CN111094198A - 光纤母材的制造方法以及光纤的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种制造包括芯部和包层部的光纤母材的方法。该制造方法具备：将碱金属添加到石英系玻璃管的内表面的步骤；对添加有碱金属的石英系玻璃管的内表面进行蚀刻的步骤；在进行蚀刻的步骤之后对石英系玻璃管进行实心化以制作玻璃棒的步骤；以及使用玻璃棒以制作光纤母材的步骤。在进行添加的步骤中，对石英系玻璃管进行加热以使得石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内。

Description

光纤母材的制造方法以及光纤的制造方法
技术领域
本发明涉及光纤母材的制造方法以及光纤的制造方法。
本申请要求基于2017年8月31日提交的日本专利申请第2017-167406号的优先权，并且引用上述日本专利申请所记载的全部记载内容。
背景技术
专利文献1和专利文献2公开了通过向光纤母材中添加碱金属从而可以减少由该母材所制作的光纤的传输损耗的光纤母材制造方法。在专利文献1所记载的光纤母材制造方法中，将钾等碱金属添加到石英系玻璃管的内表面，然后进行内表面的蚀刻及实心化处理，从而制造了光纤母材。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本特开2014-214079号公报
[专利文献2]日本特表2005-537210号公报
发明内容
本公开提供一种制造包括芯部和包层部的光纤母材的方法。该制造方法具备：将碱金属添加到石英系玻璃管的内表面的步骤；对添加有碱金属的石英系玻璃管的内表面进行蚀刻的步骤；在进行蚀刻的步骤之后对石英系玻璃管进行实心化以制作玻璃棒的步骤；以及使用玻璃棒以制作光纤母材的步骤。在添加碱金属的步骤中，对石英系玻璃管进行加热以使得石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内。
本公开提供一种光纤的制造方法。该制造方法是使用由上述光纤母材的制造方法所制造的光纤母材以制造光纤的方法。该光纤的制造方法进一步具备对该光纤母材进行拉丝以制造光纤的拉丝步骤。
附图简要说明
[图1]图1是根据一个实施方式的光纤母材的剖视图。
[图2]图2是制造根据一个实施方式的光纤母材的方法的流程图。
[图3]图3是示出了制造光纤母材的方法中的添加步骤S2的概要的示意图。
[图4]图4是示出了在制造光纤母材的方法中的添加步骤S2中所使用的加热燃烧器的温度曲线图的一个例子的图。
[图5]图5是示出了图1所示的光纤母材中的径向上的K浓度分布和Cl浓度分布的曲线图。
[图6A]图6A是示出了在制造光纤母材的方法中的添加步骤S2中所使用的支撑部件的图。
[图6B]图6B是沿着图6A所示的支撑部件的VI(b)-VI(b)线的局部剖视图。
具体实施方式
[本公开所要解决的问题]
当将碱金属添加到光纤母材用的石英系玻璃管中时，所添加的碱金属有时会导致向玻璃晶体结构的转变。在专利文献1所记载的光纤母材的制造方法中，当将碱金属添加到石英系玻璃管中时，利用氢氧燃烧器进行加热以使石英系玻璃管的外表面变为2000℃以上。由此来防止由于玻璃的晶体结构所引起的失透。另一方面，若将石英系玻璃管的加热温度设为高温，则虽然可以抑制玻璃的结晶化，但是石英系玻璃管可能软化而发生变形或成为非圆形状。因此，期望在抑制光纤母材用的玻璃管的失透的同时还抑制其变形。
[本公开的效果]
根据本公开，可以在抑制用于光纤母材的玻璃管的失透的同时，还可以抑制玻璃管的变形。
[本公开的实施方式的说明]
首先，列出本公开的实施方式并进行说明。根据本公开的一个实施方式的光纤母材的制造方法是制造包括芯部和包层部的光纤母材的方法。该制造方法具备：将碱金属添加到石英系玻璃管的内表面的步骤；对添加有碱金属的石英系玻璃管的内表面进行蚀刻的步骤；在进行蚀刻的步骤之后对石英系玻璃管进行实心化以制作玻璃棒的步骤；以及使用玻璃棒制作光纤母材的步骤。在进行添加的步骤中，对石英系玻璃管进行加热以使得石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内。
