CN110938809A - 一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，属于真空镀膜设备领域。包括真空泵组、真空镀膜腔和加热管，所述加热管布设在所述真空镀膜腔的外围，所述真空镀膜腔上设有真空压力检测器，所述真空泵组连通至所述真空镀膜腔中，所述真空泵组由滑阀泵、罗茨泵与分子泵、分子泵前级泵和大阀组成，所述滑阀泵和罗茨泵依次串联并连接至大阀，所述分子泵前级泵与所述分子泵相互连接，分子泵设置在所述大阀的底部且与大阀相互连通，所述滑阀泵与所述罗茨泵之间设有第一电控阀，所述罗茨泵与大阀之间设有第二电控阀，所述大阀连通至真空镀膜腔。本发明通过真空泵组的交替切换对真空镀膜腔抽取极限真空与极限真空维持，降低了产品的生产成本，提高了产品质量。

Description

一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置。

背景技术

随着煤炭、石油等现有能源的频频告急和生态环境的恶化，使得人类不得不尽快寻找新的清洁能源和可再生资源。其中包括水能、风能和太阳能，而太阳能以其储量巨大、安全、清洁等优势使其必将成为21世纪的最主要能源之一。太阳是一个巨大的能源，其辐射出来的功率约为 其中有 被地球截取，这部分能量约有 的能量闯过大气层到达地面，在正对太阳的每一平方米地球表面上能接受到1kw左右的能量，非晶硅太阳电池是指通过光电效应或者光化学效应把光能转化成电能的装置。

非晶硅太阳能片在生产过程中需要进行真空镀膜，在真空镀膜过程中需要将太阳能片放置在密封腔内通过真空泵组对密封腔进行抽真空，现有技术中的真空泵组无法将密封腔中气体快速抽空，真空镀膜注入的工艺气体纯度不够高，导致真空镀膜过程中存在瑕疵降低产品整体质量。

发明内容

本发明提供一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，以解决现有技术中非晶硅太阳能片在真空镀膜过程中密封腔中的真空强度不够高的技术问题。

一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，包括真空泵组、真空镀膜腔和加热管，所述加热管布设在所述真空镀膜腔的外围，所述真空镀膜腔上设有真空压力检测器，所述真空泵组连通至所述真空镀膜腔中，所述真空泵组由滑阀泵、罗茨泵与分子泵、分子泵前级泵和大阀组成，所述滑阀泵和罗茨泵依次串联并连接至大阀，所述分子泵前级泵与所述分子泵相互连接，分子泵设置在所述大阀的底部且与大阀相互连通，所述滑阀泵与所述罗茨泵之间设有第一电控阀，所述罗茨泵与大阀之间设有第二电控阀，所述大阀连通至真空镀膜腔。

进一步，所述真空镀膜腔设有两个，所述分子泵和大阀均设有两个，所述滑阀泵与罗茨泵依次串联并通过管道分别连通至两个大阀，两个所述分子泵分别设置在两个大阀的底部并与大阀相互连通，两个所述分子泵分别与分子泵前级泵相互连通。

进一步，所述真空管泵组与大阀的连接管道上还设有第二电控阀，所述第二电控阀设有两个，两个所述第二电控阀分别设置在两个所述罗茨泵与两个大阀之间的管道上。

进一步，所述真空镀膜腔由真空密封箱、封闭门、夹具轨道和固定夹具组成，所述封闭门设置在所述真空密封箱的两端，所述夹具轨道设有多个，多个所述夹具轨道设置在所述真空密封箱的内部，所述固定夹具设有多个，多个固定夹具分别插装在所述夹具轨道中。

进一步，所述所述封闭门上设有多个观察口。

进一步，所述所述真空密封箱上还设有多个防接触隔板。

进一步，所述罗茨泵与第一电控阀之间设有一个真空管道，所述真空管道横置在两个真空镀膜腔上，所述真空管道上设有多个连通管，多个所述连通管连通至两个真空镀膜腔中且分别设置在多个固定夹具处。

进一步，所述真空管道上设有第三电控阀。

与现有技术相比较，本发明的有益效果在于：

其一，本发明中的真空泵组包括滑阀泵、罗茨泵、分子泵前级泵和分子泵组成，在真空泵组对真空镀膜腔进行抽真空时，首先启动滑阀泵和分子泵前级泵，通过滑阀泵和分子泵前级泵对真空镀膜腔进行预抽，当真空镀膜腔中的真空压力达到指定标准后关闭滑阀泵和分子泵前级泵，启动罗茨泵，通过罗茨泵对真空镀膜腔进行快速抽真空，当罗茨泵对真空镀膜腔抽到最大状态后，关闭罗茨泵启动分子泵，通过分子泵将真空镀膜腔抽呈极限真空状态，然后关闭分子泵，再次开启罗茨泵，通过罗茨泵维持真空镀膜腔中的极限真空状态，最后在真空镀膜腔中通入工艺气体对太阳能片进行真空镀膜，以此有效解决现有技术中非晶硅太阳能片在真空镀膜过程中密封腔中的真空强度不够高的技术问题。

