CN111005055A - 一种多源同步频振式电沉积加工装置及加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种多源同步频振式电沉积加工装置,包括反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路,反应釜上端面与端盖连接,加热线圈嵌于反应釜内,曝气管环绕反应釜轴线均布在反应釜侧壁内表面,各曝气管间相互并联并分别与高压泵连通,高压泵通过导流管与反应釜底部连通,振荡夹具嵌于反应釜内并与端盖下端面连接,驱动电路分别与高压泵、驱动电源电气连接。电沉积方法包括设备组装,设备预制及沉积作业等三个步骤。本发明有效实现了在电沉积作业中将电场、磁场及机械振动多源驱动动力源整合到同一电沉积设备中,并可对多源驱动动力源运行进行同步协调,从而极大的提高了电沉积作业的工作效率及电沉积作业的质量。
Description
技术领域
本发明涉及一种多源同步频振式电沉积加工装置及加工方法,属化工设备均质技术领域。
背景技术
电沉积作业是当前常用的表面处理加工工艺之一,使用量巨大,当前在进行电沉积作业中,主要是通过将工件沉浸在电介质中,然后在电流驱动下实现电介质与待加工表面间进行离子交换,虽然可以满足使用的需要,但在加工中当前的电沉积设备均不同程度存在电流分布密度、方向及强度不均,工件表面电介质分布浓度不均,并因此导致电沉积中一方面导致工件表面弱吸附能力金属离子和强吸附能力金属离子同时在工件表面上吸附,从而严重影响了电沉积作业的加工效率和离子吸附强度及稳定性;另一方面因工件表面金属离子沉积效率分布不均,从而导致工件表面电沉积层厚度分布不均,尤其是工件边缘部位易产生毛刺等严重影响加工作业质量情况发生。
因此,针对这一现状,迫切需要开发一种电沉积装置及电沉积作业方法,以满足实际使用的需要。
发明内容
本发明目的就在于克服上述不足,提供一种多源同步频振式电沉积加工装置及加工方法。
为实现上述目的,本发明是通过以下技术方案来实现:
一种多源同步频振式电沉积加工装置,包括反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路,其中反应釜轴线与水平面垂直分布,其上端面与端盖连接并构成密闭腔体结构,加热线圈至少两条,嵌于反应釜内并为与反应釜同轴分布的闭合环装结构,各加热线圈沿反应釜轴线自上而下均布并与反应釜侧壁内表面连接,曝气管至少两条,环绕反应釜轴线均布在反应釜侧壁内表面,各曝气管间相互并联并分别与高压泵连通,高压泵与反应釜侧壁外表面连接,并通过导流管与反应釜底部连通,振荡夹具至少两个,嵌于反应釜内,环绕反应釜轴线均布并与端盖下端面连接,振荡夹具轴线与反应釜轴线平行分布,且以反应釜轴线对称分布的两个振荡夹具构成一个作业组,作业组至少两个,各作业组间相互并联并分别与驱动电源电气连接,驱动电源和驱动电路均与反应釜侧壁外表面连接,且驱动电路分别与高压泵、驱动电源电气连接,所述驱动电源分别与加热线圈和振荡夹具电气连接。
进一步的,所述的振荡夹具包括承载底座、阳极电极柱、阴极电极柱、承载板、超声波振荡机构、定位夹具、驱动触点,所述承载底座为横断面为矩形的框架结构,其上端面与端盖下端面连接并平行分布,下端面与一条阳极电极柱和一条阴极电极柱连接并垂直分布,且所述阳极电极柱、阴极电极柱间以承载底座轴线对称分布,所述阳极电极柱、阴极电极柱下端面分别与至少两个承载板连接,且阳极电极柱、阴极电极柱分别与其连接的承载板间电气连接,所述阳极电极柱、阴极电极柱所连接的各承载板沿反应釜轴线方向自上而下分布,并相互混联,所述承载板前端面与反应釜轴线平行分布,且相邻两个承载板间相互铰接,所述承载板前通过滑槽与至少两个定位夹具滑动连接并均布若干驱动触点,后端面设一个超声波振荡机构,其中同一承载板上的定位夹具均以承载板轴线对称分布,超声波振荡机构与承载板同轴分布,所述驱动触点环绕承载板轴线均布并与承载板电气连接,驱动触点轴线与承载板前端面垂直分布,且各驱动触点间相互并联,所述阳极电极柱、阴极电极柱、超声波振荡机构均与驱动电源电气连接。