在该光纤母材的制造方法中，当将碱金属添加到玻璃管中时，对石英系玻璃管进行加热以将石英系玻璃管的表面温度调节至1500℃以上且小于2000℃的温度范围内。在这种情况下，根据本发明人的研究可以确认，添加有碱金属的玻璃管不会失透，且抑制了玻璃管的变形。因此，通过将添加碱金属时的玻璃管的表面温度调节至1500℃以上且小于2000℃的温度范围内，从而可以抑制用于光纤母材的玻璃管的失透，并且同时还可以抑制其变形，由此，可以获得用于制造传输损耗低的光纤的光纤母材。
作为本实施方式的一个方面，在进行添加的步骤中，使石英系玻璃管的预定区域的表面温度变为1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移(traverse)的加热时间可以为0.5分钟以上且小于40分钟。另外，在进行添加的步骤中，使石英系玻璃管的预定区域的表面温度变为1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间可以为1分钟以上，也可以小于40分钟。在这种情况下，可以在抑制用于光纤母材的玻璃管的失透的同时，进一步抑制玻璃管的变形或成为非圆形状。需要说明的是，本文所述的“一次横移”表示一个方向(单程)上的一次横向移动。
作为本实施方式的一个方面，在进行添加的步骤中，利用加热燃烧器对石英系玻璃管进行加热，以使石英系玻璃管的表面温度变为1500℃以上且小于2000℃的温度范围内，可以将该加热燃烧器的加热温度曲线图中的1500℃以上的温度区域的宽度抑制为石英系玻璃管的直径的6倍以下。在这种情况下，由于石英系玻璃管被更局部地加热，因而可以在向玻璃管中添加碱金属的同时，进一步抑制由于加热区域的扩大而引起的玻璃管的变形。
作为本实施方式的一个方面，在进行添加的步骤中，可以对石英系玻璃管进行加热，以使得石英系玻璃管的表面温度变为1500℃以上且小于1800℃的温度范围内。
作为本实施方式的一个方面，在进行添加的步骤中，将保持着石英系玻璃管的区域维持为正压，该区域中的内压可以大于0Pa且为20Pa以下。在这种情况下，可以进一步抑制由加热所引起的玻璃管的变形。
作为本实施方式的一个方面，在进行添加的步骤中所添加的碱金属为钾，在进行添加的步骤中，可以采用加热燃烧器对石英系玻璃管进行反复加热，以使得当将光纤母材中的钾浓度为50[原子ppm]以上的区域的直径设为d1、以及将光纤母材中的钾浓度为50[原子ppm]以下且氯浓度为1000[原子ppm]以下的区域的直径设为d2时，光纤母材中的比率d2/d1为1.5以上且小于3.0。在这种情况下，可以在扩大能够减少光纤传输损耗的钾的添加区域的同时还抑制玻璃的结晶化。
作为另一方面，本实施方式涉及光纤的制造方法，该制造方法是使用光纤母材制造光纤的制造方法，该光纤母材是通过根据上述任一方面或其组合的光纤母材的制造方法而制造的。该制造方法进一步具备对该光纤母材进行拉丝以制造光纤的拉丝步骤。在这种情况下，由于使用由抑制了失透和变形的玻璃管制成的玻璃棒来制造光纤，因而可以获得具有更低损耗的光纤。
[本公开的实施方式的详述]
以下，参照附图来说明根据本公开实施方式的光纤母材的制造方法、以及使用由该制造方法而得的光纤母材以制造光纤的光纤制造方法的具体例子。本发明不限于这些例示，而是由权利要求书的范围表示，并且意图包括在与权利要求书的范围等同的含义和范围内的全部变更。在以下的说明中，在附图的说明中对相同的要素赋予相同的符号，并省略重复的说明。
图1是通过根据本实施方式的光纤母材制造方法而制造的光纤母材的剖视图。光纤母材1由石英系玻璃构成，并且具备芯部10以及围绕芯部10的包层部20。芯部10的折射率高于包层部20的折射率。芯部10具有第1芯部11以及围绕第1芯部11的第2芯部12。包层部20具有围绕芯部10的第1包层部21以及围绕第1包层部21的第2包层部22。通过后述的制造方法将碱金属(例如钾)添加到第1芯部11中。
