CN110988402B - 一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的pfm检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；将弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；将双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；利用PFM检测多重服役柔性铁电薄膜的性能。本方法采用PFM作为观测手段，操作方便，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段；将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供实验依据。

Description

一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法

技术领域

本发明涉及新材料检测技术领域，尤其涉及一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法。

背景技术

随着电子信息技术的发展，柔性可穿戴设备受到了越来越多人的青睐。其中，柔性电子中的柔性铁电存储器作为新一代的存储器，具有非挥发性、读写速度快、功耗小、强抗辐射等优点，在通讯、交通和航空航天等领域具有广阔的应用前景。柔性铁电薄膜作为柔性铁电存储器的核心部件，其铁电极化双稳态/铁电畴是实现信息存储的基础。然而柔性铁电薄膜的失效问题是制约器件发展的关键因素，究其根本，其失效原因有三点：第一，作为柔性可穿戴电子器件，柔性铁电薄膜通常在不同的应变条件下工作，不同的应变会导致柔性铁电薄膜的性能发生变化；第二，薄膜在工作时温度变化较大，会从室温逐渐升到100℃左右，温度的改变会导致薄膜极化背翻转增强等多种问题；第三，柔性铁电薄膜是通过外加电场来改变其极化取向从而达到信息存储的，所以其不可避免地受到电场的影响，如外加电压过大击穿薄膜，薄膜界面电荷累积等种种失效问题。然而实际运用中，薄膜的失效问题往往是三种因素共同作用的结果，其原因之复杂，机理之深刻，目前还没有明确的说法。

实验证实应变、温度和电场多重服役环境下柔性铁电薄膜的失效是由柔性铁电薄膜中的微观畴结构决定的。比如应变会导致薄膜内a畴增加，c畴减少，使薄膜的翻转性能下降；温度的升高会使薄膜内铁电畴的背翻转能力增强；电场循环次数的增加会导致铁电畴受到的钉扎作用增强，翻转性能降低，所以研究力热电多重环境下铁电畴的分布和翻转性能具有重要意义。化学腐蚀法虽说可以观测到柔性铁电薄膜的畴分布，但它是破坏性的；TEM可以在原子尺度上观测到极化状态的变化，但其只能观察到一个截面。并且，目前绝大多数都是针对常温下硬质基底的铁电薄膜，缺乏对于在变温及弯曲条件下柔性铁电薄膜的测试方法。然而柔性铁电薄膜的实际工作环境是力热电多重服役环境的，常规测试无法真实准确地反映柔性铁电薄膜及铁电畴在多重服役环境下的性能变化，也无法解释引起柔性铁电器件失效的主导因素。

发明内容

(一)发明目的

本发明的目的是提供一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法以解决现有的性能检测无法真实反映柔性铁电薄膜的实际工作环境的性能的问题。

(二)技术方案

为解决上述问题，本发明的第一方面提供了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；将所述弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；将所述双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。

进一步地，所述柔性铁电薄膜的厚度为10～100nm。

进一步地，所述将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜步骤包括：去除所述柔性铁电薄膜表面吸附的电荷，形成预处理柔性铁电薄膜；将所述预处理柔性铁电薄膜与所述导电弯曲载台粘结；利用导电银浆将所述预处理柔性铁电薄膜的底电极导出，形成弯曲服役柔性铁电薄膜。

进一步地，所述去除柔性铁电薄膜表面吸附的电荷步骤包括：利用去离子风扇去除所述柔性铁电薄膜表面电荷；和/或利用酒精擦拭所述柔性铁电薄膜表面去除电荷。

进一步地，所述将所述预处理柔性铁电薄膜与导电弯曲载台粘结步骤包括：将所述预处理柔性铁电薄膜与粘结过渡层的一面粘结；将所述粘结过渡层的另一面与所述导电弯曲载台粘结，得到弯曲服役柔性铁电薄膜。

进一步地，在利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之前还包括：利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷。

进一步地，所述利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷步骤包括：利用所述PFM的探针测量所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势；在测试过程中，在PFM的探针上施加与所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势相同的恒定去电荷电压。

进一步地，所述利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤包括：在所述PFM的探针上施加测试电压，寻找所述多重服役柔性铁电薄膜与所述探针的共振峰；对所述多重服役柔性铁电薄膜进行形貌、振幅、相位以及极化开关谱的测量。