其二，本发明中设有两个真空镀膜腔，述滑阀泵与罗茨泵依次串联并通过管道分别连通至两个大阀，使用时通过一个滑阀泵与一个罗茨泵同时对真空镀膜腔进行抽真空，降低了设备的制造成本，两个所述分子泵分别设置在两个大阀的底部并与大阀相互连通，两个所述分子泵分别与分子泵前级泵相互连通，同时在两个真空镀膜腔的侧端分别设有一个分子泵与大阀，通过两个分子泵分别对两个真空镀膜腔进行抽真空处理，提高了本发明的抽真空强度，通过两个大阀分别控制两个真空镀膜腔与滑阀泵与罗茨泵的连通装置，当一边的真空镀膜腔中不需要使用或者损坏时，只需要通过大阀断开该真空镀膜腔与真空泵组的连通状态，便能确保另一边的真空镀膜腔的正产使用。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的第一角度结构示意图；

图2为本发明的第二角度结构示意图；

图3为图1中A处的放大结构示意图；

图4为本发明中真空镀膜腔的机构示意图；

附图标记：真空泵组1，滑阀泵11，罗茨泵12，分子泵13，分子泵前级泵14，大阀15，第一电控阀16，第二电控阀17，真空管道18，第三电控阀181，连通管19，真空镀膜腔2，真空密封箱21,防接触隔板211，封闭门22，观察口221，夹具轨道23，固定夹具24，加热管3，真空压力检测器4。

具体实施方式

下面将结合附图1-4对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

通常在此处附图中描述和显示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。

基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1或2所示，一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，包括真空泵组1、真空镀膜腔2和加热管3，所述加热管3布设在所述真空镀膜腔2的外围，所述真空镀膜腔2上设有真空压力检测器4，通过设置的真空压力检测器4对真空镀膜腔2中的真空压力进行检测，从而便于真空泵组1中泵机的切换，所述真空泵组1连通至所述真空镀膜腔2中，所述真空泵组1由滑阀泵11、罗茨泵12与分子泵13、分子泵前级泵14和大阀15组成，所述滑阀泵11和罗茨泵12依次串联并连接至大阀15，所述分子泵前级泵14与所述分子泵13相互连接，分子泵13设置在所述大阀15的底部且与大阀15相互连通，所述滑阀泵11与所述罗茨泵12之间设有第一电控阀16，所述罗茨泵12与大阀15之间设有第二电控阀17，所述大阀15连通至真空镀膜腔2。

本发明在运行时，首先将太阳能片排放在所述真空镀膜腔2中并将其进行封闭，再启动滑阀泵11与分子泵前级泵14，通过滑阀泵11与分子泵13前级对真空镀膜腔2进行预抽，通过真空压力检测器4对真空镀膜腔2的内部真空压力值，当压力值到达设定指标后启动罗茨泵12，通过罗茨泵12对真空镀膜腔2进行持续抽真空，当到达罗茨泵12的抽真空极限时启动分子泵13对真空镀膜腔2进行抽真空，通过真空泵组1相互配合对真空镀膜腔2进行抽真空处理，使真空镀膜腔2能够快速处于极限真空状态，当到达极限真空状态后再关闭分子泵13，启动罗茨泵12对真空镀膜腔2进行真空维持，通过加热棒对真空镀膜腔2进行加热，最后对真空镀膜腔2中通入工艺气体，进行真空镀膜。

如图1或2所示，优选的，所述真空镀膜腔2设有两个，通过两个真空镀膜腔2能够增加本发明同时进行真空镀膜产品的总量，降低了单一产品的生产成本，所述分子泵13和大阀15均设有两个，所述滑阀泵11与罗茨泵12依次串联并通过管道分别连通至两个大阀15，使用时通过一个滑阀泵11与一个罗茨泵12同时对真空镀膜腔2进行抽真空，降低了设备的制造成本，两个所述分子泵13分别设置在两个大阀15的底部并与大阀15相互连通，两个所述分子泵13分别与分子泵前级泵14相互连通，同时在两个真空镀膜腔2的侧端分别设有一个分子泵13与大阀15，通过两个分子泵13分别对两个真空镀膜腔2进行抽真空处理，提高了本发明的抽真空强度，通过两个大阀15分别控制两个真空镀膜腔2与滑阀泵11与罗茨泵12的连通装置，当一边的真空镀膜腔2中不需要使用或者损坏时，只需要通过大阀15断开该真空镀膜腔2与真空泵组1的连通状态，便能确保另一边的真空镀膜腔2的正产使用。