图2是用于说明根据本实施方式的光纤母材制造方法的流程图。在该光纤母材的制造方法中，如图2所示，依次进行制备步骤S1、添加步骤S2、缩径步骤S3、蚀刻步骤S4、实心化步骤S5、第1拉伸磨削步骤S6、第1棒塌陷步骤S7、第2拉伸磨削步骤S8、第2棒塌陷步骤S9、以及OVD步骤S10，从而制造图1所示的光纤母材1。图3是表示光纤母材制造方法中的添加步骤S2中的处理的示意图。
在制备步骤S1中，首先，制备用于使碱金属元素扩散其中的石英系玻璃管31(参照图3)。石英系玻璃管31是(例如)包含预定量的氯(Cl)和氟(F)、且将其他掺杂剂和杂质的浓度抑制为预定值以下的管。关于石英系玻璃管31，例如，其外径为35mm，其内径为20mm。
接下来，在添加步骤S2中，将碱金属添加到石英系玻璃管31的内周面。作为在添加步骤中所添加的碱金属，例如可以使用钾(K)、钠(Na)、铷(Rb)或铯(Cs)。例如，当使用溴化钾(KBr)作为碱金属原料33时，如图3所示，通过外部热源32加热溴化钾以产生KBr蒸气。然后，一边将KBr蒸气与所供给的载气一起引入至石英系玻璃管31的内周侧，一边通过加热燃烧器34对石英系玻璃管31的外表面进行加热。在该加热处理期间，加热燃烧器34以预定速度(例如40mm/分钟)在图示箭头方向上往复横移多次(例如10个来回)，以使得钾金属元素扩散并添加到石英系玻璃管31的内表面31a。在这种情况下，例如，当将KBr蒸气与以1SLM(换算为标准状态，1升/分钟)的流量引入了氧气的载气一起导入至石英系玻璃管31的内部时，可以使添加有碱金属的石英系玻璃管31的钾浓度的最大值成为1000[原子ppm]。
在本实施方式的添加步骤中的通过加热燃烧器34进行的加热处理中，调节加热燃烧器34以进行加热，使得玻璃管31的表面温度变为1500℃以上且低于2000℃，优选变为1500℃以上1800℃以下。换句话说，进行加热处理以使得玻璃管31的表面温度不超过2000℃。加热燃烧器34具有预先设定的预定温度曲线图(参照图4)，并且被调节为使得加热温度成为1500℃以上时的宽度D不大。在加热燃烧器34中，例如，温度曲线图的宽度D被抑制为进行加热的玻璃管31的直径的6倍以下。此外，在添加步骤中，除了限制加热温度的范围以外，也调整加热燃烧器34的横移速度以进行加热，使得加热燃烧器34对玻璃管31的各区域的加热时间(燃烧器加热时间)在0.5分钟至40分钟的预定范围内，并优选为1分钟以上且小于20分钟。也就是说，进行调节以使得石英系玻璃管31的某个区域的表面温度变为1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间为0.5分钟至40分钟，并优选为1分钟以上且小于20分钟。本文所述的“一次横移”表示一个方向(单程)上的一次横向移动。
在本实施方式的添加步骤中，在将加热燃烧器34的加热温度和加热时间调节为预定范围后，使碱金属扩散并添加至石英系玻璃管31的内表面31a。通过这样的加热调节，从而抑制由玻璃管31的结晶化所引起的失透和热变形。作为加热燃烧器34，例如可以使用氢氧燃烧器。可以在将保持着石英系玻璃管31的区域维持为正压、且该区域的内压大于0Pa且为20Pa以下的环境下进行添加步骤。
接着，在缩径步骤S3中，停止在添加步骤S2中所使用的KBr蒸气等的碱金属供给，然后对添加有碱金属的石英系玻璃管31进行缩径。此时，一边将氧气(例如0.5SLM的流量)导入至石英系玻璃管31的内部，一边通过外部热源对石英系玻璃管31进行加热以使得石英系玻璃管31的外表面变为1600℃至2100℃。使加热燃烧器34(例如)横移6个来回以进行加热，对添加有碱金属的石英系玻璃管31进行缩径直到其内径变为5mm为止。
接下来，在蚀刻步骤S4中，对缩径后的石英系玻璃管的内周面进行蚀刻。在蚀刻步骤中，一边将SF6(例如0.2SLM的流量)和氯气(例如0.5SLM的流量)的混合气体导入至缩径后的石英系玻璃管的内部，一边采用外部热源加热石英系玻璃管以进行内周面的气相蚀刻。在该处理中，对玻璃管的内周面进行蚀刻约400至800μm的厚度，将高浓度地含有在添加步骤中与碱金属一起被添加的杂质的管的内表面削去。由此，从玻璃管中除去了杂质。
