CN110918145B - 微流控面板及其驱动方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种微流控面板及其驱动方法,微流控面板包括含有多个分叉结构的微通道,微通道内包括液滴;微流控面板包括相对设置的第一基板和第二基板、之间夹设的微通道;分叉结构包括入口端和出口端,入口端和出口端均包括压电单元,压电单元包括位于第一基板靠近微通道一侧的第一电极、位于第二基板靠近微通道一侧的第二电极、以及夹设与第一电极与第二电极之间的压电材料层,向第一电极提供第一电压,向第二电极提供第二电压,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复。本发明改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
Description
技术领域
本发明涉及微流控技术领域,更具体地,涉及一种微流控面板及其驱动方法。
背景技术
微流控(Microfluidics)技术指的是使用微管道(尺寸为数十到数百微米)处理或操纵微小流体(体积为纳升到阿升)的一种技术。微流控芯片是微流控技术实现的主要平台。微流控芯片具有并行采集和处理样品、集成化高、高通量、分析速度快、功耗低、物耗少,污染小等特点。微流控芯片技术可以应用于生物基因工程、疾病诊断和药物研究、细胞分析、环境监测与保护、卫生检疫、司法鉴定等领域。
基于微流控芯片的分析检测系统已成为目前分析仪器发展的重要方向。传统的微流控系统可以通过热轧或聚合体方法在玻璃基板表面蚀刻出微通道,在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动。因此,微泵必须输出较大的能量,这很难在小管径的微通道中实现,由于压力差是定值,所以微通道中分叉的个数是有限的,很难实现同时并行多次试验或者同时进行多类试验。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种微流控面板及其驱动方法,用以解决现有技术中微通道中分叉数量受限的问题。
一方面,本发明提供了一种微流控面板,包括含有多个分叉结构的微通道,所述微通道内包括液滴;
所述微流控面板包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板和第二基板之间夹设所述微通道;
所述分叉结构包括入口端和出口端,所述入口端和所述出口端均包括压电单元,所述压电单元包括位于所述第一基板靠近所述微通道一侧的第一电极、位于所述第二基板靠近所述微通道一侧的第二电极、以及压电材料层,在垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述压电材料层位于所述第一电极和所述第二电极之间,所述压电材料层位于所述第一电极靠近所述微通道的一侧,向所述第一电极提供第一电压,向所述第二电极提供第二电压,所述第一电压和所述第二电压之间的电压差驱动所述压电材料层向指向所述微通道的方向突起或指向所述第一基板的方向恢复。
可选的,所述分叉结构的出口端至少包括第一出口端和第二出口端。
可选的,所述第一基板还包括多条第一信号线和至少一条第二信号线,一条所述第一信号线与一个所述第一电极电连接,通过所述第一信号线向所述第一电极传输所述第一电压,所述第二信号线与所述第二电极电连接,通过所述第二信号线向所述第二电极传输所述第二电压。
可选的,所述第二电极为整面设置的,向所述第二电极提供的所述第二电压为固定电压信号。
可选的,多条所述第一信号线在所述第一基板所在平面上的正投影不交叠。
可选的,还包括疏水层,所述疏水层位于所述第二电极靠近所述微通道的一侧。
可选的,所述压电材料层包括聚偏氟乙烯-三氧乙烯。
可选的,所述微通道的宽度在5um至10um之间。
另一方面,本发明还提供了一种微流控面板的驱动方法,所述微流控面板为上述微流控面板,包括第一阶段和第二阶段;
在所述第一阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起;
在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述出口端。
还包括在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第一出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第二出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,所述分叉结构入口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第一出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第二出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述第一出口端。
与现有技术相比,本发明提供的微流控面板及其驱动方法,至少实现了如下的有益效果:
本发明在分叉结构的入口端和出口端均设置了压电单元,压电单元中具有压电材料,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复,利用挤压原理或负压原理使液滴在微通道内移动,该推动力足够使液滴在微通道内移动,而无需在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动,改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
当然,实施本发明的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述,本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例,并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。
图1是本发明提供的一种微流控面板平面结构示意图;
图2是图1中A-A’向的一种剖面图;
图3是图1中A-A’向的又一种剖面图;
图4是图1中A-A’向的又一种剖面图;
图5是本发明提供的又一种微流控面板的平面结构示意图;
图6是图5中B-B’向的一种剖面图;
图7是图1中A-A’向的又一种剖面图;
图8是本发明提供的一种微流控面板的驱动方法流程图;
图9是本发明提供的又一种微流控面板的驱动方法流程图;
图10是本发明提供的一种液滴移动路径图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到:除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有例子中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
参照图1、图2、图3和图4,图1是本发明提供的一种微流控面板平面结构示意图,图2是图1中A-A’向的一种剖面图,图3是图1中A-A’向的又一种剖面图,图4是图1中A-A’向的又一种剖面图。
本实施例的微流控面板100包括含有多个分叉结构1的微通道2,微通道2内包括液滴18;微流控面板100包括相对设置的第一基板3和第二基板4,第一基板3和第二基板4之间夹设微通道2;分叉结构1包括入口端5和出口端6,入口端5和出口端6均包括压电单元7,参照图2和图3,压电单元7包括位于第一基板3靠近微通道2一侧的第一电极8、位于第二基板4靠近微通道2一侧的第二电极9、以及压电材料层10,在垂直于第一基板3所在平面的方向上,压电材料层10位于第一电极8和第二电极9之间,压电材料层10位于第一电极8靠近微通道2的一侧,向第一电极8提供第一电压,向第二电极9提供第二电压,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层10向指向微通道2的方向突起或指向第一基板3的方向恢复。
可以理解的是,图1中的微流控面板仅为示意性说明,图中还示出了该微流控面板具有药物区15、反应观察区16和样品区17,药物区15内的液滴与样品区17内的液滴均移动到反应观察区16进行反应观察,一般用于医疗检测,当然对于微流控面板的具体形式这里不做具体限定。
图1中未对微通道2进行图案填充,图1中分叉结构1的数量仅为示意性说明。
图1中的分叉结构1还包括交叉口19,交叉口19即为几个微通道分支交汇的位置。
图2至图4中示出了平坦化层20,平坦化层20设置能够使液滴运动的路径更平整。
压电效应是指材料在受到外力的作用时,材料内部发生电极化现象,从而在两个表面上产生等量相反的电荷,而当外力去除时,材料又恢复到不带电的状态,反之亦然,压电材料可以因机械变形产生电场,也可以因电场作用产生机械变形,所以本发明中利用压电材料的特性,在对第一电极8提供正电压时,能够使其发生变形,即压电材料层10向指向微通道2的方向突起,在对第一电极8提供负电压时,压电材料层10向指向第一基板3的方向恢复。
参照图2至图4,图2至图4能够说明液滴18在微通道内的移动原理。
图1中的液滴要在分叉结构1内移动,需要提供液滴移动的动力,本发明中的移动原理如下:
参照图2,位于入口端5和位于出口端6处的第一电极8均提供正电压,而第二电极9提供固定电压,可以为公共电压Vcom,此时压电材料层10由于受到电场的作用发生机械变形向指向微通道2的方向突起,使微通道2在入口端5和出口端6均堵塞;
参照图3,位于入口端5处的第一电极8提供负电压,第二电极9提供固定电压,所以位于入口端5处的压电材料层10恢复原来的形状,即向指向第一基板3的方向恢复,而位于出口端6处的第一电极8仍然保持正电压,第二电极9仍然保持固定电压,由于入口端5处的压电材料层10瞬间恢复,所以产生了推动力使液滴18运动到了入口端5和出口端6之间,推动力原理为挤压原理或负压原理,具体如下:
对于挤压原理,入口端5和出口端6之间的交叉口位置的微通道2宽度大于其他位置的宽度,将液滴18挤入交叉口19的难度会大于其他位置,在进入交叉口19前及入口端5设置压电单元7,可以利用挤压原理将液滴18挤入交叉口19,增大了交叉口19位置液滴的驱动力,防止液滴困在入口端5的位置,无法继续移动;
对于负压原理,由于入口端5处的压电材料层10瞬间恢复,会产生负压,将液滴18吸入到入口端5和出口端6之间的位置。
