CN106772798B - 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 - Google Patents
一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106772798B CN106772798B CN201710043730.3A CN201710043730A CN106772798B CN 106772798 B CN106772798 B CN 106772798B CN 201710043730 A CN201710043730 A CN 201710043730A CN 106772798 B CN106772798 B CN 106772798B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- waveguide layer
- waveguide
- layer
- bragg grating
- substrate layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M sodium fluoride Chemical compound [F-].[Na+] PUZPDOWCWNUUKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 6
- 235000013024 sodium fluoride Nutrition 0.000 claims description 6
- 239000011775 sodium fluoride Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 58
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- SYHGEUNFJIGTRX-UHFFFAOYSA-N methylenedioxypyrovalerone Chemical compound C=1C=C2OCOC2=CC=1C(=O)C(CCC)N1CCCC1 SYHGEUNFJIGTRX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
Abstract
本发明公开了一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，包括基底层、下波导层、中波导层和上波导层，所述下波导层、中波导层和上波导层顺序叠接在基底层的上表面上，所有的波导均为平板条形波导，所述上波导层的顶部设有等周期的布拉格光栅，所述基底层的宽度尺寸要大于下波导层、中波导层、上波导层的宽度尺寸。这种滤波器结构紧凑，光信号传输距离长、易于制作、制造成本低且与CMOS兼容。
Description
技术领域
本发明涉及集成光学技术领域，特别是涉及一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器。
背景技术
随着光通信技术的发展，对系统集成度的要求越来越高，从而导致单个器件的尺寸越来越小。光滤波器作为可以针对目标波长进行过滤与筛选的光互连基础器件，一种尺寸更小、频带更窄、传输更快的光滤波器的研制将对电信产业发展有着重要的推动作用。
波导布拉格光栅是一种在光波导基础上发展出的光学器件，利用相位匹配条件可以使光栅结构的有效折射率呈现出交替周期变化，从而达到滤波的功能。目前来说，常见的波导布拉格光栅类型有基于SOI(silicon-on-insulator,SOI)波导的布拉格光栅、基于MIM(metal-insulator-metal,MIM)波导的布拉格光栅和基于IMI(insulator-metal-insulator,IMI)波导的布拉格光栅。基于SOI波导的布拉格光栅芯层与包层具有高折射率对比度，但是制作工艺难度较大，并且当结构尺寸缩小后会导致插损增加；基于MIM波导的布拉格光栅具有很好的光场限制能力，可以使结构尺寸变小，但是在光传输过程中能量损耗较大导致传输距离变短；基于IMI波导的布拉格光栅可以将损耗限制在非常低的范围内，从而具有较大的传输距离，但是体积较大，难以应用于高集成度的光互连系统中。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足，而提供一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器。这种滤波器结构紧凑，光信号传输距离长、易于制作、制造成本低且与CMOS兼容。
实现本发明目的的技术方案是：
一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，包括基底层、下波导层、中波导层和上波导层，所述下波导层、中波导层和上波导层顺序叠接在基底层的上表面上，所有的波导均为平板条形波导，所述上波导层的顶部设有等周期的布拉格光栅，所述基底层的宽度尺寸要大于下波导层、中波导层、上波导层的宽度尺寸。
所述基底层为金属银。
所述下波导层直接贴合在基底层的上表面，为二氧化硅。
所述中波导层直接叠加于下波导层的上表面，为折射率低于二氧化硅的氟化钠。