接着，在实心化步骤S5中，使经过缩径且内周面已被蚀刻处理过的石英系玻璃管的实心化。在实心化步骤中，一边将氧气(例如，0.1SLM的流量)和氦气(例如，1SLM的流量)的混合气体导入至石英系玻璃管的内部，一边将石英系玻璃管内的绝对压力降低至97kPa以下，通过外部热源将石英系玻璃管的表面温度设为1600℃至2100℃，从而对石英系玻璃管进行实心化。通过该实心化步骤，获得了由含有碱金属的透明石英系玻璃构成的第1玻璃棒(例如，25mm的外径)。添加碱金属并使其扩散在第1玻璃棒中。
接下来，在第1拉伸磨削步骤S6中，将通过实心化而得到的第1玻璃棒拉伸以使直径为(例如)20mm，进一步磨削外周部以使直径为12mm，从而得到了第1芯部11。此时，如图5所示，当将K浓度为50[原子ppm]以上的区域的直径设为d1、以及将K浓度为50[原子ppm]以下且Cl浓度为1000[原子ppm]以下的区域的外径设为d2时，可以使第1芯部中的d2/d1的比率在1.5以上且小于3.0的范围内。
接着，在第1棒塌陷步骤S7中，将第2芯部12设置在第1芯部11的外侧以获得第2玻璃棒。在步骤S7中，通过以下的棒塌陷法制成了第2玻璃棒：其中，将第1芯部11插入至添加有预定量的氯原子且外径为55mm的石英系玻璃管(第2芯部12)的内部，然后通过外部热源使两者加热并一体化。
接下来，在第2拉伸磨削步骤S8中，将第2玻璃棒拉伸以使直径为24mm，进一步磨削外周部以使直径为17mm。将第1芯部11和第2芯部12组合以成为芯部10。当将芯部10的直径设为d3时，可以使芯部10中的d3/d1的比率在4至8的范围内。
接着，在第2棒塌陷步骤S9中，将第1包层部21设置在芯部10的外侧。在该步骤中，使用了以下的棒塌陷法：其中，将芯部10插入至添加有氟的石英系玻璃管(对应于第1包层部21)的内部，然后通过外部热源使两者加热并一体化。第2芯部12与第1包层部21的相对折射率之差最大为(例如)约0.34％。通过该棒塌陷法进行合成，结果是，可以将芯部10及其附近的第1包层部21的水分量抑制为足够低。
接下来，在OVD步骤S10中，将通过使芯部10和第1包层部21一体化而成的玻璃棒拉伸以成为预定直径，然后通过OVD法在该玻璃棒的外侧上合成含有氟的第2包层部22，从而制造了光纤母材1。在所得的光纤母材1中，例如，第1包层部21的外径为36mm，第2包层部22的外径为140mm。第2芯部12与第2包层部22的相对折射率之差最大为约0.32％。第1包层部21的外部的OH基的浓度可以采用红外吸收光谱法来进行测定，并且为约400[mol ppm]。
在随后的拉丝步骤中，可以通过对由上述制造方法所制造的光纤母材1进行拉丝来获得光纤。拉丝速度例如为2300m/分钟，拉丝张力可以设为0.5N。由此，可以制造通过添加碱金属而具有低传输损耗的光纤以及用于该光纤的光纤母材。
在此，对通过上述制造方法所制造的光纤母材的结晶化程度(失透)和变形(或成为非圆形状)进行说明。如上所述，在根据本实施方式的光纤母材的制造方法中，对在添加碱金属的添加步骤S2中向石英系玻璃管31中添加钾元素等碱金属时的加热温度进行调整，以使其在1500℃以上且小于2000℃的范围内。也就是说，对加热处理进行调整，以使石英系玻璃管31的表面温度在早期达到1500℃并且不超过2000℃。如此地，通过使石英系玻璃管表面的玻璃温度调整至高温(1500℃以上)，而不是调整至低温(1200℃以上且小于1500℃)，从而不会促进构成玻璃管的石英(SiO2)的晶核的形成和生长，可以使得晶体结构无法得以维持。通过这样的调整，即使在由用于减少光纤的传输损耗而添加的碱金属造成玻璃容易结晶化的情况下，也可以抑制用于制造光纤母材的石英系玻璃管的失透。
另外，通过添加有碱金属的玻璃管的表面温度维持为较高，从而使碱金属在玻璃内部的扩散/渗透得以进行，但是若进一步提高玻璃的加热温度(2000℃以上)，则可知光纤母材本身会由于热量而变形，或者会成为非圆的形状。因此，在本实施方式中，将添加步骤中的加热温度的上限值规定为小于2000℃。因此，在向石英系玻璃管中添加碱金属时，可以在某种程度上抑制玻璃管的加热，从而也能够抑制光纤母材的变形或成为非圆的形状。如同根据本实施方式的光纤母材的制造方法那样地，通过将玻璃的加热温度调整为小于2000℃，从而可以抑制光纤母材的变形或成为非圆的形状，当使用这样的光纤母材来制造光纤时，可以获得具有低连接损耗的光纤。
