CN111128806A - 一种轨道式晶圆清洗干燥机器人 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架、分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，第一保持轨道转动设有第一移料轨道，第二保持轨道转动设有第二移料轨道，还包括清洗槽和清洗干燥槽，清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理；本发明利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。

Description

一种轨道式晶圆清洗干燥机器人

技术领域

本发明涉及一种轨道式晶圆清洗干燥机器人。

背景技术

在半导体集成电路的生产过程中，晶圆清洗、干燥是出现频率最高的生产工序，其清洗、干燥质量直接影响到最终芯片的良率。目前，晶圆片清洗干燥最先进的方式为Marangoni（马兰戈尼）干燥法，其通过将晶圆提拉出去离子水表面时，向晶圆和去离子水接触的弯液面喷射高温的IPA蒸汽和氮气混合气体以诱导水与晶圆片表面产生马兰戈尼效应，从而达到对晶圆进行干燥的目的。现有晶圆的干燥处理均采用间断式的生产方式，生产效率较低，不利于自动化生产。

发明内容

本发明的目的在于克服以上所述的缺点，提供一种轨道式晶圆清洗干燥机器人。

为实现上述目的，本发明的具体方案如下：

一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架、两个分别设于机架左右两端的左滑台转移机构和右滑台转移机构，以及多个挂具机构、并排设于机架上且位于左滑台转移机构和右滑台转移机构之间的第一保持轨道和第二保持轨道，所述左滑台转移机构和右滑台转移机构均用于承载挂具机构以及用于转移挂具机构，多个所述挂具机构分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道转动设置有第一移料轨道，所述第二保持轨道转动设置有第二移料轨道，所述第一保持轨道上还固定有用于驱动第一移料轨道转动的第一驱动件，所述第二保持轨道上还固定有用于驱动第二移料轨道转动的第二驱动件；

所述第一移料轨道用于将左滑台转移机构或右滑台转移机构上的挂具机构转移至第一保持轨道上，同时带动承载于第一保持轨道上的挂具机构步进式移动至右滑台转移机构或左滑台转移机构上；所述第二移料轨道用于将右滑台转移机构或左滑台转移机构的挂具机构转移至第二保持轨道，同时带动承载于第二保持轨道上的挂具机构步进式移动至左滑台转移机构或右滑台转移机构上；

还包括并排设于机架上的清洗槽和清洗干燥槽，所述清洗槽和清洗干燥槽均位于第一保持轨道或第二保持轨道的下方，所述清洗干燥槽的两内侧壁上设有喷气组件，所述喷气组件用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。

其中，所述第一保持轨道和第二保持轨道的结构相同，所述第一保持轨道和第二保持轨道均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板以及两个对应设于两个第一侧立板上的第二侧立板，第一侧立板固定连接在机架上，所述第二侧立板固定在第一侧立板的顶端；

所述第一移料轨道与第二移料轨道的结构相同，所述第一移料轨道和第二移料轨道均包括四个移料摆动架以及两个移料定位板，四个所述移料摆动架设于两个第一侧立板之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架的一端转动连接在第一侧立板上，所述移料摆动架的另一端转动连接在移料定位板上，每个所述移料定位板的两端分别对应与移料摆动架连接，所述第一驱动件的输出端与第一移料轨道的移料摆动架传动连接，所述第二驱动件的输出端与第二移料轨道的移料摆动架传动连接。

其中，所述第二侧立板上间隔设有两个第一定位槽，所述移料定位板上间隔设有三个第二定位槽，相邻两个第二定位槽的间隔距离与两个第一定位槽的间隔距离相等。

其中，所述左滑台转移机构和右滑台转移机构的结构相同，两者均包括直线电机本体和挂具转移板，所述直线电机本体固定在机架上，所述挂具转移板的一端固定在直线电机本体的输出端，所述挂具转移板的另一端设有U形缺口，所述U形缺口的口径大于两个移料定位板之间的距离。

