CN111118467A - 一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 30
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 claims description 18
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 claims description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000011160 research Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
- C23C14/541—Heating or cooling of the substrates
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Abstract
本发明公开了一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，包括样品台腔体、样品台上底面及样品台下底面，所述样品台下底面贴合设置加热装置，所述样品台腔体内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定；本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置。
技术背景
真空镀膜技术（vacuum deposition）是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。真空镀膜相对于湿式镀膜方法而言，提高了薄膜的结合能力，能更好地控制好薄膜的均匀程度和薄膜的厚度，并且减少了对环境的污染。随着真空镀膜技术的不断发展，不同材料对镀膜加工时候的温度需求也在不断变化，但是目前一直没有一种便携式升温样品台来解决该类问题。为此该发明提供了一种解决方案思路，基于电热片加热的便携式样品台。
发明内容
为了改进当前的真空镀膜机在进行真空镀膜工作时候，不同的材料的基材对工作温度调节范围的不足，本发明提出了一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置。
本发明技术方案如下:
一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体、样品台上底面及样品台下底面，所述样品台下底面贴合设置加热装置，所述样品台腔体内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述加热装置包括硅胶电热片及导热硅胶，所述硅胶电热片通过导热硅胶与样品台下底面固定。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管及水冷管固定支架，所述水冷管通过水冷管固定支架固定设置在样品台腔体内。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺母、限位板及螺栓，所述螺母固定设置在样品台下底面上，所述限位板穿设在螺栓上，并通过螺母在螺栓进行限位。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘，所述固定圆盘置于样品台上底面，通过固定圆盘使得该样品台与真空镀膜机相固定。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体外壁上开设有导线导管孔，所述硅胶电热片通过导线导管孔与外界电源相连，所述水冷管的管口通过导线导管孔与真空镀膜机的水冷机相连。
所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台下底面顶部固定设置温度传感器。
本发明的有益效果是：该装置设计巧妙，结构合理，使用方便，运用本装置为样品进行温度调节，方便满足了不同基材对镀膜时温度的需求，扩大了真空镀膜机所能加工的的样品种类范围，对真空镀膜的研究领域具有重要的意义。
附图说明
图1为本发明安装示意图；
图2为本发明的左视图；
图3为本发明的结构示意图；
图4为本发明的水冷管示意图；
图5为本发明的正等轴测图；
图中：1-螺母；2-限位板；3-螺栓；4-样品台腔体；5-导线导管孔；6-固定圆台；7-温度传感器；8-样品台下底面；9-导热硅胶；10-硅胶电热片；11-导线；12-水冷管；13-样品台上底面，14-水冷管固定支架。
具体实施方式
以下结合说明书附图对本发明的技术方案做进一步的描述：
如图1-5所示，基于电热片加热的便携式升温样品台装置，包括样品台腔体4、样品台上底面13、样品台下底面8、加热装置冷却装置以及固定装置；其中样品台上底面13、样品台下底面8分别通过胶水固定在粘合在样品台腔体4上部及下部位置。
加热装置包括紧贴于样品台下底面8腔体内部的硅胶电热片10，硅胶电热片10通过导热硅胶9和样品台下底面8内腔相固定，导线11通过导线导管孔5与外界电源相连。
冷却装置包括设置在硅胶电热片10上方的水冷管12，水冷管12通过水冷管固定支架14固定于样品台腔体4内部；水冷管8的管口通过导线导管孔5与真空镀膜机的水冷机相连，用于真空镀膜工作结束后对样品台进行冷却。
样品紧固装置包括置于螺母1上的限位板2和旋紧用的螺栓3，样品基材通过限位板2与样品台下底面8利用配合在螺栓3上的螺母1来夹紧固定，螺栓3通过防水耐高温耐低温胶水与样品台下底面8相胶合。
样品台固定装置即固定于样品台上底面13的固定圆盘6，通过固定圆盘6使得该样品台与真空镀膜机相固定；固定圆盘6通过耐高温耐低温胶水与样品台上底面13相胶合，与真空镀膜机通过夹子相固定。
样品台下底面8顶部固定设置温度传感器7，实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度。
工作过程：
首先，根据镀膜的条件要求，将所要进行镀膜工作的样品置于样品台底部，通过底部的一对限位板利用螺母螺栓结构进行紧固，将硅胶电热片连上电源，将水冷管接入真空镀膜机原有的水冷机上并且关闭，水冷管与导线通过导线导管孔与外界相连，然后将样品台通过顶部的固定圆台与镀膜机相固定。开始工作时，通过底部的温度传感器实时监测在进行镀膜工作的样品基材的温度，继而调节硅胶电热片温度来适应基材的镀膜需求，工作结束后，为了保护样品台，因此打开水冷机，从而使得样品台快速冷却降温。
Claims (7)
1.一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，包括样品台腔体（4）、样品台上底面（13）及样品台下底面（8），所述样品台下底面（8）贴合设置加热装置，所述样品台腔体（4）内部在位于加热装置上方设有冷却装置，所述样品台上底面（13）顶部设有样品台固定装置，并通过样品台固定装置与真空镀膜机相固定，所述样品台下底面（8）底部设有样品紧固装置，并通过样品紧固装置对样品基材进行固定。
2.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述加热装置包括硅胶电热片（10）及导热硅胶（9），所述硅胶电热片（10）通过导热硅胶（9）与样品台下底面（8）固定。
3.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述冷却装置包括水冷管（12）及水冷管固定支架（14），所述水冷管（12）通过水冷管固定支架（14）固定设置在样品台腔体（4）内。
4.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品紧固装置包括螺母（1）、限位板（2）
及螺栓（3），所述螺母（1）固定设置在样品台下底面（8）上，所述限位板（2）穿设在螺栓（3）上，并通过螺母（1）在螺栓（3）进行限位。
5.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台固定装置包括固定圆盘（6），所述固定圆盘（6）置于样品台上底面（13），通过固定圆盘（6）使得该样品台与真空镀膜机相固定。
6.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台腔体（4）外壁上开设有导线导管孔（5），所述硅胶电热片（10）通过导线导管孔（5）与外界电源相连，所述水冷管（8）的管口通过导线导管孔（5）与真空镀膜机的水冷机相连。
7.根据权利要求1所述的一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置，其特征在于，所述样品台下底面（8）顶部固定设置温度传感器（7）。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010049159.8A CN111118467A (zh) | 2020-01-16 | 2020-01-16 | 一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置 |
| CN202010556472.0A CN111501002B (zh) | 2020-01-16 | 2020-06-17 | 一种便携式变温样品台装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010049159.8A CN111118467A (zh) | 2020-01-16 | 2020-01-16 | 一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111118467A true CN111118467A (zh) | 2020-05-08 |
Family
ID=70490278
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010049159.8A Pending CN111118467A (zh) | 2020-01-16 | 2020-01-16 | 一种基于电热片加热的便携式升温样品台装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111118467A (zh) |
-
2020
- 2020-01-16 CN CN202010049159.8A patent/CN111118467A/zh active Pending
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
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