CN110931392B - 微型组件转移头、微型组件转移装置及微型组件显示设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种微型组件转移头、微型组件转移装置以及微型组件显示设备。所述微型组件转移头包含承载面，承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含一个锐角。其中第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含一个直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。

Description

微型组件转移头、微型组件转移装置及微型组件显示设备

技术领域

本申请是有关于一种微型组件转移头、微型组件转移装置以及微型组件显示设备，特别是关于一种能改善微型发光二极管转移效率的微型组件转移头以及微型组件转移装置，以及应用微型组件转移头以及微型组件转移装置制造的微型组件显示设备。

背景技术

于现今的微型发光二极管(micro LED)制造技术中，微型发光二极管在磊晶完成后，还需要利用转移头将微型发光二极管晶圆转移到接收基板上，以利进行后续的运输或加工作业。然而，由于微型发光二极管的尺寸是微米等级，逐一取出微型发光二极管必然十分耗时。为了提高转移时的效率，目前业界正努力研究能够以较大面积移转微型发光二极管的巨量转移(mass transfer)技术。举例来说，传统上会利用转移头的承载面多次接触晶圆，以批次取出附着于承载面的多个微型发光二极管。

为了节省制程成本，通常会在晶圆内尽可能地制作更多数量的微型发光二极管，但是实务上并非晶圆内所有的微型发光二极管都能顺利被取出来。其原因之一是，晶圆的表面接近圆形，而传统转移头的承载面为矩形或正方形，从而因晶圆与承载面的形状不匹配，导致部分功能正常的微型发光二极管，仅因邻近晶圆的边缘而无法被取出。有鉴于此，业界需要一种新的转移头，能够更完整取出晶圆内的微型发光二极管，以提高晶圆的使用率。

发明内容

有鉴于此，本申请提出一种微型组件转移头，改良了微型组件转移头中的承载面，减少微型组件因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。

本申请提供一种微型组件转移头，所述微型组件转移头包含承载面。承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含一个锐角。其中第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含一个直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数。

于一些实施例中，当承载面接触晶圆的表面时，承载面可以用来取出位于表面且在微型组件取出范围内的多个微型组件。在此，第一几何图形可以为三角形，第二几何图形可以为矩形，并且第一几何图形可以更包含直角，此时n为偶数。此外，第一几何图形也可以为扇形，第二几何图形也可以为圆形。

本申请提供了一种微型组件转移装置，改良了微型组件转移头中的承载面，减少微型组件因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。

本申请提供一种微型组件转移装置，用以取出晶圆中的多个微型组件。所述微型组件转移装置包含载台以及微型组件转移头。载台用以设置晶圆。微型组件转移头位于载台的相对位置，微型组件转移头具有承载面，承载面对应有微型组件取出范围，且微型组件取出范围为第一几何图形。其中第一几何图形的第一端大致上对准于晶圆的中心位置。

于一些实施例中，第一几何图形的第一端可以为锐角，且第一几何图形可以为三角形或扇形。此外，载台更可以用来旋转该晶圆，且当载台旋转晶圆时，晶圆的中心位置大致相同。

本申请提供了一种微型组件显示设备，能够接收由微型组件转移头与微型组件转移装置批次转移来的多个微型组件，从而能够快速地完成微型组件的巨量转移。

本申请提供一种微型组件显示设备，包含接收基板。所述接收基板具有显示面，显示面包含多个微型组件承载范围，且每一个微型组件承载范围为第一几何图形，第一几何图形至少包含锐角。其中每一个微型组件承载范围内包含多个微型组件，同一个微型组件承载范围内的微型组件间隔第一间距，于不同的微型组件承载范围内的微型组件至少间隔第二间距，第一间距相异于第二间距。

于一些实施例中，显示面更可以包含第二几何图形，第二几何图形由n个第一几何图形组成，第二几何图形至少包含直角，且第二几何图形的形状与第一几何图形的形状不同，其中n为大于1的正整数。此外，显示面的形状可以同形于第二几何图形。

综上所述，本申请提供的微型组件转移头与微型组件转移装置，将微型组件取出范围的形状改成非矩形，使得微型组件取出范围可以更靠近晶圆的边缘，减少微型组件体因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。此外，本申请提供的微型组件显示设备具有多个微型组件承载范围，每个微型组件承载范围都可以接收由微型组件转移头与微型组件转移装置批次转移来的多个微型组件，从而能够快速地完成微型组件的巨量转移。