参照图4,位于入口端5处的第一电极8提供正电压,第二电极9提供固定电压,所以位于入口端5处的压电材料层10向指向微通道2的方向突起,而位于出口端6处的第一电极8提供负电压,第二电极9仍然保持固定电压,位于出口端6处的压电材料层10恢复,即向指向第一基板3的方向恢复,由于出口端6处的压电材料层10恢复瞬间产生负压,使液滴18移动到出口端6的另一侧,至此完成液滴18在交叉口19处的移动。
与现有技术相比,本发明提供的微流控面板,至少具有以下有益效果:
本发明在分叉结构的入口端和出口端均设置了压电单元,压电单元中具有压电材料,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复,利用挤压原理或负压原理使液滴在微通道内移动,该推动力足够使液滴在微通道内移动,而无需在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动,改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
在一些可选的实施例中,继续参照图1至图4,分叉结构1的出口端6至少包括第一出口端6a和第二出口端6b。
图1中仅示出了出口端的数量为2个的情况,当然出口端的数量还可以大于等于3个。
现有技术中采用的是在微通道的两端设压力差驱动液滴在微通道内移动,当分叉结构的出口端过多时,则动力不足以在微通道内移动。而本发明中由于采用的是压电材料变形后利用挤压原理或者负压原理使液滴18在微通道2内移动,所以即使出口端的数量增加也能够实现液滴在任意分支通道内移动。对于挤压原理或负压原理这里不再赘述。
在一些可选的实施例中,第一基板还包括多条第一信号线和至少一条第二信号线,一条第一信号线与一个第一电极电连接,通过第一信号线向第一电极传输第一电压,第二信号线与第二电极电连接,通过第二信号线向第二电极传输第二电压。
参照图5和图6,图5是本发明提供的又一种微流控面板的平面结构示意图,图6是图5中B-B’向的一种剖面图。
第一基板3还包括多条第一信号线11和至少一条第二信号线,一条第一信号线11与一个第一电极8电连接,通过第一信号线11向第一电极8传输第一电压,第二信号线与第二电极9电连接,通过第二信号线向第二电极9传输第二电压。
第一信号线11可以与第一电极8共用一层材料。
图5中还示出了柔性线路板13,第一信号线11和第二信号线与柔性线路板13电连接,柔性线路板13上可设置驱动芯片(图中未示出),驱动芯片通过柔性线路板13向第一信号线11传输第一电压,向第二信号线传输第二电压。一般来说第二电压是一个固定电压,只需要改变第一电压的正负就能够形成驱动压电材料层变形的电压差,前文已经叙述了驱动原理,这里不再赘述。
图中未示出第二信号线,第二信号线位于第三基板3上与柔性线路板13电连接,第一基板3的外边缘和第二基板4的外边缘之间夹设有框胶使第一基板3和第二基板4向粘合,框胶内具有导电金球,框胶与第二电极9相接触,第二金属线通过导电金球与第二电极9电连接,从而实现第二信号线传输第二电压,需要说明的是此时的连接方式适于第二电极9为整面设置的情况。
在一些可选的实施例中,继续参照2至图5,第二电极9为整面设置的,向第二电极9提供的第二电压为固定电压信号。
第二电极9可以为整面设置,也可以分块设置,向第二电极提供的电压为公共电压Vcom,即固定电压。
当第二电极为正面设置时,仅需一条第二信号线即可,此时制作工艺简单,能够减少布线。
继续参照图5,多条第一信号线11在第一基板3所在平面上的正投影不交叠。
第一信号线11与第一信号线11之间不能有交叉,这样能够保证不交叉跨线,简化制作工艺。
参照图7,图7是图1中A-A’向的又一种剖面图,图7中的微流控面板还包括疏水层14,疏水层14位于第二电极9靠近微通道2的一侧。
可以理解的是液滴18一般为水溶性的,在第二电极9靠近微通道2的一侧设一层疏水层14,能够减少液滴在微通道内的阻力,疏水层14具有疏水性,不易与液滴18之间发生摩擦,减少阻力,使液滴18更容易在微通道内移动。
在一些可选的实施例中,压电材料层包括聚偏氟乙烯-三氧乙烯。
压电材料可以因机械变形产生电场,也可以因电场作用产生机械变形,所有的铁电材料都同时具备铁电性和压电性。铁电性是指在一定温度范围内材料会产生自发极化。由于铁电体晶格中的正负电荷中心不重合,因此即使没有外加电场,也能产生电偶极矩,并且其自发极化可以在外电场作用下改变方向。当温度高于某一临界值时,其晶格结构发生改变,正负电荷中心重合,自发极化消失,这一温度临界值称为居里温度(Tc)。压电性是实现机械能-电能相互转换的一种性质。若在某一方向上给材料施加外力使材料发生形变,其内部会发生极化并在表面产生电荷,这就是压电效应;相反,若给材料施加电场则材料会发生形变而产生机械力,这就是逆压电效应。而聚偏氟乙烯-三氧乙烯是一种共聚物,其具有最高的压电系数。相对于无机材料而言,聚合物材料良好的柔韧性使其具有相当的优势,另外聚合物的压电常数使其具有更高的灵敏度。
本发明中使用聚偏氟乙烯-三氧乙烯P(VDF-TrFE)利用其优良的压电性和灵敏性,能够在通电时瞬间发生变形或者恢复,使微通道内产生推动液滴向前运动的挤压力或负压,便于液滴移动。
继续参照图1和图5,微通道的宽度在5um至10um之间。