所述的上波导层为直接叠加于中波导层上表面的硅。
所述的布拉格光栅的周期单元为凹凸状的对称矩形结构，并且周期单元中凹槽部分与凸起部分宽度相同。
所述的平板条形波导的宽度为200nm，以保证单TM模式的光在波导布拉格光栅中传输；光波由三个波导层的一端输入器件，经过能量的震荡耦合，透射光信号由三个波导层的另一端输出，反射光信号从光的输入端同端输出。
这种滤波器工作时，光波由光波输入端进入，由金属银表面所产生的复合表面等离激元可以将光场约束在基底层和下波导层的界面处，而氟化钠材料的折射率要低于二氧化硅材料，因此中波导层可以对光场进行进一步压缩，使能量更多的聚集在中波导层，形成一个仅有几十纳米的光场限制区域，起到模场限制的作用。
根据衍射区域面积公式，具体公式如下：
Aeff＝[∫∫W(r)dA]/{max(W(r))}
其中，Aeff表示的是衍射区域面积,W(r)表示的是电磁能量密度，ε(r)表示的相对介电常数，μ0表示的是真空磁导率，E(r)和H(r)表示的是波导光栅的电场和磁场强度。
由此可以看出，这种滤波器可以大大缩小整个布拉格光栅结构的尺寸，同时还能保证光波在器件中的传输损耗可以降低到更低的程度，从而提升滤波的效率，易于集成。
利用电子束曝光的光刻技术，对上波导层的顶部进行刻蚀形成周期性的布拉格光栅，该布拉格光栅的周期单元呈现为规则对称矩形结构，分为凹槽部分和凸起部分，为了可以反射特定的波长，光栅的周期单元长度需要满足一阶光栅相位匹配条件，具体公式如下：
其中，Λ表示的是周期单元长度，λc表示的是中心波长，neff1和neff2分别表示的是光栅凹槽部分和凸起部分所在位置的光栅折射率。
由于周期单元长度分为凹槽部分和凸起部分，凹槽部分与凸起部分所对应光栅折射率的不同，当光波进入器件后，光波会在器件中不断地进行来回震荡耦合，最终不满足布拉格相位匹配条件的波长被允许通过该布拉格光栅滤波器件由透射光波输出端O1输出，而所需的目标波长则被反射回来由反射光波输出端O2输出，由此可以实现对特定波长进行选择的滤波功能。
这种滤波器结构紧凑，光信号传输距离长、易于制作、制造成本低且与CMOS兼容。
附图说明
图1为实施例滤波器结构的正视图示意图；
图2为实施例滤波器结构的侧视图示意图；
图3为实施例滤波器截面的电场强度分布示意图；
图4为实施例滤波器反射光谱示意图。
图中：1.基底层 2.下波导层 3.中波导层 4.上波导层 5.布拉格光栅 I.光波输入端 O1.透射光波输出端 O2.反射光波输出端。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明内容做进一步的详细说明，但不是对本发明的限定。
实施例，本实施例是针对中心波长为1550nm的通信波段为例：
参照图1、2，一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，包括基底层1、下波导层2、中波导层3和上波导层4，所述下波导层2、中波导层3和上波导层4顺序叠接在基底层1的上表面上，所有的波导均为平板条形波导，所述上波导层4的顶部设有等周期的布拉格光栅5，所述基底层1的宽度尺寸要大于下波导层2、中波导层3和上波导层4的宽度尺寸。
所述基底层1为金属银，本例中金属银的折射率为0.1453+11.3587i，宽度为2000nm。
所述下波导层2直接贴合在基底层1的上表面，为二氧化硅，本例中二氧化硅的厚度为120nm，折射率为1.45。
所述中波导层3直接叠加于下波导层2的上表面，为折射率低于二氧化硅的氟化钠，本例中氟化钠的厚度为40nm，折射率为1.319。
所述的上波导层4为直接叠加于中波导层3上表面的硅，本例中硅的厚度为220nm，折射率为3.45。
所述的布拉格光栅5的周期单元为凹凸状的对称矩形结构，并且周期单元中凹槽部分与凸起部分宽度相同。
本例中平板条形波导的宽度为200nm，以保证单TM模式的光在波导布拉格光栅5中传输；光波从光波输入端I射入器件，经过能量的震荡耦合，透射光信号由透射光波输出端O1输出，反射光信号由O2端输出。
这种滤波器工作时，光波由光波输入端I进入，由金属银表面所产生的复合表面等离激元可以将光场约束在基底层1和下波导层2的界面处，而氟化钠材料的折射率要低于二氧化硅材料，因此中波导层3可以对光场进行进一步压缩，使能量更多的聚集在中波导层3，形成一个仅有几十纳米的光场限制区域，起到模场限制的作用。
根据衍射区域面积公式，具体公式如下：
Aeff＝[∫∫W(r)dA]/{max(W(r))}
其中，Aeff表示的是衍射区域面积,W(r)表示的是电磁能量密度，ε(r)表示的相对介电常数，μ0表示的是真空磁导率，E(r)和H(r)表示的是波导光栅的电场和磁场强度。
由此可以看出，这种滤波器可以大大缩小整个布拉格光栅结构的尺寸，同时还能保证光波在器件中的传输损耗可以降低到更低的程度，从而提升滤波的效率，易于集成。
利用电子束曝光的光刻技术，对上波导层4的顶部进行刻蚀形成周期性的布拉格光栅5，该布拉格光栅5的周期单元呈现为规则对称矩形结构，分为凹槽部分和凸起部分，根据此布拉格光栅5，本例刻蚀的凹槽深度设定为40nm，以60个周期单元作为该实施例的周期单元个数，为了可以反射特定的波长，光栅的周期单元长度需要满足一阶光栅相位匹配条件，具体公式如下：