有关本申请的其它功效及实施例的详细内容，配合附图说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是依据本申请一实施例的微型组件转移装置的立体示意图；

图2是依据本申请一实施例的微型组件取出范围的示意图；

图3是依据现有技术的微型组件取出范围的示意图；

图4是依据本申请另一实施例的微型组件取出范围的示意图；

图5是依据本申请再一实施例的微型组件取出范围的示意图；

图6是依据本申请又一实施例的微型组件取出范围的示意图；

图7是依据本申请一实施例的微型组件显示设备的示意图。

符号说明

1微型组件转移装置 10载台

12微型组件转移头 12a承载面

120微型组件取出范围 220微型组件取出范围

320微型组件取出范围 420微型组件取出范围

9微型组件取出范围 5微型组件显示设备

50接收基板 52显示面

520微型组件承载范围 522微型组件

D1第一间距 D2第二间距

W晶圆

具体实施方式

有关本申请的前述及其它技术内容、特点与功效，在以下配合参考附图的一优选实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本申请。

请参阅图1，图1是绘示依据本申请一实施例的转移装置的立体示意图。如图1所示，微型组件转移装置1可以包含载台10以及微型组件转移头12，并且可以用来取出晶圆W中的多个微型组件(图未示)。其中晶圆W可包含一临时基板(图未示)，上面配置有多个微型组件(图未示)，以暂时承载固定多个微型组件(图未示)以供后续转移。在此，载台10用于承载晶圆W，微型组件转移头12可以位于载台10的上方，并且微型组件转移头12朝向晶圆W的一侧可以定义为承载面12a。在此，承载面12a上可以用来取出微型组件，例如当承载面12a接触晶圆W时，便可以对应取出在微型组件取出范围120内的微型组件。值得一提的是，由于承载面12a在微型组件转移头12的一侧，如果从外部看向承载面12a时，亦即从远离承载面12a的另一侧，微型组件转移头12和承载面12a的外观(或轮廓)形状可以是同形，或是微型组件转移头12的外观形状包围的面积可以大于与承载面12a的面积，可让后续转移时的施力平均。于一个例子中，从外部看向承载面12a时，微型组件转移头12的外观形状可以为一矩形，而承载面12a可以为三角形。但在未绘示出的实施例中，微型组件转移头12和承载面12a的外观形状不一定和微型组件取出范围120有关联。于另一个例子中，从外部看向承载面12a时，微型组件转移头12的外观包围的面积也有可能小于与承载面12a的面积，本申请不限制转移头12和承载面12a的外观形状。

于一个例子中，所述微型组件可以是一种微型发光二极管(micro LED)、微型雷射二极管(micro laser diode)或者微型电路组件(micro circuit)，本实施例在此不加以限制。实务上，由于微型组件的尺寸(边长)可能是微米级，例如是小于等于100μm，而微型组件取出范围120的尺寸(边长)可能是公分级，相对于微型组件取出范围120来说微型组件非常地小。换句话说，微型组件取出范围120内可能具有数百、数千甚至更多的微型组件，为了图面的简洁，本实施例的图式不特别绘示出晶圆W中的微型组件。

另外，微型组件转移头12取出微型组件的手段很多，例如承载面12a可能设计有电极(图未示)而定义出微型组件取出范围120，当承载面12a接触晶圆W时，可以将电极通电而利用静电力吸附起微型组件取出范围120内的多个微型组件。或者，在承载面12a上可能设置有黏性材料，通过设置于承载面12a的范围而定义出微型组件取出范围120，当承载面12a接触晶圆W时，承载面12a可以直接利用黏性材料黏起微型组件取出范围120内的多个微型组件。换句话说，承载面大小可以异于实际微型组件取出范围大小。当然，本实施例不限制微型组件转移头12取出微型组件的手段，只要微型组件转移头12能用于取出多个微型组件，即应属本实施例微型组件转移头12的范畴，于所属技术领域具有通常知识者可以自由选择合适的设计。

有别于传统转移头的承载面对应到的微型组件取出范围通常是矩形，本实施例承载面12a对应到的微型组件取出范围120可以设计成不同的形状。请一并参阅图1与图2，图2绘示依据本申请一实施例的微型组件取出范围的示意图。如图2所示，图2绘示了晶圆W上的多个微型组件取出范围120，微型组件取出范围120可以是紧密排列在一起的。值得一提的是，图2绘示的多个微型组件取出范围120仅是示范微型组件转移头12多次接触晶圆W可以对应到的位置，而不意味着晶圆W具有实际上的分界线，并且本实施例也不限制微型组件取出范围120的顺序。