在根据本实施方式的光纤母材的制造方法中，在添加步骤中，可以将石英系玻璃管31的预定区域的表面温度变为1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间设为1分钟以上且小于20分钟。在这种情况，在抑制用于光纤母材的玻璃管的失透的同时，还可以进一步抑制玻璃管的变形或成为非圆的形状。
在根据本实施方式的光纤母材的制造方法中，在添加步骤中，采用加热燃烧器34对石英系玻璃管31进行加热，以使得石英系玻璃管31的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内，可以将加热燃烧器34的加热温度曲线图(参照图4)中的1500℃以上的温度区域的宽度D抑制为石英系玻璃管31的直径的6倍以下。在这种情况下，由于石英系玻璃管31被更局部地加热，因而可以在向玻璃管中添加碱金属的同时，进一步抑制由于加热的扩大而引起的玻璃管的变形。
在根据本实施方式的光纤母材的制造方法中，在添加步骤中，将保持着石英系玻璃管31的区域维持为正压，该区域中的内压可以大于0Pa且为20Pa以下。在设为这样的压力状态的情况下，可以进一步抑制由加热所引起的玻璃管的变形。
接下来，基于上述制造方法来制造光纤母材，并对玻璃管是否失透以及玻璃管是否变形进行了评价。所制备的石英系玻璃管的外径为35mm，内径为20mm。作为添加到玻璃管中的碱金属，采用外部热源将溴化钾(KBr)加热至840℃以产生KBr蒸气。然后，将KBr蒸气与以1SLM的流量导入了氧气的载气一起引入至石英系玻璃管31中，并且一边从外部利用氢氧燃烧器(加热燃烧器34)进行加热，一边进行横移，以使得石英系玻璃管31的表面在1500℃以上1800℃以下的范围内。氢氧燃烧器的加热时间(燃烧器加热时间)是通过将燃烧器加热范围除以横移速度而得的值，是指将玻璃管中的某一个点(区域)加热至1500℃以上的加热时间。设定燃烧器的温度曲线图(参照图4)，以使得氢氧燃烧器的加热范围(图4所示的宽度D)为165mm(温度为1500℃以上的范围)。将氢氧燃烧器的横移的来回次数(往复次数)设为10次。
然后，如下所示，调整氢氧燃烧器的横移速度，将燃烧器的加热时间在0.5分钟至40分钟之间阶段性地变更，评价玻璃管有无失透以及有无变形。评价结果示出于下表1中。
[表1]
燃烧器加热时间(分钟) 有无失透 有无变形
0.5 B A
1 A A
2 A A
4 A A
8 A A
12 A A
16 A A
20 A B
40 A B
在表1中，有无失透的“A”表示完全没有发生失透的状态，“B”表示部分发生了失透的状态。有无变形的“A”表示玻璃管(有效长度100mm)的变形为2mm以下的状态，有无变形的“B”表示玻璃管的变形为2mm以上5mm以下的状态。
从上述实施例可知，在向玻璃管中添加碱金属时通过将玻璃管的表面温度设为1500℃以上且小于2000℃，从而可以确认，能够抑制由于玻璃管的结晶化所引起的失透，并且能够抑制由于玻璃管的加热所引起的变形。此外，在向玻璃管中添加碱金属时通过将玻璃管的表面温度为1500℃以上且小于2000℃的时间设为0.5分钟以上40分钟以下，更优选设为1分钟以上且小于20分钟，从而可以确认，能够进一步抑制光纤母材的热变形。
如上所述，对于根据本实施方式的光纤母材制造方法以及使用由该制造方法所制造的光纤母材以制造光纤的制造方法进行了说明，但是本发明不限于这些，可以应用各种变形。例如，在上述光纤母材的制造方法中的添加步骤S2中，虽然在只有玻璃管31的两端被支撑的状态下利用加热燃烧器34对玻璃管31进行了加热，但是为了进一步抑制玻璃管31的变形，例如如图6A和图6B所示，也可以在玻璃管31的下方设置2个具有与玻璃管31的轴平行的轴的旋转支撑辊35以成为支撑玻璃管31的构成。在这种情况下，可以进一步抑制玻璃管31由于热而变形。在这种情况下，旋转支撑辊35可以配置在加热燃烧器横移的范围的稍微外侧，或者旋转支撑辊35可以配置在与加热燃烧器相距一定间隔处以使得旋转支撑辊35和加热燃烧器能够同时横移。
[符号的说明]
1···光纤母材；10···芯部；11···第1芯部；12···第2芯部；20···包层部；21···第1包层部；22···第2包层部；31···玻璃管；32···外部热源；33···碱金属原料；34···加热燃烧器；35···旋转支撑辊；D···宽度。

Claims (9)

1.一种光纤母材的制造方法，其用于制造包括芯部和包层部的光纤母材，具备：
将碱金属添加到石英系玻璃管的内表面的步骤；
对添加有所述碱金属的所述石英系玻璃管的内表面进行蚀刻的步骤；
在进行所述蚀刻的步骤之后对所述石英系玻璃管进行实心化以制作玻璃棒的步骤；以及
使用所述玻璃棒以制作光纤母材的步骤，
在进行所述添加的步骤中，对所述石英系玻璃管进行加热以使得所述石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内。
2.根据权利要求1所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，所述石英系玻璃管的预定区域的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间为0.5分钟以上且小于40分钟。
3.根据权利要求2所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，所述石英系玻璃管的预定区域的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间为1分钟以上。
4.根据权利要求2或权利要求3所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，所述石英系玻璃管的预定区域的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内的每一次横移的加热时间小于20分钟。
5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，利用加热燃烧器对所述石英系玻璃管进行加热，以使得所述石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于2000℃的温度范围内，将该加热燃烧器的加热温度曲线图中的1500℃以上的温度区域的宽度抑制为所述石英系玻璃管的直径的6倍以下。
6.根据权利要求1至权利要求5中任一项所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，加热所述石英系玻璃管以使得所述石英系玻璃管的表面温度在1500℃以上且小于1800℃的温度范围内。
7.根据权利要求1至权利要求5中任一项所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中，将保持着所述石英系玻璃管的区域维持为正压，该区域中的内压大于0Pa且为20Pa以下。
8.根据权利要求1至权利要求7中任一项所述的光纤母材的制造方法，其中，在进行所述添加的步骤中所添加的所述碱金属为钾，在进行所述添加的步骤中，采用加热燃烧器对所述石英系玻璃管进行反复加热，以使得当将所述光纤母材中的所述钾浓度为50[原子ppm]以上的区域的直径设为d1、以及将所述光纤母材中的所述钾浓度为50[原子ppm]以下且氯浓度为1000[原子ppm]以下的区域的直径设为d2时，所述光纤母材中的d2/d1为1.5以上且小于3.0。
9.一种光纤的制造方法，其是通过使用由权利要求1至权利要求8中任一项所述的光纤母材的制造方法所制造的光纤母材来制造光纤的制造方法，进一步具备：
对所述光纤母材进行拉丝以制造光纤的拉丝步骤。
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