CN110711730A - 机械刮刀装置和机械刮除式除膜设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种机械刮刀装置和机械刮除式除膜设备。该机械刮刀装置包括刮刀机构和推压机构。刮刀机构包括刀架基座和刮刀单元。刮刀单元可旋转地安装在所述刀架基座上,并且具有与被加工表面接触的刀刃。推压机构能够移动刮刀机构以将刀刃贴合在被加工表面上。利用本发明的机械刮除式除膜设备和机械,能够使刮刀的刀刃相对于被加工表面进行自适应的随形运动,确保刀刃始终与被加工表面完全紧密接触,并且还降低了各部件的安装精度,节约了安装时间。

Description

机械刮刀装置和机械刮除式除膜设备
技术领域
本发明涉及除膜设备领域,尤其涉及一种用于薄膜太阳能光伏组件制造的机械刮除式除膜设备。
背景技术
在薄膜太阳能光伏组件,特别是CIGS光伏组件(一种基于半导体Cu(In,Ga)Se2的光伏组件)的制造过程中,有时需要使用基板上的Mo或类似金属电极将电流引出。然而,一般来说,在金属电极上方存在因在先工艺而形成的膜层,要想将电流从金属电极引出,就需要先将基板相应位置处的金属电极上的膜层去除,以暴露出这些位置处的金属电极。膜层去除的方法一般包括机械除膜法、化学除膜法、激光除膜法等。其中,化学除膜法容易造成其他膜层位置的污染,激光除膜法现大多停留在研究阶段,成本昂贵。机械除膜法又可分为磨削机磨削式除膜法和机械刮除式除膜法等,其中主流的方法是机械刮除式除膜法,即利用刮刀的线性移动来刮除Mo或类似金属电极上方的膜层。
现有的机械刮除式除膜设备多采用刚性固定式结构,即刮刀与刀架结构为完全的刚性机械连接。如图5a所示,刮刀13”固定在刀架12”上,刀架12”由与之刚性连接的驱动机构(未示出)驱动,从而以预定的推压力将刮刀13”推压在基板的基板表面50”上,并由运动机构带动刀架12”和驱动机构一起沿着基板表面50”移动,从而通过刮刀13”的刀刃对基板表面50”上的膜层进行刮除。在理想情况下,如图5a和5c所示,刀刃与基板应当是完全、紧密贴合的。然而,在实际情况下,可能发生基板自身变形(如图 5b所示)、基板的支撑平台倾斜、刀架机构安装不够竖直等情况,导致刀刃与基板不平行,刮除时无法实现紧密贴合;或者,在更换刮刀13”时带来安装上的误差,同样导致了刀刃与基板不平行 (如图5d所示),刮除时二者无法实现紧密贴合。而刀刃在刮除时与基板不完全贴合,又导致了部分刀刃不能接触到膜层,造成膜层的残留;如果压力过大,还可能导致刀刃的损坏和基板的划伤。由于存在上述风险,反过来要求设备的安装调试有非常高的精度,需要耗费大量精力保证基板的支撑平台绝对水平(且后续使用过程中也保持水平),保证刮刀的安装没有误差,等等,这又导致了人力、物力的浪费和设备稼动率的降低。
发明内容
为了解决现有技术中的上述缺陷,本发明提供一种机械刮刀装置和包括此机械刮刀装置的机械刮除式除膜设备。
根据本发明的第一方面,提供一种机械刮刀装置,所述机械刮刀装置包括刮刀机构和推压机构,
所述刮刀机构包括:刀架基座;以及刮刀单元,其可旋转地安装在所述刀架基座上,并且所述刮刀单元包括与被加工表面接触的刀刃,
所述推压机构能够移动所述刮刀机构以将所述刀刃贴合在被加工表面上。
优选地,所述机械刮刀装置构造为:在所述推压机构将所述刀刃推压在所述被加工表面上时,所述刮刀单元能够在由所述被加工表面向所述刀刃施加的反作用力的作用下相对于所述刀架基座旋转,以使得所述刀刃与所述被加工表面贴合。
优选地,所述机械刮刀装置还包括偏压机构,当所述刀刃与所述被加工表面未接触时,所述刀架相对于所述刀架基座处于基准位置,所述偏压机构用于在所述刀架因相对于所述刀架基座旋转而偏离所述基准位置时,向所述刀架施加朝向所述基准位置的偏压力。
