CN111044758B - 加速度传感器输出值校正方法及加速度传感器 - Google Patents

Abstract

本发明揭示了加速度传感器输出值校正方法及加速度传感器，其中校正方法如下：建立加速度传感器输出值与加速度输入值之间的线性拟合公式Acc_x‑Acc₀＝K*(Raw_x‑B)；通过建立K、B与振动频率F的多项式K(F)、B(F)并通过标准振动实验数据求出多项式K(F)、B(F)的系数，从而得到振动加速度的频率校正公式；校准时，将加速度传感器输出值及对应的振动频率带入振动加速度的频率校正公式得到校准值。本方案通过计算得到加速度传感器输出值、加速度输入值与振动频率的关系式，使加速度传感器在不同振动频率下具有相同的响应曲线，从而对低响应灵敏度时的加速度传感器输出值进行校正，以提高最终加速度传感器输出值的精度，为后续的数据分析应用提供了充分的精度保障。

Description

加速度传感器输出值校正方法及加速度传感器

技术领域

本发明涉及加速度传感器领域，尤其是加速度传感器输出值校正方法及加速度传感器。

背景技术

振动是自然界最普遍的现象之一，在许多情况下，振动被认为是消极因素，例如，振动会影响精密仪器设备的功能，降低加工精度和光洁度，加剧构件的疲劳和磨损，从而缩短机器和结构物的使用寿命，振动还可能引起结构的大变形破坏，有的桥梁曾因振动而坍毁；飞机机翼的颤振、机轮的抖振往往造成事故；车船和机舱的振动会劣化乘载条件；强烈的振动噪声会形成严重的公害。

因此可以通过对振动的检测和分析来判断各种设备、物体的状态，通常是通过振动传感器来进行振动信号的检测，而其中加速度传感器又是最常用的检测设备。

但是，由于加速度传感器对于不同的振动频率的振动信号具有不同的响应灵敏度，因此，在不同的振动频率下，加速度传感器输出值与加速度输入值(实际加速度值)会产生如附图1所示的多条不同斜率和截距的响应曲线，并且，通常来说振动信号的振动频率越高，加速度传感器的响应灵敏度就越低，其检测的结果就越不准确，这就导致加速度传感器在不同振动频率的振动信号下其加速度传感器输出值的精度差异大。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，通过将不同振动频率下的多条加速度输入值和加速度传感器输出值的响应曲线校准到同一条响应曲线，从而提供一种加速度传感器输出值校正方法及加速度传感器。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

加速度传感器输出值校正方法，包括如下步骤：

S1，建立加速度传感器输出值与加速度输入值之间的线性拟合公式

Acc_x-Acc₀＝K*(Raw_x-B) (1)

其中，Acc_x为加速度输入值；Acc₀为加速度基准值；K为斜率；Rawx为加速度传感器输出值；B为在某一振动频率F，加速度基准值Acc₀的条件下，对应的加速度传感器输出值；

S2，分别建立K、B与振动频率F和基准振动频率F0的差值的N阶多项式K(F)、B(F)，其中N大于等于2；

S3，将加速度传感器固定在标准振动测试台上，通过标准振动测试台依次对加速度传感器施加基准振动频率F0及振动频率F1、F2、…、Fn的振动信号，n不小于2，每个振动频率下分别产生至少三个振动幅度Acc₀、Acc₁、Acc₂，记录加速度传感器在每个振动频率、每个振动幅度的加速度传感器输出值；

S4，根据K与直线上任意两点的坐标关系、N阶多项式K(F)及S3步骤获得的数据，联立方程组，求出N阶多项式K(F)的系数；根据N阶多项式B(F)及S3步骤获得的数据，联立方程组，求出N阶多项式B(F)的系数，从而得到振动加速度的频率校正公式；

ACC(F)-Acc₀＝K(F)*(Raw_x-B(F)) (2)

其中，ACC(F)是振动频率为F时加速度传感器输出值的校准值；

S5，校准时，将加速度传感器的输出值及该输出值对应的振动频率带入S4步骤的振动加速度的频率校正公式得到校准值。

优选的，在所述S2步骤中，

K(F)＝K₀+CK₁*(F-F0)+CK₂*(F-F0)² (3)

B(F)＝B₀+CB₁*(F-F0)+CB₂*(F-F0)² (4)

