CN111062582A - 参数设置方法及参数设置系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种参数设置方法及参数设置系统，所述参数设置方法包括：采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据；判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，则将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数，作为工艺下一次循环时的所述指定参数的数值；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。通过本发明提高了产能以及工艺效果。

Description

参数设置方法及参数设置系统
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种参数设置方法及参数设置系统。
背景技术
目前，在半导体工业领域中，设备加工物料过程中，要按照加工顺序，依次经过不同的腔室进行加工，最终按照一定路径回到指定位置。为了实现工业产能最大化，需要对加工物料传输进行精细的调度规划，即调度算法，而调度算法中起到关键作用的参数包括机械手的动作参数、在工艺腔室加工时间、开关隔离门的时间以及真空大气转换时间等，这些参数直接影响调度算法的决策，目前常见的调度算法有分支搜索、动态规划，但是现有调度算法的参数的输出值大多使用经验值确定，或者部分实验值确定。也就是说上述参数每一次运算时都是采用固定值，但对于长期生产的设备，这些参数的实际值可能会经过一段时间后发生变化，例如，机械手由于机械磨损等问题，一段时间后取放片的实时时间发生变化，充抽气由于工厂提供的气体压力的变化，造成真空大气转换的实际时间发生变化。这些变化对于调度算法会产生影响，由于调度算法中参数固定，不能根据设备运行情况自动调整，直接影响产能。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种参数设置方法及系统。
为实现本发明的目的而提供一种参数设置方法，所述方法包括：
采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；
在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据；
判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；
若判断结果为是，则将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数，作为工艺下一次循环时的所述指定参数的数值；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。
优选地，所述第一统计数据为所述指定参数的实际值的平均值，所述第二统计数据为所述指定参数的实际值的方差；
所述在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据的步骤，包括：
提取前M次循环对应的所述指定参数的实际值；
计算前M次循环对应的所述指定参数的实际值的平均值；
根据所述平均值以及所述前M次循环对应的所述指定参数的所有的实际值，计算出所述指定参数的实际值的方差。
优选地，若所述第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围，则发出报警提示。
优选地，所述采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值的步骤，包括：
采集循环进行工艺中的所述指定参数的实际值；
将所述指定参数的实际值记录到一列表中。
优选地，所述指定参数包括：机械手的动作参数以及进行工艺所需的腔室环境设置参数。
优选地，所述机械手的动作参数至少包括以下一种：取片时间，放片时间或机械手旋转时间。
一种参数设置系统，包括：
参数监控模块，用于采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；
参数统计模块，用于在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数；
参数判断模块，用于判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，将判断结果发送给参数调整模块；
所述参数调整模块用于将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数，作为工艺下一次循环时的所述指定参数的调整后的数值。
优选地，所述第一统计数据为所述指定参数的实际值的平均值，所述第二统计数据为所述指定参数的实际值的方差；
所述参数统计模块包括：
提取单元，用于提取前M次循环对应的所述指定参数的实际值；
第一计算单元，用于计算前M次循环对应的所述指定参数的实际值的平均值；
第二计算单元，用于由所述平均值以及所述前M次循环对应的所述指定参数的所有的实际值计算所述指定参数的实际值的方差。
优选地，还包括：
报警模块，用于在所述第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，发出报警提示。
优选地，所述参数监控模块包括：
采集单元，用于采集循环进行工艺中的所述指定参数的实际值；
存储单元，用于将所述指定参数的实际值记录到一列表中。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的参数设置方法及参数设置系统的技术方案中，采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据；判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，则将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的数值；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。本方案根据前M次循环对应的指定参数的第一统计数据和第二统计数据调整下一次循环次数时的指定参数的数值，能够根据设备在线运行情况自动调整指定参数的数值，从而保证了工艺控制的稳定性，提高了产能以及工艺效果。
附图说明
图1为本发明一个实施例提供的参数设置方法的流程框图；
图2为本发明实施例中在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据的步骤的流程框图。
图3为本发明另一个实施例提供的参数设置方法的流程框图；
图4为本发明一个实施例提供的参数设置系统的结构示意图；
图5为本发明另一个实施例提供的参数设置系统的结构示意图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图来对本发明提供的参数设置方法及参数设置系统进行详细描述。
如图1所示为本发明一个实施例提供的参数设置方法的流程框图，本实施例中，参数设置方法包括：