优选的，所述真空管泵组1与大阀15的连接管道上还设有第二电控阀17，所述第二电控阀17设有两个，两个所述第二电控阀17分别设置在两个所述罗茨泵12与两个大阀15之间的管道上，当启动分子泵13对真空镀膜腔2进行抽真空时关闭第二电控阀17，使分子泵13通过大阀15与真空镀膜腔2单独连通，从而提高了分子泵13的效率。

如图4所示，优选的，所述真空镀膜腔2由真空密封箱21、封闭门22、夹具轨道23和固定夹具24组成，所述封闭门22设有两个，两个所述封闭门22设置在所述真空密封箱21的两端，通过在真空密封箱21的两端分别设有一个封闭门22，便于在打开真空密封箱21时对其内部的调整与清理，所述夹具轨道23设有多个，多个所述夹具轨道23设置在所述真空密封箱21的内部，所述固定夹具24设有多个，多个固定夹具24分别插装在所述夹具轨道23中。

优选的，所述所述封闭门22上设有多个观察口221，通过多个观察口221能够在设备运行时对真空镀膜腔2内部进行观察，便于人工判断内部的情况，当设备内部存在异常状态时工作人员能够及时发现与解决。

优选的，所述所述真空密封箱21上还设有多个防接触隔板211，其作用在于，由于真空密封箱21在运行过程中会产生高温，工作人员在检测设备的过程中可能会误触真空密封箱21的外壁造成烫伤，通过防接触隔板211横置在真空密封箱21的外壁进行阻隔，能够在人员接触都真空密封箱21外壁前将其阻隔，提高了本发明的安全性。

优选的，所述罗茨泵12与第一电控阀16之间设有一个真空管道18，所述真空管道18横置在两个真空镀膜腔2上，所述真空管道18上设有多个连通管19，多个所述连通管19连通至两个真空镀膜腔2中且分别设置在多个固定夹具24处，通过设置的真空管道18将真空泵组1的吸力分别引导至多个固定夹具24处，对其进行抽真空，从而使固定夹具24处能够处于持续真空状态。

优选的，所述真空管道18上设有第三电控阀181，通过第三电控阀181能够控制真空泵组1与真空管道18的通路状态，当不需要对固定夹具24进行抽真空时关闭第三电控阀181。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，包括真空泵组（1）、真空镀膜腔（2）和加热管（3），所述加热管（3）布设在所述真空镀膜腔（2）的外围，所述真空镀膜腔（2）上设有真空压力检测器（4），所述真空泵组（1）连通至所述真空镀膜腔（2）中，所述真空泵组（1）由滑阀泵（11）、罗茨泵（12）与分子泵（13）、分子泵前级泵（14）和大阀（15）组成，所述滑阀泵（11）和罗茨泵（12）依次串联并连接至大阀（15），所述分子泵前级泵（14）与所述分子泵（13）相互连接，分子泵（13）设置在所述大阀（15）的底部且与大阀（15）相互连通，所述滑阀泵（11）与所述罗茨泵（12）之间设有第一电控阀（16），所述罗茨泵（12）与大阀（15）之间设有第二电控阀（17），所述大阀（15）连通至真空镀膜腔（2）。

2.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜腔（2）设有两个，所述分子泵（13）和大阀（15）均设有两个，所述滑阀泵（11）与罗茨泵（12）依次串联并通过管道分别连通至两个大阀（15），两个所述分子泵（13）分别设置在两个大阀（15）的底部并与大阀（15）相互连通，两个所述分子泵（13）分别与分子泵前级泵（14）相互连通。

3.根据权利要求2所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空管泵组（1）与大阀（15）的连接管道上还设有第二电控阀（17），所述第二电控阀（17）设有两个，两个所述第二电控阀（17）分别设置在两个所述罗茨泵（12）与两个大阀（15）之间的管道上。

4.根据权利要求1所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜腔（2）由真空密封箱（21）、封闭门（22）、夹具轨道（23）和固定夹具（24）组成，所述封闭门（22）设置在所述真空密封箱（21）的两端，所述夹具轨道（23）设有多个，多个所述夹具轨道（23）设置在所述真空密封箱（21）的内部，所述固定夹具（24）设有多个，多个固定夹具（24）分别插装在所述夹具轨道（23）中。

5.根据权利要求3所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述所述封闭门（22）上设有多个观察口（221）。

6.根据权利要求3所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述所述真空密封箱（21）上还设有多个防接触隔板（211）。

7.根据权利要求4所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述罗茨泵（12）与第一电控阀（16）之间设有一个真空管道（18），所述真空管道（18）横置在两个真空镀膜腔（2）上，所述真空管道（18）上设有多个连通管（19），多个所述连通管（19）连通至两个真空镀膜腔（2）中且分别设置在多个固定夹具（24）处。

8.根据权利要求7所述的一种非晶硅太阳能片的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空管道（18）上设有第三电控阀（181）。

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