进一步的,所述的驱动触点与承载板间通过承压弹簧相互连接,且驱动触点前端面超出定位夹具前端面至少5毫米,所述驱动触点包括导电电极、电磁线圈、弹性绝缘护套及绝缘衬套,其中所述导电电极为柱状结构其后端面通过绝缘块与承压弹簧连接,并通过导线与承载板电气连接,所述绝缘衬套包覆在导电电极外并为与导电电极同轴分布的管状结构,所述电磁线圈长度为绝缘衬套长度的30%—80%,包覆在绝缘衬套外并位于绝缘衬套中间位置,且电磁线圈通过导线与承载板电气连接,所述弹性绝缘护套包覆在电磁线圈、绝缘衬套及承压弹簧外并与导电电极同轴分布,且所述弹性绝缘护套前端面与导电电极平齐分布,后端面与承载板前端面相抵。
进一步的,所述的承载板为网板结构及格栅板结构中的任意一种,相互连接的两个承载板间通过至少三个铰链铰接。
进一步的,所述的反应釜外表面设承载机架,所述承载机架为与反应釜同轴分布的框架结构,所述高压泵、驱动电源及驱动电路均与承载机架相互连接,所述端盖通过升降驱动机构与承载机架连接,所述升降驱动机构至少两个,环绕反应釜轴线均布且升降驱动机构轴线与反应釜轴线平行分布。
进一步的,所述的升降驱动机构为电动伸缩杆、气压伸缩杆、液压伸缩杆、丝杠机构、齿轮齿条机构及蜗轮蜗杆机构中的任意一种。
进一步的,所述的加热线圈通过驱动导轨与反应釜侧壁连接,所述驱动导轨环绕反应釜轴线均布,其轴线与反应釜轴线平行分布并与驱动电路电气连接。
进一步的,所述的驱动电源包括至少一个直流稳压电源、至少一个中频交流电源及至少一个高频交流电源;所述驱动电路为基于可编程控制器、工业计算机中的任意一种为基础的电路系统。
一种多源同步频振式电沉积加工装置的电沉积方法,包括以下步骤:
S1,设备组装,首先对反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路行组装装配,然后将高压泵通过多通阀分别与曝气管及外部的沉积介质输送系统及废料排污收集系统连通,最后将驱动电源及驱动电路分别与外部的供电电源系统及监控系统连接,从而完成本发明装配;
S2,设备预制,完成S1步骤后,首先通过升降驱动机构对端盖进行上升,打开反应釜,同时将端盖下方振荡夹具从反应釜中升起,然后将待加工工件安装到振荡夹具上,一方面将待加工工件与定位夹具连接,另一方使待加工工件表面与各驱动触点与待加工工件表面相抵,并使驱动触点与待加工工件表面电气连接,最后将端盖与反应釜连接并对反应釜进行密封,同时使得待加工工件随振荡夹具一同嵌入到反应釜内,同时通过增压泵向反应釜内供给电沉积作业介质,并使待加工工件浸入到电沉积作业介质中,且待加工工件上端面没入电沉积作业介质深度不小于5毫米;
S3,沉积作业,完成S2步骤后,首先通过驱动电源驱动加热线圈运行,由加热线圈对反应釜进行加热,并在温度达到电沉积作业需要后保持反应釜内处于恒温状态;并在加热过程中,通过高压泵对反应釜内参与电沉积作业的电沉积作业介质进行增压,并在增压后通过曝气管将增压后的电沉积作业介质再次输送至反应釜内,实现电沉积作业介质在反应釜内循环流动混合搅拌,然后在保持电沉积作业介质循环搅拌状态保持稳定前提下,由驱动电源驱动各振荡夹具的超声波振荡机构、驱动触点运行,一方由超声波振荡机构通过承载板对与承载板连接的待加工工件及承载板连接的待加工工件周边的电沉积作业介质进行同步振荡作业;另一方面通过驱动触点的导电电极在待加工工件表面形成均为分布的电晕层,形成恒定电场环境,同时通过电磁线圈在待加工工件表面及周边电沉积作业介质中形成稳定磁场环境,通过电场和磁场同步驱动实现在待加工工件进行电沉积作业的。
进一步的,所述的S2和S3步骤中,电沉积作业介质为液态介质、气体介质及固体粉状介质中的任意一种。