由于现有技术中驱动液滴移动的驱动力是在微通道的两端形成压差,所以当微通道的宽度不能设置的很小,现有技术中微通道的宽度一般在0.5mm以上,当减小微通道的宽度时阻力变大,则驱动力不足以使液滴在微通道内移动。
而本发明推动液滴向前运动的驱动力是压电材料层在通电前后产生形变而形成的挤压力或负压,所以降低微通道的宽度仍能够产生足够的动力驱动液滴在微通道内移动。
参照图8,图8是本发明提供的一种微流控面板的驱动方法流程图,微流控面板为上述任一微流控面板100,包括第一阶段和第二阶段;
S1:在第一阶段,向分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向微通道的方向突起;
结合图2,位于入口端5和位于出口端6处的第一电极8均提供正电压,而第二电极9提供固定电压,可以为公共电压Vcom,此时压电材料层10由于受到电场的作用发生机械变形向指向微通道2的方向突起,使微通道在入口端5和出口端6均堵塞。
S2:在第二阶段,向分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向第一基板的方向恢复,微通道内的液滴由入口端移动到出口端。
需要说明的是该阶段适用于出口端的数量较少时,不需要比较大的驱动力就能够将液滴从入口端移动到出口端。
当出口端数量较多时,需要参照图3和图4,先利用挤压原理或负压原理将液滴挤入或吸入交叉口内,然后再移动到出口端。
本发明在分叉结构的入口端和出口端均设置了压电单元,压电单元中具有压电材料,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复,利用挤压原理或负压原理使液滴在微通道内移动,该推动力足够使液滴在微通道内移动,而无需在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动,改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
在一些可选的实施例中,参照图9,图9是本发明提供的又一种微流控面板的驱动方法流程图,图9中还包括S3:在第二阶段向分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向分叉结构第一出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向分叉结构第二出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,分叉结构入口端处的压电材料层向指向第一基板的方向恢复,分叉结构第一出口端处的压电材料层向指向第一基板的方向恢复,分叉结构第二出口端处的压电材料层向指向微通道的方向突起,微通道内的液滴由入口端移动到第一出口端。
参照图3和图4,参照图3,位于入口端5处的第一电极8提供负电压,第二电极9提供固定电压,所以位于入口端5处的压电材料层10恢复原来的形状,即向指向第一基板3的方向恢复,而位于出口端6处的第一电极8仍然保持正电压,第二电极9仍然保持固定电压,由于入口端5处的压电材料层10瞬间恢复,所以产生了推动力使液滴18运动到了入口端5和出口端6之间,推动力原理为挤压原理或负压原理,具体如下:
对于挤压原理,入口端5和出口端6之间的交叉口位置的微通道宽度大于其他位置的宽度,将液滴18挤入交叉口19的难度会大于其他位置,在进入交叉口19前及入口端5设置压电单元7,可以利用挤压原理将液滴18挤入交叉口19,增大了交叉口19位置液滴的驱动力,防止液滴困在入口端5的位置,无法继续移动;
对于负压原理,由于入口端5处的压电材料层10瞬间恢复,会产生负压,将液滴18吸入到入口端5和出口端6之间的位置。
参照图4,位于入口端5处的第一电极8提供正电压,第二电极9提供固定电压,所以位于入口端5处的压电材料层10向指向微通道2的方向突起,而位于出口端6处的第一电极8提供负电压,第二电极9仍然保持固定电压,位于出口端6处的压电材料层10恢复,即向指向第一基板3的方向恢复,由于出口端6处的压电材料层10恢复瞬间产生负压,使液滴18移动到出口端6的另一侧,至此完成液滴18在交叉口19处的移动。
举例说明本发明的实际应用,参照图10,图10是本发明提供的一种液滴移动路径图,图10中液滴需要沿着图10中C-D-E的路径移动,图10中包括2个分叉结构,一个分叉结构具有3个出口端,另一个分叉结构具有2个出口端,驱动时序如下:
时刻1:液滴处于C的位置交叉口19a前(还未通过交叉口19a),此时压感单元7a-7e都给正电压,压电材料层均为突起状态;
时刻2:压感单元7b-7e的压电材料层保持突起状态形成封闭环境(如果个别材料具有保持特性,其余位置也可以给COM电位),压感单元7a给负电压,压感单元7a压电材料层恢复为平坦状态,腔内气压降低,液滴跨过压感单元7a,流到D位置处交叉口19b前;
时刻3:压感单元7a给入正电压压电材料层突起,形成封闭环境(如果流体是整条连续的,也可以根据需要不使电极1突起),压感单元7d给入负电压,与时刻2同理,此处压电材料平坦后,腔内气压降低,液体跨过压感单元7d。
