CN110825262B - 触控面板、触控面板的制作方法及显示装置 - Google Patents

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Abstract

触控面板、触控面板的制作方法及显示装置。本发明提供的触控面板的制作方法，通过将透明导电薄膜设置在位于上层的第二引线上方，解决了走线区的引线易被氧化腐蚀的问题，只需针对透明导电薄膜的各个湿制程进行烘烤，以烘干透明导电薄膜湿制程后所带来的水汽，精简了制程工序，降低了成本，并且改善了透明导电薄膜因吸水而产生气泡的问题，提高了触控面板的产品品质。

Description

触控面板、触控面板的制作方法及显示装置
技术领域
本发明涉及触控技术领域，特别是涉及一种触控面板、触控面板的制作方法及显示装置。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)由于其体积小、厚度薄及功耗低等原因被广泛的应用于手机、电脑等显示领域，但是随着人们对LCD的性能要求的提高，具有触控功能的显示器日益成为人们需要的主流产品。
现有的触控技术主要分为外挂式、In Cell技术及On Cell技术。外挂式即指LCD与触摸层是分开的，触摸层设置在玻璃板或者是有机材料上，再将具有触摸层的玻璃或者是有机材料贴合到LCD表面。虽然外挂式触控满足了人们对于触控功能的需要，但是因为其是将具有触摸层的玻璃或者有机材料贴合到LCD表面，增加了LCD的厚度与重量。In Cell技术指的是将触控功能嵌入到LCD中，其需要在薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)阵列上的像素内部嵌入触控传感器，但是由于In Cell技术必须使用复杂的半导体制造工艺，这成为提高成品率的绊脚石。另外，在像素内嵌入触控传感器，可利用于显示的面积部分便会减少，导致画质劣化。On Cell技术则是指将触控层嵌入到LCD的彩膜基板与偏光片之间，容易确保成品率，另外，像素内的有效显示区域的面积也不会减小，几乎不会由此发生画质劣化现象，因此得到广泛的应用。
目前On Cell触控面板的制造流程中，新增透明导电薄膜(ITO layer)保护走线区的金属引线不被腐蚀，通常将透明导电薄膜设置在位于下层的金属引线层上，但在实际生产中因透明导电薄膜未Poly化(多晶化)/吸水性强，导致pad上透明导电薄膜吸水出现气泡不良和鼓包现象；再经过后续层别的制程高压水洗，容易使得气泡破裂；再经风刀吹后透明导电薄膜容易脱落，下方的金属引线暴露在空气中易产生被氧化腐蚀的风险，从而影响触控面板的产品品质。现有技术中一般采用在下层的引线上沉积透明导电薄膜后，对后续层别的每道湿制程后都需进行烘烤(oven)，例如该透明导电薄膜和设置在透明导电薄膜上的绝缘层以及上层的引线都需要进行黄光、蚀刻和去光阻后的水洗湿制程工序，每道湿制程后都进行烘烤，以烘干水汽，可改善透明导电薄膜的气泡问题，但是因为后续层别的每道湿制程都需烘烤工序，会造成制程工序繁琐、机台烘烤产能不足以及成本增加的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种触控面板、触控面板的制作方法及显示装置，能够解决走线区的引线易被氧化腐蚀的问题，提高了触控面板的产品品质。
本发明提供一种触控面板的制作方法，所述触控面板包括触控感应区和位于所述触控感应区外围的走线区，所述走线区设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线和多条第二引线，所述第二引线位于所述第一引线上方，所述制作方法包括：
在所述第二引线上方沉积透明导电薄膜；
对所述透明导电薄膜依次进行涂布光阻、曝光及显影，显影后进行水洗处理，以将显影液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第一次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第一次烘烤后的所述透明导电薄膜进行蚀刻，蚀刻后进行水洗处理，以将蚀刻液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第二次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第二次烘烤后的所述透明导电薄膜进行去除光阻，去除光阻后进行水洗处理，以将脱膜液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第三次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽，从而形成覆盖所述第一引线和所述第二引线的透明导电薄膜。