本发明有效的实现了在电沉积作业中将电场、磁场及机械振动多源驱动动力源整合到同一电沉积设备中,并可对多源驱动动力源运行进行同步协调,一方面结构集成化、模块化程度高,可有效满足多种不同类结构类型工件及电沉积介质进行电沉积加工成型作业的需要,并较传统电沉积装置可有效的提高电沉积作业中电流分布密度、电流分布均匀性及电流分布方向的一致性;另一方面在电沉积作业中,可有效的分散工件表面离子分布浓度,确保离子分布均匀性的同时对金属表面弱吸附能力金属离子进行清理,并在破坏阴极表面扩散层的同时,形成液相传质、扩散传质及电泳传质共同作用的紊流层,加快金属离子传质速率,提高面强吸附能力金属离子电沉积作业效率和金属离子沉积附着作用力和附着稳定性,同时还有效的了工件边缘部位电沉积层分布不均的缺陷,从而极大的提高了电沉积作业的工作效率及电沉积作业的质量。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为振荡夹具结构示意图;
图3为驱动触点结构示意图;
图4为本发明电沉积方法流程图。
具体实施方式
如图1—3所示一种多源同步频振式电沉积加工装置,包括反应釜1、端盖2、高压泵3、加热线圈4、曝气管5、振荡夹具6、驱动电源7及驱动电路8,其中反应釜1轴线与水平面垂直分布,其上端面与端盖2连接并构成密闭腔体结构,加热线圈4至少两条,嵌于反应釜1内并为与反应釜1同轴分布的闭合环装结构,各加热线圈4沿反应釜1轴线自上而下均布并与反应釜1侧壁内表面连接,曝气管5至少两条,环绕反应釜1轴线均布在反应釜1侧壁内表面,各曝气管5间相互并联并分别与高压泵3连通,高压泵3与反应釜1侧壁外表面连通,并通过导流管9与反应釜1底部连通,振荡夹具6至少两个,嵌于反应釜1内,环绕反应釜1轴线均布并与端盖2下端面连接,振荡夹具6轴线与反应釜1轴线平行分布,且以反应釜1轴线对称分布的两个振荡夹具6构成一个作业组,作业组至少两个,各作业组间相互并联并分别与驱动电源7电气连接,驱动电源7和驱动电路8均与反应釜1侧壁外表面连接,且驱动电路8分别与高压泵3、驱动电源7电气连接,所述驱动电源7分别与加热线圈4和振荡夹具6电气连接。
重点说明的,所述的振荡夹具6包括承载底座61、阳极电极柱62、阴极电极柱63、承载板64、超声波振荡机构65、定位夹具66、驱动触点67,所述承载底座61为横断面为矩形的框架结构,其上端面与端盖2下端面连接并平行分布,下端面与一条阳极电极柱62和一条阴极电极柱63连接并垂直分布,且所述阳极电极柱62、阴极电极柱63间以承载底座61轴线对称分布,所述阳极电极柱62、阴极电极柱63下端面分别与至少两个承载板64连接,且阳极电极柱62、阴极电极柱63分别与其连接的承载板64间电气连接,所述阳极电极柱62、阴极电极柱63所连接的各承载板64沿反应釜1轴线方向自上而下分布,并相互混联,所述承载板64前端面与反应釜1轴线平行分布,且相邻两个承载板64间相互铰接,所述承载板64前通过滑槽10与至少两个定位夹具66滑动连接并均布若干驱动触点67,后端面设一个超声波振荡机构65,其中同一承载板64上的定位夹具均以承载板64轴线对称分布,超声波振荡机构65与承载板64同轴分布,所述驱动触点67环绕承载板64轴线均布并与承载板64电气连接,驱动触点67轴线与承载板64前端面垂直分布,且各驱动触点67间相互并联,所述阳极电极柱62、阴极电极柱63、超声波振荡机构65均与驱动电源7电气连接。
进一步优化的,以反应釜1轴线对称分布的两个振荡夹具6中,两个振荡夹具6的阳极电极柱62、阴极电极柱63之间以反应釜1轴线对称分布或间隔分布两种分布方式中任意一种结构分布。
此外,以反应釜1轴线对称分布的两个振荡夹具6中,两个振荡夹具6的阳极电极柱62、阴极电极柱63之间通过导线相互串联、并联或混联中任意一种方式连接。
