CN111103261A - 一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 - Google Patents
一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111103261A CN111103261A CN202010035589.4A CN202010035589A CN111103261A CN 111103261 A CN111103261 A CN 111103261A CN 202010035589 A CN202010035589 A CN 202010035589A CN 111103261 A CN111103261 A CN 111103261A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- ring resonator
- micro
- type micro
- linear channel
- refractive index
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N21/4133—Refractometers, e.g. differential
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器。每个所述跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段,其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,上下直道段分别与两条直线信道波导耦合;另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合,下直道段不经过耦合区域。本发明使用时,输入的光由上方直线信道波导耦合入第一个跑道型微环谐振器,而后耦合出至下方直线信道波导,再经由四个跑道型微环谐振器,最终在输出端形成尖锐且低背景噪声的单一谐振峰,实现高灵敏度,高品质因子,低误差的液体折射率检测功能。
Description
技术领域
本发明涉及一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,属于光传感的技术领域。
背景技术
SOI光学传感器有多种结构类型,包括光子晶体、马赫-泽德干涉和各种谐振腔等。其中,微环谐振传感器具有低插入损耗、高稳定性和小尺寸等优势。
灵敏度和品质因子是判断微环谐振传感器性能的两个重要因素。目前,基于本征硅波导的传感器难以获得高灵敏度;同时,减小谐振峰带宽以获得高品质因子的方法大多需要倾斜入射的光信号或者增加器件尺寸,不利于大规模集成。因此,提升基于SOI的微环谐振传感器的灵敏度和品质因子当前正面临巨大挑战。
发明内容
为解决上述问题,本发明提出一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,具备高品质因子和高灵敏度,同时集成化和小型化。
技术方案:本发明提出一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器。每个所述跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段,其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,上下直道段分别与两条直线信道波导耦合;另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合,下直道段不经过耦合区域。
进一步,所述直线信道波导和跑道型微环谐振器均为光栅结构。
进一步,所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的弯曲部分的光栅结构的构造相同。
进一步,所述所有跑道型微环谐振器的弯曲部分形状尺寸相同,上下直道段长度有微小差异。
进一步,跑道型微环谐振器的上下直道段的光栅周期与其他区域有微小差异。
进一步,第一个跑道型微环谐振器的上下耦合区域的耦合间距相同。
进一步,另外四个跑道型微环谐振器的耦合区域的耦合间距均相同。
进一步,所述上下直线信道波导两端的输入端和输出端由普通波导拉锥渐变为光栅波导的结构。
进一步,所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的材质均为SOI。
有益效果:
1、本发明基于跑道型微环谐振器,结构紧凑,有效控制了器件的尺寸;
2、本发明采用全光栅结构,增强了解析物与传感器中光信号的相互作用,从而使传感器灵敏度有很大提升;
3、通过四个工作于全通状态的微环谐振器对第一个微环谐振器的输出光谱进行裁剪,使得输出谱线更尖锐,提高了品质因子。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图;
图2为本发明的顶视图;
图3为第一个跑道型微环谐振器的传输谱线图;
图4为第二和第三个跑道型微环谐振器的传输谱线图;
图5为第二至第五个跑道型微环谐振器的传输谱线图;
图6为本发明输出端的传输谱线图;
图7为图3状态下的光信号随着折射率的变化而发生的谱线偏移图;
图8为图7中传输谱线对应的谐振波长和折射率改变之间的关系图;
图9为图6状态下的光信号随着折射率的变化而发生的谱线偏移图;
图10为图9中传输谱线对应的谐振波长和折射率改变之间的关系图。
具体实施方式
本发明的一个实施例,如图1和图2所示,一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器。所述直线信道波导和跑道型微环谐振器均为SOI材质的光栅结构,直线信道波导和跑道型微环谐振器的弯曲部分光栅结构相同,跑道型微环谐振器的上下直道段的光栅周期依据长度需要,与其他部分有微小差异。两条直线信道波导的两端均设有渐变结构,本实施例中的渐变结构是上下直线信道波导两端的输入端和输出端由普通波导拉锥渐变为光栅波导的结构,用以减小耦合损耗。
第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,上下直道段与上下两条直线信道波导分别耦合;另外四个跑道型微环谐振器均位于下直线信道波导下方,只有上直道段与下直线信道波导有耦合。所有跑道型微环谐振器的弯曲部分均为180°圆弧,半径为R。
入射光从上直线信道波导的左侧输入,进入直线信道波导后与第一个跑道型微环谐振器上直道段发生耦合,部分光信号通过第一个跑道型微环谐振器后经由下直道段耦合进下直线信道波导,另一部分光信号从上直线信道波导的右侧输出,不再使用。