进一步地，所述温控载台的温度范围为20℃～100℃。

进一步地，所述电压范围为3V～30V。

进一步地，所述导电弯曲载台的弯曲半径包括：+12.5mm、+10mm、+7.5mm和+5mm。

进一步地，在所述利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之后还包括：改变所述导电弯曲载台的半径、所述温控载台的温度及所述高压载台的电压，再次利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

(1)由于采用PFM作为观测手段，取代传统的TEM和SEM，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段，并且其制样简单，操作方便；

(2)将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能；

(3)用PFM测得高温下柔性铁电薄膜的性能，方便比较温度变化对样品铁电畴结构和电学性能的影响，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供理论依据。

附图说明

图1是根据本发明第一实施方式的多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法流程图；

图2是根据本发明一可选实施方式的生长在柔性基底上的柔性铁电薄膜结构示意图；

图3是根据本发明一可选实施方式的对基底进行剥离后的柔性铁电薄膜结构示意图；

图4是根据本发明一可选实施方式的柔性铁电薄膜与导电弯曲载台粘结后的示意图；

图5是根据本发明一可选实施方式的PFM测试弯曲状态下柔性铁电薄膜示意图；

图6是根据本发明一可选实施方式的温度为：20℃、40℃、60℃、80℃、100℃；测试电压为：10V；弯曲半径为：初始无应变、+12.5mm、+10mm、+7.5mm和+5mm。这些测试条件下柔性铁电薄膜Hf_0.5Zr_0.5O₂的极化开关谱数据图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。

显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

PFM：为英文Piezo Force Microscopy的缩写，中文名：压电力显微镜。

如图1所示，在本发明实施例的第一方面，提供了一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：

S1：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；

S2：将所述弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；

S3：将所述双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；

S4：利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。

由于上述实施例方法采用PFM作为观测手段，操作方便，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段；将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能，方便比较温度变化对样品铁电畴结构和电学性能的影响，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供理论依据。

PFM是基于压电效应和接触共振两个原理进行工作的。当在样品表面施加交流电压时，铁电材料由于其压电效应会产生周期性的表面膨胀和收缩，探针通过检测到这一形变信号的相位和大小来得到其局部微区的畴结构；接触共振是当导电探针和样品接触时，在针尖上施加一个与其共振频率接近的交流电压时，其形变的幅度会远大于其他频率。

可选的，所述柔性铁电薄膜的厚度为10～100nm。由于薄膜非常薄在外力下很容易弯曲，因此，柔性薄膜结构轻薄、可大角度折叠，应用前景更广，并且内部的作用机理更复杂。

可选的，所述将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜步骤包括：去除所述柔性铁电薄膜表面吸附的电荷，形成预处理柔性铁电薄膜；将所述预处理柔性铁电薄膜与所述导电弯曲载台粘结；利用导电银浆将所述预处理柔性铁电薄膜的底电极导出，形成弯曲服役柔性铁电薄膜。该步骤去除薄膜表面吸附电荷对测量的影响。

可选的，所述去除柔性铁电薄膜表面吸附的电荷步骤包括：利用去离子风扇去除所述柔性铁电薄膜表面电荷；和/或利用酒精擦拭所述柔性铁电薄膜表面去除电荷。该方法可有效去除薄膜表面吸附电荷对测量的影响。

可选的，所述将所述预处理柔性铁电薄膜与导电弯曲载台粘结步骤包括：将所述预处理柔性铁电薄膜与粘结过渡层的一面粘结；将所述粘结过渡层的另一面与所述导电弯曲载台粘结，得到弯曲服役柔性铁电薄膜。

可选的，在利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之前还包括：利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷。进一步去除薄膜表面吸附电荷对测量的影响，使测量结果更加精准。

可选的，所述利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷步骤包括：利用所述PFM的探针测量所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势；在测试过程中，在PFM的探针上施加与所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势相同的恒定去电荷电压。

可选的，所述PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能的方法为：在PFM探针上施加测试电压，寻找样品与探针的共振峰，然后对样品进行形貌、振幅、相位以及极化开关谱的测量。需要注意的是，实际测试时加了两个电压，一是测试电压，二是为了去除表面电势所加的去电荷电压，其中，测试电压是可以变的，去电荷电压是个恒定值。