需要特别说明的,所述的驱动触点67与承载板64间通过承压弹簧11相互连接,且驱动触点67前端面超出定位夹具66前端面至少5毫米,所述驱动触点67包括导电电极671、电磁线圈672、弹性绝缘护套673及绝缘衬套674,其中所述导电电极671为柱状结构其后端面通过绝缘块675与承压弹簧11连接,并通过导线676与承载板64电气连接,所述绝缘衬套674包覆在导电电极671外并为与导电电极671同轴分布的管状结构,所述电磁线圈672长度为绝缘衬套674长度的30%—80%,包覆在绝缘衬套674外并位于绝缘衬套674中间位置,且电磁线圈672通过导线676与承载板64电气连接,所述弹性绝缘护套673包覆在电磁线圈672、绝缘衬套674及承压弹簧11外并与导电电极671同轴分布,且所述弹性绝缘护套673前端面与导电电极671平齐分布,后端面与承载板64前端面相抵。
同时,所述导线676嵌于弹性绝缘护套673内。
进一步优化的,所述的承载板64为网板结构及格栅板结构中的任意一种,相互连接的两个承载板64间通过至少三个铰链铰接。
本实施例中,所述的反应釜1外表面设承载机架12,所述承载机架12为与反应釜1同轴分布的框架结构,所述高压泵3、驱动电源7及驱动电路8均与承载机架12相互连接,所述端盖2通过升降驱动机构13与承载机架12连接,所述升降驱动机构13至少两个,环绕反应釜1轴线均布且升降驱动机构13轴线与反应釜1轴线平行分布。
进一步优化的,所述的升降驱动机构13为电动伸缩杆、气压伸缩杆、液压伸缩杆、丝杠机构、齿轮齿条机构及蜗轮蜗杆机构中的任意一种。
此外,所述的加热线圈4通过驱动导轨14与反应釜1侧壁连接,所述驱动导轨14环绕反应釜1轴线均布,其轴线与反应釜1轴线平行分布并与驱动电路8电气连接。
同时,所述的驱动电源7包括至少一个直流稳压电源、至少一个中频交流电源及至少一个高频交流电源;所述驱动电路8为基于可编程控制器、工业计算机中的任意一种为基础的电路系统。
一种多源同步频振式电沉积加工装置的电沉积方法,包括以下步骤:
S1,设备组装,首先对反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路行组装装配,然后将高压泵通过多通阀分别与曝气管及外部的沉积介质输送系统及废料排污收集系统连通,最后将驱动电源及驱动电路分别与外部的供电电源系统及监控系统连接,从而完成本发明装配;
S2,设备预制,完成S1步骤后,首先通过升降驱动机构对端盖进行上升,打开反应釜,同时将端盖下方振荡夹具从反应釜中升起,然后将待加工工件安装到振荡夹具上,一方面将待加工工件与定位夹具连接,另一方使待加工工件表面与各驱动触点与待加工工件表面相抵,并使驱动触点与待加工工件表面电气连接,最后将端盖与反应釜连接并对反应釜进行密封,同时使得待加工工件随振荡夹具一同嵌入到反应釜内,同时通过增压泵向反应釜内供给电沉积作业介质,并使待加工工件浸入到电沉积作业介质中,且待加工工件上端面没入电沉积作业介质深度不小于5毫米;
S3,沉积作业,完成S2步骤后,首先通过驱动电源驱动加热线圈运行,由加热线圈对反应釜进行加热,并在温度达到电沉积作业需要后保持反应釜内处于恒温状态;并在加热过程中,通过高压泵对反应釜内参与电沉积作业的电沉积作业介质进行增压,并在增压后通过曝气管将增压后的电沉积作业介质再次输送至反应釜内,实现电沉积作业介质在反应釜内循环流动混合搅拌,然后在保持电沉积作业介质循环搅拌状态保持稳定前提下,由驱动电源驱动各振荡夹具的超声波振荡机构、驱动触点运行,一方由超声波振荡机构通过承载板对与承载板连接的待加工工件及承载板连接的待加工工件周边的电沉积作业介质进行同步振荡作业;另一方面通过驱动触点的导电电极在待加工工件表面形成均为分布的电晕层,形成恒定电场环境,同时通过电磁线圈在待加工工件表面及周边电沉积作业介质中形成稳定磁场环境,通过电场和磁场同步驱动实现在待加工工件进行电沉积作业的。
本实施例中,所述的S2和S3步骤中,电沉积作业介质为液态介质、气体介质及固体粉状介质中的任意一种。
本发明在具体实施中,所述S3步骤中,在进行沉积作业时,增压泵在对反应釜内部参与电沉积作业的电沉积作业介质增压驱动循环搅拌作业的同时,另可通过多通阀将反应釜内经过沉积作业浓度降低的废电沉积作业介质同步从反应釜中排出,并同时向反应釜中补充全新的电沉积作业介质,确保
