包括多个气接头，该多个气接头与该多个差压压力传感器芯片一一对应，校准压力经由该气接头进入对应的该差压压力传感器芯片中。

4.如权利要求3所述的检测组件，其特征在于，该差压探针组件包括第一定位柱，该差压载具组件包括第一定位孔，该第一定位柱插入该第一定位孔中，该差压探针组件与该差压载具组件相对准。

5.如权利要求3所述的检测组件，其特征在于，该差压探针组件包括第一底面，该第一底面朝向该差压载具组件，该第一底面形成内凹的第一容置腔，该第一容置腔包括第一针板，多个第一探针与多个第一预压块分别突出于该第一针板，其中，该多个第一预压块与该多个差压压力传感器芯片一一对应，该第一预压块压抵对应的该差压压力传感器芯片，避免对应的该差压压力传感器芯片晃动。

6.如权利要求1所述的检测组件，其特征在于，该第二压力传感器为绝压压力传感器。

7.如权利要求6所述的检测组件，其特征在于，该第二探针组件为绝压探针组件，该第二载具组件为绝压载具组件，该第二密封组件为绝压密封组件，其中，该绝压载具组件包括绝压压力传感器料盘，该绝压压力传感器料盘包括多个绝压压力传感器芯片；该绝压密封组件包括气腔，该气腔的一侧设置进气口，气腔的另一侧设置出气口，该另一侧朝向该绝压载具组件，校准压力自该进气口进入气腔中，经由出气口传导至该多个绝压压力传感器芯片上。

8.如权利要求7所述的检测组件，其特征在于，该绝压探针组件包括第二定位柱，该绝压载具组件包括第二定位孔，该第二定位柱插入该第二定位孔中，该绝压探针组件与该绝压载具组件相对准。

9.如权利要求7所述的检测组件，其特征在于，该绝压探针组件包括第二底面，该第二底面朝向该绝压载具组件，该第二底面形成内凹的第二容置腔，该第二容置腔包括第二针板，多个第二探针与多个第二预压块分别突出于该第二针板，其中，该多个第二预压块与该多个绝压压力传感器芯片一一对应，该第二预压块压抵对应的该绝压压力传感器芯片，避免对应的该绝压压力传感器芯片晃动。

10.一种压力传感器校准设备，其特征在于，该压力传感器校准设备包括至少一个检测工位，该至少一个检测工位具有如权利要求1-9中任一一项所述的检测组件。

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