其中，K(F)为在某一振动频率F时的斜率；K₀为在基准振动频率时的斜率；CK₁、CK₂为校正系数；F为振动频率；F0为基准振动频率；B(F)为在振动频率F，加速度基准值Acc₀的条件下，对应的加速度传感器输出值；B₀为在基准振动频率F0，加速度基准值Acc₀时的传感器输出值；CB₁、CB₂为校正系数。

优选的，在S3步骤中，所述振动频率F1、F2、…、Fn在0.1f-0.9f之间取值，所述f为加速度传感器可测频率的满量程；所述振动幅度Acc₁、Acc₂在0.1g-0.9g之间取值，所述g为加速度传感器可测振动幅度的满量程。

优选的，在所述S4步骤中，

根据公式(5)-(7)联立方程组求取多项式K(F)的K₀及校正系数CK₁，CK₂，

其中，Fx、Fy为F1、F2、…、Fn中的任意两值；

Raw(F0，Acc₂)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(F0，Acc₁)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fx，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fx，Acc₁)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fy，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fy，Acc₁)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₁时的输出值；

根据公式(8)-(10)联立方程组求取多项式B(F)的B₀及校正系数CB₁、CB₂

B(F0)＝Raw(F0，Acc₀)＝B₀ (8)

B(Fx)＝Raw(Fx，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fx-F0)+CB₂*(Fx-F0)² (9)

B(Fy)＝Raw(Fy，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fy-F0)+CB₂*(Fy-F0)² (10)

Raw(F0，Acc₀)为加速度传感器在基准振动频率F0，基准振动幅度Acc₀时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fx，基准振动幅度Acc₀时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fy，基准振动幅度Acc₀时的输出值。

优选的，还包括如下步骤：

S6，建立如下多项式(11)

Acc_final-Acc₀＝(Acc(F)-Acc₀)+C1*(Acc(F)-Acc₀)²+C2*(Acc(F)-Acc₀)³ (11)

其中，Acc_final为最终校正值，Acc(F)是校正值，C1，C2是校正系数；

S7，根据如下方程组解得C1，C2，确定三阶多项式拟合公式；

Acc₁-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)²+C2*(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)³ (12)

Acc₂-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)²+C2*(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)³ (13)

其中，Acc(Fn，Acc₁)、Acc(Fn，Acc₂)分别为振动频率Fn，振动幅度Acc₁、Acc₂时的加速度传感器输出值带入公式(2)后计算得到的校正值。

S8，二次校准时，将S5步骤得到的校准值带入S7步骤得到的三阶多项式拟合公式中，得到最终校准值。

优选的，当所述S4步骤的振动加速度的频率校正公式的线性相关系数小于0.95时，执行S6-S8步骤。

加速度传感器，具有执行上述加速度传感器输出值校正方法的单元。

本发明技术方案的优点主要体现在：

本方案设计精巧，过程简单，通过计算得到加速度传感器输出值、加速度输入值与振动频率的关系式，使加速度传感器在不同振动频率下，具有相同的加速度传感器输出值与加速度输入值响应曲线，从而可利用响应曲线对低响应灵敏度时的传感器的加速度传感器输出值进行校正，以提高最终加速度传感器输出值的精度，为后续的数据分析应用提供了充分的精度保障；本发明的校正方法，以计算过程为主，无需对加速度传感器进行硬件改造，成本低，易于应用且可靠性高。

通过对校正值与标准振动幅度的差值作为变量进行多项式拟合，能够进一步通过拟合公式对校正后的值进行二次补偿，从而进一步提高加速度传感器输出值的准确性，同时能够满足加速度输入值与加速度传感器输出值不是线性关系时的补偿，充分覆盖了加速度输入值和加速度传感器输出值的各种关系可能性。

附图说明

图1是背景技术中描述的未校准时的加速度传感器输出值与实际加速度值的相应曲线图；

图2是本发明的校准方法校准后的加速度传感器输出值与实际加速度值的相应曲线图。

具体实施方式

本发明的目的、优点和特点，将通过下面优选实施例的非限制性说明进行图示和解释。这些实施例仅是应用本发明技术方案的典型范例，凡采取等同替换或者等效变换而形成的技术方案，均落在本发明要求保护的范围之内。

在方案的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。并且，在方案的描述中，以操作人员为参照，靠近操作者的方向为近端，远离操作者的方向为远端。

下面详细对本发明揭示的加速度传感器输出值校正方法进行阐述，其包括如下过程：

S1，发明人经过大量的试验研究发现，通常加速度传感器的输出值与加速度输入值(实际加速度)具有线性关系，因此建立加速度传感器输出值与加速度输入值之间的线性拟合公式(1)