本发明有效的实现了在电沉积作业中将电场、磁场及机械振动多源驱动动力源整合到同一电沉积设备中,并可对多源驱动动力源运行进行同步协调,一方面结构集成化、模块化程度高,可有效满足多种不同类结构类型工件及电沉积介质进行电沉积加工成型作业的需要,并较传统电沉积装置可有效的提高电沉积作业中电流分布密度、电流分布均匀性及电流分布方向的一致性;另一方面在电沉积作业中,可有效的分散工件表面离子分布浓度,确保离子分布均匀性的同时对金属表面弱吸附能力金属离子进行清理,并在破坏阴极表面扩散层的同时,形成液相传质、扩散传质及电泳传质共同作用的紊流层,加快金属离子传质速率,提高面强吸附能力金属离子电沉积作业效率和金属离子沉积附着作用力和附着稳定性,同时还有效的了工件边缘部位电沉积层分布不均的缺陷,从而极大的提高了电沉积作业的工作效率及电沉积作业的质量。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的多源同步频振式电沉积加工装置包括反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路,其中所述反应釜轴线与水平面垂直分布,其上端面与端盖连接并构成密闭腔体结构,所述加热线圈至少两条,嵌于反应釜内并为与反应釜同轴分布的闭合环装结构,各加热线圈沿反应釜轴线自上而下均布并与反应釜侧壁内表面连接,所述曝气管至少两条,环绕反应釜轴线均布在反应釜侧壁内表面,各曝气管间相互并联并分别与高压泵连通,所述高压泵与反应釜侧壁外表面连接,并通过导流管与反应釜底部连通,所述振荡夹具至少两个,嵌于反应釜内,环绕反应釜轴线均布并与端盖下端面连接,所述振荡夹具轴线与反应釜轴线平行分布,且以反应釜轴线对称分布的两个振荡夹具构成一个作业组,所述作业组至少两个,各作业组间相互并联并分别与驱动电源电气连接,所述驱动电源和驱动电路均与反应釜侧壁外表面连接,且所述驱动电路分别与高压泵、驱动电源电气连接,所述驱动电源分别与加热线圈和振荡夹具电气连接。
2.根据权利要求1所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的振荡夹具包括承载底座、阳极电极柱、阴极电极柱、承载板、超声波振荡机构、定位夹具、驱动触点,所述承载底座为横断面为矩形的框架结构,其上端面与端盖下端面连接并平行分布,下端面与一条阳极电极柱和一条阴极电极柱连接并垂直分布,且所述阳极电极柱、阴极电极柱间以承载底座轴线对称分布,所述阳极电极柱、阴极电极柱下端面分别与至少两个承载板连接,且阳极电极柱、阴极电极柱分别与其连接的承载板间电气连接,所述阳极电极柱、阴极电极柱所连接的各承载板沿反应釜轴线方向自上而下分布,并相互混联,所述承载板前端面与反应釜轴线平行分布,且相邻两个承载板间相互铰接,所述承载板前通过滑槽与至少两个定位夹具滑动连接并均布若干驱动触点,后端面设一个超声波振荡机构,其中同一承载板上的定位夹具均以承载板轴线对称分布,超声波振荡机构与承载板同轴分布,所述驱动触点环绕承载板轴线均布并与承载板电气连接,驱动触点轴线与承载板前端面垂直分布,且各驱动触点间相互并联,所述阳极电极柱、阴极电极柱、超声波振荡机构均与驱动电源电气连接。
3.根据权利要求2所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的驱动触点与承载板间通过承压弹簧相互连接,且驱动触点前端面超出定位夹具前端面至少5毫米,所述驱动触点包括导电电极、电磁线圈、弹性绝缘护套及绝缘衬套,其中所述导电电极为柱状结构其后端面通过绝缘块与承压弹簧连接,并通过导线与承载板电气连接,所述绝缘衬套包覆在导电电极外并为与导电电极同轴分布的管状结构,所述电磁线圈长度为绝缘衬套长度的30%—80%,包覆在绝缘衬套外并位于绝缘衬套中间位置,且电磁线圈通过导线与承载板电气连接,所述弹性绝缘护套包覆在电磁线圈、绝缘衬套及承压弹簧外并与导电电极同轴分布,且所述弹性绝缘护套前端面与导电电极平齐分布,后端面与承载板前端面相抵。