以图2的例子来说，微型组件取出范围120可以具有大致相同的第一几何图形，且所述第一几何图形可以例如是三角形。实务上，第一几何图形可以是直角三角形，即第一几何图形内有一个角为直角，而其他两个角为锐角，本实施例在此不限制锐角的角度，例如其中一个锐角可以是5度、10度、15度、30度或45度。其中一个将第一几何图形改良成非矩形的好处在于，可以更有效地取出晶圆W中的微型组件。例如，请一并参阅图2与图3，图3绘示依据现有技术的微型组件取出范围的示意图。对比图2与图3可知，图3的微型组件取出范围9是矩形，在相同的边长之下，微型组件取出范围9的面积比微型组件取出范围120的面积更大，且无法取出在晶圆W边缘的微型组件。相反地，微型组件取出范围120是三角形，除了有面积较小的好处之外，还更能尽可能地接近晶圆W的边缘。以图式示范的例子来说，图3仅能取出58次的微型组件取出范围9，而图2可以取出124次的微型组件取出范围120。假设一个微型组件取出范围9的矩形是由两个微型组件取出范围120的三角形组合而成，图2可以比图3多取出8次的微型组件取出范围120，意味着图2等于能比图3多取出4次的微型组件取出范围9。显然，在改良承载面12a对应到微型组件取出范围120的形状之后，有着更突出的晶圆利用率，例如是大于90％的晶圆利用率。特别说明的是，每次微型组件取出范围120可取出大于10000个以上的微型组件，达成巨量转移又将晶圆利用率提到最高。

于一个例子中，微型组件取出范围120的面积有机会被调整，即第一几何图形可以动态地被改变。举例来说，如果承载面12a是利用静电力吸附起微型组件取出范围120内的多个微型组件时，便可以通过导通不同的电极，实现改变第一几何图形的目的。以实际的应用来说，请一并参阅图2与图4，图4绘示依据本申请另一实施例的微型组件取出范围的示意图。如图所示，当微型组件转移头12在取出靠近晶圆W中心位置的微型组件时，承载面12a可以将第一几何图形设定为较大面积的矩形，例如是矩形的微型组件取出范围220，使得取出微型组件的速度相对较快。当微型组件转移头12在取出靠近晶圆W边缘的微型组件时，承载面12a可以将原第一几何图形设定为较小面积的三角形(第三几何图形)，例如是三角形的微型组件取出范围222，使得有更多的微型组件可以被取出来。在此，所述晶圆W的边缘可以由计算机判断，例如微型组件转移头12移动到晶圆W上方的某一位置，当计算机判断将第一几何图形设定为较大面积的矩形有可能超出晶圆W的边界时，便可以判断所述位置属于晶圆W的边缘，而将几何图形切换成较小的第三几何图形。于另一个例子中，愈接近晶圆W的边缘可将几何图形切换成较小的更小几何图形以达到晶圆利用率，因此，用本实施例中的两个或两个以上的几何图形组成第二几何图形，对所属技术领域具有通常知识者应十分容易理解。

另一方面，由于微型组件转移头12从晶圆W取出微型组件之后，后续仍是需要放置到接收基板或显示基板上。因此，如何让接收基板或显示基板上的微型组件排列方式能便于后续作业使用，也是一个实务上常遇到问题。举例来说，显示基板可能因为产品(例如穿戴式设备、手机或各种显示器)的规格而有固定的尺寸和长宽比，且显示基板往往是各种比例的矩形(第二几何图形)。因此可以便利地将微型组件转移头取出的微型组件组合成不同尺寸和长宽比地矩形。不过，本实施例以第一几何图形为直角三角形为例，于所属技术领域具有通常知识者应可以明白，偶数个直角三角形组合出各种尺寸和长宽比的矩形也应同样没有困难。因此，用本实施例中的两个或两个以上的第一几何图形组成第二几何图形，对所属技术领域具有通常知识者应十分容易理解。

值得一提的是，本实施例在此也不限制第一几何图形的形状。于一个例子中，如果第二几何图形是矩形，则第一几何图形除了可以是直角三角形之外，还有可能是带有直角的多边形。当然，如果第二几何图形是特殊的多边形，则第一几何图形可以是任何能够组合出第二几何图形的形状，本实施例不加以限制。此外，本实施例也不限制承载面12a接触晶圆W的位置。实务上，承载面12a接触晶圆W的位置与微型组件取出范围120的第一几何图形有关。