其中，Λ表示的是周期单元长度，λc表示的是中心波长，neff1和neff2分别表示的是光栅凹槽部分和凸起部分所在位置的光栅折射率，根据布拉格光栅的相位匹配条件，可以得到光栅的周期单元长度为637.7nm，从而凹槽部分的宽度为318.85nm，布拉格光栅的总长度为38.6μm。
由于周期单元长度分为凹槽部分和凸起部分，凹槽部分与凸起部分所对应光栅折射率的不同，当光波进入器件后，光波会在器件中不断地进行来回震荡耦合，最终不满足布拉格相位匹配条件的波长被允许通过该布拉格光栅滤波器件由透射光波输出端O1输出，而所需的目标波长则被反射回来由反射光波输出端O2输出，由此可以实现对特定波长进行选择的滤波功能。
如图3所示，能量被集中地限制在中波导层3，说明该器件可以突破光的衍射极限，完成对光场的约束，证明结构的小型化是可以实现的。
如图4所示的反射光谱图可以看出，当中心波长为1550nm的光波通过该布拉格光栅时，有72％的光不能通过整个结构并按原路被反射回来由O2输出，说明该波导布拉格光栅具有很好的反射特性，非常适合成为一种优秀的滤波器。
Claims (3)
1.一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，包括基底层、下波导层、中波导层和上波导层，所述下波导层、中波导层和上波导层顺序叠接在基底层的上表面上，所有的波导均为平板条形波导，所述上波导层的顶部设有等周期的布拉格光栅，所述基底层的宽度尺寸要大于下波导层、中波导层、上波导层的宽度尺寸，所述基底层为金属银；所述下波导层直接贴合在基底层的上表面、为二氧化硅；所述中波导层直接叠加于下波导层的上表面、为折射率低于二氧化硅的氟化钠；所述上波导层为直接叠加于中波导层上表面的硅。
2.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述的平板条形波导的宽度为200nm。
3.根据权利要求1所述的基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器，其特征是，所述的布拉格光栅的周期单元为凹凸状的对称矩形结构，并且周期单元中凹槽部分与凸起部分宽度相同。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710043730.3A CN106772798B (zh) | 2017-01-19 | 2017-01-19 | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710043730.3A CN106772798B (zh) | 2017-01-19 | 2017-01-19 | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106772798A CN106772798A (zh) | 2017-05-31 |
| CN106772798B true CN106772798B (zh) | 2023-03-10 |
Family
ID=58943611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710043730.3A Active CN106772798B (zh) | 2017-01-19 | 2017-01-19 | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106772798B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108614325B (zh) * | 2018-05-09 | 2020-06-26 | 南京邮电大学 | 一种具有双禁带的混合等离激元波导布拉格光栅 |
| CN114675360B (zh) * | 2020-12-25 | 2024-03-08 | 广州睿芯微电子有限公司 | 一种导模共振窄带滤波单元结构及多光谱芯片 |
Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2821600Y (zh) * | 2005-09-08 | 2006-09-27 | 中国计量学院 | 一种用于光放大器增益平坦的啁啾布拉格光纤光栅滤波器 |
| EP1862827A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-05 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA | Nano-structured Zero-order diffractive filter |
| CN101360981A (zh) * | 2006-01-17 | 2009-02-04 | 惠普开发有限公司 | 使用亚波长共振光栅滤波器的拉曼光谱仪系统和方法 |
| CN101915958A (zh) * | 2010-07-26 | 2010-12-15 | 苏州大学 | 一种微纳结构偏振滤光复合功能器件 |
| CN102100005A (zh) * | 2008-07-14 | 2011-06-15 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 采用分布式布拉格反射的混合型导模谐振滤波器和方法 |