步骤101：采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值。
具体地，步骤101包括：
采集循环进行工艺中的指定参数的实际值，将指定参数的实际值记录到一列表中。列表可以为参数字典的列表，参数字典可以包括不同指定参数的列表，例如，以Dictionary<string，List<double>>表示的参数字典中，第一个参数string作为指定参数的类别，第二个参数List<double>作为指定参数的实际值列表。
具体地，指定参数包括：机械手的动作参数以及进行工艺所需的腔室环境设置参数；当然，指定参数也可以是机械手的动作参数，或者指定参数为进行工艺所需的腔室环境设置参数。
进一步，机械手的动作参数至少包括以下一种：取片时间、放片时间、机械手旋转时间。
进一步，工艺腔室的设置参数至少包括以下一种：工艺腔的抽气和充气压力值。
步骤102：在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据，其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。
第一统计数据可以为指定参数的实际值的平均值，第二统计数据可以为指定参数的实际值的方差，而如图2所示，在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据的步骤，包括：
步骤1021：提取前M次循环对应的指定参数的实际值。
步骤1022：计算前M次循环对应的指定参数的实际值的平均值。
比如，真空机械手的取片时间的平均值计算如下式(1)所示：
Figure BDA0002290728280000051
其中，式(1)中，n为机械手的取片时间的实际值的个数，Ti(i＝1…50)表示50个机械手的取片时间的实际值，
Figure BDA0002290728280000052
表示机械手的取片时间的实际值的平均值；本实施例中，将平均值作为新的真空机械手取片时间参数，供给调度算法计算。使用平均值作为新的真空机械手取片时间参数可以消除长时间运行或机械磨损等缘故造成的取片时间变化对调度算法产生影响。
步骤1023：根据平均值以及前M次循环对应的指定参数的所有的实际值，计算出指定参数的实际值的方差。
例如，真空机械手的取片时间的方差计算如下式(2)所示：
Figure BDA0002290728280000061
其中，式(2)中，n为机械手的取片时间的实际值的个数，Ti(i＝1…50)表示50个机械手的取片时间的实际值，
Figure BDA0002290728280000062
表示机械手的取片时间的实际值的平均值，S2表示机械手的取片时间的方差。本实施例中，方差作为监控参数波动性，一旦监控到方差大于阈值，将提示报警，这时的器件可能出现故障或寿命到达，从而实现智能监控设备稳定性的作用。
步骤103：判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若是，执行步骤104。
步骤104：将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的数值。
本发明实施例提供的参数设置方法，采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据；判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，则将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的数值；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。本方案根据前M次循环对应的指定参数的第一统计数据和第二统计数据调整下一次循环次数时的指定参数的数值，能够根据设备在线运行情况自动调整指定参数的数值，从而保证了工艺控制的稳定性，提高了产能以及工艺效果。。
如图3所示，为本发明另一个实施例提供的参数设置方法的流程框图，本实施例中，参数设置方法包括：
步骤200：开始。
步骤201：采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值。
步骤202：在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据，其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。
步骤203：判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若是，执行步骤204；若否，执行步骤206。
步骤204：将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的数值。
步骤205：结束。
步骤206：发出报警提示，执行步骤205。
本发明实施例提供的参数设置方法，在第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，发出报警提示。在第二统计数据为方差时，由方差监控参数的异常，及时发现设置运行的异常情况，给出报警提示，为半导体设备诊断提供基础。
相应地，针对上述参数设置方法，本发明还提供了一种参数设置系统，如图4所示，为本发明一个实施例提供的参数设置系统的结构示意图，本实施例中，参数设置系统包括：参数监控模块1、参数统计模块2、参数判断模块3以及参数调整模块4。
参数监控模块1用于采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值。
参数统计模块2用于在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。
参数判断模块3用于判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，将判断结果发送给参数调整模块4。
参数调整模块4用于将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的调整后的数值。
本发明实施例中，参数监控模块1可以包括：采集单元11以及存储单元12。
其中，采集单元11用于采集循环进行工艺中指定参数的实际值。
存储单元12用于将指定参数的实际值记录到一列表中。
在优选的实施例中，第一统计数据可以为指定参数的实际值的平均值，第二统计数据可以为指定参数的实际值的方差。而本发明实施例中，参数统计模块2包括：提取单元21、第一计算单元22以及第二计算单元23。
其中，提取单元21用于提取前M次循环对应的指定参数的实际值。
第一计算单元22用于计算前M次循环对应的指定参数的实际值的平均值。
第二计算单元23用于由平均值以及前M次循环对应的指定参数的所有的实际值计算指定参数的实际值的方差。
比如，真空机械手的取片时间的平均值计算如下式(1)所示：
Figure BDA0002290728280000081
其中，式(1)中，n为机械手的取片时间的实际值的个数，Ti(i＝1…50)表示50个机械手的取片时间的实际值，