请一并参阅图1与图5，图5绘示依据本申请再一实施例的微型组件取出范围的示意图。如图所示，微型组件取出范围320同样以直角三角形为例，本实施例把直角三角形的一端(第一端)大致集中在晶圆W的中心位置。本实施例的好处之一是，微型组件转移头12可以不需要在晶圆W上方移动至下一个微型组件取出范围320，而是通过转动载台10，使得下一个微型组件取出范围320移动到转移头12下方，减少对位校准上的时间。此时，由于载台10转动会带动上方的晶圆W一起转动，因此只要载台10的旋转中心点恰好是晶圆W的中心位置，则所属技术领域具有通常知识者应可以理解晶圆W的中心位置可以大致相同。另外，当第一几何图形相对细长时，微型组件转移头12有机会取出更靠近晶圆W边缘的微型组件，从而能够进一步提高晶圆利用率。举第一几何图形是直角三角形为例，直角三角形有长边、短边与斜边，前述第一几何图形相对细长的描述，可以意味着长边和短边的比值介于1.25至5。举例来说，长边和短边的比值小于1.25会使晶圆利用率变低，大于5则会使取出的微型组件不够多。于一个例子中，长边和短边的比值较佳例如是2、3或4，本实施例不加以限制。

另一方面，第一几何图形也可以不是多边形，请一并参阅图1与图6，图6绘示依据本申请又一实施例的微型组件取出范围的示意图。如图所示，微型组件取出范围420在此示范可以为扇形，并且本实施例同样可以把扇形的一端(第一端)大致集中在晶圆W的中心位置。与前一实施例相同的是，本实施例的微型组件转移头12也不需要在晶圆W上方移动至下一个微型组件取出范围420，而是通过转动载台10，便可以将下一个微型组件取出范围420移动到微型组件转移头12下方。此外，当第一几何图形带有弧度时，由于更接近晶圆W的形状，应更能够提高晶圆利用率。本实施例不限制圆心角的角度，例如圆心角可以是10度、15度、30度或60度。圆心角较佳大于等于60度，可减少移动取出的次数。更佳的是，圆心角可以是360的因子，可减少移动取出的次数。另外，本实施例也不限制将第一几何图形设计成扇形的时机，举例来说，如果要组合出的第二几何图形是圆形时，所属技术领域具有通常知识者便可以选择将第一几何图形设计成扇形。

请一并参阅图1与图7，图7绘示依据本申请一实施例的微型组件显示设备的示意图。如图所示，微型组件转移头12从晶圆W取出微型组件之后，后续放置到接收基板50上，接收基板50可以是微型组件显示设备5的一部份，配置有驱动线路以供后续的显示驱动。接收基板50包括显示面52，其中显示面52包含多个微型组件承载范围520，微型组件承载范围520可以具有大致相同的第一几何图形。在此，同一个微型组件承载范围520内个微型组件522的间距可以定义为第一间距D1，于不同的微型组件承载范围520内的微型组件522之间的最小间隔可以定义为第二间距D2，而第一间距D1会相异于第二间距D2。以实际的例子来说，微型组件转移头12可以将晶圆W上的微型组件批次转移到接收基板50上，也就是微型组件转移头12需要多次接触接收基板50的显示面52，而图7中绘示出不同的微型组件承载范围520即是用来对应不同批次的微型组件522。于一个例子中，微型组件承载范围520的形状可以对应前述的微型组件取出范围的形状，例如可以都是前述的第一几何图形。

此外，实务上有可能因为对位问题或者其他因素，使得相邻的微型组件承载范围520不一定能紧密地邻接。因此，如果同一行(或同一列)中相邻的微型组件522属于不同的微型组件承载范围520时，这两个微型组件522可能会间隔较远。相对地，如果同一行(或同一列)中相邻的微型组件522属于同样的微型组件承载范围520时，这两个微型组件522可能会间隔较近。也就是说，于一些例子中，第一间距D1有可能会小于或等于第二间距D2。另外，本实施例中的微型组件承载范围520的形状(第一几何图形)可以是直角三角形，经过微型组件转移头12的转移后，可以例如组合成矩形(第二几何图形)。因而可以便利地将微型组件转移头12取出的微型组件522组合成不同尺寸和长宽比的微型组件显示设备5的显示面52，让显示面52同形第二几何图形，从而提高了晶圆W的使用率及转移到微型组件显示设备5的效率。在此仅绘示二个微型组件承载范围520做为示意，于未绘示出的实施例中，微型组件承载范围520可以填满显示面52，在此并不为限。