4.根据权利要求2所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的承载板为网板结构及格栅板结构中的任意一种,相互连接的两个承载板间通过至少三个铰链铰接。
5.根据权利要求1所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的反应釜外表面设承载机架,所述承载机架为与反应釜同轴分布的框架结构,所述高压泵、驱动电源及驱动电路均与承载机架相互连接,所述端盖通过升降驱动机构与承载机架连接,所述升降驱动机构至少两个,环绕反应釜轴线均布且升降驱动机构轴线与反应釜轴线平行分布。
6.根据权利要求5所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的升降驱动机构为电动伸缩杆、气压伸缩杆、液压伸缩杆、丝杠机构、齿轮齿条机构及蜗轮蜗杆机构中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的加热线圈通过驱动导轨与反应釜侧壁连接,所述驱动导轨环绕反应釜轴线均布,其轴线与反应釜轴线平行分布并与驱动电路电气连接。
8.根据权利要求1所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的驱动电源包括至少一个直流稳压电源、至少一个中频交流电源及至少一个高频交流电源;所述驱动电路为基于可编程控制器、工业计算机中的任意一种为基础的电路系统。
9.一种多源同步频振式电沉积加工装置的电沉积方法,其特征在于,所述的多源同步频振式电沉积加工装置的电沉积方法包括以下步骤:
S1,设备组装,首先对反应釜、端盖、高压泵、加热线圈、曝气管、振荡夹具、驱动电源及驱动电路行组装装配,然后将高压泵通过多通阀分别与曝气管及外部的沉积介质输送系统及废料排污收集系统连通,最后将驱动电源及驱动电路分别与外部的供电电源系统及监控系统连接,从而完成本发明装配;
S2,设备预制,完成S1步骤后,首先通过升降驱动机构对端盖进行上升,打开反应釜,同时将端盖下方振荡夹具从反应釜中升起,然后将待加工工件安装到振荡夹具上,一方面将待加工工件与定位夹具连接,另一方使待加工工件表面与各驱动触点与待加工工件表面相抵,并使驱动触点与待加工工件表面电气连接,最后将端盖与反应釜连接并对反应釜进行密封,同时使得待加工工件随振荡夹具一同嵌入到反应釜内,同时通过增压泵向反应釜内供给电沉积作业介质,并使待加工工件浸入到电沉积作业介质中,且待加工工件上端面没入电沉积作业介质深度不小于5毫米;
S3,沉积作业,完成S2步骤后,首先通过驱动电源驱动加热线圈运行,由加热线圈对反应釜进行加热,并在温度达到电沉积作业需要后保持反应釜内处于恒温状态;并在加热过程中,通过高压泵对反应釜内参与电沉积作业的电沉积作业介质进行增压,并在增压后通过曝气管将增压后的电沉积作业介质再次输送至反应釜内,实现电沉积作业介质在反应釜内循环流动混合搅拌,然后在保持电沉积作业介质循环搅拌状态保持稳定前提下,由驱动电源驱动各振荡夹具的超声波振荡机构、驱动触点运行,一方由超声波振荡机构通过承载板对与承载板连接的待加工工件及承载板连接的待加工工件周边的电沉积作业介质进行同步振荡作业;另一方面通过驱动触点的导电电极在待加工工件表面形成均为分布的电晕层,形成恒定电场环境,同时通过电磁线圈在待加工工件表面及周边电沉积作业介质中形成稳定磁场环境,通过电场和磁场同步驱动实现在待加工工件进行电沉积作业的。
10.根据权利要求9所述的一种多源同步频振式电沉积加工装置,其特征在于:所述的S2和S3步骤中,电沉积作业介质为液态介质、气体介质及固体粉状介质中的任意一种。
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