Figure BDA0002290728280000083
表示机械手的取片时间的实际值的平均值；本实施例中，将平均值作为新的真空机械手取片时间参数，供给调度算法计算。使用平均值作为新的真空机械手取片时间参数可以消除长时间运行或机械磨损等缘故造成的取片时间变化对调度算法产生影响。
例如，真空机械手的取片时间的方差计算如下式(2)所示：
Figure BDA0002290728280000082
其中，式(2)中，n为机械手的取片时间的实际值的个数，Ti(i＝1…50)表示50个机械手的取片时间的实际值，
Figure BDA0002290728280000084
表示机械手的取片时间的实际值的平均值，S2表示机械手的取片时间的方差。本实施例中，方差作为监控参数波动性，一旦监控到方差大于阈值，将提示报警，这时的器件可能出现故障或寿命到达，从而实现智能监控设备稳定性的作用。
指定参数包括：机械手的动作参数以及进行工艺所需的腔室环境设置参数；当然，指定参数也可以是机械手的动作参数，或者指定参数为进行工艺所需的腔室环境设置参数。
进一步，机械手的动作参数至少包括以下一种：取片时间、放片时间、机械手旋转时间。
进一步，工艺腔室的设置参数至少包括以下一种：工艺腔的抽气和充气压力值。
本发明实施例提供的参数设置系统，参数监控模块采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值。参数统计模块在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到指定参数的第一统计数据和第二统计数据；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。参数判断模块用于判断第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；参数调整模块用于在第二统计数据满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，将第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的指定参数，作为工艺下一次循环时的指定参数的调整后的数值。本实施例根据前M次循环对应的指定参数的第一统计数据和第二统计数据调整下一次循环次数时的指定参数的数值，能够根据设备在线运行情况自动调整指定参数的数值，从而保证了工艺控制的稳定性，提高了产能以及工艺效果。。
进一步，本发明另一个实施例中，如图5所示，为本发明另一个实施例提供的参数设置系统的结构示意图，相对于图4所示实施例，本实施例中，参数设置系统还包括：报警模块5。
报警模块5用于在第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，发出报警提示。
本发明实施例提供的参数设置系统，在第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，报警模块发出报警提示；本实施例中，由参数判断模块监控参数的异常，及时发现设置运行的异常情况，通过报警模块给出报警提示，为半导体设备诊断提供基础。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种参数设置方法，其特征在于，所述方法包括：
采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；
在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据；
判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；
若判断结果为是，则将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数，作为工艺下一次循环时的所述指定参数的数值；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数。
2.根据权利要求1所述的参数设置方法，其特征在于，所述第一统计数据为所述指定参数的实际值的平均值，所述第二统计数据为所述指定参数的实际值的方差；
所述在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据的步骤，包括：
提取前M次循环对应的所述指定参数的实际值；
计算前M次循环对应的所述指定参数的实际值的平均值；
根据所述平均值以及所述前M次循环对应的所述指定参数的所有的实际值，计算出所述指定参数的实际值的方差。
3.根据权利要求2所述的参数设置方法，其特征在于，
若所述第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围，则发出报警提示。
4.根据权利要求1所述的参数设置方法，其特征在于，所述采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值的步骤，包括：
采集循环进行工艺中的所述指定参数的实际值；
将所述指定参数的实际值记录到一列表中。
5.根据权利要求1-4任一项所述的参数设置方法，其特征在于，所述指定参数包括：机械手的动作参数以及进行工艺所需的腔室环境设置参数。
6.根据权利要求5所述的参数设置方法，其特征在于，所述机械手的动作参数至少包括以下一种：取片时间，放片时间或机械手旋转时间。
7.一种参数设置系统，其特征在于，包括：
参数监控模块，用于采集并记录循环进行工艺中的指定参数的实际值；
参数统计模块，用于在工艺每经过N次循环之后，对自当前循环次数算起，前M次循环对应的所述指定参数的实际值进行统计和计算，至少得到所述指定参数的第一统计数据和第二统计数据；其中，M≤N，且M和N均为大于1的整数；
参数判断模块，用于判断所述第二统计数据是否满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围；若判断结果为是，将判断结果发送给参数调整模块；
所述参数调整模块用于将所述第一统计数据赋值给当前工艺所对应的调度算法中的所述指定参数，作为工艺下一次循环时的所述指定参数的调整后的数值。
8.根据权利要求7所述的参数设置系统，其特征在于，
所述第一统计数据为所述指定参数的实际值的平均值，所述第二统计数据为所述指定参数的实际值的方差；
所述参数统计模块包括：
提取单元，用于提取前M次循环对应的所述指定参数的实际值；
第一计算单元，用于计算前M次循环对应的所述指定参数的实际值的平均值；
第二计算单元，用于由所述平均值以及所述前M次循环对应的所述指定参数的所有的实际值计算所述指定参数的实际值的方差。
9.根据权利要求8所述的参数设置系统，其特征在于，还包括：
报警模块，用于在所述第二统计数据不满足当前工艺所对应的调度算法的阈值范围时，发出报警提示。
10.根据权利要求7所述的参数设置系统，其特征在于，所述参数监控模块包括：
采集单元，用于采集循环进行工艺中的所述指定参数的实际值；
存储单元，用于将所述指定参数的实际值记录到一列表中。
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