进一步地，在所述第二引线上方沉积透明导电薄膜前，对所述第二引线进行处理使所述第二引线表面粗糙。
进一步地，对所述第二引线进行处理包括对所述第二引线靠近所述透明导电薄膜的表面进行等离子体轰击。
进一步地，在所述第一引线上形成覆盖所述第一引线的第一透明保护膜，所述第二引线形成于所述第一透明保护膜上，所述第一透明保护膜上开设有过孔，所述第一引线与所述第二引线通过过孔导通。
进一步地，对所述透明导电薄膜进行第一次烘烤、第二次烘烤及第三次烘烤的温度范围均是100℃～130℃，烘烤的时间范围均是30～60分钟。
一种触控面板，所述触控面板由如上所述的触控面板的制作方法制成，所述触控面板包括触控感应区和位于所述触控感应区外围的走线区，所述走线区设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线和多条第二引线，所述第二引线位于所述第一引线上方，所述第二引线上方形成有透明导电薄膜，以覆盖所述第一引线和所述第二引线。
进一步地，在所述第一引线上形成覆盖所述第一引线的第一透明保护膜，所述第二引线形成于所述第一透明保护膜上，所述第一透明保护膜上开设有过孔，所述第一引线与所述第二引线通过过孔导通。
进一步地，所述触控感应区设有分别与所述第一引线和所述第二引线电连接的第一触控电极和第二触控电极，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述第一透明保护膜相互绝缘。
进一步地，所述第一触控电极具有彼此间隔绝缘的多个第一电极条，所述第二触控电极具有彼此间隔绝缘的多个第二电极条。
进一步地，在所述第二触控电极上形成有第二透明保护膜。
一种显示装置，包括显示面板，所述显示装置还包括如上所述的触控面板，所述触控面板设置在所述显示面板上方。
本发明提供的触控面板的制作方法，通过将透明导电薄膜设置在位于上层的第二引线上方，解决了走线区的引线易被氧化腐蚀的问题，只需针对透明导电薄膜的各个湿制程进行烘烤，以烘干透明导电薄膜湿制程后所带来的水汽，精简了制程工序，降低了成本，并且改善了透明导电薄膜因吸水而产生气泡的问题，提高了触控面板的产品品质。
附图说明
图1为本发明实施例中触控面板的平面示意图；
图2为本发明实施例中触控面板的结构示意图；
图3为本发明实施例中触控面板的工序流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图3所示，本实施例提供一种显示装置，包括显示面板和触控面板10，触控面板10设置在显示面板上方。其中，显示面板包括阵列基板(图未示)、彩色滤光片基板20和夹设在阵列基板与彩色滤光片基板之间的液晶层。具体地，彩色滤光片基板20包括衬底21、彩色滤光光阻22和黑色矩阵23等本领域技术人员较为熟知的结构，在此不再赘述；阵列基板包括TFT阵列、公共电极、像素电极和设置在公共电极与像素电极之间的绝缘层等本领域技术人员较为熟知的结构，在此不再赘述，但显示面板的结构不限于此。触控面板10设置在彩色滤光片基板20的衬底21上，且位于衬底21背对阵列基板的一侧。
本实施例提供一种触控面板的制作方法，触控面板10包括触控感应区10a和位于触控感应区10a外围的走线区10b，走线区10b设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线11和多条第二引线12，第二引线12位于第一引线11上方，但不以此为限，即先完成第一引线11的图案化再完成第二引线12的图案化。
由于第一引线11和第二引线12的材料通常为金属，为了避免金属引线被氧化腐蚀，在第二引线12上方沉积透明导电薄膜13作为保护层，透明导电薄膜13可以采用氧化铟锡(ITO)或氧化铟锌(IZO)等材料，但不以此为限。
对透明导电薄膜13依次进行涂布光阻、曝光及显影。具体地，在经过曝光处理的光阻上方向该光阻喷洒显影液，以通过显影液对经过曝光处理的光阻进行过度显影处理；对显影后的透明导电薄膜13和留下的光阻图案进行水洗处理，以将显影液洗尽，对水洗后的透明导电薄膜13进行第一次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第一次烘烤后的透明导电薄膜13进行蚀刻，优选地，采用湿蚀刻工艺，使用蚀刻液对透明导电薄膜13进行图案化处理，湿蚀刻后进行水洗处理，以将蚀刻液洗尽，对水洗后的透明导电薄膜13进行第二次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第二次烘烤后的透明导电薄膜13进行去除光阻，去除光阻后进行水洗处理，以将去除光阻时所采用的脱膜液洗尽，对水洗后的透明导电薄膜13进行第三次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽，从而形成覆盖第一引线11和第二引线12的透明导电薄膜13。