| CN102324907A (zh) * | 2011-07-06 | 2012-01-18 | 中国计量学院 | 一种基于硅基光子晶体结构的太赫兹波可调窄带滤波器 |
| KR20130098651A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 광운대학교 산학협력단 | 금속 격자 기반의 광 파장 필터 |
| CN203616502U (zh) * | 2013-12-09 | 2014-05-28 | 华南师范大学 | 一种表面等离激元光波导滤波器 |
| CN104570184A (zh) * | 2015-01-20 | 2015-04-29 | 厦门大学 | 一种可集成窄带微型滤光器 |
| CN104793277A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-07-22 | 东南大学 | 基于表面等离子体激元的透射式滤波器 |
| CN204613443U (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-02 | 吴海鹏 | 用于红外光的集成光路滤波器件 |
| CN106200027A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-12-07 | 桂林电子科技大学 | 基于声光互作用动量匹配的光学滤波方法 |
| CN206573739U (zh) * | 2017-01-19 | 2017-10-20 | 桂林电子科技大学 | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107798A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | 株式会社フジクラ | 光導波路素子、波長分散補償素子およびその設計方法、光フィルタおよびその設計方法、ならびに光共振器およびその設計方法 |
-
2017
- 2017-01-19 CN CN201710043730.3A patent/CN106772798B/zh active Active
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN2821600Y (zh) * | 2005-09-08 | 2006-09-27 | 中国计量学院 | 一种用于光放大器增益平坦的啁啾布拉格光纤光栅滤波器 |
| CN101360981A (zh) * | 2006-01-17 | 2009-02-04 | 惠普开发有限公司 | 使用亚波长共振光栅滤波器的拉曼光谱仪系统和方法 |
| EP1862827A1 (en) * | 2006-05-31 | 2007-12-05 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA | Nano-structured Zero-order diffractive filter |
| CN102100005A (zh) * | 2008-07-14 | 2011-06-15 | 惠普发展公司，有限责任合伙企业 | 采用分布式布拉格反射的混合型导模谐振滤波器和方法 |
| CN101915958A (zh) * | 2010-07-26 | 2010-12-15 | 苏州大学 | 一种微纳结构偏振滤光复合功能器件 |
| CN102324907A (zh) * | 2011-07-06 | 2012-01-18 | 中国计量学院 | 一种基于硅基光子晶体结构的太赫兹波可调窄带滤波器 |
| KR20130098651A (ko) * | 2012-02-28 | 2013-09-05 | 광운대학교 산학협력단 | 금속 격자 기반의 광 파장 필터 |
| CN203616502U (zh) * | 2013-12-09 | 2014-05-28 | 华南师范大学 | 一种表面等离激元光波导滤波器 |
| CN104570184A (zh) * | 2015-01-20 | 2015-04-29 | 厦门大学 | 一种可集成窄带微型滤光器 |
| CN104793277A (zh) * | 2015-04-29 | 2015-07-22 | 东南大学 | 基于表面等离子体激元的透射式滤波器 |
| CN204613443U (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-02 | 吴海鹏 | 用于红外光的集成光路滤波器件 |
| CN106200027A (zh) * | 2016-07-08 | 2016-12-07 | 桂林电子科技大学 | 基于声光互作用动量匹配的光学滤波方法 |
| CN206573739U (zh) * | 2017-01-19 | 2017-10-20 | 桂林电子科技大学 | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| ALFERNESS R. C.等.NARROWBAND GRATING RESONATOR FILTERS IN INGAASP/INP WAVEGUIDES..1986,第49卷 * |