耦合进入下直线信道波导的光信号以从右向左的方向传输,按顺序分别与第二至第五个跑道型微环谐振器的上直道段进行耦合并绕环传输后,回到下直线信道波导继续向左传输,最终由下直线信道波导左侧输出。
本实施例中光栅结构的波导的模式传输常数为β,模式损耗系数为α,虚数单位为j,因此对应的复传播常数为(β-jα);
跑道型微环谐振器的上下耦合区域的长度即为上下直道段的长度Li(i=1,2,3,4,5),故每个跑道型微环谐振器在耦合区的相位改变分别为ψi=Li(β-jα);
跑道型微环谐振器的180°圆弧部分相位改变均为φ=πR(β-jα);
跑道型微环谐振器的上下耦合区域的振幅耦合系数为ki;振幅传输系数为ti。
如图3所示,从第一个跑道型微环谐振器下直道段耦合至下直线信道波导的归一化光功率为
第二至第五个跑道型微环谐振器的归一化功率传输特性为
第二和第三个跑道型微环谐振器用于减小图3中谱线的带宽,传输特性为T2 2T3 2,如图4所示;第四和第五个跑道型微环谐振器用于抑制图3中光谱在带宽减小后产生的旁瓣,第二至第五个跑道型微环谐振器的总传输特性为T2 2T3 2T4 2T5 2,如图5所示。
如图6所示,输出端最终可以得到一个尖锐的谐振峰,完整的传输特性为D2T2 2T3 2T4 2T5 2。
因此,本发明可以获得尖锐的线形,便于光信号的探测。
在仿真时,R选为10μm,在弯曲损耗可忽略的前提下保证了器件小型化。波导的宽高分别为0.6μm和220nm。直线信道波导和跑道型微环谐振器的180°圆弧部分采用的光栅周期均为200nm,跑道型微环谐振器的上下直道段依据长度需要,光栅周期会在200至204nm之间调节,且同一直道段可能包含不同的周期。所有光栅结构的占空比均为0.5。第一至第五个跑道型微环谐振器的直道段长度分别为6.287μm,6.265μm,6.295μm,6.252μm和6.311μm。第一个跑道型微环谐振器的耦合间距为530nm,另外四个跑道型微环谐振器的耦合间距均为600nm。
为了验证本发明的高品质因子特性,第一个跑道型微环谐振器和完整传感器的传感特性均被仿真。当待测物设定为去离子水时,其折射率为1.333。图3所示第一个跑道型微环谐振器输出光谱的谐振峰位置为1550.03nm,3dB带宽为0.69nm;图6所示输出端光谱的谐振峰位置为1549.97nm,3dB带宽为0.29nm。仿真设置包层待测液体折射率以0.001为步长,从1.333逐步增加到1.339。图7为第一个跑道型微环谐振器的输出光谱随折射率变化而发生的谱线偏移,图8为图7中谱线在不同待测液体折射率下对应的谐振峰波长;图9为完整传感器的输出光谱随折射率变化而发生的谱线偏移,图10为图9中谱线在不同待测液体折射率下对应的谐振峰波长。
根据灵敏度的定义S=Δλ/Δn,可以计算出第一个跑道型微环谐振器的灵敏度为538.33nm/RIU,完整传感器的灵敏度为536.67nm/RIU,忽略仿真结果所取位数造成的精度误差,可以认为二者一致。另一个衡量传感器性能的重要参数是品质因子,其定义为FOM=S/FWHM,其中FWHM表示半高全宽,即3dB带宽。计算可得,单独第一个跑道型微环谐振器的品质因子为780.19/RIU,而本发明的完整传感器的品质因子为1850.57/RIU,远超单独的跑道型微环谐振器。
综上,本发明采用的全光栅结构通过增强解析物与光信号之间的相互作用从而获得高灵敏度,采用多个跑道型微环谐振器结构则可以实现频谱裁剪,使传感器输出端的谐振峰变得尖锐,从而获得较小的半高全宽,实现高品质因子。
Claims (9)
1.一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:包括两条直线信道波导和五个跑道型微环谐振器,两条直线信道波导分别为上方直线信道波导和下方直线信道波导;每个跑道型微环谐振器均包括一个上直道段和一个下直道段,其中第一个跑道型微环谐振器位于两条直线信道波导之间,其上下直道段分别与两条直线信道波导耦合;另外四个跑道型微环谐振器的上直道段均与下方直线信道波导耦合,下直道段不经过耦合区域。
2.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器均为光栅结构。
3.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的弯曲部分的光栅结构的构造相同。
4.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述所有跑道型微环谐振器的弯曲部分形状尺寸相同。
5.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述的跑道型微环谐振器的上下直道段的光栅周期与其他区域不同。
6.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:第一个跑道型微环谐振器的上下耦合区域的耦合间距相同。
7.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:另外四个跑道型微环谐振器的耦合区域的耦合间距均相同。
8.根据权利要求1所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述上下直线信道波导两端的输入端和输出端由普通波导拉锥渐变为光栅波导的结构。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的基于亚波长光栅跑道型微环谐振器的折射率传感器,其特征在于:所述直线信道波导和跑道型微环谐振器的材质均为SOI。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010035589.4A CN111103261B (zh) | 2020-01-14 | 2020-01-14 | 一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010035589.4A CN111103261B (zh) | 2020-01-14 | 2020-01-14 | 一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111103261A true CN111103261A (zh) | 2020-05-05 |
CN111103261B CN111103261B (zh) | 2022-08-26 |
Family
ID=70426781