Acc_x-Acc₀＝K*(Raw_x-B) (1)

其中，Acc_x为加速度输入值(单位：m/s^2)；Acc₀为加速度基准值(基准振动幅度，单位：m/s^2)，其一般选取加速度传感器最为关注的振动幅度点，根据具体的加速度传感器进行选取；K为斜率；Rawx为加速度传感器输出值；B为在某一振动频率F，基准振动幅度Acc₀的条件下，对应的加速度传感器输出值。并且，公式(1)可理解为加速度传感器的输出值的变化量与加速度输入值的变化量呈线性关系。

因此，要求出线性拟合公式(1)，就需要求出K和B，同时，发明人经过大量的实验研究发现，K及B都是与振动频率F相关的系数，并且，它们与振动频率F一般具有某种单调函数关系。

S2，分别建立K、B与振动频率F和基准振动频率F0的差值的N阶多项式K(F)、B(F)，其中N大于等于2，例如可以是3阶、5阶多项式，具体根据实际校正的传感器及用户需要进行选择，优选如公式(3)、(4)所示的二阶多项式：

K(F)＝K₀+CK₁*(F-F0)+CK₂*(F-F0)² (3)

B(F)＝B₀+CB₁*(F-F0)+CB₂*(F-F0)² (4)

其中，K(F)为在某一振动频率时的斜率，K₀为在基准振动频率时的斜率，CK₁、CK₂为校正系数，F为振动频率，F0为基准振动频率，基准振动频率F0一般选取加速度传感器最为关注的频率点，例如该加速度传感器主要面向低频100Hz应用，则选取F0＝100Hz，具体根据不同的加速度传感器进行选择；B(F)为在振动频率F，加速度基准值Acc₀的条件下，对应的加速度传感器输出值，B₀为在基准振动频率时的传感器输出值；CB₁、CB₂为校正系数。

此时，只要求出二阶多项式K(F)、B(F)中的K₀、B₀及校正系数即可得出K和B的计算式，从而得到线性拟合公式:

Acc_x-Acc₀＝[K₀+CK₁*(F-F0)+CK₂*(F-F0)²]*{Raw_x-[B₀+CB₁*(F-F0)+CB₂*(F-F0)²]}。

具体通过以下标定实验来计算相应的参数：

S3，将加速度传感器固定在标准振动测试台上，通过标准振动测试台依次对加速度传感器施加基准振动频率F0及至少两个振动频率F1、F2、…、Fn的振动信号，每个振动频率下施加至少三个振动幅度Acc₀、Acc₁、Acc₂，记录加速度传感器在每个振动频率、每个振动幅度的加速度传感器输出值，Raw(F0，Acc₀)、Raw(F0，Acc₁)、Raw(F0，Acc₂)、Raw(F1，Acc₀)、…、Raw(Fn，Acc₂)。

并且，优选，所述振动频率F1、F2、…、Fn在0.1f-0.9f之间取值，所述f为加速度传感器可测频率的满量程；所述振动幅度Acc₁、Acc₂在0.1g-0.9g之间取值，所述g为加速度传感器可测振动幅度的满量程，从而保证测试范围的覆盖性，以保证最终结果的精度。

根据S3步骤获取的数据求取K₀，B₀及校正系数CK₁、CK₂、CB₁、CB₂，过程如下：

S4，由于响应曲线是加速度输入值与加速度传感器输出值的线性关系，其上任意点的坐标即是加速度输入值和加速度传感器输出值，而加速度输入值即某一振动频率下的振动幅度，加速度传感器输出值即Raw(Fn，Acc_x)，因此，根据直线上的已知两点的坐标A(x1，y1)，B(x2，y2)与该直线的斜率的关系式k＝(y2-y1)/(x2-x1)、二阶多项式K(F)＝K₀+K₁*(F-F0)+K₂*(F-F0)²，带入S3步骤获得的数据，联立方程组，求出二阶多项式K(F)的系数，详细如下：

根据公式(5)-(7)联立方程组求取二阶多项式K(F)的K₀及校正系数CK₁，CK₂，

其中，Fx、Fy为F1、F2、…、Fn中的任意两值；

Raw(F0，Acc₂)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(F0，Acc₁)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fx，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fx，Acc₁)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fy，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fy，Acc₁)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₁时的输出值。

通过解方程组可以求出系数CK₁、CK₂，得到二阶多项式K(F)。

并且，在计算过程中，可以通过多次带入不同振动频率和振动幅度的数据来进行彼此之间的系数结果验证，以确保准确性。

同理，根据公式(8)-(10)联立方程组求取二阶多项式B(F)的B₀及校正系数CB₁、CB₂

B(F0)＝Raw(F0，Acc₀)＝B₀ (8)