| 基于SPPs的滤波器的设计;渠海荣;《自动化与仪器仪表》;20151225(第12期);全文 * |
| 基于矩形谐振腔MIM波导结构的表面等离子体带阻滤波器;王玲玲等;《湖南大学学报(自然科学版)》;20120525(第05期);全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106772798A (zh) | 2017-05-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Luque-González et al. | A review of silicon subwavelength gratings: building break-through devices with anisotropic metamaterials | |
| US7242837B2 (en) | Photonic crystal structure for mode conversion | |
| CN104781708B (zh) | 弯曲光波导 | |
| US8238702B2 (en) | Hybrid dielectric/surface plasmon polariton waveguide with grating coupling | |
| CN110618487B (zh) | 一种基于亚波长光栅结构的多模干涉型偏振不敏感功分器 | |
| US8369665B2 (en) | Hybrid guided-mode resonance filter and method employing distributed bragg reflection | |
| CN105572796B (zh) | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的上下路滤波器 | |
| CA2550677A1 (en) | Tunable resonant grating filters | |
| CN105759362A (zh) | 一种基于反对称多模布拉格波导光栅的带通带阻滤波器 | |
| US6853786B2 (en) | Photonic-crystal fibers and photonic-crystal fiber devices | |
| CN112255727A (zh) | 端面耦合器和半导体器件 | |
| CN106772703B (zh) | 一种基于绝缘体上硅薄膜(soi)的1×8高性能光子晶体并行复用传感器阵列结构 | |
| CN106772798B (zh) | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 | |
| CN206573739U (zh) | 一种基于波导布拉格光栅的反射型窄带滤波器 | |
| CN109212664B (zh) | 一种基于等离激元的双边耦合谐振腔t形波分复用器 | |
| US7224868B2 (en) | Radiation-free optical cavity | |
| CN115201970B (zh) | 具有光栅耦合器的硅基光学芯片 | |
| CN113422183B (zh) | 基于同侧双微腔耦合结构的波导滤波器 | |
| CN115327701B (zh) | 一种基于x切薄膜铌酸锂平台的偏振不敏感光学滤波器 | |
| CN114755756B (zh) | 一种基于平面光波导的微腔光学滤波器 | |
| JP2001350040A (ja) | 光フィルタ | |
| JP2005284240A (ja) | フォトニック結晶導波路、均質媒体導波路、および光学素子 | |
| Zou et al. | Broadband and compact contradirectional coupler with subwavelength grating waveguides | |
| CN117452558A (zh) | 一种基于超材料亚波长结构的偏振分束器 | |
| Zhu et al. | Integrated Plasmonic Waveguide at the Mid-Infrared |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Application publication date: 20170531 Assignee: Guilin Siying Technology Co.,Ltd. Assignor: GUILIN University OF ELECTRONIC TECHNOLOGY Contract record no.: X2023980044849 Denomination of invention: A Reflective Narrowband Filter Based on Waveguide Bragg Grating Granted publication date: 20230310 License type: Common License Record date: 20231031 |