其中，所述喷气组件包括喷气固定座、旋转喷管以及用于驱动旋转喷管旋转的第三驱动件，所述喷气固定座设于清洗干燥槽的内侧壁，所述喷气固定座具有进气嘴和用于与旋转喷管的形状配合的容置槽，所述旋转喷管的两端转动连接在喷气固定座上，所述旋转喷管的一侧延伸有圆弧导板，所述圆弧导板活动嵌入容置槽内并与容置槽形成有腔体，所述旋转喷管还设有喷口，所述喷口沿旋转喷管的长度方向贯穿旋转喷管和圆弧导板后与腔体连通，所述进气嘴与腔体连通，所述旋转喷管的另一侧突伸出容置槽，所述第三驱动件固定在喷气固定座的一端，所述第三驱动件的输出端与旋转喷管的一端连接。

其中，所述挂具机构包括有T形的悬挂臂和环状的挂框，所述悬挂臂的竖直端连接在挂框的外环壁上，所述挂框上嵌设有四个卡紧组件，四个所述卡紧组件呈十字形分布，所述卡紧组件包括电磁铁、卡紧弹簧和卡爪，所述电磁铁嵌设在挂框内，所述卡爪的一端活动嵌设在挂框内，所述卡紧弹簧的两端分别抵靠在电磁铁和卡爪的一端上；所述卡爪的自由端部内凹形成有凹槽，所述凹槽沿卡爪的宽度方向贯穿卡爪的两侧，所述凹槽的侧壁呈弧形设置。

本发明的有益效果为：与现有技术相比，本发明利用左、右滑台转移机构，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是第一保持轨道与第一移料轨道或第二保持轨道与第二移料轨道配合的结构示意图；

图3是本发明中清洗干燥槽与喷气组件配合的结构示意图；

图4是本发明中挂具机构的结构示意图；

图5是图4中I处的局部放大示意图；

图6是本发明中喷气组件的分解示意图；

图7是图6中II处的局部放大示意图；

附图标记说明：1-机架；2-左滑台转移机构；3-右滑台转移机构；4-挂具机构；41-悬挂臂；42-挂框；43-卡紧组件；431-电磁铁；432-卡紧弹簧；433-卡爪；5-第一保持轨道；6-第二保持轨道；7-第一移料轨道；8-第二移料轨道；10-第一驱动件；20-第二驱动件；30-清洗槽；40-清洗干燥槽；50-喷气组件；501-喷气固定座；5011-进气嘴；5012-容置槽；502-旋转喷管；5021-圆弧导板；5022-喷口；503-第三驱动件；60-第一侧立板；70-第二侧立板；80-移料摆动架；90-移料定位板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的说明，并不是把本发明的实施范围局限于此。

如图1至图7所示，本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，包括机架1、两个分别设于机架1左右两端的左滑台转移机构2和右滑台转移机构3，以及多个挂具机构4、并排设于机架1上且位于左滑台转移机构2和右滑台转移机构3之间的第一保持轨道5和第二保持轨道6，所述左滑台转移机构2和右滑台转移机构3均用于承载挂具机构4以及用于转移挂具机构4，多个所述挂具机构4分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道5转动设置有第一移料轨道7，所述第二保持轨道6转动设置有第二移料轨道8，所述第一保持轨道5上还固定有用于驱动第一移料轨道7转动的第一驱动件10，所述第二保持轨道6上还固定有用于驱动第二移料轨道8转动的第二驱动件20；

所述第一移料轨道7用于将右滑台转移机构3上的挂具机构4转移至第一保持轨道5上，同时带动承载于第一保持轨道5上的挂具机构4步进式移动至左滑台转移机构2上；所述第二移料轨道8用于将左滑台转移机构2的挂具机构4转移至第二保持轨道6，同时带动承载于第二保持轨道6上的挂具机构4步进式移动至右滑台转移机构3上；

还包括并排设于机架1上的清洗槽30和清洗干燥槽40，所述清洗槽30和清洗干燥槽40均位于第一保持轨道5的下方，所述清洗干燥槽40的两内侧壁上设有喷气组件50，所述喷气组件50用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。

本实施例中，第一驱动件10的数量为两个，第二驱动件20的数量为两个，第一驱动件10和第二驱动件20结构相同，均采用电机和减速器配合，两个第一驱动件10呈斜对角分布，两个第二驱动件20同样呈斜对角分布，使第一移料轨道7和第二移料轨道8转动更平稳。