综上所述，本申请提供的微型组件转移头与微型组件转移装置，将微型组件取出范围的形状改成非矩形，使得微型组件取出范围可以更靠近晶圆的边缘，减少微型组件因邻近晶圆的边缘而无法被取出的情况，从而提高了晶圆的使用率。此外，本申请提供的微型组件显示设备具有多个微型组件承载范围，每个微型组件承载范围都可以接收由微型组件转移头与微型组件转移装置批次转移来的多个微型组件，从而能够快速地完成微型组件的巨量转移。

以上所述的实施例及/或实施方式，仅是用以说明实现本申请技术的较佳实施例及/或实施方式，并非对本申请技术的实施方式作任何形式上的限制，任何本领域技术人员，在不脱离本申请内容所公开的技术手段的范围，当可作些许的更动或修改为其它等效的实施例，但仍应视为与本申请实质相同的技术或实施例。

Claims (15)

1.一种微型组件转移头，其特征在于，包含：

一承载面，该承载面对应有一微型组件取出范围，且该微型组件取出范围为一第一几何图形，该第一几何图形为 非矩形且图形至少包含锐角；

其中一第二几何图形由n个该第一几何图形组成，该第二几何图形至少包含直角，且该第二几何图形的形状与该第一几何图形的形状不同，n为大于1的正整数，该承载面接触一晶圆的一表面的一边缘时，该承载面用以取出位于该表面的该边缘且在该微型组件取出范围内的多个微型组件。

2.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形为三角形，且该第二几何图形为矩形。

3.如权利要求2所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形更包含直角，且n为偶数。

4.如权利要求3所述的微型组件转移头，其特征在于，该第一几何图形为直角三角形，且该第一几何图形的长边和短边的比值在1.25到5之间。

5.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该微型组件转移头远离该承载面的一侧的形状相异于该第一几何图形。

6.如权利要求1所述的微型组件转移头，其特征在于，该微型组件转移头更受控于一控制指令调整该微型组件取出范围，使得该微型组件取出范围对应为一第三几何图形，该第三几何图形的面积相异于该第一几何图形的面积。

7.一种微型组件转移装置，用以取出一晶圆的一边缘中的多个微型组件，其特征在于，包含：

一载台，用以设置该晶圆；以及

一微型组件转移头，位于该载台的一相对位置，该转移头具有一承载面，该承载面对应有一微型组件取出范围，且该微型组件取出范围为一第一几何图形；

其中该第一几何图形为 非矩形且一第一端对准于该晶圆的中心位置。

8.如权利要求7所述的微型组件转移装置，其特征在于，该第一几何图形的该第一端为锐角。

9.如权利要求8所述的微型组件转移装置，其特征在于，该第一几何图形为三角形或扇形。

10.如权利要求9所述的微型组件转移装置，其特征在于，该第一几何图形为直角三角形，且该第一几何图形的长边和短边的比值在1.25到5之间。

11.如权利要求8所述的微型组件转移装置，其特征在于，该载台更用以旋转该晶圆，且当该载台旋转该晶圆时，该晶圆的中心位置相同。

12.如权利要求7所述的微型组件转移装置，其特征在于，该微型组件转移头远离该承载面的一侧的形状相异于该第一几何图形。

13.如权利要求7所述的微型组件转移装置，其特征在于，该微型组件转移头更受控于一控制指令调整该微型组件取出范围，使得该微型组件取出范围对应为一第三几何图形，该第三几何图形的面积相异于该第一几何图形的面积。

14.如权利要求13所述的微型组件转移装置，其特征在于，该第三几何图形的面积小于该第一几何图形的面积。

15.一种微型组件显示设备，其特征在于，包含：

一接收基板，具有一显示面，该显示面包含多个微型组件承载范围，且每一该微型组件承载范围为一第一几何图形，该第一几何图形为 非矩形且至少包含锐角，该显示面的形状同形于一第二几何图形，该第二几何图形由n个该第一几何图形组成，该第二几何图形至少包含直角，且该第二几何图形的形状与该第一几何图形的形状不同，其中n为大于1的正整数；

其中每一该微型组件承载范围内包含多个微型组件，同一该微型组件承载范围内的该些微型组件间隔一第一间距，于不同的该微型组件承载范围内的该些微型组件至少间隔一第二间距，该第一间距相异于该第二间距。

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