优选地,所述刮刀单元包括:刀架,其可旋转地安装在所述刀架基座上;以及刮刀,其安装在所述刀架上,并且所述刀刃位于所述刮刀的端部。
优选地,所述刀架基座包括刀架连接座,在所述刀架连接座的内部设置有轴承;并且所述刀架包括刀架杆,所述刀架杆可旋转地配合在所述轴承中。
优选地,所述偏压机构包括连接在所述刀架杆与所述刀架连接座之间的盘簧。
优选地,所述刀架基座包括刀架连接座,所述刀架连接座包括刀架连接座杆;并且在所述刀架的内部设置有轴承,所述刀架连接座杆可旋转地配合在所述轴承中。
优选地,所述偏压机构包括连接在所述刀架连接座杆与所述刀架之间的盘簧。
优选地,所述刀架基座还包括刀架基座主体,所述刀架连接座和所述刀架设置在所述刀架基座主体的一侧,并且所述偏压机构包括设置在所述刀架基座主体与所述刀架之间的弹簧或弹性顶丝。
优选地,所述弹簧或弹性顶丝的数量为至少两个,并且优选地,所述至少两个弹簧或弹性顶丝彼此平行地沿与刀架杆的轴向垂直的方向布置。
优选地,所述机械刮刀装置还包括沿所述推压机构移动所述刮刀机构的移动方向延伸的导轨;并且所述刀架基座具有与所述导轨滑动配合的滑槽结构。
优选地,所述机械刮刀装置还包括:安装基板,所述导轨安装或一体形成在所述安装基板上。
优选地,所述推压机构包括:推压源,其固定在所述安装基板上;以及推杆,其与所述刀架基座连接,并且能够在所述推压源的驱动下沿所述移动方向运动。
优选地,所述刀架基座包括刀架基座主体,所述刮刀单元设置在所述刀架基座主体的一侧,并且所述滑槽结构形成在所述刀架基座主体的另一侧。
根据本发明的第二方面,提供一种机械刮除式除膜设备,所述机械刮除式除膜设备包括根据上文所述的机械刮刀装置。
优选地,所述机械刮除式除膜设备还包括:支撑结构,其用于支撑表面具有待去除膜层的基板;以及移动机构,其用于使所述机械刮刀装置相对于所述支撑结构而沿所述基板的表面的方向移动。
通过应用上文所述的机械刮刀装置和机械刮除式除膜设备,本发明可以取得下述有益效果:在刮除式除膜过程中,刀刃能够相对于被加工表面进行自适应的随形运动,确保了刀刃始终与被加工表面完全紧密接触(贴合),从而不会发生膜层的残留,确保了除膜质量。
附图说明
图1为根据本发明实施例1的机械刮刀装置的示意性立体图;
图2为根据本发明实施例1的正在进行除膜操作的机械刮刀装置的示意性侧视图;
图3为根据本发明实施例2的机械刮刀装置的示意性立体图;
图4为从刀架杆的上方沿刀架杆的轴向观察到的根据本发明实施例3的机械刮刀装置的示意性局部平面图;
图5a和图5b为示出在根据现有的机械刮除式除膜设备中,基板变形对除膜过程的影响的示意图,其中图5a为基板无变形时的除膜状态的示意图,图5b为基板变形时的除膜状态的示意图;以及
图5c和图5d为示出在根据现有的机械刮除式除膜设备中,刮刀安装精度对除膜过程的影响的示意图,其中图5c为刮刀安装精确时的除膜状态的示意图,图5d为刮刀安装偏斜时的除膜状态的示意图。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细描述。
实施例1
图1为根据本发明实施例1的机械刮刀装置的示意性立体图。图2为正在进行除膜操作的根据本发明实施例1的机械刮刀装置的示意性侧视图。如图1和图2所示,机械刮刀装置包括刮刀机构10和推压机构20。其中,刮刀机构10包括刀架基座11和刮刀单元14。刮刀单元14具有(适于)与基板的被加工表面50(见图2)接触的刀刃131。更具体地,在本实施例中,刮刀单元14 包括刀架12和刮刀13,刮刀13安装在刀架12上,并且刀刃131 位于刮刀13的端部。推压机构20用于移动刮刀机构10,以将刮刀机构10的刀刃131(具体地说,刮刀机构10中的刮刀单元14 中的刮刀13的刀刃131)贴合到被加工表面50上。
与现有技术不同,在本实施例中,刮刀单元14(具体地说,刮刀单元14中的刀架12)以可旋转的方式安装在刀架基座11上。这样,当推压机构20推压(向下移动)刮刀机构10,从而将刀刃131贴合到被加工表面50上时,刮刀单元14(刀架12和刮刀13) 能够在由被加工表面50向刀刃131施加的反作用力的作用下自动地相对于刀架基座11旋转。例如,如图2所示,假设由于刮刀的安装误差,导致刀刃131与被加工表面50不平行,刀刃131的左侧略高,则刀刃131的右部分将先接触且以较大的力推压被加工表面50(确切地说,压入基板上的膜层(未示出)中),而刀刃 131的左部分不接触被加工表面50,或后接触且仅以较小的力推压被加工表面50。从而,被加工表面50向刀刃131的右部分施加的反作用力较大,而向刀刃131的左部分施加的反作用力较小或为零。在此施加于刀刃131的反作用力的作用下,整个刮刀单元 14将相对于刀架基座11自动逆时针旋转,使得刀刃131与被加工表面50变为完全水平,从而两者能够紧密贴合。在除膜的过程中,如果基板发生变形,也会引起局部的反作用力,刮刀单元14能够与之相适应地发生旋转。因此,本实施例的结构能够使刀刃相对于被加工表面进行自适应的随形运动,确保刀刃始终与被加工表面完全紧密接触,从而不会发生膜层的残留,确保了除膜质量。相应地,还降低各部件的安装精度,节约了安装时间,当刮刀13为可拆卸地安装在刀架12上时,能够实现刮刀的即换即用。
接下来,对本实施例的细节进行进一步详细描述。
如图1和图2所示,本实施例的机械刮刀装置还可包括安装基板40和导轨30。其中,安装基板40作为整个机械刮刀装置的安装基础。导轨30安装在安装基板40上或一体形成在安装基板 40上。导轨30沿推压机构20移动刮刀机构10的移动方向(本实施例中为竖直方向)延伸。刀架基座11具有与导轨30配合(滑动配合)的滑槽结构,从而能够作为滑块而相对于导轨30滑动。通过设置导轨,使得刀架基座11(刮刀机构10)的运动更加稳定、精确。可以理解,导轨30的数量可以是图1中所示的一条,也可以是两条或更多条,以便进一步增强稳定性。
刀架基座11可包括刀架基座主体112和刀架连接座111。刀架连接座11固定在刀架基座主体112上。在刀架连接座11的内部设置有轴承(未示出)。与刀架连接座111相对应地,刀架12 包括刀架杆121。刀架杆121为圆柱形杆,其穿入刀架连接座111 中并与刀架连接座111中的轴承旋转配合。换言之,刮刀单元14 通过其刀架12上的刀架杆121而可旋转地安装在刮刀机构10的刀架基座11的刀架连接座111中的轴承上。因此,刀架杆121的纵轴(中心轴)即为刀架12的旋转轴(也即为刮刀单元14、刀架杆121和刮刀13的旋转轴)。刀架杆121的纵轴可相对于推压机构20推压刮刀机构10的方向(竖直向下的方向)成倾斜角度。该倾斜角度可在20°至80°的范围内,优选在45°至70°的范围内。在本实施例中,该倾斜角度为60°。另外,在刀架杆121 和/或刀架连接座111中还可设有限制刀架杆121的轴向运动的结构,以免刀架杆121从刀架连接座111中脱落。
刮刀13安装在刀架12上。由于利用本发明可大大降低刮刀 13的安装精度,因此刮刀13在刀架12上的安装方式不受特别限制。例如,可以通过螺丝(未示出)将刮刀13安装在刀架12的底部。刮刀13的材质可为工具合金钢,其材质要求为:硬度大于所要刮除的膜的硬度,但小于所要保留的金属(如金属Mo)的硬度。
刀架基座主体112可呈T形块状,与导轨20滑动配合的滑槽结构形成在T形的窄端侧(图2中的左侧),而刀架连接座111 及刮刀单元14均设置在刀架基座主体112的宽端侧(图2中的右侧)。
如图2所清楚地示出,机械刮刀装置还可包括偏压机构。在本实施例中,偏压机构包括设置在刀架基座主体112与刮刀单元 14之间的两个弹簧(或弹性顶丝)30。两个弹簧30优选地设置在在刀架基座主体112与刀架12之间,彼此平行,且沿与刀架杆121 的轴向垂直的方向布置。偏压机构的目的在于使刮刀13(刮刀单元14)的倾斜角度不至于失控,并减少不希望的震动。具体地说,当刀刃131与被加工表面50未接触时,刮刀单元14相对于刀架基座11处于基准位置(此时两个弹簧30均不向刮刀单元14(刀架12)施力,或向刮刀单元14施加的力矩彼此抵消,因此该位置也称为平衡位置)。而当刮刀单元14受外力(如受被加工表面50 的反作用力),从而相对于刀架基座11旋转并偏离基准位置时,两个弹簧30均向刮刀单元14施加朝向基准位置(即,使刮刀单元14回到基准位置)的偏压力。例如,假设在刮刀单元14处于平衡位置时,两个弹簧30均不向刮刀单元14施力,则当刮刀单元14顺时针旋转时,图2中布置在上方的弹簧30将向刮刀单元 14施加拉力,而布置在下方的弹簧30将向刮刀单元14施加推力。刮刀单元14的旋转角度越大,弹簧30施加的力就越大。因此,弹簧30起到了缓冲、避震的作用,且使刮刀13(刮刀单元14) 的倾斜角度不至失控。本领域技术人员能够理解的是,弹簧(或弹性顶丝)30的数量不限于两个,并且其布置方式不限于沿与刀架杆121的轴向垂直的方向布置。例如,两个弹簧30可以沿与刀架杆121的轴向成一角度(例如,小于90°且大于60°的角度) 的方向布置;或者,可以设置4个弹性顶丝(或弹簧),分别设置在刀架12的四个角部与刀架基座主体112之间;或者,也可以设置3个弹性顶丝(或弹簧),按等腰三角形或等边三角形的方式布置在刀架12与刀架基座主体112之间;或者,偏压机构可由若干弹簧与若干弹性顶丝组合构成。
推压机构20可包括推压源21和推杆22。推压源21固定在安装基板40上。推杆22与刀架基座11连接,并且能够在推压源 21的驱动下沿上下方向运动,从而向下推压刮刀机构10和向上提升刮刀机构10。具体地说,在本实施例中,推杆22的底部与刀架基座主体112的顶部连接,刀架基座11在推杆22的推、拉作用下,沿着导轨30作相应的移动。
推压源21可以是气缸,也可以是液压缸、电机(例如伺服电机)等。考虑到装置的经济性,优选为采用气缸。可通过比例阀等来控制气缸的进气量,由此实现对压力的稳定控制。当推压源 21是气缸时,推杆22相应地可为由气缸中的活塞驱动的活塞杆。此外,当推压源21是电机时,推杆22可为丝杆(丝杠),并且该丝杆22可螺合在刀架基座主体112顶部的螺纹孔中,通过电机 21驱动丝杆22转动来使刀架基座主体112沿着导轨30作相应的移动。
本实施例还提供一种实施除膜工艺的机械刮除式除膜设备,该设备包括上文所描述的机械刮刀装置。
在一个可选实例中,该设备除包括上面所介绍的机械刮刀装置外,还至少包括支撑结构和移动机构。支撑结构用于支撑表面具有待去除膜层的基板,例如上文所述的具有金属电极和覆盖在金属电极上的待去除膜层的基板(一般为玻璃基板)。支撑结构可以是支撑平台、高精度工作台等,用于支撑所述基板。支撑结构通常将基板支撑为与水平面平行,但根据设计需要,也可以沿其他方向支撑基板。移动机构用于使机械刮刀装置相对于支撑结构而沿基板表面的方向移动(基板表面水平时为水平移动)。一般地,移动机构移动机械刮刀装置,而支撑结构保持不动,但也可以反过来,移动机构仅移动支撑结构而不移动机械刮刀装置。移动机构例如可以是伺服电机。支撑结构上可设置有滑槽,相应地,支撑基板40可作为沿该滑槽滑动的滑块,并且在伺服电机的驱动下,沿滑槽按预定的刮除速度移动。
下面,对利用实施例1中的机械刮除式除膜设备实施的示例性除膜工艺进行简要描述。
首先,将覆有待刮除的膜的基板固定在支撑平台上。在刮刀 13对准基板的除膜起始位置后,开启机械刮刀装置。由控制软件发出命令,通过比例阀将压缩空气送入气缸21。气缸21中的活塞下降,推动活塞杆22,活塞杆22则推动其下部的刮刀机构 10沿着导轨30向下运动,将刮刀13压至和下方基板完全接触。因刮刀13可以随刀杆架121转动,所以在下压过程中刮刀13 的刀刃131可自动适应基板的变形,时刻使刀刃131和基板的被加工表面50保持完全紧贴接触。移动机构带动安装基板40水平移动规定长度后,气缸21放气回缩,刮刀13上提并离开基板表面,工艺结束。
实施例2
图3为根据本发明实施例2的机械刮刀装置的示意性立体图。在本实施例中,与实施例1中相同的部件使用相同的附图标记。
本实施例的机械刮刀装置与实施例1中的机械刮刀装置的不同之处在于,在本实施例中,刀架连接座111’包括刀架连接座杆121’。刀架连接座杆121’为圆柱形杆,并且与刀架连接座111’固定连接。相应地,在刀架12’内部设置有轴承,刀架连接座杆 121’能够与该轴承旋转配合。换言之,在本实施例中,刮刀单元14’通过其刀架12’内部的轴承而可旋转地安装在刀架基座11’的刀架连接座111’的刀架连接座杆121’上。因此,刀架连接座111’的纵轴(中心轴)即为刀架12’的旋转轴(也即为刮刀单元14’和刮刀13的旋转轴)。与实施例1类似且如图3所示,刀架连接座杆121’的纵轴也可相对于推压机构20推压刮刀机构10’的方向(竖直向下的方向)成倾斜角度。另外,在刀架12’内可设有限制刀架连接座杆121’的轴向移动的结构,以免刀架12’与刀架连接座杆121’分离。此外,在本实施例中,偏压机构与刮刀单元14’(刀架12’)的连接方式可与实施例1中偏压机构与刮刀单元14(刀架12)的连接方式相同。
实施例3
图4是根据本发明实施例3的机械刮刀装置的示意性局部平面图。在本实施例中,与实施例1中相同的部件使用相同的附图标记。
本实施例的机械刮刀装置与实施例1中的机械刮刀装置的不同之处在于,机械刮刀装置不使用弹簧或弹性顶丝作为偏压机构,而是使用连接在刀架杆121与刀架连接座111之间的盘簧 32作为偏压机构。盘簧32可设置在刀架连接座111的远离刮刀的一侧表面上,如图4所示,盘簧32的内侧端32b与刀架杆121 的侧面连接,盘簧32的外侧端23a与刀架连接座111的表面连接。盘簧32与刀架杆121及刀架连接座111的连接方式不受具体限制。在本实施例中,盘簧32的内侧端32b直接粘结于刀架杆121的侧面,盘簧32的外侧端23a钩挂在设置在刀架连接座 111的表面上的销钉上。当刀架杆121从刀刃不接触被加工表面时的基准位置起顺时针和逆时针旋转时,盘簧32均发生变形,并且向刀架杆121施加使刀架杆121朝向基准位置返回的偏压力。
本领域技术人员可以理解,本实施例中的盘簧也可以设置在刀架连接座111的靠近刮刀的一侧表面上,或设置在刀架连接座内的轴承附近,或在多个位置设置多个盘簧,或与实施例1中的弹簧或弹性顶丝结合使用。此外,本领域技术人员还可以理解,本实施例中的偏压机构也可以类似地应用在实施例2中。在这种情况下,实施例2的机械刮刀装置不使用弹簧或弹性顶丝作为偏压机构,而是使用连接在刀架连接座杆121’与刀架12’之间的盘簧作为偏压机构。盘簧在刀架连接座杆121’与刀架12’之间的连接方式可类似于盘簧32在刀架杆121与刀架连接座111的连接方式。
可以理解的是,以上实施例仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式,然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言,在不脱离本发明的精神和实质的情况下,可以做出各种变型和改进,这些变型和改进也视为本发明的保护范围。例如,本领域技术人员容易理解,本发明的机械刮除式除膜设备除用于光伏组件的除膜工艺(留Mo工艺)外,还可用于其他电子产品、机械材料等的表面除膜工艺。本发明实施例中的刀架基座主体可与刀架连接座成一体和/或刀架可以与刮刀成一体,例如,刮刀可为具有与轴承配合的可旋转杆的一体式刮刀,相应地,不必设置单独的刀架,并且偏压部件直接作用在该一体式刮刀上;该刀架基座的滑槽结构可以是安装在刀架基座主体上的单独结构。安装基板可由其他安装结构所代替;安装基板上也可不设置导轨;安装基板可以是分别设置在刀架两侧的两个安装基板。此外,刮刀单元与刀架基座之间的旋转连接方式不限于通过可旋转杆与轴承配合而实现的连接,也可以是通过可旋转杆和与之互补的圆孔间的摩擦配合、螺杆和螺孔的螺旋配合或齿轮间的啮合等而实现的旋转连接方式。

Claims (12)

1.一种机械刮刀装置,包括刮刀机构和推压机构,其特征在于,
所述刮刀机构包括:
刀架基座;以及刮刀单元,可旋转地安装在所述刀架基座上,所述刮刀单元包括与被加工表面接触的刀刃,
所述推压机构能够移动所述刮刀机构以将所述刀刃贴合在被加工表面上。
2.根据权利要求1所述的机械刮刀装置,其特征在于,
当所述刀刃与所述被加工表面未接触时,所述刮刀单元相对于所述刀架基座处于基准位置,并且所述机械刮刀装置还包括偏压机构,所述偏压机构用于在所述刮刀单元因相对于所述刀架基座旋转而偏离所述基准位置时,向所述刮刀单元施加朝向所述基准位置的偏压力。
3.根据权利要求2所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述刮刀单元包括:
刀架,其可旋转地安装在所述刀架基座上;以及刮刀,其安装在所述刀架上,并且所述刀刃位于所述刮刀的端部。
4.根据权利要求3所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述刀架基座包括刀架连接座,在所述刀架连接座的内部设置有轴承;并且所述刀架包括刀架杆,所述刀架杆可旋转地配合在所述轴承中。
5.根据权利要求4所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述偏压机构包括连接在所述刀架杆与所述刀架连接座之间的盘簧。
6.根据权利要求3所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述刀架基座包括刀架连接座,所述刀架连接座包括刀架连接座杆;并且在所述刀架的内部设置有轴承,所述刀架连接座杆可旋转地配合在所述轴承中。
7.根据权利要求6所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述偏压机构包括连接在所述刀架连接座杆与所述刀架之间的盘簧。
8.根据权利要求4或6所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述刀架基座还包括刀架基座主体,所述刀架连接座和所述刀架设置在所述刀架基座主体的一侧,并且所述偏压机构包括设置在所述刀架基座主体与所述刀架之间的弹簧或弹性顶丝。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述机械刮刀装置还包括沿所述推压机构移动所述刮刀机构的移动方向延伸的导轨;并且
所述刀架基座具有与所述导轨滑动配合的滑槽结构。
10.根据权利要求9所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述机械刮刀装置还包括:
安装基板,所述导轨安装或一体形成在所述安装基板上;并且,
所述推压机构包括:
推压源,其固定在所述安装基板上;以及推杆,其与所述刀架基座连接,并且能够在所述推压源的驱动下沿所述移动方向运动。
11.根据权利要求9所述的机械刮刀装置,其特征在于,
所述刀架基座包括刀架基座主体,所述刮刀单元设置在所述刀架基座主体的一侧,并且所述滑槽结构形成在所述刀架基座主体的另一侧。
12.一种机械刮除式除膜设备,其特征在于,所述机械刮除式除膜设备包括:
根据权利要求1至11中任一项所述的机械刮刀装置。
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