可选的，所述导电弯曲载台的弯曲半径包括：+12.5mm、+10mm、+7.5mm和+5mm。此种弯曲半径的选择可以模拟出柔性铁电薄膜现有的工作服役状态。

可选的，所述PFM探针施加的测试电压范围为3V～30V。

可选的，所述温控载台的温度范围为20℃～100℃。此种温度范围的选择可以包含柔性铁电薄膜现有的工作服役状态。

可选的，在所述利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之后还包括：改变所述导电弯曲载台的半径、所述温控载台的温度及所述高压载台的电压，再次利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。

在一可选实施例中，提供一种力热电多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM测试方法，包括：

(1)柔性铁电薄膜的选用与柔性基底的剥离：首先选取生长在柔性基底上的柔性铁电薄膜如图2所示，将其裁剪为大小合适的矩形。然后将柔性基底通过双面胶粘在载玻片上，使用尖锐的镊子剥离基底。因为柔性基底为多层结构，层与层通过范德华力连接，剥离后可以得到平整的基底。重复此过程直至基底变得很薄，使薄膜在外力下很容易弯曲，如图3所示。

(2)薄膜表面吸附电荷的一次去除：因为薄膜本身属于二维材料，表面的吸附电荷对测试结果有较大的影响，所以这里将使用两种方法联用共同去除薄膜的表面吸附电荷：1、打开去离子风扇，使用镊子夹取薄膜置于风扇前面30秒，风扇吹出的正负电荷将中和薄膜的表面电荷；2、将薄膜置于桌面，使用棉签蘸取酒精来回擦拭薄膜表面。这两种方法联用将去除大部分的表面吸附电荷，提高测试的准确性。

(3)柔性铁电薄膜与导电弯曲载台的粘结：为了增加柔性基底与导电弯曲载台的粘附性，在两者之间我们加入了一层A4纸层。用双面胶将基底固定在A4纸上，并用剪刀将带有薄膜的那部分纸张裁剪成大小合适的矩形。选用导电弯曲载台。将载台表面搽拭干净，然后使用双面胶将带有柔性铁电薄膜的A4纸背面和载台粘结，之后用镊子压紧薄膜的边缘部分使两者粘牢，如图4所示。

(4)柔性铁电薄膜底电极的导出：使用小刀轻刮步骤(3)处理后柔性铁电薄膜的某个角落，然后使用导电银浆将刮后的角落与导电弯曲载台涂出一条路径。

(5)导电弯曲载台与PFM温控载台的组装：在温控载台的金属表面涂上一层银浆，然后用镊子立即将导电弯曲载台的平坦底部放置于银浆上，等待银浆自然干燥。

(6)PFM探针的组装：用镊子夹取导电探针将其装进PFM holder，然后将holder放进仪器特定的卡槽中。

(7)PFM温控载台与高压载台的组装：仪器本身对样品最大只能施加±10V的电压，为了测量较高电场下薄膜的性能，需要将高压载台与温度载台进行组装。具体方法为：1、使用金属压片将第一根导线一端与温控载台的金属表面固定，导线另一端与高压载台的接地模块相连。等待银浆干燥后使用万用表测量薄膜角落处银浆与接地模块是否导通。2、将第二根导线一端与包裹了磁子的铜片相连，然后利用磁性将其置于高压载台的高压模块中，然后将导线另一端与装有探针的PFM holder相连。

(8)表面吸附电荷的二次去除：虽然步骤(2)可以去除薄膜表面大部分吸附电荷，但仍会残余少部分电荷影响测试结果。在这里，我们使用一种方法去除表面吸附电荷对结果的影响：1、打开软件，对探针进行校准；2、打开软件的静电力显微镜模块，测量薄膜的表面电势；3、返回PFM模块，在软件中设置一个与测出的表面电势相同的电压值施加到探针上，抵消表面电荷对测量结果的干扰。

(9)样品PFM的测试：寻找样品与探针的共振峰，然后对样品进行形貌、振幅、相位以及极化开关谱的测量，如图5所示。

(10)高温下柔性样品PFM的测试：打开仪器的温度控制面板，通过温控载台将样品的升至不同的温度，然后重复步骤(9)中测试过程。

(11)不同电场下柔性样品PFM的测试：逐渐增加测试电压，然后重复步骤(9-10)中测试过程，观测不同电压下样品性能的变化。

(12)不同应变下柔性样品PFM的测试：更换不同半径的导电弯曲载台。然后重复步骤(3-10)中测试过程。

在本发明一具体实施例中，提供一种简单易行，方便可靠的柔性铁电薄膜的PFM测试方法，包括如下步骤:

(1)实验耗材及仪器选用：本实施例中选择生长在柔性云母片基底上的柔性铁电薄膜Hf_0.5Zr_0.5O₂；PFM的产商为牛津仪器，型号为MFP-3D infinity；导电弯曲载台为自制的铜质金属载台；高压载台的型号为HVA150；温控载台为Polymer Heater(聚合物加热器)；PFM探针为NANOSENSORS公司产出的型号为PPP-EFM-50探针。

(2)柔性铁电薄膜的选用与柔性基底的剥离：首先选取生长在柔性基底上的柔性铁电薄膜，使用剪刀将其裁剪为长为0.7cm，宽为0.5cm的矩形。然后使用双面胶粘住柔性基底与载玻片，用镊子的尖端剥离一部分基底，因为柔性基底为多层结构，层与层通过范德华力连接，剥离后可以得到平整的基底。重复此过程直至基底变得很薄，使薄膜在外力下很容易弯曲。

(3)薄膜表面吸附电荷的一次去除：因为薄膜本身属于二维材料，表面的吸附电荷对测试结果有较大的影响，所以这里将使用两种方法联用共同去除薄膜的表面吸附电荷：1、打开去离子风扇，使用镊子夹取薄膜置于风扇前面30秒，风扇吹出的正负电荷将中和薄膜的表面电荷；2、将薄膜置于桌面，使用棉签蘸取酒精来回擦拭薄膜表面。这两种方法联用将去除大部分的表面吸附电荷，提高测试的准确性。

(4)柔性铁电薄膜与导电弯曲载台的粘结：为了增加柔性基底与导电弯曲载台的粘附性，在两者之间我们加入了一层A4纸层。用双面胶将薄膜固定在普通A4纸上，并用剪刀将带有薄膜的那部分纸张裁剪为长0.8cm，宽为0.6cm的矩形。选用半径为+12.5mm、+10mm、+7.5mm和+5mm的导电弯曲载台。使用酒精将载台表面搽拭干净，然后使用双面胶将处理好的柔性铁电薄膜和载台粘结，之后用镊子压紧薄膜的边缘部分使两者粘牢。

(5)柔性铁电薄膜底电极的导出：使用小刀轻刮步骤(4)处理后柔性铁电薄膜的某个角落，然后使用导电银浆将刮后的角落与导电弯曲载台涂出一条路径。等待银浆干燥后使用万用表测量薄膜角落处银浆与导电弯曲载台是否导通。

(6)导电弯曲载台与温控载台的组装：在温控载台的表面涂上一层银浆，然后用镊子立即将导电弯曲载台的平坦底部放置于银浆上，等待银浆干燥后两者应不易脱落。最后使用导线将导电弯曲载台接地。

(7)PFM探针的组装：用镊子夹取导电探针将其装进PFM holder，然后将holder放进仪器特定的卡槽中。

(8)PFM温控载台与高压载台的组装：仪器本身对样品最大只能施加±10V的电压，为了测量较高电场下薄膜的性能，需要将高压载台与温度载台进行组装。具体方法为：1、使用金属压片将第一根导线一端与温控载台的金属表面固定，导线另一端与高压载台的接地模块相连。等待银浆干燥后使用万用表测量薄膜角落处银浆与接地模块是否导通。；2、将第二根导线一端与包裹了磁子的铜片相连，然后利用磁性将其置于高压载台的高压模块中，然后将导线另一端与装有探针的PFM holder相连。

(9)表面吸附电荷的二次去除：虽然步骤(3)可以去除薄膜表面大部分吸附电荷，但仍会残余少部分电荷影响测试结果。在这里，我们使用一种方法去除表面吸附电荷对结果的影响：1、打开软件，对探针进行校准；2、打开软件的静电力显微镜模块，测量薄膜的表面电势；3、返回PFM模块，在软件中设置一个与测出的表面电势相同的电压值施加到探针上，抵消表面电荷对测量结果的干扰。