B(Fx)＝Raw(Fx，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fx-F0)+CB₂*(Fx-F0)² (9)

B(Fy)＝Raw(Fy，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fy-F0)+CB₂*(Fy-F0)² (10)

Raw(F0，Acc₀)为加速度传感器在基准振动频率F0，基准振动幅度Acc₀(加速度基准值)时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fx，基准振动幅度Acc₀时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fy，基准振动幅度Acc₀时的输出值。

解方程组可以求出系数CB₁、CB₂，从而得到二阶多项式B(F)。

并且，在CB₁、CB₂计算过程中，同样可以通过多次带入不同振动频率在基准振动幅度的数据来进行彼此之间的系数结果验证，以确保准确性。

至此，可以得到振动加速度的频率校正公式(线性拟合公式)；

ACC(F)-Acc₀＝K(F)*(Raw_x-B(F)) (2)

其中，ACC(F)是振动频率为F时加速度传感器输出值的校准值，校准后的响应曲线如附图2所示。

S5，校准时，将加速度传感器的输出值及该输出值对应的振动频率带入S4步骤的振动加速度的频率校正公式得到校准值。

通常情况下，经过上述校正过程后，校准值相对于未校准时的加速度输出值精确性要提高，但是，上述过程是假设传感器输出值与加速度输入值为线性关系，不过发明人研究发现，在一些情况下，加速度传感器输出值与加速度输入值之间可能不一定能用线性关系表达，此时，采用上述过程校正后的精度可能达不到要求，因此可以采用如下方法进一步进行校正，具体的：

无论上述校正值的精度是否符合要求都可以执行下述的二次校正步骤，即S6-S8步骤，当然，也可以在一定的条件下，再执行二次校正步骤，例如，所述条件优选为当S4步骤的振动加速度的频率校正公式的线性相关系数小于0.95时，执行二次校正步骤。

S6，以(Acc(F)-Acc₀)为一个中间变量，对该中间变量进行非线性校准，建立M阶多项式，M不小于3，优选如下三阶多项式(11)

Acc_final-Acc₀＝(Acc(F)-Acc₀)+C1*(Acc(F)-Acc₀)²+C2*(Acc(F)-Acc₀)³ (11)

其中，Acc_final为最终校正值，C1，C2是校正系数。

S7，将S3步骤中获取的任一振动频率Fn，振动幅度分别为Acc₁、Acc₂、及相应的传感器输出值Raw(Fn，Acc₁)、Raw(Fn，Acc₂)代入公式(2)可得到Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀及Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀，将上述数据代入公式(11)从而可得到公式(12)、(13)构成的如下方程组：

Acc₁-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)²+C2*(Acc(F，Acc₁)-Acc₀)³ (12)

Acc₂-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)²+C2*(Acc(F，Acc₂)-Acc₀)³ (13)

其中，Acc(Fn，Acc₁)、Acc(Fn，Acc₂)分别为振动频率Fn，振动幅度Acc₁、Acc₂时的加速度传感器输出值带入公式(2)后计算得到的校正值。

解方程组即可得到C1，C2，从而确定三阶多项式拟合公式。

S8，二次校准时，将S5步骤得到的校准值带入S7步骤得到三阶多项式拟合公式中，得到最终校准值。

本发明进一步揭示了一种加速度传感器，包括各种已知加速度传感器的结构，如包括加速度感应芯片、信号采集单元、控制装置、供电电路等，所述控制装置具有能够执行上述，从而能够提高最终传感器输出值的精度。

本发明尚有多种实施方式，凡采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.加速度传感器输出值校正方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1，建立加速度传感器输出值与加速度输入值之间的线性拟合公式

Acc_x-Acc₀＝K*(Raw_x-B) (1)

其中，Acc_x为加速度输入值；Acc₀为加速度基准值；K为斜率；Rawx为加速度传感器输出值；B为在振动频率F，加速度基准值Acc₀时的加速度传感器输出值；

S2，分别建立K、B与振动频率F和基准振动频率F0的差值的N阶多项式K(F)、B(F)，其中N大于等于2；

S3，将加速度传感器固定在标准振动测试台上，通过标准振动测试台依次对加速度传感器施加基准振动频率F0及振动频率F1、F2、…、Fn的振动信号，n不小于2，每个振动频率下分别产生至少三个振动幅度Acc₀、Acc₁、Acc₂，记录加速度传感器在每个振动频率、每个振动幅度的加速度传感器输出值；