使用时，将空置的挂具机构4挂接在右滑台转移机构3上，然后右滑台转移机构3带动挂具机构4移动至上料工位，然后外界机械臂将晶圆放置在挂具机构4上，挂具机构4夹持定位住晶圆，然后外界机械臂将第一个夹持有晶圆的挂具机构4挂接在右滑台转移机构3上，即右滑台转移机构3承载住挂具机构4，然后右滑台转移机构3带动第一个挂具机构4移动至与第一保持轨道5对齐，然后第一驱动件10带动第一移料轨道7转动，第一移料轨道7将右滑台转移机构3上的第一个挂具机构4转移走，并放置至第一保持轨道5上，使第一个挂具机构4向左移动一个工位距离，使第一个挂具机构4上的晶圆浸入清洗槽30内，处于清洗状态，同时将第二个挂具机构4挂接在右滑台转移机构3上，清洗完成后，第一移料轨道7继续转动，此时，第一移料轨道7会与第一保持架上的第一个挂具机构4和右滑台转移机构3的第二挂具机构4接触，并使第一个挂具机构4和第二个挂具机构4同时移动一个工位距离，此时第一个挂具机构4侵入清洗干燥槽40内，进行第一个晶圆的二次漂洗，而第二个挂具机构4侵入清洗槽30内，第二个晶圆的第一次漂洗，然后第一移料轨道7再次转动，将第一个晶圆和第二个晶圆缓缓提拉出水面，即第一个挂具机构4、第二个挂具机构4会再次向左移动一个工位距离，此时第一个挂具机构4转移至左滑台转移机构2上，同时在第一个挂具机构4随着第一移料轨道7的提拉下，清洗干燥槽40对第一个挂具机构4上的晶圆进行干燥处理，如此完成第一个晶圆的清洗干燥处理，而第二个挂具机构4的晶圆则侵入清洗干燥槽40，如果右滑台转移机构3上挂接有第三个挂具机构4，则第三个挂具机构4向左移动一个工位距离，即第三个晶圆浸入清洗槽30内，第一个挂具机构4转移至左滑台转移机构2后，左滑台转移机构2带动第一个挂具机构4移动至与第二保持轨道6对齐，然后外界机械臂将清洗干燥后的晶圆取走，然后第二驱动件20带动第二移料轨道8转动，将左滑台转移机构2上的第一个挂具机构4转移至第二保持轨道6上，在第二移料轨道8的循环转动下，第一个挂具机构4再次回到右滑台转移机构3上，完成挂具机构4依次从右滑台转移机构3、第一保持轨道5、左滑台转移机构2、第二保持轨道6、右滑台转移机构3之间自动循环，然后对第一挂具机构4再次装入晶圆，进行第二次循环，如此重复上述过程，可以连续进行晶圆的清洗干燥处理。

当然，本发明还可根据实际生产环境需要，将挂具机构4依次从左滑台转移机构2、第一保持轨道5、右滑台转移机构3、第二保持轨道6、左滑台转移机构2之间自动循环，或在左滑台转移机构2、第二保持轨道6、右滑台转移机构3、第一保持轨道5、左滑台转移机构2之间自动循环，或在右滑台转移机构3、第二保持轨道6、左滑台转移机构2、第一保持轨道5、右滑台转移机构3之间自动循环，不管何种循环方式，其工作原理与上述实施例相同。设置挂具机构4在左滑台转移机构2、第二保持轨道6、右滑台转移机构3、第一保持轨道5、左滑台转移机构2之间自动循环，或在右滑台转移机构3、第二保持轨道6、左滑台转移机构2、第一保持轨道5、右滑台转移机构3之间自动循环时，将清洗槽30和清洗干燥槽40设置在第二保持轨道5的下方，此时是利用第二移料轨道8带动挂具机构4上的晶圆依次经过清洗槽30和清洗干燥槽40，而利用第一移料轨道7将空置的挂具机构4返送回上料区，如此工作方式，也可实现连续进行晶圆的清洗干燥处理。

本实施例利用左、右滑台转移机构3，第一、二移料轨道以及第一、二保持轨道相互配合实现挂具机构4循环，从而可以连续进行晶圆的清洗干燥处理，提高生产效率，适合自动化生产。