为了增加透明导电薄膜13与第二引线12之间的附着力，使第二引线表面粗糙，在第二引线12上方沉积透明导电薄膜13前，对第二引线12靠近透明导电薄膜13的表面进行等离子体轰击(Plasma)。优选地，进行等离子体轰击时采用的气体氛围是氮气。在一些其他实施方式中，还可以采用湿蚀刻的方式使第二引线12表面粗糙。
本实施例中，在第一引线11上形成覆盖第一引线11的第一透明保护膜14(OverCoating，OC)，第二引线12形成于第一透明保护膜14上，第一透明保护膜14上开设有过孔141，第一引线11与第二引线12通过过孔141导通。透明保护膜具有耐化学性和耐热性，例如为透明环氧树脂、聚酰亚胺树脂、硅树脂等有机材料。
在本实施例中，对透明导电薄膜13进行第一次烘烤、第二次烘烤及第三次烘烤的温度范围均是100℃～130℃，烘烤的时间范围均是30～60分钟。
本实施例还提供一种触控面板10，触控面板10由如上所述的触控面板的制作方法制成，触控面板10包括触控感应区10a和位于触控感应区10a外围的走线区10b，走线区10b设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线11和多条第二引线12，第二引线12位于第一引线11上方，第二引线12上方形成有透明导电薄膜13，以覆盖第一引线11和第二引线12。
在第一引线11上形成覆盖第一引线11的第一透明保护膜14，第二引线12形成于第一透明保护膜14上，第一透明保护膜14上开设有过孔141，第一引线11与第二引线12通过过孔141导通。
触控感应区10a设有触控线路，触控线路包括第一触控电极15和第二触控电极16，第一触控电极15和第二触控电极16分别与第一引线11和第二引线12电连接，并且第一触控电极15和第二触控电极16通过第一透明保护膜14相互绝缘，即第一透明保护膜14夹设于第一触控电极15和第二触控电极16之间。在第二触控电极16上形成有第二透明保护膜17，防止第二触控电极16被氧化腐蚀。
触控面板10还包括线路板(图未示)，多条第一引线11和多条第二引线12的引出端部均与线路板连接，第一触控电极15和第二触控电极16通过第一引线11和第二引线12与触控线路板连接，线路板可进一步与驱动芯片(图未示)连接。具体地，第二引线12包括引线部121和引线连接部122，第二触控电极16与引线连接部122通过引线部121相连，第一引线11通过过孔141与第二引线12的引线连接部122导通，驱动芯片发出的触控信号由第一引线11接收，部分信号给到第一引线11，另部分信号由第一引线11转换成第二引线12的信号通过过孔141导通给第二引线12。优选地，线路板选用柔性线路板(FPC)。
在本实施例中，第一引线11与第一触控电极15位于同一层，第二引线12与第二触控电极16位于同一层。但是第一引线11和第一触控电极15与第二引线12和第二触控电极16位于不同层。例如，第一引线11和第一触控电极15可以由第一金属层通过蚀刻制作形成，第二引线12和第二触控电极16可以由第二金属层通过蚀刻制作形成。第一引线11和第一触控电极15位于第一透明保护膜14之下，第二引线12和第二触控电极16位于第一透明保护膜14之上。
触控感应区10a的第一触控电极15与第二触控电极16之间构成互容式触控架构，以实现触控功能。第一触控电极15和第二触控电极16中，其中之一为触控驱动电极，另一为触控感应电极。例如，第一触控电极15为触控驱动电极(Tx)，第二触控电极16为触控感应电极(Rx)，但不以此为限。
其中，第一触控电极15和第二触控电极16之间的层叠顺序不限。在本实施例中，第一触控电极15位于第二触控电极16下方，但不以此为限。
具体地，第一触控电极15具有彼此间隔绝缘的多个第一电极条151，第二触控电极16具有彼此间隔绝缘的多个第二电极条161。其中，多个第一电极条151沿第一方向延伸且彼此平行间隔绝缘，多个第二电极条161沿第二方向延伸且彼此平行间隔绝缘。本实施例中，多个第一电极条151沿面板的竖向延伸，多个第二电极条161沿面板的横向延伸，即两者垂直交叉，但不以此为限。
本实施例中，多个第二电极条161中，每个第二电极条161均与一条第二引线12相连。进一步地，多条第二引线12分布在触控面板10的左右两侧，每个第二电极条161的左右两端分别与左右两侧的一条第二引线12相连，但不限于此。在其他实施例中，可以是一半数量的第二电极条161与位于触控面板10的左侧的第二引线12相连，另一半数量的第二电极条161与位于触控面板10的右侧的第二引线12相连，如位于触控面板10的左侧的第二引线12可以与位于奇数位置的第二电极条161相连，位于触控面板10的右侧的第二引线12可以与位于偶数位置的第二电极条161相连。