(10)样品PFM的测试：寻找样品与探针的共振峰，然后对样品进行形貌、振幅、相位以及极化开关谱的测量。

(11)高温下柔性样品PFM的测试：打开仪器的温度控制面板，通过温控载台将样品的温度升至20℃、40℃、60℃、80℃和100℃，然后重复步骤(10)中测试过程。

(12)不同电场下柔性样品PFM的测试：逐渐增加测试电压，然后重复步骤(10-11)中测试过程，观测不同电压下样品性能的变化。

(13)不同应变下柔性样品PFM的测试：更换不同半径的导电弯曲载台。然后重复步骤(4-11)中测试过程。具体检测得到柔性铁电薄膜的极化开关谱数据图，如图6所示(图6实际上只改变了温度和弯曲载台半径，电压是恒定的)。

本发明旨在保护一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，包括：将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；将所述弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；将所述双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。由于本方法采用PFM作为观测手段，取代传统的TEM和SEM，可无损观测到样品纳米级的畴结构和电学性能，为柔性铁电薄膜的微观作用机制提供了可靠的研究手段，并且其制样简单，操作方便；将PFM仪器中温控载台与高压载台进行了组装与联用，使仪器既可以在高温下，又可以在高压下测量柔性铁电薄膜的性能；用PFM测得高温下柔性铁电薄膜的性能，方便比较温度变化对样品铁电畴结构和电学性能的影响，为铁电存储器在高温环境下的工作状态提供理论依据。

应当理解的是，本发明的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本发明的原理，而不构成对本发明的限制。因此，在不偏离本发明的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。此外，本发明所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (7)

1.一种多重服役条件下柔性铁电薄膜的PFM检测方法，其特征在于，包括：

选取生长在柔性基底上的柔性铁电薄膜，将柔性基底通过双面胶粘在载玻片上，使用尖锐的镊子剥离基底，重复此过程直至基底变得很薄，得到二维材料的柔性铁电薄膜；

打开去离子风扇，使用镊子夹取柔性铁电薄膜置于风扇前面30秒，风扇吹出的正负电荷将中和薄膜的表面电荷；将柔性铁电薄膜置于桌面，使用棉签蘸取酒精来回擦拭柔性铁电薄膜表面；

将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜；

将所述弯曲服役柔性铁电薄膜与温控载台装配，形成双重服役柔性铁电薄膜；

将所述双重服役柔性铁电薄膜与高压载台装配，形成多重服役柔性铁电薄膜；

利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能；

所述将柔性铁电薄膜与导电弯曲载台装配，形成弯曲服役柔性铁电薄膜步骤包括：去除所述柔性铁电薄膜表面吸附的电荷；将所述柔性铁电薄膜与所述导电弯曲载台粘结；利用导电银浆将所述柔性铁电薄膜的底电极导出，形成弯曲服役柔性铁电薄膜，所述导电弯曲载台为铜质金属载台，所述温控载台的温度范围为20℃~100℃；

在利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之前还包括：利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷；

所述利用所述PFM的探针对所述多重服役柔性铁电薄膜施加去电荷电压进一步去除电荷步骤包括：利用所述PFM的探针测量所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势；在测试过程中，在PFM的探针上施加与所述多重服役柔性铁电薄膜表面电势相同的恒定去电荷电压。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述柔性铁电薄膜的厚度为10~100nm。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述柔性铁电薄膜与导电弯曲载台粘结步骤包括：

将所述柔性铁电薄膜与粘结过渡层的一面粘结；

将所述粘结过渡层的另一面与所述导电弯曲载台粘结，得到弯曲服役柔性铁电薄膜。

4.根据权利要求1所述的PFM检测方法，其特征在于，所述利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤包括：

在所述PFM的探针上施加测试电压，寻找所述多重服役柔性铁电薄膜与所述探针的共振峰；

对所述多重服役柔性铁电薄膜进行形貌、振幅、相位以及极化开关谱的测量。

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述电压范围为3V~30V。

6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述导电弯曲载台的弯曲半径包括：+12.5mm、+10mm、+7.5mm和+5mm。

7.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，在所述利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能步骤之后还包括：

改变所述导电弯曲载台的半径、所述温控载台的温度及所述高压载台的电压，再次利用PFM检测所述多重服役柔性铁电薄膜的性能。

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