本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，所述第一保持轨道5和第二保持轨道6的结构相同，所述第一保持轨道5和第二保持轨道6均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板60以及两个对应设于两个第一侧立板60上的第二侧立板70，第一侧立板60固定连接在机架1上，所述第二侧立板70固定在第一侧立板60的顶端；

所述第一移料轨道7与第二移料轨道8的结构相同，所述第一移料轨道7和第二移料轨道8均包括四个移料摆动架80以及两个移料定位板90，四个所述移料摆动架80设于两个第一侧立板60之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架80的一端转动连接在第一侧立板60上，所述移料摆动架80的另一端转动连接在移料定位板90上，每个所述移料定位板90的两端分别对应与移料摆动架80连接，所述第一驱动件10的输出端与第一移料轨道7的移料摆动架80传动连接，所述第二驱动件20的输出端与第二移料轨道8的移料摆动架80传动连接。

当需要将挂具机构4从右滑台转移机构3转移至第一保持轨道5上时，两个第一驱动件10同时工作，连带第一移料轨道7的四个移料摆动架80转动，四个移料摆动架80带动第一移料轨道7的两个移料定位板90同步转动，随着两个移料定位板90的转动，两个移料定位板90的一端从右滑台转移机构3的下方转动至右滑台转移机构3的上方，如此便将右滑台转移机构3上的挂具机构4过渡到第一移料轨道7上，然后该挂具机构4随着第一移料轨道7的转动，当两个移料定位板90的高度低于第一保持轨道5的两个第二侧立板70的高度时，挂具机构4过渡到第一保持轨道5上，然后随着两个移料定位板90的循环转动，挂具机构4在第一保持轨道5上步进式移动，如此带动着挂具机构4上的晶圆依次侵入清洗槽30、清洗干燥槽40内，然后转移至左滑台转移机构2上，如此循环，可以连续进行晶圆的清洗干燥处理；

挂具机构4带动晶圆经过清洗干燥处理后转移至左滑台转移机构2上，左滑台转移机构2将挂具机构4转移至下料区，然后外界机械臂将清洗干燥后的晶圆取走，空置的挂具机构4通过第二移料轨道8的两个移料定位板90的作用，转移至第二保持轨道6的第二侧立板70上，由第二侧立板70支撑，在第二移料轨道8的两个移料定位板90的循环转动下，空置的挂具机构4被转移至右滑台转移机构3上，从而可以再次返送至上料区，如此形成挂具机构4的循环，实现晶圆的连续式生产，提高生产效率。

本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，所述第二侧立板70上间隔设有两个第一定位槽，所述移料定位板90上间隔设有三个第二定位槽，相邻两个第二定位槽的间隔距离与两个第一定位槽的间隔距离相等，能够有效防止挂具机构4产生相对滑动，保障挂具机构4的正常循环，以及使挂具机构4在转移过程中更平稳。

本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，所述左滑台转移机构2和右滑台转移机构3的结构相同，两者均包括直线电机本体和挂具转移板，所述直线电机本体固定在机架1上，所述挂具转移板的一端固定在直线电机本体的输出端，通过直线电机本体将旋转运动转变为直线运动，从而带动挂具转移板沿直线运动，实现挂具机构4的转移，所述挂具转移板的另一端设有U形缺口，所述U形缺口的口径大于两个移料定位板90之间的距离，以便两个移料定位板90在转动时能够将挂具机构4从滑台转移机构上转移后以及将挂具机构4过渡至滑台转移机构上。实际使用时，挂具机构4挂接在U形缺口上，从滑台转移机构转移走挂具机构4时，两个移料定位板90从U形缺口的下方转动至U形缺口的上方，且两个移料定位板90的一端从U形缺口穿过，如此便将挂具机构4转移至第一移料轨道7上，随着第一移料轨道7的转动，挂具机构4被转移至第一保持轨道5上；同理将挂具机构4自动挂接在滑台转移机构时，两个移料定位板90是从U形缺口的上方转动至U形缺口的下方，如此便可将挂具机构4自动挂接在滑台转移机构上。