S4，根据K与直线上任意两点的坐标关系、N阶多项式K(F)及S3步骤获得的数据，联立方程组，求出N阶多项式K(F)的系数；根据N阶多项式B(F)及S3步骤获得的数据，联立方程组，求出N阶多项式B(F)的系数，从而得到振动加速度的频率校正公式；

ACC(F)-Acc₀＝K(F)*(Raw_x-B(F)) (2)

其中，ACC(F)是振动频率为F时，加速度传感器输出值的校准值；

S5，校准时，将加速度传感器的输出值及该输出值对应的振动频率带入S4步骤的振动加速度的频率校正公式得到校准值；

S6，建立如下多项式

Acc_final-Acc₀＝(Acc(F)-Acc₀)+C1*(Acc(F)-Acc₀)²+C2*(Acc(F)-Acc₀)³ (11)

其中，Acc_final为最终校正值；C1，C2是校正系数；

S7，根据公式(12)-(13)联立方程组得到校正系数C1，C2，确定三阶多项式拟合公式；

Acc₁-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₁)-Acc₀)²+C2*(Acc(F，Acc₁)-Acc₀)³ (12)

Acc₂-Acc₀＝(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)+C1*(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)²+C2*(Acc(Fn，Acc₂)-Acc₀)³ (13)

其中，Acc(Fn，Acc₁)、Acc(Fn，Acc₂)分别为在振动频率Fn，振动幅度ACc₁、Acc₂的加速度传感器输出值的校正值；

S8，二次校准时，将S5步骤得到的校准值带入S7步骤得到的三阶多项式拟合公式中，得到最终校准值。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器输出值校正方法，其特征在于：在所述S2步骤中，

K(F)＝K₀+CK₁*(F-F0)+CK₂*(F-F0)² (3)

B(F)＝B₀+CB₁*(F-F0)+CB₂*(F-F0)² (4)

其中，K(F)为在振动频率F时的斜率；K₀为在基准振动频率时的斜率；CK₁、CK₂为校正系数；B(F)为在振动频率F，加速度基准值Acc₀时的加速度传感器输出值；B₀为在基准振动频率F0，加速度基准值Acc₀时的传感器输出值；CB₁、CB₂为校正系数。

3.根据权利要求1所述的加速度传感器输出值校正方法，其特征在于：在S3步骤中，所述振动频率F1、F2、…、Fn在0.1f-0.9f之间取值，所述f为加速度传感器可测频率的满量程；所述振动幅度Acc₁、Acc₂在0.1g-0.9g之间取值，所述g为加速度传感器可测振动幅度的满量程。

4.根据权利要求2所述的加速度传感器输出值校正方法，其特征在于：在所述S4步骤中，

根据公式(5)-(7)联立方程组求取多项式K(F)的K₀及校正系数CK₁，CK₂，

其中，Fx、Fy为F1、F2、…、Fn中的任意两值；

Raw(F0，Acc₂)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(F0，Acc₁)为加速度传感器在基准振动频率F0，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fx，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fx，Acc1)为加速度传感器在振动频率Fx，振动幅度Acc₁时的输出值；

Raw(Fy，Acc₂)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₂时的输出值；

Raw(Fy，Acc₁)为加速度传感器在振动频率Fy，振动幅度Acc₁时的输出值；

根据公式(8)-(10)联立方程组求取多项式B(F)的B₀及校正系数CB₁、CB₂

B(F0)＝Raw(F0，Acc₀)＝B₀ (8)

B(Fx)＝Raw(Fx，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fx-F0)+CB₂*(Fx-F0)² (9)

B(Fy)＝Raw(Fy，Acc₀)＝B₀+CB₁*(Fy-F0)+CB₂*(Fy-F0)² (10)

Raw(F0，Acc₀)为加速度传感器在基准振动频率F0，基准振动幅度Acc₀时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fx，基准振动幅度Acc₀时的输出值；

Raw(Fx，Acc₀)为加速度传感器在振动频率Fy，基准振动幅度Acc₀时的输出值。

5.根据权利要求1所述的加速度传感器输出值校正方法，其特征在于：当所述S4步骤的振动加速度的频率校正公式的线性相关系数小于0.95时，执行S6-S8步骤。

6.加速度传感器，其特征在于：具有能够执行权利要求1-5任一所述的加速度传感器输出值校正方法的单元。

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