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010035589.4A Active CN111103261B (zh) | 2020-01-14 | 2020-01-14 | 一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111103261B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113093331A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-07-09 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种硅基光波导传感器及其制备方法 |
CN114543873A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-05-27 | 中国地质大学(武汉) | 一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器 |
CN116908814A (zh) * | 2023-09-12 | 2023-10-20 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 激光雷达及可移动设备 |
CN117269079A (zh) * | 2023-11-22 | 2023-12-22 | 天津工业大学 | 一种基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器及其传感方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6400856B1 (en) * | 1999-09-21 | 2002-06-04 | Nannovation Technologies, Inc. | Polarization diversity double resonator channel-dropping filter |
US20090010588A1 (en) * | 2007-07-05 | 2009-01-08 | Furukawa Electric North America Inc | Optimized optical resonator device for sensing applications |
WO2011091735A1 (zh) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 浙江大学 | 一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器 |
CN103487405A (zh) * | 2013-09-23 | 2014-01-01 | 电子科技大学 | 一种基于螺旋跑道型干涉结构的光学生化传感器 |
CN103489936A (zh) * | 2012-06-13 | 2014-01-01 | 北京邮电大学 | 并联多微环光波导探测器 |
CN103616348A (zh) * | 2013-12-05 | 2014-03-05 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种光子晶体三谐振腔无热化生物传感器 |
CN109541745A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 电子科技大学 | 一种耦合区改进型的微环谐振器及其制作方法 |
CN109709644A (zh) * | 2019-02-13 | 2019-05-03 | 东南大学 | 一种基于soi材料制备的跑道型微环2×4热光开关 |
CN109813681A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-05-28 | 东南大学 | 一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器 |
CN110274892A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-24 | 东南大学 | 一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器 |
-
2020
- 2020-01-14 CN CN202010035589.4A patent/CN111103261B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6400856B1 (en) * | 1999-09-21 | 2002-06-04 | Nannovation Technologies, Inc. | Polarization diversity double resonator channel-dropping filter |
US20090010588A1 (en) * | 2007-07-05 | 2009-01-08 | Furukawa Electric North America Inc | Optimized optical resonator device for sensing applications |
WO2011091735A1 (zh) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | 浙江大学 | 一种基于宽带光源和级连光波导滤波器的光传感器 |
CN103489936A (zh) * | 2012-06-13 | 2014-01-01 | 北京邮电大学 | 并联多微环光波导探测器 |
CN103487405A (zh) * | 2013-09-23 | 2014-01-01 | 电子科技大学 | 一种基于螺旋跑道型干涉结构的光学生化传感器 |
CN103616348A (zh) * | 2013-12-05 | 2014-03-05 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种光子晶体三谐振腔无热化生物传感器 |
CN109541745A (zh) * | 2018-12-14 | 2019-03-29 | 电子科技大学 | 一种耦合区改进型的微环谐振器及其制作方法 |
CN109813681A (zh) * | 2019-01-09 | 2019-05-28 | 东南大学 | 一种基于嵌套型微环谐振器的液体折射率传感器 |