本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，所述喷气组件50包括喷气固定座501、旋转喷管502以及用于驱动旋转喷管502旋转的第三驱动件503，所述喷气固定座501设于清洗干燥槽40的内侧壁，所述喷气固定座501具有进气嘴5011和用于与旋转喷管502的形状配合的容置槽5012，所述旋转喷管502的两端转动连接在喷气固定座501上，所述旋转喷管502的一侧延伸有圆弧导板5021，所述圆弧导板5021活动嵌入容置槽5012内并与容置槽5012形成有腔体，所述旋转喷管502还设有喷口5022，所述喷口5022沿旋转喷管502的长度方向贯穿旋转喷管502和圆弧导板5021后与腔体连通，所述进气嘴5011与腔体连通，所述旋转喷管502的另一侧突伸出容置槽5012，所述第三驱动件503固定在喷气固定座501的一端，所述第三驱动件503的输出端与旋转喷管502的一端连接。当第一移料轨道7提拉挂具机构4，挂具机构4从清洗干燥槽40内缓缓提拉出水面，然后通过喷气固定座501的进气嘴5011向腔体内注入高温氮气，高温氮气从旋转喷管502喷向晶圆与液面接触区，使晶圆与液面接触区产生马兰戈尼效应，从而实现对晶圆进行干燥处理，实际使用时，还可通过第三驱动件503带动旋转喷管502转动，改变旋转喷管502的喷口5022的喷射角，以适应挂具机构4提升过程中引起的液面高度变化，保证喷气角度和位置始终处于最佳状态，保证干燥效果。本实施例中，第三驱动件503为电机。

本实施例所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，所述挂具机构4包括有T形的悬挂臂41和环状的挂框42，所述悬挂臂41的竖直端连接在挂框42的外环壁上，所述挂框42上嵌设有四个卡紧组件43，四个所述卡紧组件43呈十字形分布，所述卡紧组件43包括电磁铁431、卡紧弹簧432和卡爪433，所述电磁铁431嵌设在挂框42内，所述卡爪433的一端活动嵌设在挂框42内，所述卡紧弹簧432的两端分别抵靠在电磁铁431和卡爪433的一端上；所述卡爪433的自由端部内凹形成有凹槽，所述凹槽沿卡爪433的宽度方向贯穿卡爪433的两侧，所述凹槽的侧壁呈弧形设置。实际使用时，通过四个卡紧组件43的卡紧弹簧432的弹力使卡爪433对晶圆进行卡紧，而对电磁铁431通电时，电磁铁431吸附卡爪433，并压缩卡紧弹簧432，从而使卡爪433松开晶圆，在第一移料轨道7带动晶圆缓缓提拉出液面时，将四个卡紧组件43两两交替使用，即位于同一直径方向的两个卡紧组件43一组，位于另一直径方向的两个卡紧组件43为另一组，如此两组交替对晶圆进行夹紧定位，避免产生清洗、干燥死角，利于提高最终芯片的良率。

本实施例中，设置挂框42与晶圆之间的间距较大，以便于清洗、干燥时，水流和气流在晶圆两侧循环，提高清洗和干燥效果。

以上所述仅是本发明的一个较佳实施例，故凡依本发明专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，包含在本发明专利申请的保护范围内。

Claims (6)

1.一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，其特征在于，其特征在于（1）（1）（1），包括机架（1）、两个分别设于机架（1）左右两端的左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3），以及多个挂具机构（4）、并排设于机架（1）上且位于左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）之间的第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6），所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）均用于承载挂具机构（4）以及用于转移挂具机构（4），多个所述挂具机构（4）分别用于夹持定位住晶圆，所述第一保持轨道（5）转动设置有第一移料轨道（7），所述第二保持轨道（6）转动设置有第二移料轨道（8），所述第一保持轨道（5）上还固定有用于驱动第一移料轨道（7）转动的第一驱动件（10），所述第二保持轨道（6）上还固定有用于驱动第二移料轨道（8）转动的第二驱动件（20）；

所述第一移料轨道（7）用于将左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上的挂具机构（4）转移至第一保持轨道（5）上，同时带动承载于第一保持轨道（5）上的挂具机构（4）步进式移动至右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）上；所述第二移料轨道（8）用于将右滑台转移机构（3）或左滑台转移机构（2）的挂具机构（4）转移至第二保持轨道（6），同时带动承载于第二保持轨道（6）上的挂具机构（4）步进式移动至左滑台转移机构（2）或右滑台转移机构（3）上；

还包括并排设于机架（1）上的清洗槽（30）和清洗干燥槽（40），所述清洗槽（30）和清洗干燥槽（40）均位于第一保持轨道（5）或第二保持轨道（6）的下方，所述清洗干燥槽（40）的两内侧壁上设有喷气组件（50），所述喷气组件（50）用于对经过清洗后的晶圆进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）的结构相同，所述第一保持轨道（5）和第二保持轨道（6）均包括两个并排且间隔设置的第一侧立板（60）以及两个对应设于两个第一侧立板（60）上的第二侧立板（70），第一侧立板（60）固定连接在机架（1）上，所述第二侧立板（70）固定在第一侧立板（60）的顶端；

所述第一移料轨道（7）与第二移料轨道（8）的结构相同，所述第一移料轨道（7）和第二移料轨道（8）均包括四个移料摆动架（80）以及两个移料定位板（90），四个所述移料摆动架（80）设于两个第一侧立板（60）之间、且呈矩形分布，所述移料摆动架（80）的一端转动连接在第一侧立板（60）上，所述移料摆动架（80）的另一端转动连接在移料定位板（90）上，每个所述移料定位板（90）的两端分别对应与移料摆动架（80）连接，所述第一驱动件（10）的输出端与第一移料轨道（7）的移料摆动架（80）传动连接，所述第二驱动件（20）的输出端与第二移料轨道（8）的移料摆动架（80）传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述第二侧立板（70）上间隔设有两个第一定位槽，所述移料定位板（90）上间隔设有三个第二定位槽，相邻两个第二定位槽的间隔距离与两个第一定位槽的间隔距离相等。

4.根据权利要求2所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述左滑台转移机构（2）和右滑台转移机构（3）的结构相同，两者均包括直线电机本体和挂具转移板，所述直线电机本体固定在机架（1）上，所述挂具转移板的一端固定在直线电机本体的输出端，所述挂具转移板的另一端设有U形缺口，所述U形缺口的口径大于两个移料定位板（90）之间的距离。

5.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述喷气组件（50）包括喷气固定座（501）、旋转喷管（502）以及用于驱动旋转喷管（502）旋转的第三驱动件（503），所述喷气固定座（501）设于清洗干燥槽（40）的内侧壁，所述喷气固定座（501）具有进气嘴（5011）和用于与旋转喷管（502）的形状配合的容置槽（5012），所述旋转喷管（502）的两端转动连接在喷气固定座（501）上，所述旋转喷管（502）的一侧延伸有圆弧导板（5021），所述圆弧导板（5021）活动嵌入容置槽（5012）内并与容置槽（5012）形成有腔体，所述旋转喷管（502）还设有喷口（5022），所述喷口（5022）沿旋转喷管（502）的长度方向贯穿旋转喷管（502）和圆弧导板（5021）后与腔体连通，所述进气嘴（5011）与腔体连通，所述旋转喷管（502）的另一侧突伸出容置槽（5012），所述第三驱动件（503）固定在喷气固定座（501）的一端，所述第三驱动件（503）的输出端与旋转喷管（502）的一端连接。

6.根据权利要求1所述的一种轨道式晶圆清洗干燥机器人，其特征在于，所述挂具机构（4）包括有T形的悬挂臂（41）和环状的挂框（42），所述悬挂臂（41）的竖直端连接在挂框（42）的外环壁上，所述挂框（42）上嵌设有四个卡紧组件（43），四个所述卡紧组件（43）呈十字形分布，所述卡紧组件（43）包括电磁铁（431）、卡紧弹簧（432）和卡爪（433），所述电磁铁（431）嵌设在挂框（42）内，所述卡爪（433）的一端活动嵌设在挂框（42）内，所述卡紧弹簧（432）的两端分别抵靠在电磁铁（431）和卡爪（433）的一端上；所述卡爪（433）的自由端部内凹形成有凹槽，所述凹槽沿卡爪（433）的宽度方向贯穿卡爪（433）的两侧，所述凹槽的侧壁呈弧形设置。

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