多个第一电极条151和多个第二电极条161可以采用金属网格(Metal Mesh)的结构，例如多个第一电极条151和多个第二电极条161为由导线交叉形成的菱形网格结构，第一电极条151和第二电极条161的菱形网格的大小可以根据触控灵敏度来设定。
综上所述，本发明实施例提供的触控面板的制作方法，通过将透明导电薄膜13设置在位于上层的第二引线12上方，解决了走线区10b的引线易被氧化腐蚀的问题，只需针对透明导电薄膜13的各个湿制程进行烘烤，以烘干透明导电薄膜13湿制程后所带来的水汽，相较于现有技术中，透明导电薄膜13设置在位于下层的第一引线11上，需要对透明导电薄膜13以及后续层别的湿制程皆进行烘烤，以消除透明导电薄膜13的吸水性影响，本发明的触控面板的制作方法精简了制程工序，降低了成本，并且改善了透明导电薄膜13因吸水而产生气泡的问题，提高了触控面板10的产品品质。
在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，除了包含所列的那些要素，而且还可包含没有明确列出的其他要素。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种触控面板的制作方法，所述触控面板包括触控感应区和位于所述触控感应区外围的走线区，其特征在于，所述触控感应区设有触控线路，所述触控线路包括第一触控电极和第二触控电极；所述走线区设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线和多条第二引线，所述第一触控电极与所述第一引线同层设置且电连接，所述第二触控电极与所述第二引线同层设置且电连接；所述第一引线和所述第一触控电极位于第一透明保护膜之下，所述第二引线和所述第二触控电极位于所述第一透明保护膜之上，所述制作方法包括：
先对所述第二引线进行处理使所述第二引线表面粗糙；
再在所述第二引线上方沉积透明导电薄膜；
对所述透明导电薄膜依次进行涂布光阻、曝光及显影，显影后进行水洗处理，以将显影液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第一次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第一次烘烤后的所述透明导电薄膜进行蚀刻，蚀刻后进行水洗处理，以将蚀刻液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第二次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽；
对第二次烘烤后的所述透明导电薄膜进行去除光阻，去除光阻后进行水洗处理，以将脱膜液洗尽，对水洗后的所述透明导电薄膜进行第三次烘烤，以烘干水洗后残留的水汽，从而形成覆盖所述第一引线和所述第二引线的透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，对所述第二引线进行处理包括对所述第二引线靠近所述透明导电薄膜的表面进行等离子体轰击。
3.根据权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，所述第一透明保护膜覆盖在所述第一引线上，所述第二引线形成于所述第一透明保护膜上，所述第一透明保护膜上开设有过孔，所述第一引线与所述第二引线通过过孔导通。
4.根据权利要求1所述的触控面板的制作方法，其特征在于，对所述透明导电薄膜进行第一次烘烤、第二次烘烤及第三次烘烤的温度范围均是100℃～130℃，烘烤的时间范围均是30～60分钟。
5.一种触控面板，其特征在于，所述触控面板由权利要求1至4中任一项所述的触控面板的制作方法制成，所述触控面板包括触控感应区和位于所述触控感应区外围的走线区，所述走线区设置有彼此间隔绝缘的多条第一引线和多条第二引线，所述第二引线位于所述第一引线上方，所述第二引线上方形成有透明导电薄膜，以覆盖所述第一引线和所述第二引线。
6.根据权利要求5所述的触控面板，其特征在于，在所述第一引线上形成覆盖所述第一引线的第一透明保护膜，所述第二引线形成于所述第一透明保护膜上，所述第一透明保护膜上开设有过孔，所述第一引线与所述第二引线通过过孔导通。
7.根据权利要求6所述的触控面板，其特征在于，所述触控感应区设有分别与所述第一引线和所述第二引线电连接的第一触控电极和第二触控电极，所述第一触控电极和所述第二触控电极通过所述第一透明保护膜相互绝缘。
8.根据权利要求7所述的触控面板，其特征在于，所述第一触控电极具有彼此间隔绝缘的多个第一电极条，所述第二触控电极具有彼此间隔绝缘的多个第二电极条。
9.一种显示装置，包括显示面板，其特征在于，所述显示装置还包括如权利要求5至8中任一项所述的触控面板，所述触控面板设置在所述显示面板上方。
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