此上为本发明提供的应用实施例,由此可知本方是利用挤压原理或负压原理使液滴在微通道内移动,该推动力足够使液滴在微通道内移动,而无需在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动,改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
通过上述实施例可知,本发明提供的微流控面板及其驱动方法,至少实现了如下的有益效果:
本发明在分叉结构的入口端和出口端均设置了压电单元,压电单元中具有压电材料,第一电压和第二电压之间的电压差驱动压电材料层向指向微通道的方向突起或指向第一基板的方向恢复,利用挤压原理或负压原理使液滴在微通道内移动,该推动力足够使液滴在微通道内移动,而无需在液滴两端施加较大的压力差以驱动液滴移动,改善了现有技术中当微通道分支增加时压力差不足以驱动液滴移动的问题。
虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明,但是本领域的技术人员应该理解,以上例子仅是为了进行说明,而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解,可在不脱离本发明的范围和精神的情况下,对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。
Claims (10)
1.一种微流控面板,其特征在于,包括含有多个分叉结构的微通道,所述微通道内包括液滴;
所述微流控面板包括相对设置的第一基板和第二基板,所述第一基板和第二基板之间夹设所述微通道;
所述分叉结构包括入口端和出口端,所述入口端和所述出口端均包括压电单元,所述压电单元包括位于所述第一基板靠近所述微通道一侧的第一电极、位于所述第二基板靠近所述微通道一侧的第二电极、以及压电材料层,在垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述压电材料层位于所述第一电极和所述第二电极之间,所述压电材料层位于所述第一电极靠近所述微通道的一侧,向所述第一电极提供第一电压,向所述第二电极提供第二电压,所述第一电压和所述第二电压之间的电压差驱动所述压电材料层向指向所述微通道的方向突起或指向所述第一基板的方向恢复。
2.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述分叉结构的出口端至少包括第一出口端和第二出口端。
3.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述第一基板还包括多条第一信号线和至少一条第二信号线,一条所述第一信号线与一个所述第一电极电连接,通过所述第一信号线向所述第一电极传输所述第一电压,所述第二信号线与所述第二电极电连接,通过所述第二信号线向所述第二电极传输所述第二电压。
4.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述第二电极为整面设置的,向所述第二电极提供的所述第二电压为固定电压信号。
5.根据权利要求3所述的微流控面板,其特征在于,多条所述第一信号线在所述第一基板所在平面上的正投影不交叠。
6.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,还包括疏水层,所述疏水层位于所述第二电极靠近所述微通道的一侧。
7.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述压电材料层包括聚偏氟乙烯-三氧乙烯。
8.根据权利要求1所述的微流控面板,其特征在于,所述微通道的宽度在5um至10um之间。
9.一种微流控面板的驱动方法,所述微流控面板为权利要求1至6任一所述的微流控面板,其特征在于,包括第一阶段和第二阶段;
在所述第一阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,向第二电极提供固定电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起;
在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述第二电极提供固定电压,所述分叉结构入口端和出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述出口端。
10.根据权利要求9所述的微流控面板的驱动方法,其特征在于,还包括在所述第二阶段,向所述分叉结构入口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第一出口端的第一电极提供的第一电压为负电压,向所述分叉结构第二出口端的第一电极提供的第一电压为正电压,所述分叉结构入口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第一出口端处的压电材料层向指向所述第一基板的方向恢复,所述分叉结构第二出口端处的压电材料层向指向所述微通道的方向突起,所述微通道内的液滴由所述入口端移动到所述第一出口端。
Priority Applications (1)
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