CN109709644A (zh) * | 2019-02-13 | 2019-05-03 | 东南大学 | 一种基于soi材料制备的跑道型微环2×4热光开关 |
CN110274892A (zh) * | 2019-06-27 | 2019-09-24 | 东南大学 | 一种基于跑道型微环谐振器的Fano折射率传感器 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
LEE, H.-S.S.;INSU PARK;KYUNG-MI MOON;: "Integrated micro-racetrack resonator arrays and photonic crystal bandpass filter arrays for WDM application", 《PROCEEDINGS OF THE SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING》 * |
WEN YJ,SUN Y: "High sensitivity and FOM refractive index sensing based on Fano resonance in all-grating racetrack resonators", 《OPTICS COMMUNICATIONS》 * |
卜天容,陈曜,何鹏程,万玲玉;,玉丽: "反馈式跑道型光学微环的传感灵敏度研究", 《光子学报》 * |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113093331A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-07-09 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种硅基光波导传感器及其制备方法 |
CN114543873A (zh) * | 2022-01-11 | 2022-05-27 | 中国地质大学(武汉) | 一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器 |
CN116908814A (zh) * | 2023-09-12 | 2023-10-20 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 激光雷达及可移动设备 |
CN116908814B (zh) * | 2023-09-12 | 2024-01-16 | 深圳市速腾聚创科技有限公司 | 激光雷达及可移动设备 |
CN117269079A (zh) * | 2023-11-22 | 2023-12-22 | 天津工业大学 | 一种基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器及其传感方法 |
CN117269079B (zh) * | 2023-11-22 | 2024-02-27 | 天津工业大学 | 一种基于soi的跑道型微环葡萄糖传感器及其传感方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111103261B (zh) | 2022-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111103261B (zh) | 一种基于亚波长光栅跑道型微环谐振器折射率传感器 | |
US7103245B2 (en) | High density integrated optical chip | |
US20040037497A1 (en) | Embedded mode converter | |
EP1645894A1 (en) | Apparatus and method for sensing with metal optical filters | |
CN103091831B (zh) | 可调谐光学滤波器及应用 | |
JP2008516285A (ja) | 横断方向閉ループ共振器 | |
CN108519716B (zh) | 一种微腔结构多比特输入的光学逻辑器件及方法 | |
WO2020236569A1 (en) | Integrated optical polarizer and method of making same | |
CN114543873B (zh) | 一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器 | |
WO2001042831A2 (en) | Photonic-crystal fibre with specific mode confinement | |
JP2002286952A (ja) | 導波路型光カプラおよび該導波路型光カプラを用いた光合分波器 | |
CN110044484B (zh) | 一种级联双环增强的傅里叶变换光谱仪 | |
CN113075766A (zh) | 一种基于双层结构的偏振不敏感波导光栅滤波器 | |
CN115236799B (zh) | 一种横向振幅切趾的光栅型铌酸锂光学滤波器 | |
KR100994980B1 (ko) | 장거리 표면 플라즈몬 기반 광도파로 온도센서 | |
CN1232846C (zh) | 基于微弯传输波导的马赫-曾德干涉型传感装置 | |
KR101023254B1 (ko) | 플라즈몬 투과 필터 | |
Liu et al. | A whispering gallery mode strain sensor based on microtube resonator | |
CN106772798B (zh) | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 | |
CN112379485B (zh) | 一种超大自由光谱范围的集成光学滤波器结构 | |
CN209894342U (zh) | 一种基于新型光纤光谱仪的光谱测量装置 | |
CN113093331A (zh) | 一种硅基光波导传感器及其制备方法 | |
CN113514420B (zh) | 一种双u型波导结构的高灵敏度传感器 | |
Wang et al. | Single-waveguide-based microresonators for optical sensing | |
CN114545546B (zh) | 一种基于五芯光纤的低损耗五模模分复用器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |